TW202120413A - 搬送路徑 - Google Patents

Abstract

[課題] 有效率且安全地搬送被加工物。[解決手段]一種搬送路徑，其係將被加工物搬送至加工裝置之搬送車所行進的搬送路徑，且具有設置於該加工裝置的上方且上表面平坦之路面板，在該路面板的該上表面之與該搬送車的車輪接觸之位置露出導電性構件。較佳為，該導電性構件覆蓋該路面板的該上表面的全部區域。更佳為，該導電性構件包含碳纖維強化塑膠。再佳為，該導電性構件係接地。又再佳為，多片該路面板在與該上表面平行之方向連接。可抑制由搬送路徑與搬送車之車輪的摩擦所致之靜電產生及其積存，防止對被加工物造成不良影響。

Description

搬送路徑

本發明係關於一種用於搬送被加工物之搬送路徑。

在組裝於電子設備等之元件晶片的製造步驟中，藉由各種加工裝置加工以半導體晶圓或樹脂封裝體基板為代表之板狀被加工物。在相對於此加工裝置搬送被加工物時，通常使用可容納多個被加工物之卡匣。加工裝置若接收已容納多個被加工物狀態之卡匣，則由此卡匣依序取出被加工物並進行加工。

為了提高加工被加工物的效率，有時亦會並行地使用多個加工裝置。在此情形中，必須對於多個加工裝置的每一個以適當時機搬送被加工物。因此，已提出一種搬送系統，其以搬送用路徑（搬送路徑）連繫多個加工裝置，而實現將被加工物搬送至各加工裝置（例如參考專利文獻1）。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平6-177244號公報

[發明所欲解決的課題] 又，為了最大限度地發揮多個加工裝置所具有的能力，重要的是對於各加工裝置有效率且安全地搬送被加工物。但是，由於搬送被加工物之各種裝置的構造上的理由等，有時無法實現順利地搬送被加工物。

本發明係鑑於此問題點而完成者，其目的在於提供一種可有效率且安全地搬送被加工物之搬送路徑。

[解決課題的技術手段] 根據本發明一態樣，係提供一種搬送路徑，其係將被加工物搬送至加工裝置之搬送車所行進的搬送路徑，其特徵在於，具有設置於該加工裝置的上方且上表面平坦之路面板，在該路面板的該上表面之與該搬送車的車輪接觸之位置露出導電性構件。

在此搬送路徑中，該導電性構件較佳為覆蓋該路面板的該上表面的全部區域。

又，在此搬送路徑中，該導電性構件較佳為包含碳纖維強化塑膠。

再者，在此搬送路徑中，該導電性構件較佳為接地。

再者，在此搬送路徑中，較佳為多片該路面板在與該上表面平行之方向連接。

[發明功效] 在本發明一態樣之搬送路徑中，具有設置於加工裝置的上方且上表面平坦之路面板，在該路面板的該上表面之與搬送車的車輪接觸之位置露出導電性構件。因此，可抑制由搬送路徑與搬送車之車輪的摩擦所致之靜電產生及其積存，防止對被加工物造成不良影響。

因此，藉由使用本發明一態樣之搬送路徑，可有效率且安全地搬送被加工物。

參考隨附圖式說明本發明之實施方式。此外，在以下各實施方式中係說明成為被加工物的搬送目的地之多個加工裝置皆為切削裝置的情形，但搬送系統只要以可將被加工物等相對於任意種類之加工裝置進行搬送之方式構成即可。亦即，被加工物等的搬送目的地可為切削裝置以外之加工裝置。

例如，搬送系統有時以將被加工物相對於多個雷射加工裝置進行搬送之方式構成。又，搬送系統亦有時以將被加工物相對於一連串加工所使用的多個種類之加工裝置依序進行搬送之方式構成。再者，搬送系統亦可被構成為將被加工物搬送至加工被加工物所附帶的任意處理所使用的各種裝置。亦即，被加工物等的搬送目的地可包括不以加工被加工物為目的之膠膜貼附裝置、紫外線照射裝置、洗滌裝置等。

（實施方式1） 圖1係表示本實施方式之搬送系統2之構成例的俯視圖，圖2係表示搬送系統2之連接關係例的功能方塊圖。如圖1所示，本實施方式之搬送系統2包含搬送路徑6，其用以搬送被加工裝置（切削裝置）4加工之板狀的被加工物11（參考圖8（A）、圖8（B）等）。

被加工物11例如為由矽等半導體材料而成的圓盤狀晶圓。此被加工物11的正面側係藉由互相交叉之多條分割預定線（切割道）而被劃分為多個小區域，並在各小區域形成IC（Integrated Circuit，積體電路）、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微機電系統）等元件。

在被加工物11背面側貼附有直徑大於被加工物11之膠膜（切割膠膜）13。膠膜13的外周部分固定於圍住被加工物11之環狀的框架15。如此，在本實施方式之搬送系統2中，在透過膠膜13支撐於框架15之被加工物單元17之狀態下，被加工物11被搬送至加工裝置4。

此外，本實施方式之被加工物11為由矽等半導體材料而成的圓盤狀晶圓，但被加工物11之材質、形狀、構造、大小等並無限制。例如，亦可使用由其他半導體、陶瓷、樹脂、金屬等材料而成的基板等作為被加工物11。

同樣地，元件之種類、數量、形狀、構造、大小、配置等亦無限制。在被加工物11上亦可不形成元件。再者，在本實施方式中係將被加工物11透過膠膜13支撐於框架15之被加工物單元17作為搬送對象，但有時亦將未貼附膠膜13之被加工物11、或未支撐於框架15之被加工物11等作為搬送對象。

上述的框架15之大小係因應被加工物11之大小（被加工物11之直徑等）而設定。例如，支撐直徑約300mm之被加工物11之框架15的外徑係大於支撐直徑約200mm之被加工物11之框架15的外徑。亦即，在使用大的被加工物11之情形中，被加工物單元17的外徑也會變大。

又，加工此被加工物11之加工裝置4係作為被加工物11的搬送目的地而與搬送系統2連接，但不一定是搬送系統2之構成要件。因此，如上述，可配合搬送系統2之使用態樣而變更、省略加工裝置4。

此外，在圖1中，為了便於說明而僅表示1台加工裝置4a，在圖2中表示2台加工裝置4a、4b，但在本實施方式中作為被加工物11的搬送目的地，需要2台以上的加工裝置4。亦即，與搬送系統2連接之加工裝置4的數量為2以上。

搬送路徑6係以將多個加工裝置4連結之方式設置於各加工裝置4的上部。通過此搬送路徑6，被加工物11被搬送至各加工裝置4。此外，搬送路徑6因設置於加工裝置4的上方，故搬送路徑6不會對連接至各加工裝置4的側面之配管21等造成干擾。

在搬送路徑6的下方除了加工裝置4以外，亦設置有容納加工前的被加工物11及加工後的被加工物11之上下料裝置（搬送裝置）8。容納於上下料裝置8之加工前的被加工物11係在任意時機被搬入搬送車10。

搬送車10係在搬送路徑6上行進，將從上下料裝置8接收到之加工前的被加工物11搬送至各加工裝置4。又，搬送車10若從加工裝置4接收加工後的被加工物11，則在搬送路徑6上行進，並將加工後的被加工物11搬送至上下料裝置8。

但，在多個種類之裝置（加工裝置4等）與搬送系統2連接之情形中，有時搬送車10若從某個加工裝置4接收加工後的被加工物11，則在搬送路徑6上行進，並將加工後的被加工物11搬送至下一步驟中所使用之裝置。此外，在圖1及圖2中顯示2台搬送車10a、10b，但搬送車10的數量並無限制。

如圖2所示，加工裝置4、上下料裝置8、搬送車10係以無線連接控制此等動作之控制單元12。但是，控制單元12只要以可控制加工裝置4、上下料裝置8、搬送車10等的動作之方式構成即可，有時亦以有線連接此等。

圖3係示意性地表示上下料裝置8之構成例的側視圖。此外，在圖3中以功能方塊表示局部的構成要件。如圖3所示，上下料裝置8包含容納各種構成要件之框體22。此外，在圖3中，為了便於說明而僅以輪廓表示框體22。

在框體22內沿著高度方向（Z₁ 軸方向）的2個不同的高度位置分別設置有卡匣容納機構24。亦即，本實施方式之上下料裝置8包含：第一卡匣容納機構24a、及配置於第一卡匣容納機構24a的上方之第二卡匣容納機構24b。但是，上下料裝置8所具備的卡匣容納機構24的數量並無限制。上下料裝置8只要具備1個以上的卡匣容納機構24即可。

各卡匣容納機構24具有平板狀的支撐台26。在支撐台26的上表面側設置有導引機構（未圖示），在此導引機構係以可沿著框體22的深度方向（Y₁ 軸方向）滑動之方式裝設有平板狀的卡匣載置台28。

在卡匣載置台28的上表面載置有可容納多個（例如10個以上）被加工物11之卡匣30。卡匣30係使用在將多個被加工物單元17集中搬送時。藉由使用此種卡匣30，操作員可將多個被加工物單元17集中搬入上下料裝置8。

在框體22之與各卡匣容納機構24對應的位置形成有搬入搬出口32，其可使載置有卡匣30之卡匣載置台28通過。在搬入搬出卡匣30時，藉由使載置有卡匣30之卡匣載置台28滑動，而使卡匣30通過此搬入搬出口32。

在框體22之與各搬入搬出口32對應的位置配置有可關閉各搬入搬出口32之外門（第二門）34。外門34的下部例如透過具有水平旋轉軸之鉸鏈等旋轉連結構件36而與支撐台26的外側端部連結，外門34係藉由以旋轉連結構件36之旋轉軸為中心進行旋轉而開閉。

在外門34開啓之狀態下，可將卡匣載置台28拉出至位於比搬入搬出口32更外側之外部搬入搬出區域（外部區域）38a（參考圖6（A）等）。此外，在框體22之與各搬入搬出口32對應的位置設置有以無法開啟呈關閉狀態之外門34之方式固定之空氣驅動型鎖定機構（未圖示）。

例如，操作員可將運來的卡匣30載置於已拉出至外部搬入搬出區域38a之卡匣載置台28上。其後，若操作員將卡匣載置台28壓入框體22內部，則卡匣載置台28及卡匣30移動至位於比搬入搬出口32更內側之內部容納區域（內部區域）38b（參考圖6（A）等）。

此外，在本說明書中有時將此內部容納區域38b稱為載置卡匣30之第一載置區域。從卡匣容納機構24搬出卡匣30時，只要在開啓外門34後，將卡匣載置台28從內部容納區域38b拉出至外部搬入搬出區域38a即可。

在各卡匣容納機構24之相對於內部容納區域38b而與搬入搬出口32相反側的位置，設置有可沿著高度方向移動之態樣的內門（第一門）40。第一卡匣容納機構24a之內門40係在與第一卡匣容納機構24a之內部容納區域38b相鄰之上方的關閉位置與下方的開啟位置之間移動，第二卡匣容納機構24b側之內門40係在與第二卡匣容納機構24b之內部容納區域38b相鄰之上方的開啟位置與下方的關閉位置之間移動。因此，2個內門40不會互相干擾。

圖4（A）係表示外門34關閉且內門40開啓的狀態之第一卡匣容納機構24a的局部剖面側視圖。此外，在圖4（A）中以功能方塊表示上下料裝置8之局部的構成要件。第二卡匣容納機構24b之構造及動作除了內門40的移動動作以外，係與第一卡匣容納機構24a之構造及動作同樣。

如圖4（A）所示，內門40係與升降機構42連結。升降機構42例如為利用空氣壓而使對象移動之空氣致動器（氣壓缸），且具有壓缸管42a、以及可相對於壓缸管42a移動之活塞桿42b。

容納於壓缸管42a之活塞桿42b的基端部係與活塞（未圖示）連結。又，從壓缸管42a露出之活塞桿42b的前端部係與連結構件42c連結，所述連結構件42c係固定於內門40之與內部容納區域38b為相反側的表面。

若控制往壓缸管42a之吸排氣並使活塞及活塞桿42b由上方移動至下方，則使第一卡匣容納機構24a之內門40從關閉位置移動至開啟位置。又，若使活塞及活塞桿42b由下方移動至上方，則第一卡匣容納機構24a之內門40從開啟位置移動至關閉位置。此外，升降機構42亦可藉由無桿氣壓缸等其他機構實現。

在支撐台26之與內門40面對的位置設置有用以檢測內門40是否開啓之第一感測器44。第一感測器44例如為磁鐵感測器，並檢測由裝設於內門40之預定位置的磁鐵44a（參考圖4（B））所造成之磁場的強度。

例如，如圖4（A）所示，若內門40開啓且磁鐵44a遠離第一感測器44，則由磁鐵44a所造成之磁場的強度會在第一感測器44的位置變弱。因此，藉由利用第一感測器44所檢測之磁場的強度，可判斷內門40是否開啓。

第一感測器44係與控制上下料裝置8之各構成要件之控制裝置46連接，第一感測器44係將所檢測到之磁場的強度的相關資訊送至控制裝置46。若第一感測器44所檢測到之磁場的強度變得比基準弱，則控制裝置46判斷內門40已開啓，若第一感測器44所檢測到之磁場的強度變得比基準強，則控制裝置46判斷內門40已關閉。此外，第一感測器44亦可以無線連接控制裝置46。

控制裝置46例如係藉由包含CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）等處理裝置、DRAM（Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體）等主記憶裝置、以及快閃記憶體等補助記憶裝置的電腦所構成。按照記憶於補助記憶裝置之軟體而使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置46之功能。

在框體22之與搬入搬出口32對應的位置設置有用以檢測外門34是否開啓之第二感測器48。第二感測器48例如為磁鐵感測器，並檢測由裝設於外門34之預定位置的磁鐵48a所造成之磁場的強度。第二感測器48係與控制裝置46連接。此外，第二感測器48亦可以無線連接控制裝置46。

圖4（B）係表示外門34開啓且內門40關閉之狀態的局部剖面側視圖。此外，在圖4（B）中以功能方塊表示控制裝置46。如圖4（B）所示，若外門34開啓且磁鐵48a遠離第二感測器48，則由磁鐵48a所造成之磁場的強度會在第二感測器48的位置變弱。

因此，藉由利用第二感測器48所檢測之磁場的強度，可判斷外門34是否開啓。具體而言，第二感測器48係將所檢測到之磁場的強度的相關資訊送至控制裝置46。若第二感測器48所檢測到之磁場的強度變得比基準弱，則控制裝置46判斷外門34已開啓，若第二感測器48所檢測到之磁場的強度變得比基準強，則控制裝置46判斷外門34已關閉。

控制裝置46具備作為第一安全機構的功能，所述第一安全機構係用於限制從上下料裝置8的外部往內部之進出。藉由以控制裝置46適當地控制以無法開啟呈關閉狀態之外門34之方式固定的空氣驅動型鎖定機構，而實現第一安全機構。

具體而言，在判斷外門34為關閉且內門40為開啓之情形中，控制裝置46係以外門34無法開啓之方式以鎖定機構固定外門34。如此，控制裝置46係控制外門34能否開閉，藉此可防止操作員誤入位於上下料裝置8內部之運作中的可動部等。

又，控制裝置46具備作為第二安全機構的功能，所述第二安全機構係限制從上下料裝置8外部往內部之進出。將上下料裝置8之電源以控制裝置46適當地管理，藉此實現第二安全機構。具體而言，在判斷外門34為開啓且內門40為關閉之情形中，若因某些原因而內門40被開啓，則控制裝置46關閉上下料裝置8之電源。

藉由第二安全機構，在外門34及內門40同時開啓之狀況下，上下料裝置8會停止。如此，控制裝置46適當地管理上下料裝置8之電源，藉此可防止操作員誤入位於上下料裝置8內部之運作中的可動部等。

圖5（A）係表示卡匣載置台28等的局部剖面側視圖，圖5（B）係表示卡匣載置台28的仰視圖。在卡匣載置台28之下表面28a側配置有止動構件50。止動構件50例如在深度方向具有長的方桿50a。但是，此方桿50a的深度方向的長度比卡匣載置台28的深度方向的長度短。又，方桿50a例如係藉由不鏽鋼等金屬而形成。但是，方桿50a之材質及形狀等並無太大限制。

在深度方向上位於內側之方桿50a的一端部（亦即，內門40側之端部）設置有沿著相對於高度方向及深度方向呈大致垂直之寬度方向（X₁ 軸方向）的旋轉軸（未圖示），在此旋轉軸，以可旋轉之態樣支撐輥50b。輥50b的直徑小於卡匣載置台28之下表面28a與支撐台26之上表面26a的距離。

在方桿50a的內側一端與外側另一端之間的位置設置有以可旋轉之態樣支撐方桿50a之軸機構52。軸機構52具有沿著寬度方向之旋轉軸52a。旋轉軸52a係與比方桿50a之長度方向（深度方向）中央更靠另一端側（外側）的位置連結。

旋轉軸52a的寬度方向的兩端部係插入固定於卡匣載置台28之下表面28a側之一對軸承52b之軸承孔。藉此，方桿50a係以可在相對於高度方向及深度方向呈平行的平面內（與寬度方向垂直的平面內）繞旋轉軸52a旋轉之方式支撐於軸承52b。

如上述，旋轉軸52a係與比方桿50a的中央更靠另一端側的位置連結。因此，作用於止動構件50的重力之繞旋轉軸52a之力矩方向會成為使方桿50a的一端往下方移動之方向。亦即，除非對於方桿50a賦予充分的力，不然方桿50a的一端的位置會因重力的作用而變得比方桿50a的另一端的位置更低。

因此，例如在卡匣載置台28的整體定位於內部容納區域38b之狀態下，輥50b會接觸支撐台26之上表面26a。又，若在支撐台26的上方使卡匣載置台28移動，則輥50b會在支撐台26之上表面26a滾動。

方桿50a的另一端部與在高度方向較長之銷（推壓部）54的下端部連結。在卡匣載置台28之與銷54對應的位置形成有在高度方向貫通卡匣載置台28之貫通孔28c，銷54插入此貫通孔28c。貫通孔28c係形成為不阻礙所插入的銷54在高度方向移動之程度的大小。

銷54的高度方向的長度比卡匣載置台28的厚度更長。因此，在輥50b接觸支撐台26之上表面26a之狀態下，銷54的上部於卡匣載置台28之上表面28b側露出。在此銷54之露出部分固定有外徑大於銷54的直徑之圓盤狀的按鈕54b。

若由上方按下固定於銷54之按鈕54b，則方桿50a的另一端移動至下方，且方桿50a的一端移動至上方。亦即，輥50b移動至上方。此外，銷54的下部之鄰近處固定有外徑大於貫通孔28c的直徑之環54a。

圖6（A）係表示將卡匣載置台28從內部容納區域38b拉出至外側的情形的局部剖面側視圖。卡匣載置台28係藉由上述導引機構（未圖示）以可相對於支撐台26滑動之方式裝設，並朝搬入搬出口32的外側被拉出。

若卡匣載置台28滑動至外側，且輥50b移出至比支撐台26之上表面26a的外側的端部更外側，則藉由作用於止動構件50的重力之繞旋轉軸52a之力矩，使方桿50a的一端往下方移動。亦即，成為輥50b從支撐台26脫離之狀態。

圖6（B）係表示輥50b從支撐台26脫離的情形的局部剖面側視圖。若輥50b從支撐台26脫離，則此輥50b定位於低於上表面26a的位置。其結果，往卡匣載置台28內側之移動會因止動構件50與支撐台26之外側表面26b接觸而被限制。此外，隨著輥50b脫離而銷54會上升，環54a會與卡匣載置台28之下表面28a接觸。

如此，在拉出卡匣載置台28時，止動構件50及軸機構52係發揮作為限制卡匣載置台28往內側移動之移動限制機構的功能。藉由設置移動限制機構，例如變得容易進行較重的卡匣30的搬入搬出，因此可降低容納於卡匣30的被加工物11隨著搬入搬出而破損的風險。

亦即，將卡匣30載置（搬入）於卡匣載置台28時，若卡匣載置台28會往內側移動，則操作員使卡匣30掉落之風險、或操作員使卡匣30衝撞到外門34之風險會變高，但藉由利用移動限制機構而限制卡匣載置台28往內側之移動，可充分壓低此等風險。

又，操作員將卡匣30從卡匣載置台28搬出時，若卡匣載置台28會往內側移動，則預定搬出之卡匣30衝撞到位於搬入搬出口32上部之框體22的一部分等之風險會變高，但藉由利用移動限制機構而限制卡匣載置台28往內側之移動，可充分壓低此風險。

本實施方式之移動限制機構係藉由在與高度方向及深度方向平行的平面內的方桿50a的旋轉而實現，因此例如在卡匣載置台28的寬度方向的外側部分設置移動限制機構之情形中，不會使卡匣容納機構24在寬度方向變大。因此，相較於在卡匣載置台28的寬度方向的外側部分設置移動限制機構之情形，變得容易實現寬度方向緊密之卡匣容納機構24。

此外，方桿50a之長度、軸機構52的位置等條件係設定成在方桿50a從支撐台26脫離之狀態下，卡匣載置台28上之載置有卡匣30的區域會從框體22完全露出。因此，操作員可在卡匣30完全從框體22露出之狀態下，將卡匣30載置（搬入）於卡匣載置台28。

圖6（C）係表示使卡匣載置台28回到內部容納區域38b的情形的局部剖面側視圖。在使卡匣載置台28回到內部容納區域38b時，操作員按下按鈕54b。操作員例如按下按鈕54b直至按鈕54b的下部與卡匣載置台28之上表面28b接觸為止。藉此，銷54被往下方按下，輥50b移動至比支撐台26之上表面26a更上方。

輥50b例如上升直至與卡匣載置台28之下表面28a接觸為止。其結果，會解除卡匣載置台28往內側移動之限制，可使卡匣載置台28回到內部容納區域38b。操作員只要在按下按鈕54b之狀態下，將卡匣載置台28推入內部容納區域38b即可。

此外，卡匣容納機構24並不限定於上述例。例如，可在卡匣載置台28的寬度方向上不同的2個位置分別設置止動構件50。在此情形中，在個別之與銷54對應的位置形成有貫通孔28c。又，在此情形中，構成2個止動構件50之2個方桿50a可於任意位置互相連結。若2個方桿50a互相連結，則亦可省略一邊的銷54。

又，貫通孔28c可形成於卡匣載置台28之配置有卡匣30的區域。在此情形中，若將卡匣30載置於卡匣載置台28，則會因卡匣30的自身重量而使銷54被按下。亦即，操作員無需按下銷54而解除由止動構件50所造成之限制。

如圖3所示，上下料裝置8具備配置於內門40之與內部容納區域38b為相反側之升降機構56。升降機構56具有在高度方向較長之支撐柱56a。在支撐柱56a之內門40側設置有沿著支撐柱56a的長度方向（亦即，高度方向）之一對導軌（未圖示）。

在升降機構56之一對導軌係以可在高度方向滑動之態樣安裝有板狀的升降台58。升降台58的上表面被形成為大致平坦。升降台58係一邊將其上表面保持在相對於高度方向呈大致垂直之狀態，一邊沿著一對導軌於高度方向滑動。

在支撐柱56a的下部設置有馬達（未圖示）、及與馬達之旋轉軸連結之驅動帶輪（未圖示）。又，在支撐柱56a的上部設置有連動帶輪（未圖示）。在驅動帶輪與連動帶輪上架設有1條帶齒無端皮帶（未圖示），此帶齒無端皮帶的一部分固定於升降台58。因此，若使馬達之旋轉軸往一方向旋轉，則升降台58會上升，若使馬達之旋轉軸往另一方面旋轉，則升降台58會下降。

在升降台58的上表面側設置有暫置單元60，其暫置從卡匣容納機構24內之卡匣30搬出的被加工物11、或搬入卡匣容納機構24內之卡匣30的被加工物11。暫置單元60具有於卡匣容納機構24側形成開口之角筒狀的框體62。在框體62的內部配置有分別握持被加工物11並可於深度方向移動之多個搬送單元（搬送機構）64。

在被加工物單元17在暫置單元60與第一卡匣容納機構24a的第一卡匣30a之間移交時，使暫置單元60之高度與第一卡匣容納機構24a之高度一致。亦即，將暫置單元60配置於第一搬送區域B₁ a，此第一搬送區域B₁ a係相對於第一卡匣容納機構24a之第一載置區域A₁ a在深度方向與內門40側相鄰。

若暫置單元60配置於第一搬送區域B₁ a且第一卡匣容納機構24a之內門40開啓，則搬送單元64變得可於第一載置區域A₁ a之第一卡匣30a進出。例如，搬送單元64握持容納於第一卡匣30a之被加工物單元17，並將其拉出至暫置單元60。

又，搬送單元64係握持暫置於暫置單元60之被加工物單元17，並將其容納於第一卡匣30a。如此，搬送單元64可在第一搬送區域B₁ a的暫置單元60與第一載置區域A₁ a的第一卡匣30a之間搬送被加工物11。

在被加工物單元17在暫置單元60與第二卡匣容納機構24b的第二卡匣30b之間移交時，使暫置單元60之高度與第二卡匣容納機構24b之高度一致。亦即，將暫置單元60配置於第一搬送區域B₁ b，此第一搬送區域B₁ b係相對於第二卡匣容納機構24b之第一載置區域A₁ b在深度方向與內門40側相鄰。

若暫置單元60配置於第一搬送區域B₁ b且第二卡匣容納機構24b之內門40開啓，則搬送單元64變得可於第一載置區域A₁ b之第二卡匣30b進出。例如，搬送單元64握持容納於第二卡匣30b之被加工物單元17，並將其拉出至暫置單元60。

又，搬送單元64握持暫置於暫置單元60之被加工物單元17，並將其容納於第二卡匣30b。如此，搬送單元64可在第一搬送區域B₁ b的暫置單元60與第一載置區域A₁ b的第二卡匣30b之間搬送被加工物11。

在第二卡匣容納機構24b之更上方設置有載置台66。又，在載置台66的正上方的區域設置有上下貫通框體22之天花板22a的開口22b。再者，在載置台66及開口22b的正上方的區域設置有上下貫通搬送路徑6的開口6a。

在搬送車10與暫置單元60之間搬送被加工物單元17時，首先使具備可容納被加工物單元17之容器（卡匣）102之搬送車10移動至開口6a的上方。接著，以利用垂吊構件112垂吊之方式使容器102下降，將容器102載置於載置台66的上表面（第二載置區域A₂ ）。

又，使暫置單元60之高度與載置於載置台66之容器102之高度一致。亦即，將暫置單元60配置於相對於載置台66在深度方向相鄰之第二搬送區域B₂ 。藉此，搬送單元64變得可於載置於第二載置區域A₂ 之容器102進出。例如，搬送單元64握持容納於容器102之被加工物單元17，並將其拉出至暫置單元60。

又，搬送單元64握持暫置於暫置單元60之被加工物單元17，並將其容納於容器102。如此，搬送單元64可在第二搬送區域B₂ 的暫置單元60與載置於載置台66的容器102之間搬送被加工物11。此外，使暫置單元60升降之升降機構56及暫置單元60內之搬送單元64，係與上述控制裝置46連接。藉由此控制裝置46而控制升降機構56及搬送單元64之動作。

控制裝置46進一步與接收來自外部之訊號（資訊）並送至控制裝置46的接收機68、以及將從控制裝置46接收到之訊號（資訊）發送至外部的發送機70連接。接收機68例如接收從搬送系統2之控制單元12發送之訊號並送至控制裝置46。

控制裝置46例如根據從接收機68接收到之訊號，而控制上下料裝置8之各構成要件的動作。又，控制裝置46例如生成通知用的訊號並送至發送機70。發送機70例如將從控制裝置46接收到之訊號發送至搬送系統2之控制單元12。

本實施方式之上下料裝置8係可透過暫置單元60而在容納多個被加工物單元17的卡匣30與搬送車10的容器102之間搬送被加工物單元17。因此，可適時地對於各加工裝置4搬送被加工物單元17，又，可適時地回收各加工裝置4所加工之被加工物單元17。

圖7（A）係表示將被加工物單元17暫置於暫置單元60之上段的情形的局部剖面側視圖，圖7（B）係表示將被加工物單元17暫置於暫置單元60之下段的情形的局部剖面側視圖。暫置單元60之框體62例如包含配置於上部之上板62a、以及配置於下部之下板62b。

上板62a的寬度方向之2個端部分別與柱（未圖示）的上端部連接。又，下板62b的寬度方向之2個端部分別與柱的下端部連接。亦即，上板62a與下板62b係透過2組柱而互相連結。在上板62a與下板62b之間的空間配置有於寬度方向分開的一對側板62c。再者，在框體62之卡匣容納機構24側之端部形成有開口62d。

在一對側板62c的內側中相同高度的位置分別沿著深度方向配置有長的上段導軌（第一暫置部）72a。各上段導軌72a具有由下方支撐被加工物單元17（框架15）之支撐面、以及規定被加工物單元17（框架15）之寬度方向位置之側面。

在一對側板62c的內側中比上段導軌72a更下方的位置分別沿著深度方向配置有長的下段導軌（第二暫置部）72b。各下段導軌72b具有由下方支撐被加工物單元17（框架15）之支撐面、以及規定被加工物單元17（框架15）之寬度方向位置之側面。

如此，在框體62的內側的不同高度位置具備上段導軌72a與下段導軌72b，藉此暫置單元60可同時容納2個被加工物單元17。因此，相較於暫置單元僅可容納1個被加工物單元17的情形，可在搬送車10的容器102或卡匣30與暫置單元60之間有效率地搬送被加工物單元17。

例如，上段導軌72a被用於容納加工前的被加工物單元17，下段導軌72b被用於容納加工後的被加工物單元17。但是，被加工物單元17之容納態樣並無限制。也可為上段導軌72a被用於容納加工後的被加工物單元17，下段導軌72b被用於容納加工前的被加工物單元17。

在與上段導軌72a對應之高度位置設置有第一搬送單元64a，在與下段導軌72b對應之高度位置設置有第二搬送單元64b。各搬送單元64具備包含配置於上下之2片板構件的握持部。2片板構件係以與上側板構件的下表面及下側板構件的上表面成為大致平行之方式配置。

各搬送單元64之握持部進一步包含調整2片板構件之間隔的致動器（未圖示）。藉由此致動器縮小2片板構件之間隔，藉此握持被加工物單元17之框架15。又，擴大2片板構件之間隔，藉此從2片板構件放開被加工物單元17之框架15。

又，各搬送單元64具備使握持部在深度方向移動之水平移動機構（未圖示）。水平移動機構具有沿著深度方向設置之線性導件（未圖示）。此線性導件係以可滑動之態樣與搬送單元64連結。

例如，在線性導件的一端側設置有具有與寬度方向大致平行之旋轉軸的連動帶輪（未圖示）。又，在線性導件的另一端側設置有具有與寬度方向大致平行之旋轉軸的驅動帶輪（未圖示）、以及旋轉軸與此驅動帶輪連結之馬達（未圖示）。

在連動帶輪與驅動帶輪架設有1條帶齒無端皮帶（未圖示），此帶齒無端皮帶的一部分固定於握持部。因此，若馬達之旋轉軸往一方向旋轉，則握持部往深度方向一側移動，若馬達之旋轉軸往另一方向旋轉，則握持部往深度方向另一側移動。

在將被加工物單元17暫置於上段導軌72a時，如圖7（A）所示，首先以升降機構56調整暫置單元60之高度，使上段導軌72a之高度與容納有被加工物單元17之容器102或卡匣30之高度一致。

接著，使第一搬送單元64a之握持部移動至容器102或卡匣30的內部。接著，以第一搬送單元64a之握持部握持容納於容器102或卡匣30之被加工物單元17之框架15。其後，使第一搬送單元64a之握持部移動至遠離容器102或卡匣30之方向。藉此，被加工物單元17載置於上段導軌72a。

將暫置於上段導軌72a之被加工物單元17容納於容器102或卡匣30時之動作亦同樣。在此情形中，只要在以第一搬送單元64a之握持部握持暫置於上段導軌72a之被加工物單元17後，使此第一搬送單元64a之握持部移動至容器102或卡匣30的內部即可。

在將被加工物單元17暫置於下段導軌72b時，如圖7（B）所示，首先以升降機構56調整暫置單元60之高度，使下段導軌72b之高度與容納有被加工物單元17之容器102或卡匣30之高度一致。

接著，使第二搬送單元64b之握持部移動至容器102或卡匣30的內部。接著，以第二搬送單元64b之握持部握持容納於容器102或卡匣30之被加工物單元17之框架15。其後，使第二搬送單元64b之握持部移動至遠離容器102或卡匣30之方向。藉此，被加工物單元17載置於下段導軌72b。

將暫置於下段導軌72b之被加工物單元17容納於容器102或卡匣30時之動作亦同樣。在此情形中，只要以第二搬送單元64b之握持部握持暫置於下段導軌72b之被加工物單元17後，使此第二搬送單元64b之握持部移動至容器102或卡匣30的內部即可。

卡匣30與容器102之間的被加工物單元17的搬送動作例如係下述方式。首先，以升降機構56調整暫置單元60之高度，將容納於卡匣30之加工前的被加工物單元17拉出至上段導軌72a。接著，以升降機構56使暫置單元60上升，將容納於載置台66上之容器102之加工後的被加工物單元17拉出至下段導軌72b。

接著，以升降機構56調整暫置單元60之高度，將暫置於上段導軌72a之加工前的被加工物單元17容納於載置台66上之容器102。藉由此動作而更有效率地進行加工後的被加工物單元17從容器102之搬出（回收）、以及加工前的被加工物單元17搬入（分配）至容器102。但是，搬送被加工物單元17的動作並不限定於此。又，可視需要交換上段導軌72a與下段導軌72b的關係。

圖8（A）為2條上段導軌72a等的俯視圖。位於寬度方向一側之上段導軌72a與下段導軌72b係固定於第一側板62c₁ 。又，位於寬度方向另一側之上段導軌72a與下段導軌72b係固定於第二側板62c₂ 。

在下板62b的深度方向的一端側形成有上下貫穿下板62b之寬度方向一側的一部分之第一開口62e₁ 、以及上下貫穿下板62b之寬度方向另一側的一部分之第二開口62e₂ 。在第一開口62e₁ 插入有第一側板62c₁ 之深度方向一端側的一部分，在第二開口62e₂ 插入有第二側板62c₂ 之深度方向一端側的一部分。

在下板62b的下表面之與第一開口62e₁ 及第二開口62e₂ 相鄰的區域固定有第一空氣致動器74a的基部與第二空氣致動器74b的基部。第一空氣致動器74a之可動部（例如活塞桿）係與插入第一開口62e₁ 之第一側板62c₁ 的一部分連接。第二空氣致動器74b之可動部（例如活塞桿）係與插入第二開口62e₂ 之第二側板62c₂ 的一部分連接。

在下板62b的深度方向的另一端側設置有第一導引機構76a與第二導引機構76b。第一導引機構76a包含固定於下板62b的上表面且在寬度方向較長之導軌、以及在固定於第一側板62c₁ 的下部側且可在寬度方向滑動之狀態下安裝於導軌之滑件。又，第二導引機構76b包含固定於下板62b的上表面之導軌、以及在固定於第二側板62c₂ 的下部側且可在寬度方向滑動之狀態下安裝於導軌之滑件。

因此，若以第一空氣致動器74a與第二空氣致動器74b變更第一側板62c₁ 與第二側板62c₂ 之間隔，則可一邊維持著互相平行之狀態，一邊變更2條上段導軌72a之間隔，且可一邊維持著互相平行之狀態，一邊變更2條下段導軌72b之間隔。

亦即，第一側板62c₁ 、第一空氣致動器74a、第一導引機構76a、第二側板62c₂ 、第二空氣致動器74b、第二導引機構76b係發揮作為調整2條上段導軌72a之間隔及2條下段導軌72b之間隔的間隔調整機構78的功能。

第一空氣致動器74a與第二空氣致動器74b的動作係藉由上述控制裝置46而控制。亦即，控制裝置46係因應被加工物單元17（被加工物11）之大小而控制第一空氣致動器74a與第二空氣致動器74b的動作，並調整2條上段導軌72a之間隔及2條下段導軌72b之間隔。

例如，在被加工物11之直徑為300mm之情形中，使用具有寬度約400mm之框架15。此情形中，控制裝置46係以使2條上段導軌72a之側面的間隔72c（2條下段導軌72b之側面的間隔72c）變成比400mm稍大（例如數mm）之方式，使第一空氣致動器74a與第二空氣致動器74b動作。

又，例如在被加工物11之直徑為200mm之情形中，使用具有寬度約300mm之框架15。此情形中，控制裝置46係以使2條上段導軌72a之側面的間隔72c（2條下段導軌72b之側面的間隔72c）變成比300mm稍大（例如數mm）之方式，使第一空氣致動器74a與第二空氣致動器74b動作。

圖8（B）係表示縮小2條上段導軌72a之間隔的情形的俯視圖。此外，若縮小2條上段導軌72a之間隔，則2條下段導軌72b之間隔也會縮小。如此，因應被加工物11之直徑而調整2條上段導軌72a之間隔及2條下段導軌72b之間隔，藉此變得可將不同大小的被加工物11暫置於暫置單元60。亦即，可以1個暫置單元60對應多個種類大小的被加工物單元17的搬送。

圖9（A）係表示在搬送路徑6上行進並搬送被加工物單元17之搬送車10的上表面側的立體圖，圖9（B）係表示搬送車10的底面側的立體圖。如圖9（A）及圖9（B）所示，搬送車10具備裝配有各種構成要件之板狀的框架82。在框架82的前方側之兩側端部配置有一對車軸84。車軸84係以一端側從框架82之側面突出之方式裝設於框架82的下表面側。

在一對車軸84之一端側分別固定有車輪（前輪）86。亦即，一對車輪86係配置於框架82的寬度方向（車寬度方向）上分開的2個位置。又，在框架82後端部之寬度方向上分開的2個位置配置有一對車輪（後輪）88。車輪88例如為可沿著高度方向繞旋轉軸旋轉360°之腳輪，並裝設於框架82的下表面側。車輪86及車輪88係搬送車10在搬送路徑6上行進時之行進用的車輪。

在框架82的前端部裝配有驅動一對車輪86之驅動單元90。驅動單元90具備分別透過車軸84等而與車輪86連結之一對馬達92。馬達92具備旋轉軸（輸出軸）92a，並生成使車輪86旋轉之動力。

如圖9（B）所示，車軸84的另一端側設置有帶輪94。在馬達92之旋轉軸92a與帶輪94架設有皮帶、鏈條等無端的連結構件（未圖示）。藉由馬達92之旋轉軸92a、帶輪94、及連結構件而構成動力傳遞機構，連結車軸84與馬達92。藉此，馬達92所生成的動力（旋轉力）會傳遞至車輪86，並使車輪86旋轉。

驅動單元90係藉由一對馬達92而獨立控制一對車輪86之旋轉方向。藉由使一對車輪86往同方向旋轉，而使搬送車10前進或後退。又，藉由使一對之車輪86互相往反方向旋轉，而使搬送車10繞沿著高度方向的旋轉軸旋轉，可控制搬送車10之進行方向。此外，車輪86及車輪88之構造並無限制。例如，作為車輪86及車輪88，可使用將斜桶狀（筒狀）之多個旋轉體者安裝於與搬送路徑6接觸之外周面者，亦即麥坎姆輪。

驅動單元90係透過供電用的配線（未圖示）而與供給電力至馬達92等之電池（二次電池）96連接。電池96例如裝設於框架82的前端部，並將用以使車輪86旋轉之電力供給至馬達92。作為電池96，係使用鋰離子電池等。

圖10係表示搬送車10之前端部的放大立體圖。在框架82的前端部的下表面側設置有一對端子（受電端子）100，其等係透過充電用的配線（充電配線）98而與電池96連接。一對端子100例如係與設置於搬送車10之外部之供電用端子連接，並接受使用於將電池96充電之電力的供給。此外，使用端子100將電池96充電的詳細內容係於後續說明。

如圖9（A）及圖9（B）所示，在框架82的下側設置有儲存區域104，其儲存容納被加工物單元17之容器（卡匣）102。儲存區域104係藉由一對車輪86與一對車輪88而被包圍住周圍，且位於比車輪86及車輪88之下端更上方。在此儲存區域104配置有可容納一或多個被加工物單元17之容器102。

圖11（A）係表示容器102的立體圖，圖11（B）係表示容器102的前視圖。容器102例如被形成為俯視呈六角柱狀，在其內部具備可容納被加工物單元17之容納部（容納空間）102a。容納部102a係透過在容器102一側面側開口之狹縫狀的開口102b而與容器102之外部空間連接。被加工物單元17係通過開口102b搬入容納部102a，且通過開口102b從容納部102a搬出。

如圖11（B）所示，容器102例如係以可容納大小不同之2種類的被加工物單元17a及被加工物單元17b之方式而構成。在容器102之容納部102a設置有可保持被加工物單元17a之一對第一導軌106、以及可保持被加工物單元17b之一對第二導軌108。

一對第一導軌106係以預定間隔固定於容納部102a之上壁102c，並具備從下側保持被加工物單元17a的下表面側之保持面106a、以及規定被加工物單元17a的水平方向位置之側面106b。又，一對第二導軌108係以預定間隔固定於容納部102a之底壁102d，並具備從下側保持被加工物單元17b的下表面側之保持面108a。此外，被加工物單元17b之水平方向位置係藉由容器102之內側側面而規定。

一對第一導軌106之間隔係比一對第二導軌108之間隔更狹窄。因此，一對第一導軌106可保持比以第二導軌108保持之被加工物單元17b更小的被加工物單元17a。例如，藉由一對第一導軌106而保持直徑約200mm（8吋）之被加工物11，並藉由一對第二導軌108而保持直徑約300mm（12吋）之被加工物11。

如上述，容器102並非以可容納相同種類（相同大小）之多個被加工物單元17之方式而構成。由此點來看，容器102的功能及用途係與可容納相同種類之多個被加工物單元17之卡匣30的功能及用途非常不同。

但是，容器102及容納部102a之構造並無限制。例如，容納部102a有時係以可收容1或3個以上的被加工物單元17之方式而構成。又，容納部102a亦可以可容納相同種類之多個被加工物單元17之方式而構成。

在藉由搬送車10搬送被加工物單元17時，如圖9（A）所示，容器102儲存於儲存區域104。此時，容器102的下表面定位於比車輪86的下端或車輪88的下端更上方。因此，在搬送車10行進時，容器102不會與搬送路徑6接觸。

在位於儲存區域104上方之框架82的上表面側的區域設置有垂吊容器102並使其升降之升降單元（升降機構）110。升降單元110係使儲存於儲存區域104之容器102下降，並載置於預定的載置區域。又，升降單元110係使載置於預定的載置區域之容器102上升，並將容器102儲存於儲存區域104。

圖12係表示容器102載置於載置區域A之狀態之搬送車10的立體圖。升降單元110具備一端側（下端側）與容器102連接之垂吊構件112、以及進行垂吊構件112之捲取及送出之驅動機構114。此外，載置區域A例如為上下料裝置8之載置台66的上表面（第二載置區域A₂ ，參考圖3）。

如圖12所示，升降單元110具備4條垂吊構件112。作為垂吊構件112，例如使用具有預定寬度之皮帶。4支垂吊構件112的前端部（下端部）分別與容器102的上表面側之4個位置連接。

在容器102儲存於儲存區域104之狀態下，若藉由驅動機構114而送出垂吊構件112，則容器102會下降並載置於載置區域A。又，在容器102載置於載置區域A之狀態下，若藉由驅動機構114而捲取垂吊構件112，則容器102會上升並儲存於儲存區域104。

在使用皮帶作為垂吊構件112之情形中，如圖12所示，較佳為相對於在從容納部102a搬出被加工物單元17時被加工物單元17通過開口102b之方向，以沿著皮帶的寬度方向之方式，預先調整皮帶相對於容器102之方向。容器102因在皮帶寬度方向不易搖晃，故在此態樣中可壓低在容器102升降中被加工物單元17從開口102b飛出的可能性。

此外，皮帶相對於容器102之方向亦可相對於在將被加工物單元17搬入容納部102a時被加工物單元17通過開口102b之方向，以沿著皮帶的寬度方向之方式進行調整。在本實施方式中，係以沿著相對於容器102之包含開口102b的面呈垂直的方向配置皮帶的寬度方向之方式，使皮帶與容器102連接。此外，作為垂吊構件112，亦可使用能捲取及送出之鋼索等皮帶以外之構件。

如圖9（B）所示，在框架82的下表面側設置有與容器102的上表面側接觸之多個接觸構件116。多個接觸構件116分別形成為大致相同高度之柱狀，並以從框架82的下表面往下方突出之方式固定於框架82。若容器102儲存於儲存區域104，則此容器102的上表面側接觸多個接觸構件116的下端部，將各接觸構件116往上方推壓。

接觸構件116例如係藉由若貼壓容器102則會產生彈性變形之彈性構件而形成。亦即，接觸構件116係由彈性體所構成，此彈性體若被儲存於儲存區域104之容器102推壓，則會沿著此容器102的上表面側的形狀而變形，並產生將容器102朝向下方推壓之恢復力。

若接觸構件116使用彈性構件，則例如減緩容器102與接觸構件116接觸時之衝擊，容器102及容器102內之被加工物單元17變得不易破損。又，在搬送車10行進於搬送路徑6時，接觸構件116亦成為緩衝材，使框架82之振動變得不易傳遞至容器102及被加工物單元17。

作為接觸構件116，例如可使用由橡膠（胺甲酸乙酯橡膠、矽氧橡膠等）、海綿等而成的柱狀構件。尤其，藉由使用由與容器102之間作用的摩擦力較大的橡膠所構成之接觸構件116，而可抑制搬送中容器102的位置偏移。此外，接觸構件116不一定要整體皆由彈性構件構成，只要至少接觸構件116之與容器102接觸的區域（下端部）係由彈性構件構成即可。

又，接觸構件116較佳為對於容器102的上表面側接觸3個以上的位置。在本實施方式中，如圖9（B）所示，3個柱狀的接觸構件116設置於框架82。在此情形中，容器102的上表面係沿著包括3個接觸構件116的下端之平面而配置，因此容器102變得難以傾斜。但是，接觸構件116之形狀、數量、配置等條件可任意變更。例如，亦可使互相大致平行配置之一對線狀（帶狀）的接觸構件116設置於框架82。

又，為了使框架82之振動不易傳遞至容器102，容器102亦可透過彈性構件而與垂吊構件112連接。圖13係表示容器102透過彈性構件（伸縮構件）118而與垂吊構件112連接之搬送車10的立體圖。此外，在此情形中，亦可省略接觸構件116。

在垂吊構件112的前端側（下端側）與容器102之間設置有彈性構件118。彈性構件118係在垂吊構件112產生搖動時會沿著垂吊構件112的長度方向伸縮之構件，例如係由橡膠、彈簧等可伸縮的彈性體而成。又，作為彈性構件118，亦可使用伸縮接頭等可伸縮的零件。

在容器102儲存於儲存區域104時，以容器102的上表面側不與框架82及接觸構件116接觸之方式，調整垂吊構件112之捲取量。藉此，例如即使框架82振動，其振動也不會直接傳遞至容器102。又，由框架82透過升降單元110及垂吊構件112傳遞之振動會因彈性構件118之伸縮而緩和，因此不易傳遞至容器102。如此，彈性構件118發揮作為防振材的功能。

但是，在接觸構件116設置於框架82的下表面側之情形中，亦可以使容器102在與接觸構件116接觸之狀態下儲存於儲存區域104之方式，調整垂吊構件112之捲取量。在此情形中，由框架82往容器102之振動的傳遞會因接觸構件116而緩和，且由垂吊構件112往容器102之振動的傳遞會因彈性構件118而緩和。

在框架82的後端部下側設置有蓋120。蓋120在容器102儲存於儲存區域104時，會覆蓋容器102之開口102b（參考圖11（A））。若藉由蓋120覆蓋開口102b，則可防止在搬送車10的行進中異物進入容器102之容納部102a，而防止異物附著於被加工物單元17。

又，即使在搬送車10的行進中容器102傾斜或振動，亦可藉由蓋120防止被加工物單元17從開口102b飛出。此外，蓋120的構造及動作的詳細內容將於後述（參考圖17、圖18（A）、圖18（B））。

在框架82之前端部及後端部設置有一對第一感測器122。亦即，一對第一感測器122係設置於框架82的長度方向（車長方向）上分開的2個位置。又，在框架82的兩側端部設置有一對第二感測器124。亦即，一對第二感測器124設置於框架82的寬度方向（車寬方向）上分開的2個位置。

第一感測器122及第二感測器124分別以與搬送車10行進之搬送路徑6對向之方式裝設，並檢測設置於搬送路徑6之標記。根據由第一感測器122及第二感測器124所進行之標記檢測結果，而控制搬送車10之行進、回旋、停車等。使用第一感測器122及第二感測器124之控制搬送車10的詳細內容將於後述。

設置第一感測器122及第二感測器124之具體位置可因應搬送車10行進之搬送路徑6之規格等而調整。例如，一對第一感測器122分別裝設於框架82之前端部及後端部中且在框架82的寬度方向的中央附近。又，一對第二感測器124分別裝設於框架82之兩側端部中且在框架82的長度方向的中央附近。

此外，一對第二感測器124亦可以於通過一對車輪86之直線上排列之方式固定於框架82。例如，一對第二感測器124係以在框架82的寬度方向夾住一對車輪86之方式設置於一對車輪86的外側。又，一對第二感測器124亦可以在框架82的寬度方向被一對車輪86夾住之方式設置於一對車輪86的內側。

如此，於通過一對車輪86之直線上配置一對第二感測器124，藉此可在車輪86通過一對第二感測器124之檢測對象之標記的同時，藉由一對第二感測器124檢測此標記。因此，若在檢測到此標記之時機使搬送車10回旋或停車，即可不進行任何修正地適當控制搬送車10之行進。

另一方面，在一對第二感測器124從通過一對車輪86的直線離開之情形中，除了檢測標記的時機以外，還可使用一對第二感測器124與一對車輪86（一對車軸84）之間的距離、搬送車10之行進速度等，而控制搬送車10之回旋或停車的時機。

再者，如圖10所示，框架82的前端部設置有檢測搬送車10衝撞到障害物之第三感測器126。例如，在框架82前端部的兩端側裝設有一對第三感測器126。作為第三感測器126，例如使用按鈕式的開關。

若搬送車10的前端部衝撞到障害物，則第三感測器126會動作並檢測搬送車10之衝撞。接著，若藉由第三感測器126檢測到搬送車10之衝撞，則搬送車10會停止動作。此外，只要可檢測搬送車10之衝撞，則第三感測器126之構造及種類並無限制。

搬送車10例如有時藉由可減弱由衝撞等所造成之衝擊的柔軟外裝蓋而覆蓋。在此情形中，若覆蓋搬送車10的前端側之外裝蓋衝撞到障害物，則外裝蓋會變形並與第三感測器126接觸，而檢測搬送車10之衝撞。

如圖9（A）及圖9（B）所示，在升降單元110的上側設置有固定於框架82之板狀的支撐台128。在此支撐台128的上表面固定有控制搬送車10之動作之控制部（控制單元）130。控制部130係與搬送車10之各構成要件（驅動單元90、升降單元110、第一感測器122、第二感測器124、及第三感測器126等）連接，並控制各構成要件之動作。

控制部130例如係藉由包含CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）等處理裝置、DRAM（Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體）等主記憶裝置、以及快閃記憶體等補助記憶裝置的電腦而構成。按照記憶於補助記憶裝置之軟體而使處理裝置等動作，藉此實現控制部130之功能。

又，在支撐台128上固定有接收來自外部之訊號（資訊）並送至控制部130之接收機132、以及將從控制部130接收到之訊號（資訊）發送至外部之發送機134。接收機132與發送機134係分別與控制部130連接。

接收機132例如接收來自搬送系統2之控制單元12發送之訊號並送至控制部130。控制部130例如根據從接收機132接收到之訊號而控制搬送車10之動作。又，控制部130例如生成通知用的訊號並送至發送機134。發送機134例如將從控制部130接收到之訊號發送至搬送系統2之控制單元12（參考圖2）。

此外，搬送車10之各構成要件（升降單元110、第一感測器122、第二感測器124、第三感測器126、控制部130、接收機132、發送機134等）係透過供電用的配線而與電池96連接，並藉由此電池96所供給的電力而動作。

圖14（A）係表示升降單元110之構成例的俯視圖，圖14（B）係表示升降單元110之構成例的側視圖。如上述，升降單元110具備進行多個垂吊構件112之捲取及送出之驅動機構114。驅動機構114包含具有旋轉軸（輸出軸）142a之馬達142。

馬達142係藉由使旋轉軸142a旋轉而生成用於垂吊構件112之捲取及送出的動力。在將此馬達142夾於其間之2個位置設置有互相大致平行配置之第一旋轉軸（第一軸）144a與第二旋轉軸（第二軸）144b。

在第一旋轉軸144a的一端側設置有帶輪146。在馬達142之旋轉軸142a與帶輪146架設有皮帶、鏈條等無端的連結構件148。藉由馬達142之旋轉軸142a、帶輪146、及連結構件148而構成動力傳遞機構，使馬達142與第一旋轉軸144a連結。另一方面，在第二旋轉軸144b的一端側未設置用以實現與馬達142連結之帶輪等。

在第一旋轉軸144a的另一端側設置有帶輪150a，在第二旋轉軸144b的另一端側設置有與帶輪150a同徑之帶輪150b。在帶輪150a與帶輪150b架設有皮帶、鏈條等無端的連結構件152。藉由帶輪150a、帶輪150b、及連結構件152而構成動力傳遞機構，使第一旋轉軸144a與第二旋轉軸144b連結。

在第一旋轉軸144a的兩端部分別固定有捲繞垂吊構件112之圓柱狀的捲筒154a。又，在比各捲筒154a更外側（馬達142之相反側）且比各捲筒154a更下方之2個位置分別以可旋轉之方式配置有支撐垂吊構件112之圓柱狀的輥156a。各輥156a之旋轉軸係與第一旋轉軸144a大致平行。

另一方面，在第二旋轉軸144b的兩端部分別固定有捲繞垂吊構件112之圓柱狀的捲筒154b。又，在比各捲筒154b更外側（馬達142之相反側）且比各捲筒154b更下方之2個位置分別以可旋轉之方式配置有支撐垂吊構件112之圓柱狀的輥156b。各輥156b之旋轉軸係與第二旋轉軸144b大致平行。

於捲筒154a及捲筒154b分別固定有垂吊構件112之基端側。固定於捲筒154a之垂吊構件112係在與輥156a的外側部分接觸之狀態下垂下於下方。又，固定於捲筒154b之垂吊構件112係在與輥156b的外側部分接觸之狀態下垂下於下方。

此外，如圖14（B）所示，固定於捲筒154a之垂吊構件112係通過捲筒154a的上側而支撐於輥156a。另一方面，固定於捲筒154b之垂吊構件112係通過捲筒154b的下側而支撐於輥156b。

若使馬達142之旋轉軸142a往第一方向（圖14（B）中由箭頭C₁ 所示的方向）旋轉，則固定於第一旋轉軸144a之捲筒154a會往送出垂吊構件112的方向（圖14（B）中由箭頭C₂ 所示的方向）旋轉。藉此，使垂吊構件112從捲筒154a透過輥156a而送出。

又，第一旋轉軸144a之扭矩係藉由連結構件152而傳遞至第二旋轉軸144b，固定於第二旋轉軸144b之捲筒154b係往送出垂吊構件112的方向（圖14（B）中由箭頭C₃ 所示的方向）旋轉。藉此，使垂吊構件112從捲筒154b透過輥156b而送出。

另一方面，若使馬達142之旋轉軸142a於與第一方向為反方向之第二方向（圖14（B）中由箭頭D₁ 所示的方向）旋轉，則固定於第一旋轉軸144a之捲筒154a會往捲取垂吊構件112的方向（圖14（B）中由箭頭D₂ 所示的方向）旋轉。藉此，使垂吊構件112透過輥156a而捲取於捲筒154a。

又，第一旋轉軸144a之扭矩係藉由連結構件152而傳遞至第二旋轉軸144b，固定於第二旋轉軸144b之捲筒154b係往捲取垂吊構件112的方向（圖14（B）中由箭頭D₃ 所示的方向）旋轉。藉此，使垂吊構件112透過輥156b而捲取於捲筒154b。

若從驅動機構114送出各垂吊構件112，則與垂吊構件112的前端側連接之容器102會下降。藉此，可將容器102載置於載置區域A（參考圖12）。又，若藉由驅動機構114捲取各垂吊構件112，則與垂吊構件112的前端側連接之容器102會上升。藉此，可將容器102儲存於搬送車10之儲存區域104（參考圖9（A））。

此外，也可使用裝配有構造與上述的驅動機構114不同之其他驅動機構之升降單元110。圖15（A）係表示升降單元110之其他構成例的俯視圖，圖15（B）係表示升降單元110之其他構成例的側視圖。在圖15（A）及圖15（B）所示之升降單元110中，取代上述的驅動機構114而裝配驅動機構162。

驅動機構162包含具備旋轉軸（輸出軸）164a之馬達164、互相大致平行配置之第一旋轉軸（第一軸）166a、第二旋轉軸（第二軸）166b、及第三旋轉軸（第三軸）166c。第一旋轉軸166a係配置於第二旋轉軸166b與第三旋轉軸166c之間。

馬達164例如配置於第一旋轉軸166a與第二旋轉軸166b之間，藉由使旋轉軸164a旋轉而生成用於垂吊構件112之捲取及送出的動力。但是，馬達164也可配置於第一旋轉軸166a與第三旋轉軸166c之間。

在第一旋轉軸166a之一端側設置有帶輪168。在馬達164之旋轉軸164a與帶輪168架設有皮帶、鏈條等無端的連結構件170。藉由馬達164之旋轉軸164a、帶輪168、及連結構件170而構成動力傳遞機構，使馬達164與第一旋轉軸166a連結。

在第一旋轉軸166a固定有捲繞垂吊構件112之多個圓柱狀的捲筒172。具體而言，在第一旋轉軸166a之兩端部固定有一對捲筒172。在各捲筒172固定有2條垂吊構件112，且於相同方向捲繞。

圖16（A）係表示捲筒172的俯視圖，圖16（B）係表示捲筒172的側視圖。升降單元110具備用以將垂吊構件112固定於捲筒172之圓柱狀的固定構件174，2條垂吊構件112係藉由此固定構件174而一起固定於捲筒172。

如圖16（B）所示，在捲筒172的外周部的一部分設置有沿著捲筒172之旋轉軸（亦即第一旋轉軸166a）的槽（凹部）172a。槽172a的內表面形成為曲面狀。又，槽172a的兩端到達捲筒172之旋轉軸方向的兩端。2條垂吊構件112係以基端部與此槽172a重疊之方式配置於相同方向。

固定構件174具有與槽172a之內表面形狀對應之曲面狀的外周面。固定構件174係在以2條垂吊構件112的基端部與槽172a重疊之方式配置之狀態下，以將此2條垂吊構件112的基端部往槽172a的內表面推壓之方式嵌入槽172a。藉此，2條垂吊構件112的基端部被槽172a之內表面及固定構件174之外周面夾住，而固定於捲筒172。

此外，如圖16（A）所示，在捲筒172的外周部，以將固定於捲筒172之2條垂吊構件112於其寬度方向夾住之方式設置有一對突起（凸部）172b。一對突起172b係發揮作為防止垂吊構件112之寬度方向位置偏移之導件的功能。藉由使如此所構成之捲筒172旋轉，而可捲取2條垂吊構件112、或送出2條垂吊構件112。

如圖15（A）及圖15（B）所示，固定於捲筒172之2條垂吊構件112之一者係在與第二旋轉軸166b接觸之狀態下垂下於下方。又，固定於捲筒172之2條垂吊構件112之另一者係在與第三旋轉軸166c接觸之狀態下垂下於下方。

第二旋轉軸166b及第三旋轉軸166c分別在可按照從外部賦予的力而容易旋轉之狀態下被支撐，且外周面與垂吊構件112接觸。在第二旋轉軸166b及第三旋轉軸166c之與垂吊構件112接觸的區域兩側設置有防止垂吊構件112之寬度方向位置偏移之一對導件176。

若使馬達164之旋轉軸164a往第一方向（圖15（B）中由箭頭E₁ 所示的方向）旋轉，則捲筒172會往送出垂吊構件112的方向（圖15（B）及圖16（B）中由箭頭E₂ 所示的方向）旋轉。藉此，2條垂吊構件112係從捲筒172透過第二旋轉軸166b與第三旋轉軸166c而送出，其結果使與垂吊構件112連接之容器102下降。

另一方面，若使馬達164之旋轉軸164a往與第一方向為反方向之第二方向（圖15（B）中由箭頭F₁ 所示的方向）旋轉，則捲筒172會往捲取垂吊構件112的方向（圖15（B）及圖16（B）中由箭頭F₂ 所示的方向）旋轉。藉此，2條垂吊構件112係透過第二旋轉軸166b與第三旋轉軸166c而捲繞於捲筒172，其結果使與垂吊構件112連接之容器102上升。

如上述，圖15（A）所示的驅動機構162係於第一旋轉軸166a固定2個捲筒172，且於2個捲筒172的每一個固定2條垂吊構件112。因此，藉由第一旋轉軸166a之旋轉而控制4條垂吊構件112之送出及捲取。藉此，可減少構成驅動機構114之零件數量，可謀求搬送車10的輕量化、故障可能性的降低、成本的減少。

藉由使用如上述般的升降單元110，可使容納有被加工物單元17之容器102在儲存區域104與比此儲存區域104更下方之載置區域A之間升降。升降單元110之細部能夠在可適當升降容器102的範圍內變更。

此外，第二旋轉軸166b及第三旋轉軸166c亦可在不旋轉之狀態下被固定。在此情形中，垂吊構件112係一邊以在第二旋轉軸166b或第三旋轉軸166c之外周面滑動之方式移動，一邊從捲筒172送出或捲繞於捲筒172。

圖17係表示蓋120的放大立體圖。蓋120係以與儲存於儲存區域104之容器102的一側面（後部）對向之方式配置於框架82的下表面側的後端部。此蓋120包含蓋部182，其以可相對於框架82旋轉之方式與框架82連結。蓋部182形成為可覆蓋容器102之開口102b（參考圖18（B））之形狀及大小。又，在蓋部182的上部係以與容器102的上表面側接觸之方式固定有多個接觸部184。

若容器102朝儲存區域104上升，則容器102的上表面側會接觸接觸部184的下端部並頂起接觸部184。藉此，蓋部182往接近容器102的方向移動（旋轉），容器102之開口102b被蓋部182覆蓋。

圖18（A）係表示容器102未儲存於儲存區域104之狀態之蓋120的側視圖，圖18（B）係表示容器102儲存於儲存區域104之狀態之蓋120的側視圖。在框架82的下表面固定有固定塊186。在固定塊186上以可旋轉之態樣連結有連結塊（L字塊）188，所述連結塊（L字塊）188係由框架82的寬度方向（車寬方向）所見的形狀為L字狀。

連結塊188包含上方（框架82側）之連結部188a、以及比連結部188a更下方之固定部188b。在連結部188a設置有在框架82的寬度方向貫通之貫通孔，在此貫通孔插入有固定於固定塊186之連結軸190。藉此，連結塊188係在可繞連結軸190旋轉之狀態下與固定塊186連結。

在固定部188b之儲存區域104側（前側）固定有蓋部182。此外，插入貫通孔之連結軸190係與框架82的寬度方向大致平行，因此蓋部182會與連結塊188一起沿著與框架82的寬度方向大致垂直的面旋轉。

蓋部182具備固定於連結塊188之固定部188b之板狀構件182a。在板狀構件182a之儲存區域104側（前側）之面設置有柔軟構件182b。柔軟構件182b被形成為可覆蓋容器102之開口102b整體之形狀及大小。

又，在板狀構件182a之儲存區域104側（前側）配置有接觸部184。接觸部184例如包含在比柔軟構件182b更上方且固定於板狀構件182a之固定構件184a、以及支撐於固定構件184a之儲存區域104側（前側）的一部分之輥184b。

輥184b例如藉由橡膠等彈性構件而形成，以可繞與框架82的寬度方向大致平行之旋轉軸旋轉之方式支撐於固定構件184a。又，輥184b的下端定位於比固定構件184a的下端更下方。因此，在容器102的上表面側與輥184b接觸之狀態下，配合蓋部182之旋轉此輥184b亦旋轉。

例如，若容器102朝儲存區域104上升，則容器102的上表面側與接觸部184之輥184b接觸並頂起此接觸部184。如此一來，蓋120係以連結軸190為中心，其下端側往靠近容器102的方向（圖18（B）中由箭頭G所示的方向）旋轉，板狀構件182a之儲存區域104側（前側）的面變得與框架82的下表面大致平行。接著，蓋部182之柔軟構件182b會與容器102之一側面（後部）接觸，並塞住開口102b。

此外，在儲存於儲存區域104之容器102之開口102b一直露出之情形中，灰塵等異物有可能進入容器102之容納部102a。尤其，在搬送車10之行進中，會因由搬送路徑6與車輪88的摩擦所產生的靜電，而例如在設置有搬送路徑6的無塵室內，稍許存在的異物會被吸引至搬送車10，且很可能進入容納部102a。

因此，在本實施方式中，若於儲存區域104儲存容器102，則藉由蓋120覆蓋容器102之開口102b，在搬送車10的行進中，異物不會進入容器102之容納部102a。又，在搬送車10的行進中，即使容器102傾斜或震動，被加工物單元17也不會從容器102飛出。

另一方面，藉由升降單元110使容器102升降的期間，不會因搬送路徑6與車輪88的摩擦產生靜電，又，亦不會因搬送車10之移動而捲起異物。因此，在容器102之升降中，即使不覆蓋容器102之開口102b，異物進入容納部102a的可能性也較低。

又，在與蓋120之開口102b對應的區域設置有柔軟構件182b。柔軟構件182b例如若與容納於容器102之被加工物單元17衝撞則會變形，緩和作用於此被加工物單元17的衝擊。亦即，柔軟構件182b發揮作為緩衝材的功能。藉由此柔軟構件182b，被加工物單元17所含之被加工物11變得不易破損。

柔軟構件182b之材質及構造等並無限制。例如，只要使用可將衝擊緩和至被加工物單元17之被加工物11不會破損的程度之柔軟構件182b即可。更具體而言，作為柔軟構件182b，可使用由海綿、橡膠、綿、布等而成的構件、或發泡苯乙烯、氣泡緩衝材等。

尤其，海綿因柔軟且易變形，故若使用海綿作為柔軟構件182b，則可有效地緩和作用於被加工物單元17的衝擊。又，若使用海綿作為柔軟構件182b，則柔軟構件182b會沿著容器102的側面形狀適當變形，而確實地塞住開口102b。

如圖18（A）所示，蓋120的各部分的重量被調整成在使容器102從儲存區域104下降時，蓋120會因自身重量而其下端部往遠離儲存區域104的方向（與圖18（B）中由箭頭G所示的方向呈相反之方向）旋轉。因此，在容器102未儲存於儲存區域104之狀態下，板狀構件182a之儲存區域104側（前側）的面會相對於框架82的下表面傾斜。

此外，蓋120的數量及配置並無限制。例如，除了框架82的後端部以外，也可在框架82的前端部設置與容器102的側面接觸之蓋120。在此情形中，若容器102儲存於儲存區域104，則藉由一對蓋120夾住容器102之2個側面（前部及後部）。藉此，抑制容器102的搖動（振動）。此外，在此情形中，特別容易抑制在框架82的長度方向（前後方向）上之容器102的搖動（振動）。

再者，在框架82之前端部、後端部、及兩側端部分別可設置蓋120。在此情形中，儲存於儲存區域104之容器102的4個側面（前部、後部、兩側部）分別與蓋120接觸。藉此，抑制容器102的搖動（振動）。此外，在此情形中，特別容易抑制在框架82的長度方向（前後方向）及寬度方向上之容器102的搖動（振動）。

在容器102升降時，藉由控制部130控制升降單元110之馬達142等的旋轉。圖19（A）係表示儲存於儲存區域104之容器102載置於載置區域A時之搬送車10的側視圖。在容器102載置於載置區域A時，以從驅動機構114以任意速度送出垂吊構件112之方式，控制馬達142之旋轉方向及轉數。例如，控制部130係以維持馬達142的轉數之方式控制馬達142之電流值。

圖19（B）係表示容器102下降時的馬達142之電流值的圖表。若容器102下降到達載置區域A，則在載置區域A由下側支撐容器102。其結果，作用於馬達142之旋轉軸142a的負荷變弱，馬達142之電流值減少。

控制部130係根據容器102載置於載置區域A時的馬達142之電流值變化，而使馬達142之旋轉停止。例如，在控制部130中預先記憶預定的臨界值，且控制部130會比較此臨界值與馬達142之電流值。接著，在馬達142之電流值為臨界值以下之情形（或小於臨界值之情形）中，控制部130使馬達142之旋轉停止。藉此，結束往載置區域A載置容器102。

圖20（A）係表示載置於載置區域A之容器102儲存於儲存區域104時之搬送車10的側視圖。在將容器102儲存於儲存區域104時，以藉由驅動機構114以任意速度捲取垂吊構件112之方式，而控制馬達142之旋轉方向及轉數。例如，控制部130係以維持馬達142的轉數之方式控制馬達142之電流值。

圖20（B）係表示容器102上升時的馬達142之電流值的圖表。若容器102上升且到達儲存區域104，則容器102會推抵設置於框架82的下表面側之多個接觸構件116。其結果，作用於馬達142之旋轉軸142a的負荷變強，馬達142之電流值增加。

控制部130係根據容器102與接觸構件116接觸時的馬達142之電流值變化，而使馬達142之旋轉停止。例如，在控制部130中預先記憶預定的臨界值，且控制部130會比較此臨界值與馬達142之電流值。接著，在馬達142之電流值為臨界值以上之情形（或大於臨界值之情形），控制部130使馬達142之旋轉停止。藉此，結束往儲存區域104儲存容器102。

如上述，在根據馬達142之電流值而控制使容器102升降時的馬達142之動作之情形中，無需將用以檢測容器102之感測器設置於儲存區域104或載置區域A。藉此，簡化搬送車10及載置區域A等的構造。又，亦可降低搬送車10之重量。

但是，馬達142之控制方法並無限制。例如，在框架82的下表面側或載置區域A的上表面側亦可設置用以檢測已配置容器102之感測器（按鈕式的開關等）。在此情形中，若藉由感測器檢測到容器102，則控制部130使馬達142之旋轉停止。此外，亦可併用由感測器所進行之檢測與由馬達142的電流值所進行之檢測。

此外，在僅於載置區域A側（例如，上下料裝置8側）檢測到已於載置區域A載置容器102之情形中，搬送系統2之控制單元12（參考圖2）係在從載置區域A側通知容器102已載置於載置區域A後，以使馬達142之旋轉停止之方式對搬送車10發出指示。接著，搬送車10之控制部130使馬達142之旋轉停止。

相對於此，如上述，在搬送車10側檢測到已於載置區域A載置容器102之情形中，搬送車10之控制部130不等待來自搬送系統2之控制單元12的指示，而自行判斷使馬達142之旋轉停止。藉此，可減少從容器102載置於載置區域A起至使馬達142之旋轉停止為止的時滯。

又，容器102之升降速度可不一定為固定。例如，在容器102正要載置於載置區域A之前或在正要儲存於儲存區域104之前，可降低馬達142的轉數並使容器102減速。藉此，可緩和容器102接觸載置區域A或接觸構件116時之衝擊。此外，在此情形中，控制部130例如只要根據馬達142之旋轉量等而監視容器102之高度即可。

若容器102載置於載置區域A，則控制部130生成用以通知容器102已載置完成之旨意之訊號，並從發送機134發送至搬送系統2之控制單元12。又，若容器102儲存於儲存區域104，則控制部130生成用以通知容器102已儲存完成之旨意之訊號，並從發送機134發送至搬送系統2之控制單元12（參考圖2）。此外，此等訊號也可送至加工裝置4。

圖21係表示加工裝置4及搬送路徑6之外觀的立體圖，圖22係表示加工裝置4之內部構造的立體圖。此外，圖21中以功能方塊表示部分的構成要件。如圖21及圖22所示，加工裝置4具備支撐各構成要件之基台202。

在基台202之角部形成有凹部202a，此凹部202a配置有藉由升降機構（未圖示）而升降之升降台204。升降台204的上表面之載置區域A載置有上述的搬送車10之容器102。此外，在升降台204的上表面設置有規定容器102之水平方向位置之多個位置規定構件（未圖示），從搬送車10降下之容器102係載置於由多個位置規定構件所決定之載置區域A。

各位置規定構件例如具備使降下之容器102朝載置區域A導引之曲面狀的導件面，並固定於與升降台204上之容器102的側面對應的位置。使容器102朝升降台204下降時，藉由各位置規定構件之導引面而導引容器102。因此，即使容器102在水平方向擺動，也可將容器102載置於載置區域A。

例如，在比升降台204之載置區域A更下方的區域形成有可暫時容納加工後的被加工物單元17之容納區域。在直至搬送車10對於容器102的搬送的準備完成為止的期間，以加工裝置4加工後之被加工物單元17係容納於此容納區域。此外，在比升降台204之載置區域A更下方的區域內，除了容納區域以外，亦配置有照射紫外線之照射單元、檢測缺口位置之檢測單元、以及讀取條碼等之讀取單元等。

在凹部202a之側邊形成有於X₂ 軸方向（前後方向，加工進給方向）較長之凹部202b。在凹部202b內配置有使X軸移動工作台（未圖示）在X₂ 軸方向移動之滾珠螺桿式的X軸移動機構（加工進給單元）206。在X軸移動工作台的上方配置有工作台蓋206a。又，在工作台蓋206a的前後安裝有蛇腹狀的防塵防滴蓋206b。

在X軸移動工作台的上部，以從工作台蓋206a露出之態樣配置保持被加工物11之卡盤台208。卡盤台208係與馬達等旋轉驅動源（未圖示）連結，並繞與Z₂ 軸方向（垂直方向，切入進給方向）大致平行之旋轉軸旋轉。又，卡盤台208係藉由上述的X軸移動機構206而於X₂ 軸方向移動（加工進給）。

卡盤台208的上表面成為用以透過膠膜13保持被加工物11之保持面208a。保持面208a係透過形成於卡盤台208的內部之吸引路徑（未圖示）等而與吸取源（未圖示）連接。又，在卡盤台208之周圍設置有4個夾具210，其用以從四方固定支撐被加工物11之框架15。

在凹部202b的上方設置有一對導軌212，其等一邊維持著與Y₂ 軸方向（左右方向，分度進給方向）平行之狀態，一邊接近、分開。一對導軌212分別具備從下方支撐框架15之支撐面、以及與支撐面大致垂直之側面，使從載置區域A之容器102拉出的被加工物單元17（框架15）在X₂ 軸方向夾入並對準預定位置。

在基台202的上方，門型的第一支撐構造214係以跨越凹部202b之方式配置。第一支撐構造214的前表面（導軌212側的面）固定有沿著Y₂ 軸方向之第一滑軌216，此第一滑軌216係透過第一移動機構218等而與第一保持單元220連結。

第一保持單元220例如與框架15的上表面接觸並吸附此框架15，且藉由第一移動機構218升降，並沿著第一滑軌216在Y₂ 軸方向移動。在第一保持單元220之升降台204側設置有用以握持框架15之握持機構220a。

例如，若以握持機構220a握持框架15並使第一保持單元220在Y₂ 軸方向移動，則可從載置區域A之容器102將被加工物單元17拉出至一對導軌212，或可將一對導軌212上之被加工物單元17插入載置區域A之容器102。此外，在以一對導軌212對準框架15的位置後，以第一保持單元220吸附此框架15，並將被加工物單元17搬入卡盤台208。

又，在第一支撐構造214的前表面，沿著Y₂ 軸方向之第二滑軌222係固定於第一滑軌216的上方。此第二滑軌222係透過第二移動機構224等而與第二保持單元226連結。第二保持單元226例如與框架15的上表面接觸並吸附此框架15，且藉由第二移動機構224而升降，並沿著第二滑軌222在Y₂ 軸方向移動。

在第一支撐構造214的後方配置有門型的第二支撐構造228。在第二支撐構造228的前表面（第一支撐構造214側的面）分別透過Y軸Z軸移動機構（分度進給單元、切入進給單元）230設置有2組加工單元（切削單元）232。各加工單元232係藉由對應之Y軸Z軸移動機構230而在Y₂ 軸方向移動（分度進給），並在Z₂ 軸方向移動（切入進給）。

各加工單元232具備主軸（未圖示），其成為與Y₂ 軸方向大致平行之旋轉軸。在各主軸的一端側裝設有圓環狀的切割刀片234。各主軸的另一端側係與馬達等旋轉驅動源（未圖示）連結。又，在切割刀片234的附近配置有用以將純水等切削液供給至被加工物11及切割刀片234之噴嘴。

一邊從此噴嘴供給切削液，一邊使旋轉之切割刀片234切入保持於卡盤台208之被加工物11，藉此可加工（切削）被加工物11。在與加工單元232相鄰的位置設置有用以拍攝保持於卡盤台208之被加工物11等的攝像單元（攝影機）236。此攝像單元236也藉由Y軸Z軸移動機構230而在Y₂ 軸方向移動，並在Z₂ 軸方向移動。

相對於凹部202b在與升降台204相反側的位置配置有清洗單元238。清洗單元238具備在筒狀清洗空間內保持被加工物11之旋轉台240。旋轉台240的下部係與使旋轉台240以預定速度旋轉之旋轉驅動源（未圖示）連結。

在旋轉台240的上方配置有噴射噴嘴242，其朝藉由旋轉台240保持之被加工物11噴射清洗用的流體（具代表性的是混合水與空氣之混合流體）。使保持被加工物11之旋轉台240旋轉，並從噴射噴嘴242噴射清洗用的流體，藉此可清洗被加工物11。

在以加工單元232切削被加工物11後，例如以第二保持單元226吸附框架15，並將被加工物單元17搬入清洗單元238。在以清洗單元238清洗被加工物11後，例如以第一保持單元220吸附框架15，並將被加工物單元17載置於一對導軌212，其後以握持機構220a握持此框架15，並將被加工物單元17容納於載置區域A之容器102。

如圖21所示，基台202的上表面側被蓋244覆蓋，上述各構成要件係容納於蓋244的內側。在凹部202a的正上方的區域設置上下貫通蓋244之天花板244a的開口（未圖示）。搬送車10之容器102係通過此開口而從蓋244的外部往內部移動，並通過此開口而從蓋244的內部往外部移動。開口之形狀及大小並無限制，但此開口需構成為至少可通過容器102。

上述加工裝置4之各構成要件係與控制裝置246連接。控制裝置246例如係藉由包含CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）等處理裝置、DRAM（Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體）等主記憶裝置、及快閃記憶體等補助記憶裝置的電腦而構成。按照記憶於補助記憶裝置之軟體使處理裝置等動作，藉此實現控制裝置246之功能。

控制裝置246進一步與接收來自外部之訊號（資訊）並送至控制裝置246之接收機248、及將從控制裝置246接收到之訊號（資訊）發送至外部之發送機250。接收機248例如接收從搬送系統2之控制單元12發送的訊號（控制訊號）並送至控制裝置246。

控制裝置246例如根據從接收機248接收到的訊號而控制加工裝置4之各構成要件之動作。又，控制裝置246例如生成通知用的訊號並送至發送機250。發送機250例如將從控制裝置246接收到的訊號發送至搬送系統2之控制單元12。

在基台202之側壁設置有與各種配管21連接之配管連接部202c。又，在蓋244之側壁設置有在維修等時會開閉之門244b。此外，在蓋244之側壁亦可設置輸入對於控制裝置246之指示等的操作面板（未圖示）、或顯示與加工裝置4相關之各種資訊的顯示器（未圖示）等。

此加工裝置4係與本實施方式之搬送系統2連動並動作。例如，搬送車10在搬送路徑6上之停車區域停車，將容納有被加工物單元17之容器102載置於加工裝置4之升降台204的上表面（載置區域A）。若於升降台204載置容器102，則搬送車10之控制部130生成用以通知其旨意之訊號並發送至發送機134。此訊號係從發送機134發送至搬送系統2之控制單元12。

控制單元12係根據從搬送車10之發送機134發送的訊號而生成用以將旨意指示加工裝置4之訊號，所述旨意為從容器102搬出加工前的被加工物單元17，並將加工後的被加工物單元17搬入容器102。若加工裝置4之接收機248接收來自控制單元12之訊號，且控制裝置246接受到根據此訊號之指示，則控制裝置246從載置於升降台204的上表面（載置區域A）之容器102將加工前的被加工物單元17搬出至第一保持單元220。藉此，被加工物單元17被拉出至一對導軌212，並開始加工被加工物11。

例如，若開始加工被加工物11，則控制裝置246調整升降台204之高度，從設置於載置區域A下方之容納區域將加工後的被加工物單元17拉出至一對導軌212。接著，將一對導軌212上之加工後的被加工物單元17容納於升降台204上之容器102。

若加工後的被加工物單元17容納於容器102，則加工裝置4之控制裝置246生成用以通知其旨意之訊號，並從發送機250發送至搬送系統2之控制單元12。控制單元12係根據從加工裝置4之發送機250發送的訊號而生成用以將旨意指示搬送車10之訊號，所述旨意為朝向下一個目的地。

若搬送車10之接收機132接收來自控制單元12之訊號，且控制部130接受到根據此訊號之指示，則控制部130係使搬送車10朝向下一個目的地行進。如此，藉由利用搬送系統2，加工裝置4可適時接受加工前的被加工物單元17並適時回收加工後的被加工物單元17。

如圖1或圖21等所示，構成搬送系統2之搬送路徑6係設置於各加工裝置4所分別具備之蓋244之天花板244a的上表面側、或上下料裝置8所具備之框體22之天花板22a的上表面側等。亦即，搬送路徑6係以連接多個加工裝置4或上下料裝置8等之間的方式配置於加工裝置4或上下料裝置8等的正上方。

因此，搬送路徑6不會干擾設置於加工裝置4的側面之配管連接部202c及門244b等構造。亦即，在設計搬送路徑6時，無需考慮加工裝置4之側面構造。藉此，可容易地構築搬送系統2。又，因在比工廠的天花板等更低處配置搬送路徑6，故搬送路徑6之設置作業亦變得容易。

接著，例如在已設置多個加工裝置4等之環境構築搬送路徑6之情形中，無需如在工廠的天花板等設置搬送路徑之情形般使加工裝置4等移動以確保作業空間。再者，因已設置之加工裝置4等會成為搬送路徑6之底座，故相較於新設置底座之情形等，作業時間亦變少。

圖23係表示設置於加工裝置4之搬送路徑6之一部分的立體圖。又此外，設置於上下料裝置8的上方之搬送路徑6的構造等係與設置於加工裝置4的上方之搬送路徑6的構造等大致相同。在多個加工裝置4之天花板244a或上下料裝置8之天花板22a等係藉由螺絲或螺栓等而固定下段框架262。

下段框架262例如為以包含鋁等金屬之材料所形成之棒狀的框架構件的複合體，例如被組裝成連接相鄰之加工裝置4或上下料裝置8之間的形狀。藉由對於各加工裝置4之天花板244a或上下料裝置8之天花板22a等固定此下段框架262，而形成搬送路徑6之底座。

此外，在對於各加工裝置4或上下料裝置8等固定下段框架262時，以下段框架262的上表面成為大致水平且下段框架262的上表面的高度成為大致相等之方式，調整下段框架262相對於各加工裝置4或上下料裝置8等之高度。

藉此，即使在各加工裝置4之天花板244a或上下料裝置8之天花板22a等的高度未完全相等之情形，亦可形成水平且相同高度之搬送路徑6。調整下段框架262相對於加工裝置4或上下料裝置8等之高度的方法並無限制，但例如可使用在各加工裝置4之天花板244a或上下料裝置8之天花板22a等與下段框架262的下表面之間配置高度調整用的構件之方法。

當然也可調整加工裝置4或上下料裝置8之高度。例如，在加工裝置4或上下料裝置8之下端部（腳部）設置高度調整用的調整機構。因此，若使用此調整機構調整加工裝置4或上下料裝置8之高度，使各加工裝置4之天花板244a或上下料裝置8之天花板22a等的高度相等，則可實現適合作為搬送路徑6之底座的下段框架262。

在下段框架262的上表面側係藉由螺絲或螺栓等固定上段框架264。上段框架264例如係以包含鋁等金屬之材料所構成之棒狀的框架構件的複合體，且以可適當固定搬送路徑6之方式被組裝成配合搬送路徑6的配置等之形狀。

在上段框架264的上方設置有搬送路徑6。搬送路徑6例如係藉由在水平方向排列平板狀之多個路面板266而形成。如此，藉由組合多個路面板266並形成搬送路徑6，而容易實現因應多個加工裝置4或上下料裝置8的配置等之各種搬送路徑6。

路面板266例如使用聚醯胺或聚碳酸酯、CFRP（Carbon Fiber Reinforced Plastic：碳纖維強化塑膠）等輕量且高強度之材料而形成為俯視呈矩形狀，且具有適合搬送車10行進之平坦的上表面。又，在路面板266的端部形成有上下貫通此路面板266之貫通孔。

另一方面，在上段框架264的上表面側，在與路面板266之貫通孔對應的位置開口螺絲孔（未圖示），所述螺絲孔具有與螺絲268之直徑對應之直徑。因此，若在上段框架264的上表面側配置路面板266，再通過其貫通孔（未圖示）而將螺絲268鎖入上段框架264之螺絲孔，則可將路面板266固定於上段框架264。

下段框架262例如係藉由組合分別包含多個棒狀的框架構件之多個下段框架單元270而形成。同樣地，上段框架264例如係藉由組合分別包含多個棒狀的框架構件之多個上段框架單元272而形成。

如此，在使用多個下段框架單元270形成下段框架262，且使用多個上段框架單元272形成上段框架264之情形中，對於設置有加工裝置4之工廠等，可以下段框架單元270及上段框架單元272之形態運入框架構件。

亦即，使用在穩定環境生產之高品質的下段框架單元270及上段框架單元272，而形成高品質的下段框架262及上段框架264。又，亦不會產生如在加工裝置4的上方連結棒狀的框架構件之情形般的繁雜作業。因此，可在短期間內形成高品質的搬送路徑6。

圖24（A）係表示構成下段框架262之下段框架單元270a的立體圖，圖24（B）係表示構成下段框架262之下段框架單元270b的立體圖。例如，配合搬送路徑6之態樣而選擇性使用下段框架單元270a與下段框架單元270b。

圖25係表示構成下段框架262之下段框架單元270之配置的俯視圖。圖25中表示形成可在合計8台的裝置（加工裝置4或上下料裝置8等）之間搬送被加工物單元17之搬送路徑6的情形。例如，在對應於扣除搬送路徑6的角部之部分的區域（搬送路徑6之直線狀的區域）使用下段框架單元270a，在對應於搬送路徑6之角部的區域使用下段框架單元270b。

此外，在圖25之下段框架262係合併使用反轉下段框架單元270a之構造的下段框架單元270c、以及反轉下段框架單元270b之構造的下段框架單元270d。亦即，在圖25之下段框架262，4種類之下段框架單元270係分別各使用2個。各下段框架單元270係以棒狀的框架構件不與形成於搬送路徑6之開口282（參考圖28，相當於圖3之開口6a）重疊之方式而構成。

在形成下段框架262時，例如可將下段框架單元270固定於加工裝置4或上下料裝置8等後，將相鄰之下段框架單元270互相連結。在相鄰之下段框架單元270之連結中，例如使用接頭。但是，亦可在連結下段框架單元270後，再固定於加工裝置4或上下料裝置8等。

圖26（A）係表示構成上段框架264之上段框架單元272a的立體圖，圖26（B）係表示構成上段框架264之上段框架單元272b的立體圖。例如，配合搬送路徑6之態樣而選擇性使用上段框架單元272a與上段框架單元272b。

圖27係表示構成上段框架264之上段框架單元272之配置的俯視圖。圖27中表示使用圖25之下段框架262構成搬送路徑6的情形。例如，在連繫相鄰之加工裝置4或上下料裝置8等的區域的一部分使用上段框架單元272a，在加工裝置4或上下料裝置8之正上方的區域使用上段框架單元272b。

亦即，在圖27之上段框架264使用2個上段框架單元272a、及8個上段框架單元272b。各上段框架單元272係以棒狀的框架構件不與形成於搬送路徑6之開口282（參考圖28）重疊之方式而構成。

在形成上段框架264時，例如相對於下段框架262而固定上段框架單元272。此外，相鄰之2個上段框架單元272亦可互相不連結而分離。又，視需要可使用反轉上段框架單元272a之構造的上段框架單元272、或反轉上段框架單元272b之構造的上段框架單元272。

圖28係示意性表示排列多個路面板266所構成之搬送路徑6的俯視圖。圖28中表示使用圖25之下段框架262及圖27之上段框架264構成搬送路徑6的情形。又，圖28中以虛線表示相鄰之路面板266的邊界。

在形成搬送路徑6時，例如對於上段框架264固定路面板266。此外，在圖27之上段框架264，例如在相鄰之上段框架單元272a與上段框架單元272b之間形成小間隙，並在相鄰之2個上段框架單元272b之間形成大間隙。因此，僅在俯視呈矩形狀之路面板266無法於與此間隙對應之部分形成搬送路徑6。亦即，搬送路徑6也會形成有間隙。

因此，使用平板狀的架橋板274a與平板狀的架橋板274b以填補此等間隙。在相鄰之上段框架單元272a與上段框架單元272b之間的小間隙配置小的架橋板274a。在相鄰之2個上段框架單元272b之間的大間隙配置大的架橋板274b。

架橋板274a或架橋板274b例如以使形成於搬送路徑6之間隙或高低差充分縮小之方式固定於上段框架264。藉此，可將行進中對搬送車10的衝擊抑制成較小，可防止被加工物11等的破損。此外，在搬送路徑6殘留小間隙時之情形中，例如可使用具備沿著搬送車10進行方向之芯材的膠膜等而塞住此間隙。

又，可取代架橋板274a或架橋板274b而使用在搬送車10之進行方向的兩端部形成有斜坡之架橋板。在此情形中，例如可將架橋板重疊於路面板266的上方而使用，因此可緩和對於架橋板大小之要求。藉此，提高架橋板之通用性。此外，也可使用具可撓性之薄板狀的架橋板連繫相鄰之路面板266。

若搬送車10在如此構成之搬送路徑6行進，則例如會因搬送車10的車輪86等與搬送路徑6之摩擦而產生靜電，會對容納於搬送車10之容器102的被加工物11造成不良影響。例如，在被加工物11形成有半導體元件之情形中，有因靜電而破壞此半導體元件之虞。

因此，成為搬送路徑6的路面板266的上表面之與車輪86等接觸的部分上，較佳為預先使導電性構件露出。作為導電性構件，例如除了鋁或銅等金屬以外，亦可使用CFRP等。此外，在以CFRP構成路面板266之情形中，在其上表面亦露出CFRP。亦即，實現在路面板266的上表面露出導電性構件之狀態。

如此，藉由在路面板266的上表面預先使導電性構件露出，而可抑制由摩擦所致之靜電發生及其積存，可防止對被加工物11造成不良影響。此外，露出於路面板266的上表面之導電性構件亦可透過導線（未圖示）等接地。在此情形中，因車輪86等與路面板266的接觸而產生之靜電會通過導線放電，因此不會積蓄於路面板266。因此，可藉由搬送車10更安全地搬送被加工物11。

在本實施方式之搬送系統2中，原則上係以搬送車10不到達搬送路徑6的端部之方式控制搬送車10的動作。但是，在搬送車10或控制單元12等發生任何問題之情形中，亦有搬送車10到達搬送路徑6的端部並從此搬送路徑6的端部掉落之可能性。

因此，在搬送路徑6的端部，較佳為如圖23所示設置用以防止搬送車10從搬送路徑6掉落之成為障壁的防護部276。此防護部276例如係以包含鋁等金屬之材料而形成，並固定於上段框架264或路面板266。從路面板266的上表面起至防護部276的上端為止之高度例如大於搬送車10之車輪86的半徑。較佳為大於車輪86的直徑。

此外，此防護部276亦可形成為與搬送車10之第三感測器126或外裝蓋接觸之高度。在此情形中，若防護部276與搬送車10之第三感測器126或外裝蓋接觸，則搬送車10會檢測到與障害物的衝撞並停車。因此，可更安全地使搬送車10行進。

如圖28所示，搬送路徑6包含主要使用於搬送車10的行進之行進區域278、主要使用於搬送車10的停車之停車區域280、以及主要使用於搬送車10的待機之待機區域284。在已停車於停車區域280之搬送車10與位於停車區域280的下方之加工裝置4或上下料裝置8等之間搬送被加工物單元17。

行進區域278例如形成為沿著加工裝置4或上下料裝置8等的配置之環狀。搬送車10例如在沿著此環狀之行進區域278的一方向行進，且在另一方向不行進（亦即，單向通行）。藉此，可以簡單的控制使搬送車10安全地行進。

但是，行進區域278之形狀、搬送車10之行進的態樣等並無限制。例如，行進區域278有時係以容許搬送車10往兩方向行進之方式而構成。又，行進區域278無需形成為無終端的環狀，例如亦可形成為具有終端之直線狀。

另一方面，在停車區域280設置有上下貫通路面板266之開口282。開口282例如形成為僅稍大於容器102的上表面及下表面，並容許容器102之上下通過。另一方面，與搬送車10進入停車區域280時的進入方向垂直的方向的開口282，其寬度係比搬送車10的一對車輪86的間隔更狹窄。藉此，在搬送車10進入停車區域280時的進入方向適當之情形中，車輪86不會從開口282脫落。

待機區域284例如可配置於使搬送車10待機之可能性較高的區域。藉由使搬送車10在待機區域284待機，而其他搬送車10可超越過待機中之搬送車10。又，在容許搬送車10往兩方向行進之情形中，藉由使搬送車10暫時在此待機區域284待機，可使2台搬送車10行進交錯。此外，搬送路徑6亦可不一定包含待機區域284。

在構成搬送路徑6之路面板266、架橋板274a、及架橋板274b等的上表面設置有藉由搬送車10具備的感測器而檢測之多種類的引導用的標記286（參考圖23）。搬送車10係根據感測器所檢測到的各種標記286，而進行移動、回旋、及停車等的控制。

如圖23所示，標記286例如構成為具有色彩的直線狀，所述色彩係與路面板266等的上表面之其他區域不同。在本實施方式中，作為此標記286，如圖28所示係使用第一標記286a、第二標記286b、第三標記286c、及第四標記286d。

但是，標記286之態樣並無限制。標記286例如可含有曲線，也可藉由虛線而構成。又，作為標記286，亦可使用文字、數字、圖案等。再者，標記286之色彩等亦無限制。例如，亦可將搬送車10構成為使用不同色彩的多個標記286並進行根據此標記286的色彩的各種控制。

在行進區域278設置有沿著搬送車10進行方向之第一標記286a。第一標記286a例如形成於在行進區域278中行進之搬送車10應通過的區域。更具體而言，第一標記286a係設置於在行進區域278中行進之搬送車10的一對第一感測器122的正下方。

圖29係表示搬送車10之控制部130的功能方塊圖。如圖29所示，搬送車10之控制部130包含：第一感測器控制部130a，其使一對第一感測器122分別各自監視行進區域278等（搬送路徑6）之上表面並檢測第一標記286a；以及行進指示部130b，其特定第一感測器122所檢測到的第一標記286a所示的方向並使搬送車10沿其方向行進。

一對第一感測器122係分別按照從第一感測器控制部130a輸入之控制用的訊號而檢測第一標記286a。藉由第一感測器122所檢測到之關於第一標記286a之資訊係透過第一感測器控制部130a送至行進指示部130b。

行進指示部130b係根據從第一感測器控制部130a送來的第一標記286a之資訊而特定第一標記286a所示的方向。接著，行進指示部130b係控制驅動單元90，使搬送車10沿著所特定的方向移動。亦即，搬送車10可以一對第一感測器122檢測第一標記286a，並沿著此第一標記286a在搬送路徑6上行進。

如圖28所示，在行進區域278之預定部分中，2條直線狀的第一標記286a交差。搬送車10係在沿著一第一標記286a進行之期間，以第二感測器124檢測與此一第一標記286a交差之另一第一標記286a。若以第二感測器124檢測到另一第一標記286a，則搬送車10視需要進行回旋。

亦即，可在2條直線狀的第一標記286a交差之任意交差點變更搬送車10的進行方向。如此，以第二感測器124檢測到之上述另一第一標記286a之一部分係發揮作為顯示搬送車10回旋位置之第二標記286b的功能。此外，在搬送路徑6存在第二標記286b，所述第二標記286b的數量係與2個第一標記286a交差之交差點的數量對應。亦即，在圖28之搬送路徑6存在多個第二標記286b。

如圖29所示，搬送車10之控制部130包含：第二感測器控制部130c，其使第二感測器124監視行進區域278等（搬送路徑6）的上表面並檢測第二標記286b；以及回旋指示部130d，其計數第二感測器124所檢測到的第二標記286b的數量並根據所計數到的第二標記286b的數量而使搬送車10回旋。

第二感測器124係按照從第二感測器控制部130c輸入之控制用的訊號而檢測第二標記286b。接著，第二感測器控制部130c例如在每次第二感測器124檢測第二標記286b時，將其旨意通知控制部130之回旋指示部130d。

回旋指示部130d係根據來自第二感測器控制部130c之通知，而計數第二感測器124所檢測到的第二標記286b的數量，並例如和與來自搬送系統2的控制單元12的指示對應之第二標記286b的數量（預定數目）相比較。接著，若第二感測器124所檢測到的第二標記286b的數量到達與來自控制單元12的指示對應之第二標記286b的數量，則回旋指示部130d控制驅動單元90並使搬送車10回旋。

亦即，回旋指示部130d係因應所檢測到的第二標記286b的數量而變更搬送車10之方向。如此，搬送車10可以第二感測器124檢測第二標記286b，並視需要變更方向。此外，第二標記286b例如設置於行進區域278的角之部分（搬送路徑6之角部）、或與行進區域278之停車區域280相鄰之部分、與行進區域278之待機區域284相鄰之部分等。

又，在一對第二感測器124配置於通過一對車輪86之直線上之情形中，可在車輪86通過第二標記286b的同時，藉由一對第二感測器124檢測此第二標記286b。因此，藉由在檢測到第二標記286b之時機使搬送車10回旋，在回旋後，一對第一感測器122不會從應檢測之第一標記286a大幅偏移。亦即，即使不進行任何修正也可適當地使搬送車10回旋。

如圖28所示，在停車區域280設置有沿著搬送車10進入方向之第三標記286c。亦即，第三標記286c係表示搬送車10進入停車區域280之方向。此第三標記286c例如在與搬送車10的進入方向呈垂直之方向形成於夾住開口282之2個位置，並藉由搬送車10之第二感測器124而檢測。

如圖29所示，搬送車10之控制部130包含進入控制部130e，其沿著第二感測器124所檢測到的第三標記286c所示的方向，使搬送車10進入停車區域280。進入控制部130e係與第二感測器控制部130c連接。

第二感測器控制部130c係使第二感測器124監視停車區域280等（搬送路徑6）的上表面並檢測第三標記286c。與第二感測器124所檢測到的第三標記286c相關之資訊係透過第二感測器控制部130c而送至進入控制部130e。

進入控制部130e係根據從第二感測器控制部130c輸入之第三標記286c之資訊而特定第三標記286c所示的方向。接著，進入控制部130e係控制驅動單元90，使搬送車10沿著所特定方向進入停車區域280。第三標記286c具代表性的是設置於搬送車10之車輪86應通過的區域。但是，第三標記286c之配置等並無限制。

如圖28所示，在搬送車10進入停車區域280（或待機區域284）之方向上，於停車區域280（或待機區域284）的後側（前側）設置有與第一標記286a或第三標記286c交差之第四標記286d。此第四標記286d係表示停車區域280（或待機區域284）的位置。

如圖29所示，搬送車10之控制部130包含停車控制部130f，其在藉由位於搬送車10的進行方向後側之第一感測器122（一對第一感測器122之一者）檢測到第四標記286d時，使搬送車10停車。停車控制部130f係與第一感測器控制部130a連接。

第一感測器控制部130a係使第一感測器122監視行進區域278或停車區域280等（搬送路徑6）的上表面，並使第一感測器122檢測第四標記286d。若藉由第一感測器122檢測到第四標記286d，則將其旨意透過第一感測器控制部130a通知停車控制部130f。

停車控制部130f若被第一感測器控制部130a通知檢測到第四標記286d之旨意，則控制驅動單元90並使搬送車10迅速停止。亦即，搬送車10例如若以後側之第一感測器122檢測到第四標記286d，則立刻停車。

此外，此第四標記286d亦可在搬送車10進入停車區域280（或待機區域284）之方向上設置於停車區域280（或待機區域284）前側（裡側）。在此情形中，搬送車10若以前側之第一感測器122檢測到第四標記286d，則立刻停車。

此外，第四標記286d亦可設置於可藉由第二感測器124檢測的位置。在此情形中，圖29所示的停車控制部130f係與第二感測器控制部130c連接。接著，若第二感測器控制部130c所控制之第二感測器124檢測到第四標記286d，則停車控制部130f控制驅動單元90並使搬送車10停車。

又，停車控制部130f亦可在藉由第一感測器122或第二感測器124檢測到第四標記286d起經過預定時間後，使搬送車10停車。由第四標記286d之檢測起到搬送車10之停車為止的時間例如可根據第四標記286d與停車區域280的距離、或搬送車10之行進速度等而調整。

如圖28所示，在搬送車10進入方向上，在停車區域280及待機區域284之前側（裡側）的位置配置有與電源（未圖示）連接之供電用的端子（供電端子）288。例如，若使搬送車10停車於停車區域280或待機區域284，並使搬送車10之端子（受電端子）100與端子288接觸，則透過端子100及充電用的配線（充電配線）98對於電池（二次電池）96供給充電用的電力。亦即，可將電池96進行充電。

如圖23所示，端子288係藉由固定於路面板266或上段框架264之端子支撐部290而支撐，並與供電用的配線（供電配線）292連接。亦即，此端子288係透過供電用配線292而與電源連接。

端子支撐部290例如具備朝停車區域280或待機區域284施壓端子288之施壓構件（未圖示）。藉由以施壓構件施壓端子288，而可適當地將端子288與端子100連接。但是，端子288及端子支撐部290之構造等並無限制。

例如，在搬送車10停車於停車區域280後，藉由升降單元110而升降容器102。在本實施方式中，因於停車區域280配置供電用的端子288，故在使容器102升降時電池96也會充電。因此，可充分供給使容器102升降時升降單元110所消費之大量電力。

此外，在本實施方式中，亦於待機區域284配置端子288。因此，例如使搬送車10在待機區域284待機時，電池96也會充電。藉此，延長搬送車10之可運行時間，可提高被加工物11之搬送效率。

使搬送車10從搬送路徑6上之某一位置（出發地）移動至另一位置（目的地）時之動作例如如同後述。首先，搬送系統2之控制單元12係對於成為移動對象之搬送車10發送訊號，所述訊號係相當於從出發地移動至目的地之旨意之指示。

收到控制單元12的指示之搬送車10的控制部130首先係以本身的現在位置作為出發地而決定到目的地為止的路徑，並沿著此路徑求取從出發地起到搬送車10應回旋的各位置為止之間存在的第二標記286b的數量、以及在應回旋的各位置的回旋方向。接著，搬送車10之控制部130係根據本身求得的第二標記286b的數量及回旋方向而控制驅動單元90等。

例如，搬送車10之控制部130係一邊以第一感測器122及第二感測器124監視搬送路徑6的上表面，一邊使搬送車10行進。亦即，控制部130係一邊使搬送車10沿著第一感測器122所檢測到的第一標記286a所示的方向移動，一邊使此第二感測器124檢測第二感測器124通過之第二標記286b。

若第二感測器124通過之第二標記286b的數量達到本身求得的第二標記286b的數量，則控制部130使搬送車10在本身求得的回旋方向回旋。其後，控制部130係沿著第一標記286a所示的方向再度使搬送車10行進。若搬送車10到達目的地，則控制部130將用以通知其旨意之訊號送至控制單元12。

此外，在使搬送車10進入停車區域280時，控制部130係使第二感測器124檢測第三標記286c，並細微調整搬送車10之進行方向。藉此，可防止搬送車10之車輪86於開口282脫落。此時，相較於使搬送車10沿著第一標記286a所示的方向行進時，可將行進速度抑制成較低。其後，控制部130係使第一感測器122檢測第四標記286d，並使搬送車10停車於停車區域280。

搬送車10原則上以車輪86位於進行方向的前方且車輪88位於進行方向的後方之方式行進。但是，在從停車區域280或待機區域284移動至行進區域278時，搬送車10係以車輪86位於進行方向的後方且使車輪88位於進行方向的前方之方式移動。

若搬送車10停車於停車區域280，則容器102定位於開口282的正上方。又，搬送車10側之端子100與搬送路徑6側之端子288接觸。藉此，搬送車10係一邊將電池96進行充電，一邊使容器102降下，可使容器102載置於位於開口282的下方之載置區域A。

此外，在上述動作之態樣中，控制部130求得第二標記286b的數量及回旋方向，但亦可將由控制部130所進行的判斷抑制在最小限度。在此情形中，例如可由控制單元12送出訊號，所述訊號包含從出發地到搬送車10應回旋的各位置為止之間存在之第二標記286b的數量、以及與在應回旋的各位置之回旋方向相關的資訊。在此動作中，因控制部130可不求得第二標記286b的數量及回旋方向，故可簡化控制部130。

接著，說明本實施方式之搬送系統2之控制方法的例子。圖30係用以說明搬送系統2之控制方法的例子的圖。例如，若成為新需要加工前的被加工物11之狀況，則加工裝置4之控制裝置246生成用於通知其旨意之訊號（被加工物要求訊號）。控制裝置246所生成的訊號（被加工物要求訊號）係由發送機250發送至控制單元12。

如圖30所示，控制單元12具備生成用以進行各種控制之訊號的控制部（訊號產生部）302。此控制部302例如係藉由包含CPU（Central Processing Unit，中央處理單元）等處理裝置、DRAM（Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體）等主記憶裝置、及快閃記憶體等補助記憶裝置的電腦而構成。按照記憶於補助記憶裝置之軟體而使處理裝置等動作，藉此實現控制部302之功能。

控制部302係與接收從加工裝置4、上下料裝置8、搬送車10等發送之訊號的接受器304、以及對於加工裝置4、上下料裝置8、搬送車10等發送訊號的發送機306連接。

控制單元12之接收機304若接收從加工裝置4之發送機250發送之通知用的訊號（被加工物要求訊號），則將此送至控制部302。控制部302若確認來自加工裝置4之通知用的訊號（被加工物要求訊號），則對於任意搬送車10發出指示以移動至上下料裝置8的正上方之停車區域280，並使容器102載置於上下料裝置8之載置台66的上表面（第二載置區域A₂ ）。具體而言，控制部302係生成相當於此指示之控制用的訊號（第一載置指示訊號），並從發送機306發送至搬送車10。

搬送車10之接收機132若接收來自控制單元12之訊號（第一載置指示訊號），則將此送至控制部130。控制部130係根據此訊號（第一載置指示訊號）控制驅動單元90等，使搬送車10沿著搬送路徑6行進。若搬送車10在上下料裝置8的正上方之停車區域280停車，則容器102定位於開口282的正上方。

在使搬送車10於停車區域280停車之狀態下，控制部130係控制升降單元110並送出垂吊構件112。藉此，以通過開口282等之方式使容器102下降，並可使容器102載置於載置台66的上表面。

使容器102載置於載置台66的上表面後，控制部130係生成用以通知容器102已在載置台66的上表面載置完成之旨意之通知用的訊號（第一載置結束訊號）。控制部130所生成的訊號（第一載置結束訊號）係從發送機134發送至控制單元12。

控制單元12之接收機304若接收從搬送車10之發送機134所發送的訊號（第一載置結束訊號），則將此送至控制部302。控制部302若確認來自搬送車10之訊號（第一載置結束訊號），則對上下料裝置8通知容器102載置於載置台66的上表面已結束之旨意。具體而言，控制部302係生成用以通知容器102已在載置台66的上表面載置完成之旨意之通知用的訊號（第二載置結束訊號），並從發送機306發送至上下料裝置8。

上下料裝置8之接收機68若接收來自控制單元12的訊號（第二載置結束訊號），則將此送至控制裝置46。控制裝置46若接受此訊號（第二載置結束訊號），則控制各構成要件之動作並使加工前的被加工物11搬入容器102。此外，在加工後的被加工物11容納於容器102之情形中，在將加工後的被加工物11從容器102搬出後，將加工前的被加工物11搬入容器102。

若加工前的被加工物11搬入容器102，則控制裝置46生成用以通知被加工物11往容器102的搬入已完成之通知用的訊號（第一搬送結束訊號）。控制裝置46所生成的訊號（第一搬送結束訊號）係從發送機70發送至控制單元12。

控制單元12之接收機304若接收從上下料裝置8之發送機70發送的訊號（第一搬送結束訊號），則將此送至控制部302。控制部302若確認來自上下料裝置8之訊號（第一搬送結束訊號），則對於搬送車10發出指示以使其移動至加工裝置4的正上方之停車區域280，並將容器102載置於加工裝置4之升降台204的上表面（載置區域A）。具體而言，控制部302係生成相當於此指示之控制用的訊號（第二載置指示訊號），並由發送機306發送至搬送車10。

搬送車10之接收機132若接收來自控制單元12之訊號（第二載置指示訊號），則將此送至控制部130。控制部130係根據此訊號（第二載置指示訊號）而控制升降單元110，並捲取垂吊構件112。藉此，以通過開口282等之方式使容器102上升，並可儲存於儲存區域104。其後，控制部130係控制驅動單元90等，使搬送車10沿著搬送路徑6行進。

若搬送車10在加工裝置4的正上方之停車區域280停車，則容器102定位於開口282的正上方。在使搬送車10於停車區域280停車之狀態下，控制部130係控制升降單元110，並送出垂吊構件112。藉此，以通過開口282等之方式使容器102下降，並可使容器102載置於加工裝置4之升降台204的上表面。

在容器102載置於升降台204的上表面後，控制部130會生成用以通知容器102已在升降台204的上表面載置完成之旨意之通知用的訊號（第三載置結束訊號）。控制部130所生成的訊號（第三載置結束訊號）係從發送機134發送往控制單元12。

控制單元12之接收機304若接收從搬送車10之發送機134所發送的訊號（第三載置結束訊號），則將此送往控制部302。控制部302若確認來自搬送車10之訊號（第三載置結束訊號），則對於加工裝置4通知容器102載置於升降台204的上表面已結束之旨意。具體而言，控制部302會生成用以通知容器102已在載置台66的上表面載置完成之旨意之通知用的訊號（第四載置結束訊號），並從發送機306發送往加工裝置4。

加工裝置4之接收機248若接收來自控制單元12之訊號（第四載置結束訊號），則將此送往控制裝置246。控制裝置246若接收此訊號（第四載置結束訊號），則控制各構成要件之動作並從容器102搬出加工前的被加工物11。此外，在加工後的被加工物11存在於加工裝置4內之情形中，在將加工前的被加工物11從容器102搬出後，將加工後的被加工物11搬入容器102。

若從容器102搬出加工前的被加工物11，則例如控制裝置246會生成用以通知被加工物11從容器102的搬出已完成之旨意之通知用的訊號（第二搬送結束訊號）。控制裝置246所生成的訊號（第二搬送結束訊號）係從發送機250發送往控制單元12。

藉由此種順序，可對於任意加工裝置4搬送容納於上下料裝置8之加工前的被加工物11。此外，在此雖主要說明從上下料裝置8對於加工裝置4搬送被加工物11時之順序，但從加工裝置4對於上下料裝置8搬送被加工物11時之順序等亦同樣。

此外，上述順序可在可適當搬送被加工物11的範圍內任意變更。例如，可同時進行上述順序所含的多個步驟，也可在不阻礙被加工物11之搬送的範圍內交換步驟順序。同樣地，可在不阻礙被加工物11之搬送的範圍內追加、變更、省略任意步驟。

如上述，本實施方式之搬送路徑6、上下料裝置（搬送裝置）8、搬送車10、卡匣容納機構24、及升降單元（升降機構）110皆以可有效率且安全地搬送被加工物11之方式構成。因此，藉由使用組裝此等之搬送系統2，可有效率且安全地搬送被加工物11。

（實施方式2） 本實施方式中說明與上述實施方式不同之態樣之加工裝置。圖31係表示本實施方式之加工裝置（切削裝置）402之內部構造的立體圖。此外，在以下說明中，與上述實施方式共通之構成要件係標註相同符號並省略其詳細說明。

在加工裝置402之升降台404並未載置搬送車10之容器102。取而代之，加工裝置之升降台404設置有與上述實施方式之上下料裝置8之2段卡匣容納機構24（亦即，第一卡匣容納機構24a及第二卡匣容納機構24b）同樣的2段卡匣容納機構406（第一卡匣容納機構406a及第二卡匣容納機構406b）。

亦即，卡匣30被搬入本實施方式之加工裝置402中。接著，加工裝置402也裝配有由止動構件50及軸機構52而成的移動限制機構。藉此，變得容易進行較重之卡匣30的搬入搬出，因此可降低容納於卡匣30的被加工物11隨著搬入搬出而破損之風險。又，變得容易實現寬度方向緊密之卡匣容納機構406。

又，在本實施方式之加工裝置402亦實現用以限制從加工裝置402外部往內部之進出之第一安全機構及第二安全機構。藉此，可防止操作員誤入位於加工裝置402內部之運作中的可動部等。

此外，本實施方式之加工裝置402亦可獨立於上述搬送系統2。亦即，本實施方式之加工裝置402不一定要與上述的搬送系統2連接。

本實施方式之卡匣容納機構406係與上述實施方式之卡匣容納機構24同樣地，以可有效率且安全地搬送被加工物11之方式構成。因此，藉由使用組裝此之加工裝置4，可有效率且安全地搬送被加工物11。

此外，上述實施方式及變形例等之構造、方法等可在不超出本發明之目的的範圍內適當變更並加以實施。

2:搬送系統 4:加工裝置（切削裝置） 4a:加工裝置 4b:加工裝置 6:搬送路徑 6a:開口 8:上下料裝置（搬送裝置） 10:搬送車 10a:搬送車 10b:搬送車 12:控制單元 21:配管 22:框體 22a:天花板 22b:開口 24:卡匣容納機構 24a:第一卡匣容納機構 24b:第二卡匣容納機構 26:支撐台 26a:上表面 26b:外側表面 28:卡匣載置台 28a:下表面 28b:上表面 28c:貫通孔 30:卡匣 30a:第一卡匣 30b:第二卡匣 32:搬入搬出口 34:外門（第二門） 36:旋轉連結構件 38a:外部搬入搬出區域（外部區域） 38b:內部容納區域（內部區域） 40:內門（第一門） 42:升降機構 42a:壓缸管 42b:活塞桿 42c:連結構件 44:第一感測器 44a:磁鐵 46:控制裝置 48:第二感測器 48a:磁鐵 50:止動構件 50a:方桿 50b:輥 52:軸機構 52a:旋轉軸 52b:軸承 54:銷（推壓部） 54a:環 54b:按鈕 56:升降機構 56a:支撐柱 58:升降台 60:暫置單元 62:框體 62a:上板 62b:下板 62c:側板 62c₁ :第一側板 62c₂ :第二側板 62d:開口 62e₁ :第一開口 62e₂ :第二開口 64:搬送單元（搬送機構） 64a:第一搬送單元 64b:第二搬送單元 66:載置台 68:接收機 70:發送機 72a:上段導軌（第一暫置部） 72b:下段導軌（第二暫置部） 72c:間隔 74a:第一空氣致動器 74b:第二空氣致動器 76a:第一導引機構 76b:第二導引機構 78:間隔調整機構 82:框架 84:車軸 86:車輪（前輪） 88:車輪（後輪） 90:驅動單元 92:馬達 92a:旋轉軸（輸出軸） 94:帶輪 96:電池（二次電池） 98:配線（充電配線） 100:端子（受電端子） 102:容器（卡匣） 102a:容納部（容納空間） 102b:開口 102c:上壁 102d:底壁 104:儲存區域 106:第一導軌 106a:保持面 106b:側面 108:第二導軌 108a:保持面 110:升降單元（升降機構） 112:垂吊構件 114:驅動機構 116:接觸構件 118:彈性構件（伸縮構件） 120:蓋 122:第一感測器 124:第二感測器 126:第三感測器 128:支撐台 130:控制部（控制單元） 130a:第一感測器控制部 130b:行進指示部 130c:第二感測器控制部 130d:回旋指示部 130e:進入控制部 130f:停車控制部 132:接收機 134:發送機 142:馬達 142a:旋轉軸（輸出軸） 144a:第一旋轉軸（第一軸） 144b:第二旋轉軸（第二軸） 146:帶輪 148:連結構件 150a:帶輪 150b:帶輪 152:連結構件 154a:捲筒 154b:捲筒 156a:輥 156b:輥 162:驅動機構 164:馬達 164a:旋轉軸（輸出軸） 166a:第一旋轉軸（第一軸） 166b:第二旋轉軸（第二軸） 166c:第三旋轉軸（第三軸） 168:帶輪 170:連結構件 172:捲筒 172a:槽（凹部） 172b:突起（凸部） 174:固定構件 176:導件 182:蓋部 182a:板狀構件 182b:柔軟構件 184:接觸部 184a:固定構件 184b:輥 186:固定塊 188:連結塊（L字塊） 188a:連結部 188b:固定部 190:連結軸 202:基台 202a:凹部 202b:凹部 202c:配管連接部 204:升降台 206:X軸移動機構（加工進給單元） 206a:工作台蓋 206b:防塵防滴蓋 208:卡盤台 208a:保持面 210:夾具 212:導軌 214:第一支撐構造 216:第一滑軌 218:第一移動機構 220:第一保持單元 220a:握持機構 222:第二滑軌 224:第二移動機構 226:第二保持單元 228:第二支撐構造 230:Y軸Z軸移動機構（分度進給單元、切入進給單元） 232:加工單元（切削單元） 234:切割刀片 236:攝像單元（攝影機） 238:清洗單元 240:旋轉台 242:噴射噴嘴 244:蓋 244a:天花板 244b:門 246:控制裝置 248:接收機 250:發送機 262:下段框架 264:上段框架 266:路面板 268:螺絲 270:下段框架單元 270a:下段框架單元 270b:下段框架單元 270c:下段框架單元 270d:下段框架單元 272:上段框架單元 272a:上段框架單元 272b:上段框架單元 274a:架橋板 274b:架橋板 276:防護部 278:行進區域 280:停車區域 282:開口 284:待機區域 286:標記 286a:第一標記 286b:第二標記 286c:第三標記 286d:第四標記 288:端子（供電端子） 290:端子支撐部 292:配線（供電配線） 302:控制部 304:接收機 306:發送機 402:加工裝置（切削裝置） 404:升降台 406:卡匣容納機構 406a:第一卡匣容納機構 406b:第二卡匣容納機構 11:被加工物 13:膠膜（切割膠膜） 15:框架 17:被加工物單元 17a:被加工物單元 17b:被加工物單元 A:載置區域 A₁ a:第一載置區域 A₁ b:第一載置區域 A₂ :第二載置區域 B₁ a:第一搬送區域 B₁ b:第一搬送區域 B₂ :第二搬送區域 C₁ :箭頭 C₂ :箭頭 C₃ :箭頭 D₁ :箭頭 D₂ :箭頭 D₃ :箭頭 E₁ :箭頭 E₂ :箭頭 F₁ :箭頭 F₂ :箭頭 G:箭頭

圖1係表示搬送系統之構成例的俯視圖。 圖2係表示搬送系統之連接關係例的功能方塊圖。 圖3係示意性地表示上下料裝置之構成例的側視圖。 圖4（A）係表示外門關閉且內門開啓的狀態的局部剖面側視圖，圖4（B）係表示外門開啓且內門關閉的狀態的局部剖面側視圖。 圖5（A）係表示卡匣載置台等的局部剖面側視圖，圖5（B）係表示卡匣載置台的仰視圖。 圖6（A）係表示將卡匣載置台從內部容納區域拉出至外側的情形的局部剖面側視圖，圖6（B）係表示輥從支撐台脫離的情形的局部剖面側視圖，圖6（C）係表示使卡匣載置台回到內部容納區域的情形的局部剖面側視圖。 圖7（A）係表示將被加工物單元暫置於2條上段導軌的情形的局部剖面側視圖，圖7（B）係表示將被加工物單元暫置於2條下段導軌的情形的局部剖面側視圖。 圖8（A）係表示2條上段導軌等的俯視圖，圖8（B）係表示縮小2條上段導軌之間隔的情形的俯視圖。 圖9（A）係表示搬送車之上表面側的立體圖，圖9（B）係表示搬送車之底面側的立體圖。 圖10係表示搬送車之前端部的放大立體圖。 圖11（A）係表示容器的立體圖，圖11（B）係表示容器的前視圖。 圖12係表示容器載置於載置區域之狀態之搬送車的立體圖。 圖13係表示容器透過彈性構件（伸縮構件）而與垂吊構件連接之搬送車的立體圖。 圖14（A）係表示升降單元的構成例的俯視圖，圖14（B）係表示升降單元的構成例的側視圖。 圖15（A）係表示升降單元的其他構成例的俯視圖，圖15（B）係表示升降單元的其他構成例的側視圖。 圖16（A）係表示捲筒的俯視圖，圖16（B）係表示捲筒的側視圖。 圖17係表示蓋的放大立體圖。 圖18（A）係表示容器未儲存於儲存區域之狀態之蓋的側視圖，圖18（B）係表示容器儲存於儲存區域之狀態之蓋的側視圖。 圖19（A）係表示儲存於儲存區域之容器載置於載置區域時之搬送車的側視圖，圖19（B）係表示容器下降時的馬達之電流值的圖表。 圖20（A）係表示載置於載置區域之容器儲存於儲存區域時之搬送車的側視圖，圖20（B）係表示容器上升時的馬達之電流值的圖表。 圖21係表示加工裝置及搬送路徑之外觀的立體圖。 圖22係表示加工裝置之內部構造的立體圖。 圖23係表示設置於加工裝置之搬送路徑之局部的立體圖。 圖24（A）及圖24（B）係表示構成下段框架之下段框架單元的立體圖。 圖25係表示構成下段框架之下段框架單元的配置的俯視圖。 圖26（A）及圖26（B）係表示構成上段框架之上段框架單元的立體圖。 圖27係表示構成上段框架之上段框架單元的配置的俯視圖。 圖28係表示排列多個路面板所構成之搬送路徑的俯視圖。 圖29係表示搬送車之控制部的功能方塊圖。 圖30係用以說明搬送系統之控制方法之例子的圖。 圖31係表示實施方式2之加工裝置之內部構造的立體圖。

6:搬送路徑

266:路面板

274a:架橋板

274b:架橋板

278:行進區域

280:停車區域

282:開口

284:待機區域

286a:第一標記

286b:第二標記

286c:第三標記

286d:第四標記

288:端子(供電端子)

290:端子支撐部

Claims (5)

1. 一種搬送路徑，其係將被加工物搬送至加工裝置之搬送車所行進的搬送路徑，其特徵在於， 具有設置於該加工裝置的上方且上表面平坦之路面板， 在該路面板的該上表面之與該搬送車的車輪接觸之位置露出導電性構件。
2. 如請求項1之搬送路徑，其中，該導電性構件覆蓋該路面板的該上表面的全部區域。
3. 如請求項1或2之搬送路徑，其中，該導電性構件包含碳纖維強化塑膠。
4. 如請求項1或2之搬送路徑，其中，該導電性構件係接地。
5. 如請求項1或2之搬送路徑，其中，多片該路面板在與該上表面平行之方向連接。

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