TW202111841A - 基板收納容器及過濾部 - Google Patents

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成田侑矢
井上忠利
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日商未來兒股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種基板收納容器，其包含容器主體、蓋體、密封構件、過濾部，過濾部具有能將基板收納空間與容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於通氣路的過濾器、形成通氣路的殼體，過濾部配置於容器主體，氣體透過過濾器能在容器主體的外部的空間與基板收納空間之間通過；在殼體收容有：閥體，其能在外方開口部的將外方開口部閉塞的閉塞位置與將外方開口部開放的開放位置之間移動；被施力構件，其具有筒狀並連接於閥體，以能在殼體的內部移動的方式被殼體支撐並被引導，以與閥體一體移動的方式引導閥體的移動；和施力構件，以閥體向閉塞位置移動的方式對被施力構件施力。

Description

基板收納容器及過濾部
本發明係關於在對於由半導體晶圓等形成的基板進行收納、保存、運送、運輸等時使用的基板收納容器及設置於基板收納容器的過濾部。
作為收納由半導體晶圓形成的基板而用於在工廠內的作業程序中運送的基板收納容器，以往已知有包含容器主體和蓋體的結構的基板收納容器（例如，參照專利文獻1～專利文獻6）。
容器主體的一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部。容器主體的另一端部具有被閉塞的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍而形成，能夠收納基板。蓋體相對於開口周邊部能夠拆裝，能夠閉塞容器主體開口部。側方基板支撐部在基板收納空間內成對地設置於壁部。在未透過蓋體閉塞容器主體開口部時，側方基板支撐部能夠將基板的邊緣部支撐為鄰接的基板彼此以規定的間隔分離並列的狀態。
在蓋體的部分且在閉塞容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分設有前保持器。在透過蓋體閉塞容器主體開口部時，前保持器能夠支撐基板的邊緣部。另外，與前保持器成對地在壁部設有裏側基板支撐部。裏側基板支撐部能夠支撐基板的邊緣部。在透過蓋體閉塞容器主體開口部時，裏側基板支撐部與前保持器共同地支撐基板，由此將基板保持為鄰接的基板彼此以規定的間隔分離並列的狀態。
另外，在容器主體設有止回閥。透過止回閥，從容器主體的外部向基板收納空間，利用除去了氮等非活性氣體或水分（1%以下）的乾燥空氣（以下，稱為淨化氣體）進行氣體淨化。止回閥防止透過氣體淨化而填充於基板收納空間的氣體的漏出。另外，在止回閥設有過濾器，過濾器將從容器主體的外部通過過濾器流入的氣體包含的顆粒、有機物、水分等除去。
設有止回閥的通氣口分為注入孔和排氣孔使用，用於高效置換已注入的淨化氣體的排氣孔的作用至關重要。然而目前的狀況是，也存在淨化氣體從設置在與容器主體開口部卡合的蓋體上的密封構件（墊圈）漏出的情況，從安全、環境方面出發，如何將已注入的淨化氣體從排氣孔排出成為重要的問題。
作為以往的排氣孔側的止回閥的閥單元具有透過基板收納容器的內部壓力打開的結構。由於閥的開閉使用彈簧的原因，使彈簧收縮的壓力成為將氣體排出時的阻力，成為淨化氣體從設置於蓋體的密封構件漏出的原因之一。因此，要求排氣側使用的彈簧以低壓進行工作。
另外，基板收納容器在工廠中使用時，進行基板收納容器的清洗。閥單元的閥密封件存在於單元內的筒形狀部容器內表面側。在比密封件靠外氣側需要彈簧的伸縮空間，但是清洗水從外氣側的開口部侵入至彈簧的伸縮空間，結果是產生未乾燥完全而水殘留於彈簧的伸縮空間這樣的問題。在專利文獻5、專利文獻6中記載了針對這樣的問題的以往的技術。
現有技術文獻
〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕日本特開2019-021717號公報。
〔專利文獻2〕日本特開2017-188609號公報。
〔專利文獻3〕日本特表第2018-505546號公報。
〔專利文獻4〕日本專利第4859065號公報。
〔專利文獻5〕日本特表第2002-521189號公報。
〔專利文獻6〕日本專利第4201583號。
發明要解決的課題
作為構成止回閥的過濾部，使用供氣用的過濾部和排氣用的過濾部。在基板收納容器上，為了從容器外部注入氣體而多個部位具有將容器外部與容器內部連通的出入連通部。在出入連通部安裝有過濾部的過濾器殼體，在殼體內部為了將氣體的流動控制為一個方向而配置止回閥（單向閥）和彈性構件（彈簧）。
在過濾部為了高效地進行淨化氣體的注入及排氣而要求對止回閥和彈性構件極力消除氣體流通的阻力。另一方面，由於污染物質、顆粒附著於容器內，因此以維持清潔度、性能為目的，定期地使用清洗裝置，利用清洗水進行基板收納容器的清洗，但是作為如上述那樣消除止回閥和彈性構件的阻力的副作用，由於容器清洗時的水壓或清洗後的乾燥時的空氣的風壓而清洗液會侵入注入孔內，存在為了使其乾燥而花費較多的時間這樣的問題。
另外，在以往的過濾部中，存在有下述問題：在閥體稍打開之後由於將閥體設為邊界的壓力之差而立即關閉這樣的情況在短時間內反復進行引起的所謂振動音產生。
另外，為了透過注入到容器收納空間的淨化氣體高效地進行氣體淨化，排氣用的過濾部的作用至關重要。另外，在工廠內，從安全環境方面出發，重要的是將注入到容器收納空間的淨化氣體從排氣用的過濾部可靠地回收。
將包含這樣的排氣用的過濾部的基板收納容器在工廠中使用時，透過清洗水進行基板收納容器的清洗，但是在以往的排氣用的過濾部中，清洗水從開口容易侵入過濾部的內部，其結果是，存在有所謂在清洗後未使清洗水乾燥完全而殘留的問題。另外，為了充分地使其乾燥，需要將排氣用的過濾部從容器主體拆卸，存在所謂該作業需要較多的時間的問題。
另外，在專利文獻5記載的結構中，在反復進行閥的開閉時，存在構成閥的閥體搖頭而閥體的軸偏離的情況，認為是成為密封不良而產生洩漏的情況。
另外，在專利文獻6記載的結構中，雖然由於軸偏離而密封不良難以發生，但是可想到來自外氣側開口部的清洗水變得容易浸入的問題。另外，由於需要在平面將O型圈弄壞，因此作為彈性體的彈簧需要選定在一定程度上彈簧常數高的彈簧，也可想到淨化氣體的排氣效率變差這樣的問題。
本發明目的在於提供一種包含清洗水難以進入過濾部的內部且能夠抑制所謂振動音的產生的過濾部的基板收納容器及該過濾部、或者包含透過注入到容器收納空間的淨化氣體能夠高效地進行氣體淨化的過濾部的基板收納容器、或者能夠抑制淨化氣體的洩漏並能夠抑制淨化氣體的排氣效率變差的情況的基板收納容器及該過濾部。
用於解決課題的方案
本發明涉及基板收納容器，其包含：容器主體，其包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有閥體，該閥體透過插入於所述外方開口部而將所述外方開口部閉塞，透過從所述外方開口部脫離而將所述外方開口部開放。
另外，優選的是，朝向所述容器主體的外部的空間開口的所述通氣路的開口端的開口面積大於供所述閥體插入的所述外方開口部的開口面積。
另外，優選的是，所述殼體包含：外部殼體部；和內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐；所述內側殼體部具有所述外方開口部。
另外，優選的是，所述閥體具有閥體主體部和從所述閥體主體部突出且向所述外方開口部插入的凸部。
另外，優選的是，所述凸部的周圍的所述閥體主體部的部分構成密封部，所述內側殼體部包含筒形狀部，該筒形狀部具有透過所述閥體主體部滑動而支撐所述閥體主體部的內周滑動面，所述外方開口部的周圍的所述內側殼體部的部分構成供所述密封部抵接的閥座。
另外，優選的是，所述凸部的突出方向上的高度與所述外方開口部的貫通方向上的長度相同、或者比所述外方開口部的貫通方向上的長度高。
另外，優選的是，在所述閥體主體部設有與所述內周滑動面直接抵接而滑動的肋狀部。
另外，優選的是，所述過濾部包含對所述閥體向插入於所述外方開口部的方向施力的施力構件。
另外，本發明涉及過濾部，其配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，其包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，通過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部，其中，所述過濾部具有：過濾器，其配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路；殼體，其形成所述通氣路；所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有閥體，該閥體通過插入於所述外方開口部而將所述外方開口部閉塞，通過從所述外方開口部脫離將所述外方開口部開放；氣體通過所述過濾器而能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過。
另外，優選的是，朝向所述容器主體的外部的空間開口的所述外方開口部的開口端的開口面積大於供所述閥體插入的所述外方開口部的開口面積。
另外，優選的是，所述殼體包含：外部殼體部；和內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐；所述內側殼體部具有所述外方開口部。
另外，優選的是，所述閥體具有閥體主體部和從所述閥體主體部突出且向所述外方開口部插入的凸部。
另外，優選的是，所述凸部的周圍的所述閥體主體部的部分構成密封部，所述內側殼體部包含筒形狀部，該筒形狀部具有通過所述閥體主體部滑動而支撐所述閥體主體部的內周滑動面，所述外方開口部的周圍的所述內側殼體部的部分構成供所述密封部抵接的閥座。
另外，優選的是，所述凸部的突出方向上的高度與所述外方開口部的貫通方向上的長度相同、或者比所述外方開口部的貫通方向上的長度高。
另外，優選的是，在所述閥體主體部設有與所述內周滑動面直接抵接而滑動的肋狀部。
另外，優選的是，所述過濾部包含對所述閥體向插入於所述外方開口部的方向施力的施力構件。
另外，本發明涉及基板收納容器，其包含：容器主體，其包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述過濾部具有能夠使氣體從所述基板收納空間向所述容器主體的外部的空間流通的排氣用過濾部、能夠使氣體從所述容器主體的外部的空間向所述基板收納空間流通的供氣用過濾部，所述排氣用過濾部的所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述排氣用過濾部的所述殼體收容有：閥體，其插入於所述外方開口部並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動；被施力構件，其連接於所述閥體，以能夠在所述排氣用過濾部的所述殼體的內部移動的方式被所述排氣用過濾部的所述殼體支撐，引導所述閥體的移動；施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力；所述排氣用過濾部的所述過濾器的有效面積大於所述供氣用過濾部的所述過濾器的有效面積。
另外，優選的是，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。另外，優選的是，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件進行拆裝。另外，優選的是，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。另外，優選的是，所述施力構件由彈簧構成，彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
另外，優選的是，所述殼體包含：外部殼體部；內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
另外，優選的是，所述被施力構件包含被施力構件主體部，該被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含：筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；和外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
另外，優選的是，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
另外，本發明涉及基板收納容器，其包含：容器主體，其包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有：閥體，其插入於所述外方開口部並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動；被施力構件，其具有筒狀並連接於所述閥體，以能夠在所述殼體的內部移動的方式被所述殼體支撐並被引導，以與所述閥體一體移動的方式引導所述閥體的移動；施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力。
另外，優選的是，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。另外，優選的是，在所述閥體的周邊部設有O型圈。另外，優選的是，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件進行拆裝。另外，優選的是，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。另外，優選的是，所述施力構件由彈簧構成，彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
另外，優選的是，所述殼體包含：外部殼體部；和內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
另外，優選的是，所述被施力構件包含被施力構件主體部，該被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含：筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；和外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
另外，優選的是，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
另外，本發明涉及過濾部，其配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，其包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；其中，所述過濾部具有：過濾器，其配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路；殼體，其形成所述通氣路；所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有：閥體，其插入於所述外方開口部並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動；被施力構件，其具有筒狀並連接於所述閥體，以能夠在所述殼體的內部移動的方式被所述殼體支撐並被引導，以與所述閥體一體移動的方式引導所述閥體的移動；施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力。
另外，優選的是，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。另外，優選的是，在所述閥體的周邊部設有O型圈。另外，優選的是，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件進行拆裝。另外，優選的是，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。另外，優選的是，所述施力構件由彈簧構成，彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
另外，優選的是，所述殼體包含：外部殼體部；和內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐；所述內側殼體部具有所述外方開口部。
另外，優選的是，所述被施力構件包含被施力構件主體部，該被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含：筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
另外，優選的是，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
發明效果
根據本發明，目的在於提供一種包含清洗水難以進入過濾部的內部的過濾部的基板收納容器及該過濾部、或者包含透過注入到容器收納空間的淨化氣體能夠高效地進行氣體淨化的過濾部的基板收納容器、或者能夠抑制淨化氣體的洩漏並能夠抑制淨化氣體的排氣效率變差的基板收納容器及該過濾部。
以下，關於本實施方式的基板收納容器1，參照圖式進行說明。
圖1是表示在基板收納容器1收納有多個基板W的情形的分解立體圖。圖2是表示基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。圖3是表示基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖4是表示基板收納容器1的容器主體2的側方剖視圖。
在此，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為前方向D11，將其相反的方向定義為後方向D12，將它們合在一起定義為前後方向D1。另外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的上方向）定義為上方向D21，將其相反的方向定義為下方向D22，將它們合在一起定義為上下方向D2。另外，將從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為左方向D31，將其相反的方向定義為右方向D32，將它們合在一起定義為左右方向D3。在主要的圖式中，圖示出表示它們的方向的箭頭。
另外，基板收納容器1中收納的基板W（參照圖1）為圓盤狀的矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等，是在工業中使用的薄的基板。本實施方式的基板W是直徑300公釐(mm)的矽晶圓。
如圖1所示，基板收納容器1是收納上述那樣的由矽晶圓形成的基板W而作為在工廠內的作業程序中運送的作業程序內容器使用的結構或者作為透過陸運手段、空運手段、海運手段等運輸手段用於運輸基板的運送容器使用的結構，由容器主體2和蓋體3構成。容器主體2包含作為側方基板支撐部的基板支撐板狀部5和裏側基板支撐部6（參照圖2等），蓋體3包含作為蓋體側基板支撐部的未繪示的前保持器。
容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被閉塞的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而形成。在壁部20的部分且在形成基板收納空間27的部分配置有基板支撐板狀部5。如圖1所示，在基板收納空間27能夠收納多個基板W。
基板支撐板狀部5在基板收納空間27內成對地設置於壁部20。在未透過蓋體3閉塞容器主體開口部21時，基板支撐板狀部5與多個基板W的邊緣部抵接，由此能夠將多個基板W的邊緣部支撐為使鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離並列的狀態。裏側基板支撐部6與基板支撐板狀部5一體成形地設置於基板支撐板狀部5的裏側。
裏側基板支撐部6（參照圖2等）在基板收納空間27內與後述的未繪示的前保持器成對地設置於壁部20。在未透過蓋體3閉塞容器主體開口部21時，裏側基板支撐部6與多個基板W的邊緣部抵接，由此能夠支撐多個基板W的邊緣部的後部。
蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周邊部28（圖1等）能夠拆裝，能夠閉塞容器主體開口部21。未繪示的前保持器設置於蓋體3的部分且設置在透過蓋體3閉塞容器主體開口部21時與基板收納空間27相對的部分。前保持器在基板收納空間27的內部與裏側基板支撐部6成對地配置。
在透過蓋體3閉塞容器主體開口部21時，前保持器透過與多個基板W的邊緣部抵接而能夠支撐多個基板W的邊緣部的前部。在透過蓋體3閉塞容器主體開口部21時，前保持器與裏側基板支撐部6協作而支撐多個基板W，由此保持為使鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離並列的狀態。
基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，在沒有特別說明的情況下，作為其材料的樹脂，可列舉例如聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物這樣的熱塑性樹脂或它們的合金等。在向這些成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、導電性聚合物等導電性物質。另外，為了提高剛性也可以添加玻璃纖維、碳纖維等。
以下，對各部進行詳細說明。
圖5是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80的側方剖視圖。圖6是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80的下方立體圖。圖7是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80的分解立體圖。圖8是表示基板收納容器1的排氣用過濾部90的側方剖視圖。圖9是表示基板收納容器1的排氣用過濾部90的分解立體圖。
如圖1所示，容器主體2的壁部20具有裏壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25、第二側壁26。裏壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25及第二側壁26由上述的材料構成，被一體成形而構成。
第一側壁25與第二側壁26相對，上壁23與下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端及第二側壁26的後端全部連接於裏壁22。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端及第二側壁26的前端構成開口周邊部28，開口周邊部28形成呈大致長方形形狀的容器主體開口部21。
開口周邊部28設置於容器主體2的一端部，裏壁22位於容器主體2的另一端部。透過壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面，即，裏壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面及第二側壁26的內表面形成由它們包圍的基板收納空間27。在開口周邊部28形成的容器主體開口部21由壁部20包圍並與形成在容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27最多能夠收納25張基板W。
如圖1所示，在上壁23及下壁24的部分且在開口周邊部28的附近的部分，形成有朝向基板收納空間27的外方凹陷的閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23及下壁24的左右兩端部附近各形成一個，總計四個。
如圖1所示，在上壁23的外表面中，肋235與上壁23一體成形地設置。肋235提高容器主體2的剛性。另外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236是在AMHS（自動晶圓運送系統）、PGV（晶圓基板運送台車）等中懸吊基板收納容器1時，在基板收納容器1中成為懸掛而懸吊的部分的構件。
如圖3所示，在下壁24固定有底板244。底板244具有與構成下壁24的外表面的下表面的大致整面對向配置的大致長方形形狀的板狀，固定於下壁24。
如圖3所示，在下壁24的四個角形成有兩個種類的作為貫通孔的供氣孔242和排氣孔243。在本實施方式中，下壁24的前部的兩個部位的貫通孔是用於將容器主體2的內部的氣體排出的排氣孔243，後部的兩個部位的貫通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242。
在作為供氣孔242的貫通孔配置作為附加部件的供氣用過濾部80，在作為排氣孔243的貫通孔配置排氣用過濾部90。即，供氣用過濾部80及排氣用過濾部90的內部的氣體的流路，構成能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的通氣路的一部分。另外，供氣用過濾部80和排氣用過濾部90配置於壁部20，在供氣用過濾部80和排氣用過濾部90中，氣體在容器主體2的外部的空間與基板收納空間27之間能夠通過。供氣用過濾部80與氣體噴出噴嘴部8的內部空間連通，透過氣體噴出噴嘴部8的內部空間供給到供氣用過濾部80的淨化氣體向基板收納空間27供給。
如圖5～圖7所示，供氣用過濾部80具有作為過濾部殼體的內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83、及第二殼體部84、過濾器85、閥體86、作為施力構件的彈簧87、緊貼墊88。內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83及第二殼體部84分別透過由各自獨立的部件構成的不同個體構成。因此，內側開口形成部81、第一殼體部82及第二殼體部84與噴嘴部83分開地構成。另外，透過由內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83、第二殼體部84構成的過濾部殼體，形成具有收容閥體86的閥體收容室804的通氣路801且能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的通氣路801。在供氣用過濾部80中，氣體透過過濾器85能夠從容器主體2的外部的空間向基板收納空間27通過。
如圖7所示，內側開口形成部81具有圓盤形狀。如圖5所示，內側開口形成部81的中央部分具有向上方向D21突出的圓形形狀突出部811。內側開口形成部81的周邊的部分具有平板狀的環狀周邊部812。如圖7所示，在圓形形狀突出部811，從圓形形狀突出部811的中心呈放射狀地形成有多個貫通孔806。多個貫通孔806構成通氣路801。多個貫通孔806的上端的開口向基板收納空間27開口而形成與基板收納空間27連接的基板收納空間側開口807。因此，通氣路801具有基板收納空間側開口807。
如圖5所示，第一殼體部82具有筒狀部821、端部凸緣部822、端部板狀部823。筒狀部821具有圓筒形狀，在筒狀部821的上端部一體成形地連接有圓盤形狀的端部板狀部823。在筒狀部821的側面（外周面）螺刻有外螺紋部。在筒狀部821的側面的部分且在比外螺紋部靠上方的部分，與筒狀部821一體成形地設有小凸緣部824。端部凸緣部822與筒狀部821一體成形地設置在比小凸緣部824存在的筒狀部821的部分靠上方的筒狀部821的上端部。端部凸緣部822具有向上方向D21延伸的突部825。突部825與內側開口形成部81中形成有凹部815的環狀周邊部812的部分被焊接，由此將端部凸緣部822固定於環狀周邊部812。由此，第一殼體部82以與內側開口形成部81同軸的位置關係連接於內側開口形成部81。
如圖5所示，噴嘴部83具有筒狀部831和外部突出部832。筒狀部831具有圓筒形狀。筒狀部831的內周面構成供後述的閥體86的閥體主體部860的外周面滑動的內周滑動面。筒狀部831的外周面的下部具有外徑大的外徑大徑部833。外徑大徑部833的下端部與以減小外徑大徑部833的下端部的內徑的方式設置的大徑部底部834一體成形地連接，大徑部底部834與外部突出部832透過一體成形而連接。外徑大徑部833的上部的外徑比第一殼體部82的筒狀部821的內徑稍小，在圖5中未出示，但是在外徑大徑部833的上部的外周面與筒狀部821的內周面之間形成有間隙。由此，噴嘴部83相對於筒狀部821，在維持噴嘴部83及筒狀部821的軸心平行的位置關係的狀態下，沿著與噴嘴部83及筒狀部821的軸心正交的方向（圖5中的左右方向及將紙面的裏側與近前側連結的方向）相對於筒狀部821能夠稍微移動。在大徑部底部834的中央形成有圓柱形狀的貫通孔，該貫通孔構成作為外方開口部的外部空間側收容室開口803。形成大徑部底部834上表面及外部空間側收容室開口803的噴嘴部83的部分，構成供作為密封部的密封壁861及凸部8611抵接的閥座。
外部突出部832具有軸向的長度短的圓筒形狀。外部突出部832的外徑、內徑分別比外徑大徑部833的外徑、內徑小。外部突出部832的下端部的開口構成外部空間側開口802。外部空間側開口802構成通氣路801。因此，通氣路801具有外部空間側開口802。
如圖5所示，第二殼體部84具有筒狀部841、端部內方突出部842、和端部軸向突出部843。筒狀部841具有圓筒形狀。筒狀部841的內徑比第一殼體部82的筒狀部821的外徑大。由此，第一殼體部82以與第二殼體部84的筒狀部841同軸的位置關係配置在透過第二殼體部84的筒狀部841的內周面形成的空間內。
在筒狀部841的內周面螺刻有內螺紋部。在內螺紋部有第一殼體部82的筒狀部821的外螺紋部螺合。由此，第二殼體部84固定於第一殼體部82。端部內方突出部842一體成形地設置於筒狀部841的下端部。端部內方突出部842從筒狀部841的下端部向筒狀部841的半徑方向內方突出，具有環狀的板狀。端部軸向突出部843從端部內方突出部842的下表面向下方向D22突出，具有環狀。另外，如圖6等所示，設有從端部軸向突出部843朝向筒狀部841的外方突出的肋部846。肋部846在筒狀部841的圓周方向上等間隔地形成四個。
噴嘴部83的部分且外部空間側開口802的周圍的部分，即，外部突出部832的下端部，向下方向D22突出，下方向D22是通氣路801在外部空間側開口802處開口的方向。外部突出部832的下端部及端部軸向突出部843構成向下方向開口的コ字形狀的部分，在該コ字形狀的部分嵌合有緊貼墊88。
緊貼墊88形成為具有與外部空間側開口802同軸的位置關係的環狀，與第二殼體部84的、收納空間27的外側方向的前端部（圖5中的第二殼體部84的最下端）相比，緊貼墊88的外側方向的前端部的表面（圖7中的緊貼墊88的最下表面）位於下側。緊貼墊88的、收納空間27的外側方向的前端部（圖5中的緊貼墊88的最下表面），構成與後述的淨化口（氣體注入口）緊貼的密封面。緊貼墊88防止未繪示的淨化口與密封面之間的氣體洩漏。
在噴嘴部83使用了外部氣體產生量少的聚碳酸酯。除了聚碳酸酯以外，可以使用環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚醚酮等樹脂。另外，作為緊貼墊88，可以使用例如聚對苯二甲酸丁二醇酯或聚乙烯等樹脂、或聚乙烯彈性體或聚烯烴彈性體等彈性體、矽橡膠或氟橡膠等橡膠材料。緊貼墊88的下端面被實施褶皺加工而粗糙面化。
第一殼體部82向下壁24的固定經由在第一殼體部82的側面形成的槽內安裝的O型圈89進行。在第一殼體部82向下壁24固定時，在第一殼體部82與下壁24之間使用O型圈89，將下壁24與噴嘴部93之間密封。
在供氣用過濾部80中，通過構成過濾部殼體的內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83及第二殼體部84形成通氣路801。更具體而言，通氣路801從內側開口形成部81的貫通孔806的基板收納空間側開口807與閥體收容室804連續地直至噴嘴部83的外部空間側開口802。
如圖5、圖7所示，閥體86由能夠彈性變形的材料構成，具體而言，只要為能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等即可，在本實施方式中，例如聚丙烯作為優選的材料使用。閥體86具有大致圓筒狀的閥體主體部860、和凸部8611。閥體86的一端部由構成閥體主體部860的作為密封部的密封壁861閉塞。密封壁861的外表面構成密封面862。如圖5等所示，凸部8611從密封壁861突出地設置於密封壁861。凸部8611與密封壁861一體成形地設置，具有與外部空間側收容室開口803嵌合的形狀及尺寸的圓柱形狀。如圖5所示，透過向外部空間側收容室開口803插入凸部8611並嵌合，能夠利用凸部8611將外部空間側收容室開口803閉塞，透過凸部8611從外部空間側收容室開口803脫離而將外部空間側收容室開口803開放。凸部8611的突出方向上的高度h1與作為外方開口部的外部空間側收容室開口803的貫通方向上的長度h2相同。如圖5所示，外部空間側開口802構成為比外部空間側收容室開口803寬，因此，外部空間側開口802的開口面積比外部空間側收容室開口803的開口面積大。
如圖7所示，在閥體86的部分且從閥體86的軸向上的中央位置至另一端部的部分，形成有切口863。切口863沿閥體86的圓周方向等間隔地形成兩個。在閥體86的側面設有從閥體86的側面向閥體86的外方呈半圓狀地突出的作為肋狀部的側面凸部864。側面凸部864在閥體86的側面從閥體86的一端延伸至另一端。側面凸部864在閥體86的側面位於鄰接的切口863與切口863之間。
閥體86的軸向上的閥體86的全長比上下方向D2上的從噴嘴部83的筒狀部831的上端至噴嘴部83的外徑大徑部833的上端的距離短。側面凸部864的突出端相對於噴嘴部83的筒狀部831的內周面能夠沿噴嘴部83的筒狀部831的軸向滑動。透過該滑動，閥體86能夠在密封面862與大徑部底部834抵接而閉塞外部空間側收容室開口803的位置（隔絕位置）和閥體86的上端部與第一殼體部82的端部板狀部823抵接的位置（最上位置）之間移動。因此，閥體86能夠在閥體收容室804中將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的連通位置和在閥體收容室804中隔絕基板收納空間27與容器主體2的外部的空間的連通的連通隔絕位置之間移動。
另外，為了形成側面凸部864而在閥體86的側面與噴嘴部83的筒狀部831的內周面之間確保有構成通氣路的空間。另外，在閥體86形成有切口863，因此即使在閥體86的上端部與第一殼體部82的端部板狀部823抵接時，也能確保構成通氣路801的空間。
過濾器85具有圓盤形狀。過濾器85的周邊部以由第一殼體部82的端部凸緣部822與內側開口形成部81的環狀周邊部812夾持的位置關係相對於端部凸緣部822及環狀周邊部812固定。由此，過濾器85配置於通氣路801。因此，閥體收容室804位於比過濾器85靠容器主體2的外部的空間側的通氣路801的部分。過濾器85阻止顆粒等通過內側開口形成部81的貫通孔806。
作為施力構件的彈簧87由壓縮彈簧構成。彈簧87的下端部與閥體86的密封壁861的內表面抵接。彈簧87的上端部與第一殼體部82的端部板狀部823抵接。
因此，在閥體86處於閉塞通氣路801的位置時，為了阻止氣體從外部空間側收容室開口803向閥體收容室804的流入，彈簧87以將閥體86的凸部8611插入於外部空間側收容室開口803而由閥體86的密封面862閉塞外部空間側收容室開口803的方式對閥體86施力。
如圖8、圖9所示，排氣用過濾部90具有作為過濾部殼體的內側開口形成部91、第一殼體部92、噴嘴部93、及第二殼體部94、過濾器95、彈簧座96、作為施力構件的彈簧97、緊貼墊98、閥體99。內側開口形成部91、第一殼體部92、噴嘴部93、及第二殼體部94分別透過由各自獨立的部件構成的不同個體構成。因此，內側開口形成部91、第一殼體部92及第二殼體部94與噴嘴部93分開地構成。另外，透過由內側開口形成部91、第一殼體部92、噴嘴部93、第二殼體部94構成的過濾部殼體，形成具有收容彈簧座96的閥體收容室904的通氣路901且能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的通氣路901。在排氣用過濾部90中，氣體透過過濾器95能夠從基板收納空間27向容器主體2的外部的空間通過。
如圖8所示，內側開口形成部91具有圓盤形狀。內側開口形成部91的中央部分具有向上方向D21突出的圓形形狀突出部911。內側開口形成部91的周邊的部分具有平板狀的環狀周邊部912。如圖9所示，在圓形形狀突出部911，從圓形形狀突出部911的中心呈放射狀地形成有多個貫通孔906。多個貫通孔906構成通氣路901。多個貫通孔906的上端的開口形成向基板收納空間27開口並與基板收納空間27連接的基板收納空間側開口907。因此，通氣路901具有基板收納空間側開口907。
如圖8所示，第一殼體部92具有筒狀部921、端部凸緣部922、和端部板狀部923。筒狀部921具有圓筒形狀，在筒狀部921的上端部一體成形地連接有圓盤形狀的端部板狀部923。在筒狀部921的側面（外周面）螺刻有外螺紋部。小凸緣部924與筒狀部921一體成形地設置在筒狀部921的側面的部分且比外螺紋部靠上方的部分。端部凸緣部922與筒狀部921一體成形地設置在比小凸緣部924存在的筒狀部921的部分靠上方的筒狀部921的上端部。端部凸緣部922具有向上方向D21延伸的突部925。突部925與內側開口形成部91中的形成有凹部915的環狀周邊部912的部分被焊接，由此將端部凸緣部922固定於環狀周邊部912。由此，第一殼體部92以與內側開口形成部91同軸的位置關係連接於內側開口形成部91。
如圖8所示，噴嘴部93具有筒狀部931和外部突出部932。筒狀部931具有圓筒形狀。筒狀部931的內周面構成供後述的彈簧座96的彈簧座主體部960的外周面滑動的內周滑動面。筒狀部931的下部與底部934一體成形地連接，底部934與外部突出部932一體成形地連接。筒狀部931的上部的外徑比第一殼體部92的筒狀部921的內徑稍小，如圖8所示，在筒狀部931的上部的外周面與筒狀部921的內周面之間形成間隙。由此，噴嘴部93相對於筒狀部921能夠沿著與噴嘴部93及筒狀部921的軸心正交的方向（圖8中的左右方向及將紙面的裏側與近前側連結的方向）稍微移動。在底部934的中央形成有圓柱形狀的貫通孔，該貫通孔構成外部空間側收容室開口903。
外部突出部932具有軸向的長度短的圓筒形狀。外部突出部932的外徑、內徑分別比筒狀部931的外徑、內徑小。如圖8所示，形成外部空間側收容室開口903的噴嘴部93的外部突出部932的內周面具有朝向容器主體2的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，該部分構成供作為密封部的閥體主體991抵接的閥座。
外部突出部932的下端部的開口構成外部空間側開口902。外部空間側開口902構成通氣路901。因此，通氣路901具有外部空間側開口902。
如圖8所示，第二殼體部94具有筒狀部941、端部內方突出部942、和端部軸向突出部943。筒狀部941具有圓筒形狀。筒狀部941的內徑比第一殼體部92的筒狀部921的外徑大。由此，第一殼體部92以與第二殼體部94的筒狀部941同軸的位置關係配置在透過第二殼體部94的筒狀部941的內周面形成的空間內。
在筒狀部941的內周面螺刻有內螺紋部。第一殼體部92的筒狀部921的外螺紋部與內螺紋部螺合。由此，第二殼體部94固定於第一殼體部92。端部內方突出部942一體成形地設置於筒狀部941的下端部。端部內方突出部942從筒狀部941的下端部向筒狀部941的半徑方向內方突出，具有環狀的板狀。端部軸向突出部943從端部內方突出部942的下表面向下方向D22突出，具有環狀。另外，如圖9等所示，設有從端部軸向突出部943朝向筒狀部941的外方突出的肋部946。肋部946在筒狀部941的圓周方向上等間隔地形成四個。
噴嘴部93的部分且外部空間側開口902的周圍的部分，即，外部突出部932的下端部，向下方向D22突出，下方向D22是通氣路901在外部空間側開口902處開口的方向。外部突出部932的下端部、及端部軸向突出部943構成向下方向開口的コ字形狀的部分，在該コ字形狀的部分嵌合有緊貼墊98。
緊貼墊98形成為具有與外部空間側開口902同軸的位置關係的環狀，與第二殼體部94的、收納空間27的外側方向的前端部（圖8中的第二殼體部94的最下端）、或噴嘴部93的外部突出部932的、收納空間27的外側方向的前端部（圖8中的外部突出部932的最下端）相比，緊貼墊98的外側方向的前端部的表面（圖8中的緊貼墊98的最下表面）位於下側。緊貼墊98的、收納空間27的外側方向的前端部（圖8中的緊貼墊98的最下表面），構成與後述的淨化口（氣體注入口）緊貼的密封面。緊貼墊98防止未繪示的淨化口與密封面之間的氣體洩漏。
噴嘴部93使用了外部氣體產生量少的聚碳酸酯。除了聚碳酸酯以外，還可以使用環烯烴聚合物或聚醚醯亞胺、聚醚醚酮等樹脂。另外，作為緊貼墊98，可以使用例如聚對苯二甲酸丁二醇酯或聚乙烯等樹脂、或聚乙烯彈性體或聚烯烴彈性體等彈性體、矽橡膠或氟橡膠等橡膠材料。緊貼墊98的下端面被實施褶皺加工，進行粗糙面化。
第一殼體部92向下壁24的固定經由在第一殼體部92的側面形成的槽927內安裝的未繪示的O型圈進行。在第一殼體部92向下壁24固定時，在第一殼體部92與下壁24之間使用未繪示的O型圈，將下壁24與噴嘴部93之間密封。
在排氣用過濾部90中，透過構成過濾部殼體的內側開口形成部91、第一殼體部92、噴嘴部93及第二殼體部94形成通氣路901。更具體而言，通氣路901從內側開口形成部91的貫通孔906的基板收納空間側開口907與閥體收容室904連續地直至噴嘴部93的外部空間側開口902。
如圖8、圖9所示，彈簧座96由噴嘴部93支撐，構成對閥體99的移動進行引導的被施力構件。彈簧座96具有大致圓筒狀的彈簧座主體部960、和中央筒狀凸部963。彈簧座96的一端部由構成彈簧座主體部960的端部壁961閉塞。彈簧座主體部960構成被施力構件主體部。
如圖8等所示，在端部壁961的中央部從端部壁961朝向下方向突出設有中央筒狀凸部963。如圖9所示，在中央筒狀凸部963的周圍的端部壁961的部分形成有能夠流通氣體的作為氣體流通路的多個貫通孔9613。中央筒狀凸部963與端部壁961一體成形地設置，在中央筒狀凸部963的中央部形成有沿彈簧座96的軸向貫通的貫通孔。中央筒狀凸部963的突出端部向彈簧座96的徑向內方稍突出。中央筒狀凸部963構成閥體固定部。
閥體99具有閥體主體991和閥體軸部992。閥體主體991具有錐形形狀，該錐形形狀具有朝向容器主體2的外部的空間而直徑變寬的錐形面9911，在圖8所示的剖視圖中，具有梯形形狀。梯形形狀的底部的端緣具有與外部空間側收容室開口903嵌合的尺寸。如圖8所示，透過閥體主體991與外部空間側收容室開口903嵌合，能夠利用閥體主體991閉塞外部空間側收容室開口903，透過閥體主體991從外部空間側收容室開口903脫離而將外部空間側收容室開口903開放。
閥體主體991構成將外部空間側收容室開口903閉塞的閥體99的作為密封部的貫通孔閉塞部。如圖8所示，閥體主體991的軸向上的每單位長度的閥體主體991的外周面的錐度比，大於外部空間側開口902及外部空間側收容室開口903的軸向上的每單位長度的形成外部空間側開口902及外部空間側收容室開口903的外部突出部932的部分的內周面的錐形面9321的錐度比。即，如圖8所示，閥體主體991的外周面的錐形相對於閥體主體991的軸向傾斜的傾斜角度a1，大於形成外部空間側開口902及外部空間側收容室開口903的外部突出部932的部分的內周面的錐形相對於外部突出部932的部分的軸向傾斜的傾斜角度a2。
閥體軸部992的下端部與閥體主體991一體成形地連接。閥體軸部992的上部具有向閥體軸部992的徑向外方突出的下側突出部9921和在下側突出部9921的上側且從下側突出部9921分離的位置向閥體軸部992的徑向外方突出的上側突出部9923，下側突出部9921與上側突出部9923相比突出量更大。比下側突出部9921靠閥體軸部992的上端側的部分插入於中央筒狀凸部963的貫通孔，中央筒狀凸部963的突出端部嵌合於下側突出部9921與上側突出部9923之間，由此閥體軸部992的上端部以能夠拆裝的方式固定連接於彈簧座96的中央筒狀凸部963。由此，彈簧座96與閥體99能夠一體地沿它們的軸向移動。
閥體99由能夠彈性變形的材料構成，具體而言，只要是能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等即可，在本實施方式中，例如聚丙烯作為優選的材料使用。
如圖9所示，在彈簧座96的側面設有從彈簧座96的側面向彈簧座96的外方呈半圓狀突出的作為肋狀部的側面凸部964。側面凸部964在彈簧座96的側面，從彈簧座96的一端延伸至另一端。側面凸部964在彈簧座96的側面中，在彈簧座96的圓周方向上設置多個。
彈簧座96的軸向上的彈簧座96的、大致圓筒形狀的彈簧座主體部960的軸向的長度，比上下方向D2上的噴嘴部93的筒狀部931的長度短。因此，彈簧座96相對於筒狀部931的內周面能夠沿噴嘴部93的筒狀部931的軸向滑動。透過該滑動，彈簧座96能夠在閥體主體991與噴嘴部93的外部突出部932的內周面抵接而閉塞外部空間側收容室開口903的位置（閉塞位置）和閥體主體991比圖8所示的位置向下側移動而從噴嘴部93的外部突出部932的內周面分離從而將外部空間側收容室開口903開放的位置（開放位置）之間移動。
另外，為了形成側面凸部964而在彈簧座96的側面與噴嘴部93的筒狀部931的內周面之間確保構成通氣路的空間。
過濾器95具有圓盤形狀。過濾器95的周邊部以由第一殼體部92的端部凸緣部922與內側開口形成部91的環狀周邊部912夾持那樣的位置關係相對於端部凸緣部922及環狀周邊部912固定。由此，過濾器95配置於通氣路901。因此，閥體收容室904位於比過濾器95靠容器主體2的外部的空間側的通氣路901的部分。過濾器95阻止顆粒等通過內側開口形成部91的貫通孔906。
排氣用過濾部90的過濾器95的有效面積比供氣用過濾部80的過濾器85的有效面積大。具體而言，排氣用過濾部90的過濾器95的有效面積優選為供氣用過濾部80的過濾器85的有效面積的1.5倍以上，在本實施方式中為2倍以上。設為1.5倍以上的原因在於，1.5倍以下時無法進行高效的氣體淨化，氣體淨化需要長時間。透過設為2倍以上，能夠可靠地進行高效的氣體淨化。
作為施力構件的彈簧97由壓縮彈簧構成。彈簧97的上端部與彈簧座96的端部壁961的內表面（下表面）抵接。彈簧97的下端部與噴嘴部93的底部934抵接。
因此，在閥體99處於閉塞通氣路901的位置時，為了阻止氣體從外部空間側收容室開口903向外部空間的流出，彈簧97對彈簧座96的端部壁961向過濾器95的方向（圖8中的上方向）施力。即，彈簧97對閥體99以向閉塞位置移動的方式施力。如圖8所示，彈簧97的直徑比外部空間側收容室開口903的具有最大直徑的部分即外部空間側開口902的直徑大。
如圖2等所示，基板支撐板狀部5分別設置於第一側壁25及第二側壁26，在左右方向D3上成對地在基板收納空間27內設置於容器主體2。具體而言，如圖4等所示，基板支撐板狀部5具有板部51。
板部51具有板狀的大致弧形狀。板部51在第一側壁25、第二側壁26分別沿上下方向D2各設置25張，總計設置50張。鄰接的板部51在上下方向D2上配置成以10mm～12mm間隔相互分離而平行的位置關係。
另外，設置於第一側壁25的25張板部51與設置於第二側壁26的25張板部51具有相互在左右方向D3上相對的位置關係。在板部51的上表面設有凸部511、512。被板部51支撐的基板W僅與凸部511、512的突出端接觸，未透過面與板部51接觸。
這樣的結構的基板支撐板狀部5能夠將多個基板W的邊緣部支撐為多個基板W中的鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離的狀態且相互平行的位置關係的狀態。
如圖4所示，裏側基板支撐部6具有裏側邊緣支撐部60。裏側邊緣支撐部60與容器主體2一體成形於基板支撐板狀部5的板部51的後端部而構成。
裏側邊緣支撐部60設置與基板收納空間27能夠收納的基板W的每一張對應的個數，具體為25個。配置於第一側壁25及第二側壁26的裏側邊緣支撐部60在前後方向D1上具有與後述的前保持器成對的位置關係。在基板收納空間27內收納基板W，將蓋體3關閉，由此裏側邊緣支撐部60夾持基板W的邊緣部的邊緣並支撐。
如圖1所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周邊部28的形狀大體一致的大致長方形形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周邊部28能夠拆裝，透過在開口周邊部28安裝蓋體3，蓋體3能夠以由開口周邊部28包圍的位置關係閉塞容器主體開口部21。
在蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的裏側的面）且蓋體3閉塞容器主體開口部21時的與開口周邊部28的緊挨著後方向D12的位置形成的臺階的部分的面（密封面281）相對的面上，以環繞蓋體3的外周邊部一周的方式安裝環狀的密封構件4。密封構件4以環繞蓋體3一周的方式配置。密封構件4為能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等。
在蓋體3安裝於開口周邊部28時，密封構件4由容器主體2的密封面281（參照圖1）和蓋體3的內表面夾持而發生彈性變形。即，透過在蓋體3與容器主體2之間夾設密封構件4，在蓋體3與開口周邊部28相互未抵接而分離的狀態下，蓋體3能夠閉塞容器主體開口部21。透過從開口周邊部28拆卸蓋體3，相對於容器主體2內的基板收納空間27能夠放入取出基板W。
在蓋體3中設有閂鎖機構。閂鎖機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，如圖1所示，包含從蓋體3的上邊能夠向上方向突出的兩個上側閂鎖部32A、32A和從蓋體3的下邊能夠向下方向突出的兩個下側閂鎖部32B、32B。兩個上側閂鎖部32A、32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側閂鎖部32B、32B配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。
在蓋體3的外表面設有操作部33。透過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，能夠使上側閂鎖部32A、32A、下側閂鎖部32B、32B從蓋體3的上邊、下邊突出，而且，能夠設為從上邊、下邊不突出的狀態。上側閂鎖部32A、32A從蓋體3的上邊向上方向突出，與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，且下側閂鎖部32B、32B從蓋體3的下邊向下方向突出，與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，由此將蓋體3固定於容器主體2的開口周邊部31。
在蓋體3的內側（圖1中的蓋體3的後方向D12側）形成有向收納空間27的外方（前方向D11）凹陷的凹部（未繪示）。在凹部（未繪示）及凹部的外側的蓋體3的部分固定設有前保持器（未繪示）。
前保持器（未繪示）具有前保持器基板承受部（未繪示）。前保持器基板承受部（未繪示）沿左右方向以規定的間隔分離而成對地各配置兩個。這樣成對配置各兩個的前保持器基板承受部沿上下方向以並列25對的狀態設置。在收納空間27內收納基板W，將蓋體3關閉，由此，前保持器基板承受部夾持基板W的邊緣部的邊緣並支撐。
根據上述結構的本實施方式的基板收納容器1，能夠得到以下那樣的效果。
如前所述，在由第一殼體部82、噴嘴部83、第二殼體部84構成的供氣用過濾部80的過濾部殼體，收容有閥體86，閥體86透過向作為外方開口部的外部空間側收容室開口803插入而將外部空間側收容室開口803閉塞，透過從外部空間側收容室開口803脫離而將外部空間側收容室開口803開放。
透過上述結構，將附著於容器內的污染物質或顆粒定期地使用清洗裝置透過清洗水進行清洗時，透過向外部空間側收容室開口803插入閥體86的凸部8611而將外部空間側收容室開口803閉塞，因此能夠抑制清洗水向位於比外部空間側收容室開口803靠過濾部殼體的內部的通氣路的部分的侵入。其結果是，能夠大幅縮短用於使過濾部殼體的內部的通氣路乾燥的時間。
另外，即使閥體86向圖5的上側稍微上升，也能維持閥體86的凸部8611插入到外部空間側收容室開口803的狀態，維持外部空間側收容室開口803被閉塞的狀態。並且，在圖5所示的密封壁861的下表面與噴嘴部的大徑部底部834的上表面之間成為規定的距離時，凸部8611從外部空間側收容室開口803脫離，通氣路成為開放的狀態。因此，能夠防止像以往的閥體那樣在稍打開之後立即關閉的情況在短時間內反復而產生所謂振動音的情況。
另外，容器主體2的朝向外部的空間開口的外部空間側開口802的開口面積大於供閥體86插入的外部空間側收容室開口803的開口面積。透過該構成，透過從開口面積大的外部空間側開口802流入的氣體的流動，從向外部空間側收容室開口803插入閥體86的凸部8611的狀態成為未插入凸部8611的狀態的情況變得容易，能夠更迅速地進行氣體淨化。
另外，構成內側殼體部的噴嘴部83具有作為外方開口部的外部空間側收容室開口803。透過該結構，能夠成為具有閥體86的結構，該閥體86具有與噴嘴部83的外部空間側收容室開口803嵌合的凸部8611。
另外，閥體86具有閥體主體部860和從閥體主體部860突出並向外部空間側收容室開口803插入的凸部8611。透過該結構，能夠容易實現透過向外部空間側收容室開口803插入而閉塞外部空間側收容室開口803並透過從外部空間側收容室開口803脫離而將外部空間側收容室開口803開放的閥體86。
另外，凸部8611的周圍的閥體主體部860的部分構成密封部，作為內側殼體部的噴嘴部83包含筒狀部831，筒狀部831具有透過閥體主體部860滑動而支撐閥體主體部860的內周滑動面，外部空間側收容室開口803的周圍的噴嘴部83的部分構成供密封部抵接的閥座。透過該結構，能夠容易構成供閥體86的密封部抵接的閥座，閥體86透過向作為外方開口部的外部空間側收容室開口803插入而閉塞外部空間側收容室開口803，透過從外部空間側收容室開口803脫離而將外部空間側收容室開口803開放。
另外，在閥體主體部860設有與筒狀部831的內周滑動面直接抵接而滑動的作為肋狀部的側面凸部864。透過該結構，能夠抑制側面凸部864相對於筒狀部831的內周滑動面的滑動音、振動音。
另外，供氣用過濾部80包含對於閥體86向插入於外部空間側收容室開口803的方向施力的作為施力構件的彈簧87。透過該結構，透過將彈簧87的彈簧常數設為適當的值，在氣體的壓力為規定的壓力以下的情況下，透過閥體86能夠可靠地閉塞通氣路。
另外，根據上述構成的本實施方式的基板收納容器1，能夠得到以下的效果。在排氣用過濾部90的過濾部殼體收容有：能夠在向作為外方開口部的外部空間側收容室開口903插入而將外部空間側收容室開口903的外部空間側收容室開口903閉塞的閉塞位置和將外部空間側收容室開口903開放的開放位置之間移動的閥體99、與閥體99連接並以能夠在排氣用過濾部90的過濾部殼體的內部移動的方式被排氣用過濾部90的過濾部殼體支撐且對閥體99的移動進行引導的作為被施力構件的彈簧座96、和以使閥體99向閉塞位置移動的方式對作為被施力構件的彈簧座96施力的作為施力構件的彈簧97，排氣用過濾部90的過濾器95的有效面積比供氣用過濾部80的過濾器85的有效面積大。
透過該結構，排氣用過濾部90的過濾器95的有效面積比供氣用過濾部80的過濾器85的有效面積大，因此能夠使從排氣用過濾部90的基板收納空間27的氣體的排氣容易，透過注入到容器主體2的基板收納空間27的淨化氣體能夠高效地進行置換。
另外，在排氣用過濾部90的過濾部殼體收容有：閥體99、與閥體99連接並以能夠在排氣用過濾部90的過濾部殼體的內部移動的方式被排氣用過濾部90的過濾部殼體支撐別對閥體99的移動進行引導的作為被施力構件的彈簧座96、和以閥體99向閉塞位置移動的方式對作為被施力構件的彈簧座96進行施力的作為施力構件的彈簧97，因此，由於閥體99處於閉塞位置，在利用清洗水進行基板收納容器的清洗時，透過閥體99將外部空間側收容室開口903閉塞，因此能夠抑制清洗水侵入到位於比外部空間側收容室開口903靠過濾部殼體的內部的通氣路的部分。其結果是，能夠大幅縮短用於使過濾部殼體的內部的通氣路乾燥的時間。
另外，閥體由能夠彈性變形的材料構成。透過該結構，能夠使閥體99可靠地閉塞外部空間側收容室開口903。
另外，閥體99以能夠拆裝的方式固定於作為被施力構件的彈簧座96。透過該結構，即使由於長期的使用而閥體99的密封性降低的情況下，也能夠容易地將閥體99從彈簧座96拆卸下來而更換為新的閥體99。
另外，在作為被施力構件的彈簧座96形成有作為能夠流通氣體的氣體流通路的貫通孔9613。透過該結構，經由彈簧座96能夠使氣體流通。
另外，施力構件由彈簧97構成，彈簧97的直徑比外部空間側收容室開口903的直徑大。透過該結構，能夠極力減小彈簧常數，閥體99以較弱的壓力能夠向開放位置移動。
另外，作為內側殼體部的噴嘴部93具有作為外方開口部的外部空間側收容室開口903。透過該結構，能夠容易實現具有閥體99的結構，閥體99具有將噴嘴部93的外部空間側收容室開口903閉塞的閥體主體991。
另外，作為被施力構件的彈簧座96包含作為被施力構件主體部的彈簧座主體部960，彈簧座主體部960具有將閥體99固定的作為閥體固定部的中央筒狀凸部963，作為內側殼體部的噴嘴部93包含：具有供彈簧座主體部960滑動而支撐彈簧座主體部960的內周滑動面的作為筒形狀部的筒狀部931、和與筒狀部931一體成形的外部空間側收容室開口903。透過該結構，能夠容易實現具有將噴嘴部93的外部空間側收容室開口903閉塞的閥體99的結構。
另外，如圖8所示，外部空間側收容室開口903具有朝向容器主體2的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，閥體99具有在閉塞位置將外部空間側收容室開口903閉塞的作為貫通孔閉塞部的閥體主體991，閥體主體991的外周面具有朝向容器主體2的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，閥體主體991的軸向上的每單位長度的閥體主體991的外周面的錐度比，大於外部空間側收容室開口903的軸向上的每單位長度的外部空間側收容室開口903的內周面的錐度比。
透過該結構，閥體主體991的下端部能夠較强且可靠地抵接於外部空間側收容室開口903的內周面，透過閥體主體991能夠可靠地閉塞外部空間側收容室開口903。其結果是，能夠可靠地抑制清洗水侵入到位於比外部空間側收容室開口903靠過濾部殼體的內部的通氣路的部分。
另外，基板收納容器1包含過濾部，該過濾部具有能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的通氣路210、形成通氣路210的殼體（內側開口形成部91、第一殼體部92、噴嘴部93、第二殼體部94），在殼體收容有：能夠在向作為外方開口部的外部空間側收容室開口903插入而將外部空間側收容室開口903的外部空間側收容室開口903閉塞的閉塞位置和將外部空間側收容室開口903開放的開放位置之間移動的閥體99；具有筒狀並連接於閥體99且以能夠在殼體的內部移動的方式被殼體支撐並被引導，以與閥體99一體移動的方式引導閥體99的移動的作為被施力構件的彈簧座96；以閥體99向閉塞位置移動的方式對彈簧座96施力的作為施力構件的彈簧97。
透過該結構，在使閥體99的軸穩定的狀態下，能夠使閥體99在閉塞位置與開放位置之間移動。因此，能夠抑制閥體99引起的密封不良的產生。其結果是，能夠抑制淨化氣體的洩漏，能夠抑制淨化氣體的排氣效率的變差。
另外，根據上述結構而能夠使用彈簧常數低的彈簧，因此將淨化氣體排氣時的阻力減少，能夠增加從排氣孔243的氣體排氣量。其結果是，由於從排氣孔243的氣體排氣量增加而能夠減少從密封構件4（墊圈）漏出的氣體量。
另外，由於設為具有閥體99的結構，因此在過濾部的外氣側不需要設置防止水浸入的過濾膜等，因此能夠使淨化氣體的排氣的阻力成為最小限度。另外，由於從排氣孔的淨化氣體的排氣量增加而將淨化氣體向適當的場所回收，能夠維持安全的作業環境。另外，由於能夠防止清洗基板收納容器1時水向過濾部內的浸入，因此不需要拆卸過濾部進行乾燥，能夠實現清洗時間的縮短。
接下來，關於本發明的第二實施方式，參照圖式進行說明。圖10是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80A的側方剖視圖。圖11是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80A的下方立體圖。圖12是表示基板收納容器1的供氣用過濾部80A的分解立體圖。
在第二實施方式中，閥體86A的凸部8611A的突出長度與第一實施方式的閥體86的凸部8611的突出長度不同。關於除此以外的結構，由於與第一實施方式同樣，因此對於同一構件，標註同一符號，省略說明。
凸部8611A的突出方向上的高度h1比作為外方開口部的外部空間側收容室開口803的貫通方向上的長度h2高。因此，如圖10、圖11所示，凸部8611A從外部空間側收容室開口803向下方向突出。
透過該結構，即使閥體86A向圖10的上側比第一實施方式的閥體86上升，也能維持閥體86A的凸部8611A插入到外部空間側收容室開口803的狀態，維持外部空間側收容室開口803被閉塞的狀態。因此，能夠更可靠地防止如以往的閥體那樣稍打開之後立即關閉的情況在短時間內反復而產生所謂振動音的情況。
接下來，關於本發明的第三實施方式，參照圖式進行說明。圖13是表示排氣用過濾部90B的側方剖視圖。
在第三實施方式中，排氣用過濾部90B的噴嘴部93B的筒狀部931B、第二殼體部94B的端部軸向突出部943B、彈簧座96B的中央筒狀凸部963B、閥體軸部992B的結構，與第一實施方式的噴嘴部93的筒狀部931、第二殼體部94的端部軸向突出部943、彈簧座96的中央筒狀凸部963、閥體軸部992的結構不同。關於除此以外的結構，由於與第一實施方式同樣，因此對於同一構件，標註同一符號，省略說明。
在噴嘴部93B的筒狀部931B的外周面的部分且筒狀部931B的軸向上的筒狀部931B的全長的、距圖13的筒狀部931B的下端為三分之一左右的部分，形成遍及筒狀部931B的整周凹陷的環狀槽，在環狀槽嵌合O型圈936B而設置。O型圈936B與第一殼體部92的筒狀部921的內周面抵接。
第二殼體部94B的端部軸向突出部943B的、圖13中的最下端部，具有向第二殼體部94B的半徑方向外側而外徑擴徑的凸緣部945B。
彈簧座96B的中央筒狀凸部963B比大致圓筒狀的彈簧座主體部960B的軸向的端部向圖13的下方向突出得更長。向中央筒狀凸部963B的下端部插入閥體軸部992B的上端部，中央筒狀凸部963B的下端部與閥體軸部992B的上端部的環狀槽994B卡合，由此閥體99B以同軸的位置關係固定於彈簧座96B。
接下來，關於本發明的第四實施方式，參照圖式進行說明。圖14是表示排氣用過濾部90C的側方剖視圖。
在第四實施方式中，排氣用過濾部90C的閥體99C的結構與第三實施方式的閥體99B的結構不同。關於除此以外的結構，由於與第三實施方式同樣，因此對於同一構件，標註同一符號，省略說明。
如圖14所示，閥體99C的閥體主體991C的周邊部具有圖14的上下方向上的中央部向閥體主體991C的半徑方向外方突出的中央突出部9911C，在中央突出部9911C遍及中央突出部9911C的整周形成有環狀槽。在環狀槽嵌合有O型圈9913C而設置。O型圈9913C與噴嘴部93C的外部突出部932C的部分的內周面的錐形面9321C抵接。
如前所述，在本實施方式中，在閥體99C的閥體主體991C的周邊部的中央突出部9911C設有O型圈。由此，能夠更可靠地進行基於閥體99C的密封。
本發明沒有限定為上述的實施方式，在申請專利範圍記載的技術範圍內能夠變形。
例如，基板收納容器、供氣用過濾部、排氣用過濾部的各部的結構沒有限定為本實施方式中的基板收納容器1、供氣用過濾部80、排氣用過濾部90的各部的結構。
另外，容器主體及蓋體的形狀、能夠收納於容器主體的基板的張數、尺寸沒有限定為本實施方式中的容器主體2及蓋體3的形狀、能夠收納於容器主體2的基板W的張數、尺寸。另外，本實施方式中的基板W為直徑300mm的矽晶圓，但是沒有限定為該值。
另外，裏側基板支撐部在本實施方式中在基板支撐板狀部5的板部51的後端部具有與容器主體2一體成形而構成的裏側邊緣支撐部60，但是沒有限定為該結構。例如，裏側基板支撐部可以不是與容器主體一體成形地構成而是個別構成。
另外，在本實施方式中，下壁24的前部的兩個部位的貫通孔是用於將容器主體2的內部的氣體排出的排氣孔243，後部的兩個部位的貫通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242，但是沒有限定為該結構。例如，也可以將下壁的前部的兩個部位的貫通孔的至少一個設為用於向容器主體的內部供給氣體的供氣孔。
1:基板收納容器 2:容器主體 20:壁部 21:容器主體開口部 210:通氣路 22:裏壁 23:上壁 231A、231B、241A、241B:閂鎖卡合凹部 235:肋 236:頂部凸緣 24:下壁 242:供氣孔 243:排氣孔 244:底板 25:第一側壁 26:第二側壁 27:基板收納空間 28:開口周邊部 281:密封面 3:蓋體 31:開口周邊部 32A:上側閂鎖部 32B:下側閂鎖部 33:操作部 4:密封構件 5:基板支撑撐板狀部 51:板部 511、512:凸部 6:裏側基板支撑撐部 60:裏側邊緣支撑撐部 8:氣體噴出噴嘴部 80、80A:供氣用過濾部 801、901:通氣路 802、902:外部空間側開口 803、903:外部空間側收容室開口（外方開口部） 804、904:閥體收容室 806、906:貫通孔 807、907:基板收納空間側開口 81:內側開口形成部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 811、911:圓形形狀突出部 812、912:環狀周邊部 815、915:凹部 82:第一殼體部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 821、921:筒狀部 822、922:端部凸緣部 823、923:端部板狀部 824、924:小凸緣部 825、925:突部 83:噴嘴部（殼體、過濾部殼體、內側殼體部） 831、931、931B:筒狀部（筒形狀部） 832、932、932C:外部突出部 833:外徑大徑部 834:大徑部底部（閥座） 84、94B:第二殼體部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 841、941:筒狀部 842、942:端部內方突出部 843、943、943B:端部軸向突出部 846、946:肋部 85、95:過濾器 86、86A:閥體 860、860A:閥體主體部 861:密封壁（密封部） 8611、8611A:凸部 862:密封面 863:切口 864、964:側面凸部（肋狀部） 87、97:彈簧（施力構件） 88、98:緊貼墊 89:O型圈 90、90B、90C:排氣用過濾部 91:內側開口形成部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 92:第一殼體部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 927:槽 93、93B、93C:噴嘴部（殼體、過濾部殼體、內側殼體部） 9321、9321C:錐形面 934:底部 936B:O型圈 94:第二殼體部（殼體、過濾部殼體、外部殼體部） 945B:凸緣部 96、96B:彈簧座（被施力構件） 960、960B:彈簧座主體部（被施力構件主體部） 961:端部壁 9613:貫通孔（氣體流通路） 963、963B:中央筒狀凸部 99、99B、99C:閥體 991、991C:閥體主體（貫通孔閉塞部） 9911:錐形面 9911C:中央突出部 9913C:O型圈 9913C:O型圈 992、992B:閥體軸部 9921:下側突出部 9923:上側突出部 994B:環狀槽 a1、a2:傾斜角度 h1:高度 h2:長度 W:基板 D1:前後方向 D11:前方向 D12:後方向 D2:上下方向 D21:上方向 D22:下方向 D3:左右方向 D31:左方向 D32:右方向
圖1是表示在本發明的第一實施方式的基板收納容器1收納有多個基板W的情形的分解立體圖。 圖2是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。 圖3是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。 圖4是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的側方剖視圖。 圖5是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80的側方剖視圖。 圖6是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80的下方立體圖。 圖7是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80的分解立體圖。 圖8是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的排氣用過濾部90的側方剖視圖。 圖9是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的排氣用過濾部90的分解立體圖。 圖10是表示本發明的第二實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80A的側方剖視圖。 圖11是表示本發明的第二實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80A的下方立體圖。 圖12是表示本發明的第二實施方式的基板收納容器1的供氣用過濾部80A的分解立體圖。 圖13是表示本發明的第三實施方式的基板收納容器1的排氣用過濾部90B的側方剖視圖。 圖14是表示本發明的第四實施方式的基板收納容器1的排氣用過濾部90C的側方剖視圖。
90:排氣用過濾部
901:通氣路
902:外部空間側開口
903:外部空間側收容室開口(外方開口部)
904:閥體收容室
906:貫通孔
907:基板收納空間側開口
91:內側開口形成部(殼體、過濾部殼體、外部殼體部)
911:圓形形狀突出部
912:環狀周邊部
915:凹部
92:第一殼體部(殼體、過濾部殼體、外部殼體部)
921:筒狀部
922:端部凸緣部
923:端部板狀部
924:小凸緣部
925:突部
927:槽
93:噴嘴部(殼體、過濾部殼體、內側殼體部)
931:筒狀部(筒形狀部)
932:外部突出部
9321:錐形面
934:底部
94:第二殼體部(殼體、過濾部殼體、外部殼體部)
941:筒狀部
942:端部內方突出部
943:端部軸向突出部
95:過濾器
96:彈簧座(被施力構件)
960:彈簧座主體部(被施力構件主體部)
961:端部壁
963:中央筒狀凸部
97:彈簧(施力構件)
98:緊貼墊
99:閥體
991:閥體主體(貫通孔閉塞部)
9911:錐形面
992:閥體軸部
9921:下側突出部
9923:上側突出部
a1、a2:傾斜角度

Claims (42)

  1. 一種基板收納容器，包含： 容器主體，其包含筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間； 蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部； 密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；及 過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過； 其中，所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，且在所述殼體收容有： 閥體，其插入於所述外方開口部，並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動； 被施力構件，其具有筒狀並連接於所述閥體，以能夠在所述殼體的內部移動的方式被所述殼體支撐並被引導，以與所述閥體一體移動的方式引導所述閥體的移動；以及 施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力。
  2. 根據請求項1所述的基板收納容器，其中，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。
  3. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，在所述閥體的周邊部設有O型圈。
  4. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件進行拆裝。
  5. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。
  6. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，所述施力構件由彈簧構成，且所述彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
  7. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，所述殼體包含： 外部殼體部；以及 內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
  8. 根據請求項7所述的基板收納容器，其中，所述被施力構件包含被施力構件主體部，所述被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含： 筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；以及 外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
  9. 根據請求項1或2所述的基板收納容器，其中，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
  10. 一種過濾部，其配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，其包含筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部； 其中，所述過濾部具有： 過濾器，其配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路；以及 殼體，其形成所述通氣路； 所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有： 閥體，其插入於所述外方開口部，並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動； 被施力構件，其具有筒狀並連接於所述閥體，以能夠在所述殼體的內部移動的方式被所述殼體支撐並被引導，以與所述閥體一體移動的方式引導所述閥體的移動；以及 施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力。
  11. 根據請求項10所述的過濾部，其中，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。
  12. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，在所述閥體的周邊部設有O型圈。
  13. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件拆裝進行固定。
  14. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。
  15. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，所述施力構件由彈簧構成，所述彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
  16. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，所述殼體包含： 外部殼體部；以及 內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
  17. 根據請求項16所述的過濾部，其中，所述被施力構件包含被施力構件主體部，所述被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含： 筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；以及 外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
  18. 根據請求項10或11所述的過濾部，其中，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
  19. 一種基板收納容器，包含： 容器主體，其包含筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間； 蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部； 密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；以及 過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述過濾部具有能夠使氣體從所述基板收納空間向所述容器主體的外部的空間流通的排氣用過濾部、能夠使氣體從所述容器主體的外部的空間向所述基板收納空間流通的供氣用過濾部； 其中，所述排氣用過濾部的所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，且在所述排氣用過濾部的所述殼體收容有： 閥體，其插入於所述外方開口部，並能夠在所述外方開口部的將所述外方開口部閉塞的閉塞位置和將所述外方開口部開放的開放位置之間移動； 被施力構件，其連接於所述閥體，以能夠在所述排氣用過濾部的所述殼體的內部移動的方式被所述排氣用過濾部的所述殼體支撐，引導所述閥體的移動；以及 施力構件，其以所述閥體向所述閉塞位置移動的方式對所述被施力構件施力；所述排氣用過濾部的所述過濾器的有效面積大於所述供氣用過濾部的所述過濾器的有效面積。
  20. 根據請求項19所述的基板收納容器，其中，所述閥體由能夠彈性變形的材料構成。
  21. 根據請求項19或20所述的基板收納容器，其中，所述閥體被固定成能夠相對於所述被施力構件進行拆裝。
  22. 根據請求項19或20所述的基板收納容器，其中，在所述被施力構件形成有能夠流通氣體的氣體流通路。
  23. 根據請求項19或20所述的基板收納容器，其中，所述施力構件由彈簧構成，所述彈簧的直徑比所述外方開口部的直徑大。
  24. 根據請求項19或20所述的基板收納容器，其中，所述殼體包含： 外部殼體部；以及 內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部；所述內側殼體部具有所述外方開口部。
  25. 根據請求項24所述的基板收納容器，其中，所述被施力構件包含被施力構件主體部，所述被施力構件主體部具有將所述閥體固定的閥體固定部，所述內側殼體部包含： 筒形狀部，其具有供所述被施力構件主體部滑動而支撐所述被施力構件主體部的內周滑動面；以及 外方開口部形成部，其與所述筒形狀部一體成形。
  26. 根據請求項19或20所述的基板收納容器，其中，所述外方開口部具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述閥體具有在所述閉塞位置閉塞所述外方開口部的貫通孔閉塞部，所述貫通孔閉塞部的外周面具有朝向所述容器主體的外部的空間而直徑變寬的錐形形狀，所述貫通孔閉塞部的軸向上的每單位長度的所述貫通孔閉塞部的外周面的錐度比大於所述外方開口部的軸向上的每單位長度的所述外方開口部的錐度比。
  27. 一種基板收納容器，包含： 容器主體，其包含筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間； 蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部； 密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部；以及 過濾部，其具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路、配置於所述通氣路的過濾器、形成所述通氣路的殼體，所述過濾部配置於所述容器主體，氣體透過所述過濾器能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有閥體，所述閥體透過插入於所述外方開口部而閉塞所述外方開口部，透過從所述外方開口部脫離而將所述外方開口部開放。
  28. 根據請求項27所述的基板收納容器，其中，朝向所述容器主體的外部的空間開口的所述通氣路的開口端的開口面積大於供所述閥體插入的所述外方開口部的開口面積。
  29. 根據請求項27或28所述的基板收納容器，其中，所述殼體包含： 外部殼體部；以及 內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
  30. 根據請求項29所述的基板收納容器，其中，所述閥體具有閥體主體部和從所述閥體主體部突出且向所述外方開口部插入的凸部。
  31. 根據請求項30所述的基板收納容器，其中，所述凸部的周圍的所述閥體主體部的部分構成密封部，所述內側殼體部包含筒形狀部，所述筒形狀部具有透過所述閥體主體部滑動而支撐所述閥體主體部的內周滑動面，所述外方開口部的周圍的所述內側殼體部的部分構成供所述密封部抵接的閥座。
  32. 根據請求項31所述的基板收納容器，其中，所述凸部的突出方向上的高度與所述外方開口部的貫通方向上的長度相同、或者比所述外方開口部的貫通方向上的長度高。
  33. 根據請求項31所述的基板收納容器，其中，在所述閥體主體部設有與所述內周滑動面直接抵接而滑動的肋狀部。
  34. 根據請求項27或28所述的基板收納容器，其中，所述過濾部包含對所述閥芯向插入於所述外方開口部的方向施力的施力構件。
  35. 一種過濾部，其配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，其包含筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周邊部且另一端部被閉塞，透過所述壁部的內表面，形成能夠收納基板並與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，其相對於所述開口周邊部能夠拆裝，能夠以由所述開口周邊部包圍的位置關係閉塞所述容器主體開口部；密封構件，其安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體及所述開口周邊部抵接，介於所述開口周邊部與所述蓋體之間並與所述開口周邊部及所述蓋體緊貼地抵接，由此與所述蓋體一起閉塞所述容器主體開口部，其中，所述過濾部具有： 過濾器，其配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的通氣路；以及 殼體，其形成所述通氣路； 其中，所述殼體具有朝向所述容器主體的外部的空間開口的外方開口部，在所述殼體收容有閥體，所述閥體透過插入於所述外方開口部而將所述外方開口部閉塞，透過從所述外方開口部脫離將所述外方開口部開放，氣體透過所述過濾器而能夠在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過。
  36. 根據請求項35所述的過濾部，其中，朝向所述容器主體的外部的空間開口的所述外方開口部的開口端的開口面積大於供所述閥體插入的所述外方開口部的開口面積。
  37. 根據請求項35或36所述的過濾部，其中，所述殼體包含： 外部殼體部；以及 內側殼體部，其配置於所述外部殼體部的內部，以能夠相對於所述外部殼體部移動的方式被所述外部殼體部支撐，所述內側殼體部具有所述外方開口部。
  38. 根據請求項37所述的過濾部，其中，所述閥體具有閥體主體部和從所述閥體主體部突出且向所述外方開口部插入的凸部。
  39. 根據請求項38所述的過濾部，其中，所述凸部的周圍的所述閥體主體部的部分構成密封部，所述內側殼體部包含筒形狀部，所述筒形狀部具有透過所述閥體主體部滑動而支撐所述閥體主體部的內周滑動面，所述外方開口部的周圍的所述內側殼體部的部分構成供所述密封部抵接的閥座。
  40. 根據請求項39所述的過濾部，其中，所述凸部的突出方向上的高度與所述外方開口部的貫通方向上的長度相同，或者比所述外方開口部的貫通方向上的長度高。
  41. 根據請求項39所述的過濾部，其中，在所述閥體主體部設有與所述內周滑動面直接抵接而滑動的肋狀部。
  42. 根據請求項35或36所述的過濾部，其中，所述過濾部包含對所述閥體向插入於所述外方開口部的方向施力的施力構件。
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