TW202105101A - 系統鑑別與伺服調機方法 - Google Patents

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TW202105101A
TW202105101A TW108125677A TW108125677A TW202105101A TW 202105101 A TW202105101 A TW 202105101A TW 108125677 A TW108125677 A TW 108125677A TW 108125677 A TW108125677 A TW 108125677A TW 202105101 A TW202105101 A TW 202105101A
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林建佑
李格非
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Abstract

本發明係提供一種系統鑑別與伺服調機方法，其係藉由輸出掃頻訊號激發工具驅動系統響應，以取得一速度迴路及一位置迴路之頻率響應；並藉由速度迴路轉移函數及位置迴路轉移函數，透過演算法以運算並鑑別工具驅動系統之馬達轉動慣量JM 、旋轉運動之阻尼係數BM 、驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct 及導桿之剛性K，並可更進一步透過工具驅動系統之變體速度及往復之運行而鑑別摩擦力及背隙值，藉以分析伺服控制器參數對工具驅動系統之影響；而藉由系統頻寬，限制共振峰值、增益邊限及相位邊限而找出最佳之伺服控制器參數Kp 、Kvp 、Kvi ，並調整輸入於該伺服控制器，藉以達致優化調機之目的，藉以減少工具驅動系統之振動現象，並能提升工具驅動系統之性能及工作精度者。

Description

系統鑑別與伺服調機方法
本發明係提供一種系統鑑別與伺服調機方法，尤指一種可對工具驅動系統進行鑑別，並透過智能演算法找出工具驅動系統當前狀況最合適之伺服控制器參數，藉以提升工具驅動系統之性能及工作精度者。
按，現今製造產業對成品的精度要求日漸增加，除要求一定的加工品質外，縮短加工週期也是一個重要的目標；因此，如何使電腦數值控制（Computer Numerical Control；CNC）工具機在不同加工環境或條件下維持高速及高精度是一個重要的議題；目前已有諸多文獻探討CNC工具機中之機械結構、運動控制、進給驅動系統、主軸、CNC伺服控制器及插補器等研究，並提出不同方法來改善加工性能；在傳統的設計過程中，工程師需要花費很多的時間和成本來製造和測試實物原型，以檢測需改善的地方藉以優化其設計；而現今的設計過程，機台是透過電腦採用模擬原型技術，與傳統設計方式相比，減少了許多時間和成本，惟對於調機仍須仰賴經驗或試誤法進行，此方法效率低且無法判斷伺服參數是否已達到最佳化。
由於工具機系統之性能將直接影響加工質量，因此，研究五軸進給驅動模型對於虛擬系統開發具有重要意義。目前已有許多文獻探討虛擬驅動系統的議題，並提出了虛擬進給模型，包含了馬達結構、摩擦力與背隙等非線性特性及噪音檢測，但其假設導螺桿是剛體，並忽略了工作台結構特徵，故仍降低虛擬進給驅動系統模型的性能。
有鑑於此，吾等發明人乃潛心進一步研究工具機系統之鑑別與調基，並著手進行研發及改良，期以一較佳發明以解決上述問題，且在經過不斷試驗及修改後而有本發明之問世。
爰是，本發明之目的係為解決前述問題，為達致以上目的，吾等發明人提供一種系統鑑別方法，其步驟包含：輸出一掃頻訊號於一工具驅動系統進行掃頻，藉以激發該工具驅動系統響應，並取得一速度迴路及一位置迴路之頻率響應；其中，該工具驅動系統具有至少一伺服控制器，其控制至少一馬達，至少一分別受所述馬達驅動旋轉之導桿，及至少一分別從動於所述導桿之驅動平台；建立一速度迴路轉移函數，並經運算以鑑別該工具驅動系統中具有之馬達的轉動慣量JM 及旋轉運動之阻尼係數BM ；以及建立一位置迴路轉移函數，並將該轉動慣量及旋轉運動之阻尼係數代入該位置迴路轉移函數，並經運算鑑別一驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct及導桿之剛性K。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該速度迴路轉移函數
Figure 02_image001
為
Figure 02_image003
；其中，Kp 、Kvp 、Kvi 為伺服控制器之參數，Kt 為馬達轉矩常數；且其係經演算法計算以鑑別該轉動慣量JM 及阻尼係數BM 。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題為
Figure 02_image005
；並限制
Figure 02_image007
；其中，
Figure 02_image009
及
Figure 02_image011
為速度迴路之頻率響應，Nv 為速度迴路之頻率響應數據之長度、
Figure 02_image013
及
Figure 02_image015
分別為速度迴路之頻率響應的大小及相位權重值。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述馬達、導桿及驅動平台係呈線性軸設置，且該線性軸之位置迴路轉移函數
Figure 02_image017
為
Figure 02_image019
；其中，
Figure 02_image021
Figure 02_image023
Figure 02_image025
；且其係經演算法計算以鑑別該驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct 及導桿之剛性K。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述導桿係接設於所述驅動平台一端，藉以令所述驅動平台繞所述導桿進行旋轉運動，藉以形成搖床之旋轉軸A之設置，且該旋轉軸A之位置迴路轉移函數
Figure 02_image027
為
Figure 02_image029
；且其係經演算法計算以鑑別該驅動平台質量Mt 。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述導桿係接設於所述驅動平台中心，藉以令所述驅動平台以所述導桿為旋轉軸C而進行旋轉，且該旋轉軸C之位置迴路轉移函數
Figure 02_image031
為
Figure 02_image033
；且其係經演算法計算以鑑別該轉動慣量JM 及阻尼係數BM 。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題為
Figure 02_image035
限制
Figure 02_image037
；以及
Figure 02_image039
限制
Figure 02_image041
；
其中，
Figure 02_image043
及
Figure 02_image045
為位置迴路之頻率響應，Np 為位置迴路之頻率響應數據長度、 wp1 及 wp2 分別為位置迴路的頻率響應之大小及相位權重值。
據上所述之系統鑑別方法，其步驟更包含：設定一路徑供該工具驅動系統進行變體速度運行；擷取所述伺服控制器生成命令至所述馬達之電流數據以及對應之速度數據；建立一穩態摩擦力函數，並經演算法鑑別正轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image047
、負轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image049
、黏滯摩擦之初始係數
Figure 02_image051
及靜摩擦係數
Figure 02_image051
。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該穩態摩擦力函數
Figure 02_image053
為
Figure 02_image055
；其中，dv為受靜摩擦影響之低速範圍；透過演算法計算以鑑別該正轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image047
、負轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image049
、黏滯摩擦之初始係數
Figure 02_image051
及靜摩擦係數
Figure 02_image051
。
據上所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題之目標函數Enew 為
Figure 02_image057
；
Figure 02_image059
；
其中，
Figure 02_image061
為誤差權重。
據上所述之系統鑑別方法，其步驟更包含：
擷取該工具驅動系統進行往返移動時之驅動平台位置數據及馬達速度數據；以及當馬達到達相同位置時，將驅動平台及導桿之間之位置相減，並透過最小平方法鑑別一背隙值。
本發明另提供一種伺服調機方法，其係應用於據上所述之系統鑑別方法，其速度迴路之調機步驟包含：界定求得最大化閉迴路之速度迴路之系統頻寬Bwvel ；限制一相依於該速度迴路頻率響應之共振峰值；界定一相依於該速度迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限；界定伺服控制器之參數中之比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi 之間的比率；以及求得比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi ，並調整輸入於該伺服控制器。
據上所述之伺服調機方法，其中，該共振峰值
Figure 02_image063
為速度迴路頻率響應之最大值，且界定
Figure 02_image065
。
據上所述之伺服調機方法，其中，該增益邊限GM 為
Figure 02_image067
；其中，
Figure 02_image069
為所述工具驅動系統速度迴路之開迴路轉移函數，
Figure 02_image071
為相位交叉頻率；並限制增益邊限GM >10 dB。
據上所述之伺服調機方法，其中，該相位邊限PM 為
Figure 02_image073
；其中，
Figure 02_image069
為所述工具驅動系統速度迴路之開迴路轉移函數，
Figure 02_image075
為增益交叉頻率；並限制相位邊限PM > 45˚。
據上所述之伺服調機方法，其中，比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi之間的比率
Figure 02_image077
為
Figure 02_image079
。
據上所述之伺服調機方法，更包含一位置迴路之步驟：界定求得最大化閉迴路之位置迴路之系統頻寬Bwpos ；限制為伺服控制器之參數Kp ；限制一相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值；界定一相依於該位置迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限；限制最大化閉迴路之位置迴路的系統頻寬
Figure 02_image081
；求得伺服控制器之參數Kp ，並調整輸入於該伺服控制器。
據上所述之伺服調機方法，其中，伺服控制器之參數Kp 限制為
Figure 02_image083
，且相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值Mpp 之限制為
Figure 02_image085
，其中，共振峰值Mpp 為位置迴路頻率響應之最大值。
據上所述之伺服調機方法，其中，係限制增益邊限GM >15dB，且限制相位邊限PM > 45˚。
據上所述之伺服調機方法，其步驟更包含：於所述伺服控制器設置一前饋控制單元，並界定該前饋控制單元相依且控制速度及加速度之一常數係數AF；令位置迴路的頻率響應接近水平，並界定優化問題之函數E之最小值為
Figure 02_image087
；擷取函數E為最小值時之常數係數AF，並對應輸入於該前饋控制單元。
是由上述說明及設置，顯見本發明主要具有下列數項優點及功效，茲逐一詳述如下：
1.本發明係藉由輸出掃頻訊號激發工具驅動系統響應，取得一速度迴路及一位置迴路之頻率響應；並藉由速度迴路轉移函數及位置迴路轉移函數，透過演算法以運算並鑑別工具驅動系統之馬達轉動慣量JM 、旋轉運動之阻尼係數BM 、驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct 及導桿之剛性K，並可更進一步透過工具驅動系統之變體速度及往復之運行而鑑別摩擦力及背隙值，藉以分析伺服控制器參數對工具驅動系統之影響，進而達致鑑別工具驅動系統之目的與功效。
2.本發明另可藉由前述之鑑別結果，並透過系統頻寬，且予限制共振峰值、增益邊限及相位邊限而找出最佳之伺服控制器參數Kp 、Kvp 、Kvi ，並調整輸入於該伺服控制器，藉以達致優化調機之目的，藉以減少工具驅動系統之振動現象，並能提升工具驅動系統之性能及工作精度。
關於吾等發明人之技術手段，茲舉數種較佳實施例配合圖式於下文進行詳細說明，俾供  鈞上深入了解並認同本發明。
本發明係提供一種系統鑑別與伺服調機方法，在一具體之實施例中，主要係用以鑑別一工具驅動系統1，就工具驅動系統1而言，其係可為五軸CNC工具機，其包含三個線性軸（X軸、Y軸和Z軸）及二個旋轉軸（A軸和C軸），如第1圖所示，其主要包含一主計算機11、一伺服控制器12及一機械結構13；其中，就主計算機11而言，其主要係透過數控控制（NC）程序由操作員或使用CAD / CAM應用程序創建，為各伺服控制器12生成離散數值位置命令；伺服控制器12可分為PID（Proportional Integral Derivative，比例積分微分）控制器121和前饋控制單元122；在一實施例中，伺服控制器12基於三個迴路控制，包含電流迴路控制，速度迴路控制和位置迴路控制，故藉由調整伺服控制器12之參數可提供高性能運動控制；機械結構13可分為馬達131、導桿132及驅動平台133，伺服控制器12係耦接並將命令傳送到馬達131以產生扭矩，使驅動導桿132旋轉，進而傳動於驅動平台133，其中，導桿132可為一螺桿；
而工具驅動系統1之線性軸模型係概如第2圖所示，其中T 為馬達131轉矩[Nm]，Jm 為馬達131轉動慣量[kgm2 ]，Bm 為旋轉運動的阻尼係數[Ns / m]，Mt 為驅動平台133質量[kg]，Ct 為導桿132的阻尼係數[Ns / m]，K 為導桿132的剛性[N / m]，R 為從馬達131旋轉角度到驅動平台133位置的轉換比[mm / rev]，θ m 是馬達131旋轉角度[rad]，xact 是驅動平台133位置[m]；
就旋轉軸模型而言，A軸的機械結構13是搖床結構，如第3圖所示，所述導桿132係接設於所述驅動平台133一端，藉以令所述驅動平台133繞所述導桿132進行旋轉運動，藉以形成搖床結構之旋轉軸A之設置，C軸的機械結構13是直接驅動機構的旋轉平台，如第4圖所示，所述導桿132係接設於所述驅動平台133中心，藉以令所述驅動平台133以所述導桿132為旋轉軸C而進行旋轉。
在一實施例中，完整的五軸CNC之工具驅動系統1如第5圖所示，其中，Kp 係位置控制器，本實施例中係使用比例（P ）控制器，Kv 為速度控制器，本實施例中係使用比例積分（PI）控制器，Ki 是電流控制器，本實施例中係使用PI控制器，La 是電樞電感，Ra 是電樞電阻，Kt 是轉矩常數，Ke 是電磁干擾和電場（EMF）常數，ω cmd 是角速度命令，x cmd 是位置命令，
Figure 02_image089
是角度指令，
Figure 02_image091
是驅動平台133角度，
Figure 02_image091
是角速度指令，
Figure 02_image093
是表角速度；該工具驅動系統1包含前饋控制單元122，其係可用於改善伺服系統性能，前饋控制單元122包括速度及加速度前饋控制，其中VF 是前饋控制系統的開關；VF 的值為1或0，如果VF = 1，則表示打開前饋控制系統；反之，如果VF = 0，則意味著關閉前饋控制系統；AF 是加速度前饋控制系統的常數係數。
在一實施中，本發明之工具驅動系統1為Microcut-MCU-5X五軸工具機，其配備有海德漢控制器及TNC640，並透過使用TNCOPT、TNCSCOPE、TNCREMO等海德漢軟件，電腦可直接連接控制器，獲取馬達131主軸轉速、驅動平台133位置、各軸速度及加速度等運行數據。
[速度迴路及位置迴路之鑑別]
藉此，本發明使用正弦掃頻訊號進行系統鑑別，並通過伺服導向軟件TNCOPT獲得相應的頻率響應，且正弦掃頻功能不包括前饋控制器；其實施步驟如下：
S001：輸出一掃頻訊號於一工具驅動系統1進行掃頻，藉以激發該工具驅動系統1響應，並取得各軸之一速度迴路及一位置迴路之頻率響應；如第6a至6e圖所示。
S002：建立一速度迴路轉移函數，並經運算以鑑別該工具驅動系統1中具有之馬達131的轉動慣量JM 及旋轉運動之阻尼係數BM ；在一實施例中，速度迴路轉移函數
Figure 02_image095
為
Figure 02_image003
；其中，Kp 、Kvp 、Kvi 為伺服控制器12之參數，Kt 為馬達131轉矩常數；且其係經演算法計算以鑑別該轉動慣量JM 及阻尼係數BM ；
本發明主要係透過PSO（粒子群優化）演算法進行演算，由於PSO演算法易於實現，並且具有較少的選擇參數以提供計算效率，其主要係藉由定義優化問題及粒子更新標準，其中，粒子更新主要由三部分組成；第一部分係當前的速度影響慣性運動的效果；第二部分是認知部分，根據粒子自己的判斷；第三部分是社會部分，根據群體的最佳解決方案來搜索解空間；本發明係使用PSO演算法的學習因素的線性調整，學習因素的線性調整表示為：
Figure 02_image097
Figure 02_image099
其中，
Figure 02_image101
為正常數；
Figure 02_image103
及
Figure 02_image105
。
Figure 02_image107
是允許的最大迭代數，g 是粒子的當前迭代次數。
將每顆粒子的當前適應值作為每顆粒子的局部最佳適應值（
Figure 02_image109
）；並且將每顆粒子的當前解作為其局部最優解（
Figure 02_image111
）；在初始群體粒子中，找到適應值的極值作為群體最優適應值（
Figure 02_image113
）；並將具有群體最優適應值的粒子的位置作為群體最優解（
Figure 02_image115
）；在每次迭代後，更新粒子參數時，重新計算粒子適應值；比較適應值的變化並更新最佳適應值和解決方案。
故，就速度迴路轉移函數，優化問題將可表述為
Figure 02_image005
；
並限制
Figure 02_image007
；
其中，
Figure 02_image009
及
Figure 02_image011
為TNCOPT測量速度迴路之頻率響應，Nv 為速度迴路之頻率響應數據之長度、
Figure 02_image013
及
Figure 02_image015
分別為速度迴路之頻率響應的大小及相位權重值；藉此，即可鑑別速度迴路中之轉動慣量JM 及阻尼係數BM 。
對於速度迴路，系統鑑別採用1-300 [rad / s]的頻率響應，因為該頻率響應範圍主要用於加工。
S003：建立一位置迴路轉移函數，並將該轉動慣量及旋轉運動之阻尼係數代入該位置迴路轉移函數，並經運算鑑別一驅動平台133質量Mt 、導桿132之阻尼係數Ct及導桿132之剛性K；在一實施例中，依據線性軸之模型，位置迴路轉移函數
Figure 02_image117
為
Figure 02_image019
；其中，
Figure 02_image021
Figure 02_image023
Figure 02_image025
；且其係經演算法計算以鑑別該驅動平台133質量Mt 、導桿132之阻尼係數Ct 及導桿132之剛性K。
旋轉軸（A軸和C軸）的結構與線性軸不同；A軸的機械結構13是搖床結構；且該旋轉軸A之位置迴路轉移函數
Figure 02_image027
為
Figure 02_image029
。
C軸的機械結構13是直接驅動的機構，來自馬達131的動力沒有任何減少，故僅能鑑別轉動慣量JM 及阻尼係數BM ，該旋轉軸C之位置迴路轉移函數
Figure 02_image031
為
Figure 02_image033
。
通過使用PSO演算法，可以鑑別位置迴路的參數；此外，線性軸和旋轉軸的相應優化問題為
Figure 02_image035
限制
Figure 02_image037
；以及
Figure 02_image039
限制
Figure 02_image041
；
其中，
Figure 02_image043
及
Figure 02_image045
為位置迴路之頻率響應，Np 為位置迴路之頻率響應數據長度、 wp1 及 wp2 分別為位置迴路的頻率響應之大小及相位權重值；藉此，即可鑑別驅動平台133質量Mt 、導桿132之阻尼係數Ct及導桿132之剛性K。
鑑別目標是為了確保整體頻率響應，頻寬和共振頻率正確，為加速鑑別，使用速度迴路鑑別結果的轉動慣量JM 及阻尼係數BM 作為已知知識來鑑別位置迴路參數。
其中，本發明使用 PSO演算法的參數設置如下表1所示：
【表1】
參數 速度迴路 位置迴路
粒子數量 35 30
迭代次數 1000 1500
慣性稱重(w ) 0.9 1
學習參數 c 1b 1.5 1.5
c 1s 0.5 0.5
c 2b 1.5 1.5
c 2s 0.5 0.5
錯誤稱重 wv 1 =1 wp 1 = 1
wv 2 = 0.3 wp 2 = 0.2
各軸的鑑別結果參數如下表2所示：
【表2】
參數 X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
Figure 02_image122
 0.038085 0.055463 0.030151 0.030324 1.8874
Bm (Ns/m) 5.1249 8.8442 3.4242 3.8205 0.5
Mt /m (kg) 241.0744 655.6798 123.8739 311.5166 X
Ct (Ns/m) 3.4295
Figure 02_image124
 9.7142
Figure 02_image126
 4.1544
Figure 02_image126
 X X
K (N/m) 1.4571
Figure 02_image127
 1.0069
Figure 02_image129
 1.0237
Figure 02_image130
 X X
[摩擦力之鑑別]
由於非線性現象影響工具驅動系統1的性能，故在進給驅動系統中，非線性現象的摩擦力和背隙不可忽略；本發明在一實施例中係使用圓形測試獲得的變速度數據以鑑別摩擦力，故無需如習知需獲取大量之每種不同速度下的速度數據和電流數據，而係僅設定一路徑供該工具驅動系統1進行變體速度運行；擷取所述伺服控制器12生成命令至所述馬達131之電流數據以及對應之速度數據；建立一穩態摩擦力函數，並經演算法鑑別正轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image047
、負轉時之黏滯摩擦係數
Figure 02_image049
、黏滯摩擦之初始係數
Figure 02_image051
及靜摩擦係數
Figure 02_image051
。
在一具體之實施例中，本發明使用簡化之摩擦力模型，如第7圖所示，並可將該簡化之穩態摩擦力函數
Figure 02_image053
表示為
Figure 02_image055
；其中，dv為受靜摩擦影響之低速範圍；此外，摩擦力在運動轉向時具有更明顯的影響，因此，本發明係於不同速度使用不同的學習權重予以鑑別之，即對於較低速度使用較大的權重並且對較高速度使用較小的權重。因此，選擇優化的目標函數Enew 為
Figure 02_image057
；
Figure 02_image059
；
其中，
Figure 02_image061
是誤差權重。
用於摩擦力鑑別的PSO演算法參數設置如下表3所示：
【表3】
參數 簡化模型
粒子數量 20
迭代次數 300
慣性稱重(w ) 0.9
學習參數 c 1b 1.5
c 1s 0.5
c 2b 1.5
c 2s 0.5
本發明摩擦力鑑別結果下表4所示：
【表4】
參數 X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
Figure 02_image134
 0.0003399 0.0002776 0.0003542 0.0007542 0.0001880
Figure 02_image136
 0.0003399 0.0002474 0.0003542 0.0011542 0.0001880
Figure 02_image137
 0.9421 0.9971 0.8479 1.1479 0.6255
Figure 02_image139
 1.5685 1.4357 1.5416 1.5816 0.7209
Figure 02_image141
 10 10 10 10 5
[背隙之鑑別]
透過工具驅動系統1的單軸來回移動，可以藉由線性刻度和旋轉編碼器獲得驅動平台133位置訊號及馬達131速度訊號。因此，通過計算馬達131速度得到導導桿132位置訊號，可以得到導桿132位置訊號和驅動平台133位置訊號之間的關係；如第8圖所示，其係導桿132與驅動平台133間之背隙示意，其中xact 是驅動平台133的位置，xl 是導桿132的位置，Db 是背隙值；並可說明驅動平台133的及導桿132在向前或向後移動時的誤差理論值是背隙值的一半，為確保導桿132及平台之間的誤差保持在背隙值的一半，故移動速度需要很慢，在前後往返運動過程中，擷取驅動平台133位置數據及馬達131速度數據，當馬達131到達相同位置時，比較前後平台的位置誤差，將驅動平台133及導桿132之間之位置相減，並透過最小平方法鑑別一背隙值，其係可表示為：
Figure 02_image143
其中，
Figure 02_image145
為驅動平台133及導桿132之間之位置差值，L 是路徑數據的長度。
[伺服調機方法－速度迴路]
由於工具驅動系統1的響應過快往往會導致結構振動，故透過調整其參數可與提升其穩定度、性能及工作之精度。
如第9圖所示，本發明另提供一種伺服調機方法，其係應用於據上所述之系統鑑別方法，並在一實施例中係實際應用於MCU-5X搭配海德漢控制器，使用速度迴路的頻率響應來調整速度控制器的參數，其目在於最大化閉迴路的速度迴路的系統頻寬，從而獲得更好的響應性能並改善穩態誤差；其速度迴路之調機步驟包含：
界定求得最大化閉迴路之速度迴路之系統頻寬Bwvel ；
限制一相依於該速度迴路頻率響應之共振峰值；在一實施例中，該共振峰值
Figure 02_image063
為速度迴路頻率響應之最大值，且界定
Figure 02_image065
，限制共振峰值之目的在於避免更大的過衝及振動情形；
界定一相依於該速度迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限，增益邊限和相位邊限用於確認整體系統之穩定性和穩健性；在一實施例中，該增益邊限GM 為
Figure 02_image067
；其中，
Figure 02_image069
為所述工具驅動系統1速度迴路之開迴路轉移函數，
Figure 02_image071
為相位交叉頻率；並限制增益邊限GM >10 Db；該相位邊限PM 為
Figure 02_image073
；其中，
Figure 02_image069
為所述工具驅動系統1速度迴路之開迴路轉移函數，
Figure 02_image075
為增益交叉頻率；並限制相位邊限PM > 45˚。
界定伺服控制器12之參數中之比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi 之間的比率；在一實施例中，，比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi之間的比率
Figure 02_image077
為
Figure 02_image079
。
在符合上述約束條件的情況下，求得比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi ，並調整輸入於該伺服控制器12，即可達致優化工具驅動系統1速度迴路之目的。
[伺服調機方法－位置迴路]
本發明之伺服調機方法更包含一位置迴路之步驟，位置迴路的頻率響應數據用於調整位置控制器的參數，其步驟包含：
界定優化問題是求得最大化閉迴路之位置迴路之系統頻寬Bwpos ；
限制為伺服控制器12之參數Kp ；在一實施例中，伺服控制器12之參數Kp 限制為
Figure 02_image083
，
Figure 02_image156
增加的目標為提高響應速度；惟，
Figure 02_image158
過大會導致位置迴路的共振峰變大甚至使系統變得不穩定，故須予限定；
限制一相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值；在一實施例中，相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值Mpp 之限制為
Figure 02_image085
，其中，共振峰值Mpp 為位置迴路頻率響應之最大值；其中，限制共振峰值係可避免更大的過衝和振動情形；由於位置迴路將直接影響產品的軌跡和質量，故過衝的限制比速度迴路更嚴謹。
界定一相依於該位置迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限；在一實施例中，係限制增益邊限GM >15dB，且限制相位邊限PM > 45˚；位置迴路的增益邊限和相位邊限用於確認系統穩定性和穩健性，在加工中，外部負載將直接影響位置迴路的增益邊限和相位邊限，因此，增益邊限和相位邊限的限制比速度迴路更寬容。
限制最大化閉迴路之位置迴路的系統頻寬
Figure 02_image081
；在符合上述約束條件的情況下，求得伺服控制器12之參數Kp ，並調整輸入於該伺服控制器12，藉以優化工具驅動系統1之位置迴路。
[伺服調機方法－具有前饋控制單元122的位置迴路]
前述之伺服調機方法係於無前饋控制單元122的情況下調整速度控制器和位置控制器的參數，在此考慮前饋控制單元122對位置迴路的頻率響應的影響，並調整前饋控制單元122的參數，故優化問題是使頻率響應接近水平，透過適當設置前饋參數，可避免響應失真並消除伺服落後，其步驟更包含：界定該前饋控制單元122相依且控制速度及加速度之一常數係數AF；令位置迴路的頻率響應接近水平，並界定優化問題之函數E之最小值為
Figure 02_image087
；擷取函數E為最小值時之常數係數AF，並對應輸入於該前饋控制單元122；前饋控制單元122之功能可以改善伺服落後和響應衰減，故加工頻率在位置迴路的頻寬內，藉可避免響應失真。
本發明用於伺服調機方法之PSO演算法的參數設置如下表5所示：
【表5】
參數 速度迴路 位置迴路 具有前饋控制單元122的位置迴路
粒子數量 10 10 20
迭代次數 300 300 300
慣性稱重（w） 0.9 1 0.9
學習工廠 c 1b 1.5 1.2 1.5
c 1s 0.5 0.2 0.5
c 2b 1.5 1.2 1.5
c 2s 0.5 0.2 0.5
調機前各軸之預設參數如下表6所示：
【表6】
參數 X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
Kp 48 32 60 16 32
Kvp 10 10 8 12 200
Kvi 1000 1000 800 1400 20000
VF 1 1 1 1 1
AF 0.0282 0.0458 0.0251 0.02 1.2333
調機前各軸之頻寬值如下表7所示：
【表7】
頻寬值 (Hz) X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
BwVel . 42.866 22.18 47.881 73.623 41.109
BwPos . 8.52 6.41 12.026 1.302 5.562
BwCri . 61.817 38.756 61.388 x 23.97
調機後各軸之伺服控制器12參數如下表8所示：
【表8】
參數 X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
Kp 69 46 100 36 61
Kvp 18 20 15 24 496
Kvi 1890 1941 1575 2546 49825
VF 1 1 1 1 1
AF 0.0364 0.0776 0.0349 0.008 1.1799
調機後各軸之頻寬值如下表9所示：
【表9】
頻寬值 (Hz) X軸 Y軸 Z軸 A軸 C軸
BwVel . 84.375 55.449 93.209 147.238 82.218
BwPos . 12.838 8.935 20.391 3.67 11.121
BwCri . 51.552 32.294 51.807 x 122.774
並請參閱第10a.1至10e.3圖所示，可以觀察到速度迴路和位置迴路的頻寬得到改善，最終伺服調機結果之頻率響應比調機前更佳。
為驗證伺服調機方法的優化可以有效地應用於工具驅動系統1，故利用時域實驗來證明伺服調機結果，在此採用循圓測試，設定進給速率1200 [mm / min]和半徑1 [mm] 進行驗證，如第11a至11c圖之循圓軌跡實驗的輪廓誤差及下表10所示：
【表10】
路徑 輪廓誤差 追蹤誤差
圓 均方根誤差 (mm) 最大值 (mm) 均方根誤差(mm) 最大值 (mm)
XY 循圓 前 0.0102 0.0215 0.5089 0.5228
後 0.0046 0.0118 0.5060 0.5133
改善 54.9 % 45.1 % 0.57 % 1.82 %
XZ 循圓 前 0.0066 0.0142 0.5087 0.5140
後 0.0029 0.0068 0.5064 0.5085
改善 56.1 % 52.1 % 0.45 1.07 %
YZ 循圓 前 0.0101 0.0190 0.5092 0.5218
後 0.0049 0.0116 0.5067 0.5133
改善 51.5 % 38.9 % 0.49 % 1.63 %
由前述者可觀察到輪廓誤差明顯改善，而追蹤誤差略有改善，且經比較輪廓誤差和跟踪的改進程度，顯見本發明伺服調機結果是具可靠性的。
[機台老化診斷方法]
由於當機台老化時，機台通常會更容易有震動現象的發生，頻寬改變，系統響應改變的現象，故透過前述之鑑別方法中之參數的變動以診斷機台是否老化，其步驟如下：
S004：界定一變動值及一閥值，該變動值係選自至少其一由所述頻寬BW、第一共振頻率Fr 、轉動慣量Jm 、阻尼係數Bm 、阻尼係數Ct 及剛性K所組成之群組；
S005：重複紀錄前述之鑑別方法中，每一時點之變動值，並於所述變動值之變化量大於該閥值時診斷該工具驅動系統1已老化。
在一具體之實施例中，如第12a至12c圖所示，其分別為馬達131阻尼係數Bm 變異、導桿132阻尼係數Ct 變異及導桿132剛性K變異之系統響應，藉可觀察到當馬達131阻尼係數Bm 變異對應到系統響應變差；當導桿132阻尼係數Ct 變異對應到系統共振峰值變大；當導桿132剛性K變異對應到系統共振頻變小和共振峰值變大，因此可以透過鑑別參數的變異來判定機台老化。
此外，從頻域訊號可以觀察到頻寬、共振頻與共振峰值的改變，另外，從時域訊號可以觀察到輪廓誤差與追蹤誤差變差；故在一具體之實施例中，係將該變動值包含剛性K、頻寬BW及第一共振頻率Fr ，且設定該閥值為-20％；藉以於剛性K、頻寬BW及第一共振頻率Fr 同時下降20％時，則判斷其已老化，建議進行調機或維護。
在另一實施例中，亦可藉由界定一路徑令該工具驅動系統1運行，如：循圓測試；並記錄並比對該工具驅動系統1運行之軌跡；且透過設定一誤差值；並於該軌跡比對該路徑之誤差大於該誤差值時診斷該工具驅動系統1已老化。
在另一實施例中，亦可藉由如前述鑑別穩態摩擦力，並於其大於該閥值時診斷該工具驅動系統1已老化。
而當診斷為老化時，可執行前述之伺服調機方法，或進行相關維護，藉以改善老化後之性能及精度。
綜上所述，本發明所揭露之技術手段確能有效解決習知等問題，並達致預期之目的與功效，且申請前未見諸於刊物、未曾公開使用且具長遠進步性，誠屬專利法所稱之發明無誤，爰依法提出申請，懇祈  鈞上惠予詳審並賜准發明專利，至感德馨。
惟以上所述者，僅為本發明之數種較佳實施例，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所作之等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
1:工具驅動系統 11:主計算機 12:伺服控制器 121:PID控制器 122:前饋控制單元 13:機械結構 131:馬達 132:導桿 133:驅動平台
第1圖係本發明工具驅動系統之基本架構示意圖。 第2圖係本發明線性軸模型之結構示意圖。 第3圖係本發明A軸旋轉軸模型之結構示意圖。 第4圖係本發明C軸旋轉軸模型之結構示意圖。 第5圖係本發明工具驅動系統之架構示意圖。 第6a圖係X軸分別於位置迴路及速度迴路之輸入訊號與輸出訊號之訊號圖。 第6b圖係Y軸分別於位置迴路及速度迴路之輸入訊號與輸出訊號之訊號圖。 第6c圖係Z軸分別於位置迴路及速度迴路之輸入訊號與輸出訊號之訊號圖。 第6d圖係A軸分別於位置迴路及速度迴路之輸入訊號與輸出訊號之訊號圖。 第6e圖係C軸分別於位置迴路及速度迴路之輸入訊號與輸出訊號之訊號圖。 第7圖係本發明簡化之摩擦力模型示意圖。 第8圖係本發明導桿與驅動平台間之背隙示意圖。 第9圖係本發明伺服調機方法之簡易流程示意圖。 第10a.1圖係本發明X軸於速度迴路之調機前後訊號比較圖。 第10a.2圖係本發明X軸於位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10a.3圖係本發明X軸於前饋位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10b.1圖係本發明Y軸於速度迴路之調機前後訊號比較圖。 第10b.2圖係本發明Y軸於位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10b.3圖係本發明Y軸於前饋位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10c.1圖係本發明Z軸於速度迴路之調機前後訊號比較圖。 第10c.2圖係本發明Z軸於位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10c.3圖係本發明Z軸於前饋位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10d.1圖係本發明A軸於速度迴路之調機前後訊號比較圖。 第10d.2圖係本發明A軸於位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10d.3圖係本發明A軸於前饋位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10e.1圖係本發明C軸於速度迴路之調機前後訊號比較圖。 第10e.2圖係本發明C軸於位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第10e.3圖係本發明C軸於前饋位置迴路之調機前後訊號比較圖。 第11a圖係本發明於XY平面循圓於調機前後之軌跡輪廓誤差之比較圖。 第11b圖係本發明於XZ平面循圓於調機前後之軌跡輪廓誤差之比較圖。 第11c圖係本發明於YZ平面循圓於調機前後之軌跡輪廓誤差之比較圖。 第12a圖係本發明馬達阻尼係數衰減之訊號比較圖。 第12b圖係本發明導桿阻尼係數衰減之訊號比較圖。 第12c圖係本發明導桿剛性衰減之訊號比較圖。

Claims (20)

  1. 一種系統鑑別方法，其步驟包含： 輸出一掃頻訊號於一工具驅動系統進行掃頻，藉以激發該工具驅動系統響應，並取得一速度迴路及一位置迴路之頻率響應；其中，該工具驅動系統具有至少一伺服控制器，其控制至少一馬達，至少一分別受所述馬達驅動旋轉之導桿，及至少一分別從動於所述導桿之驅動平台； 建立一速度迴路轉移函數，並經運算以鑑別該工具驅動系統中具有之馬達的轉動慣量JM 及旋轉運動之阻尼係數BM ；以及 建立一位置迴路轉移函數，並將該轉動慣量及旋轉運動之阻尼係數代入該位置迴路轉移函數，並經運算鑑別一驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct 及導桿之剛性K。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其中，該速度迴路轉移函數
    Figure 03_image095
    為
    Figure 03_image003
    ； 其中，Kp 、Kvp 、Kvi 為伺服控制器之參數，Kt 為馬達轉矩常數； 且其係經演算法計算以鑑別該轉動慣量JM 及阻尼係數BM 。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題為
    Figure 03_image005
    ； 並限制
    Figure 03_image007
    ； 其中，
    Figure 03_image009
    及
    Figure 03_image011
    為速度迴路之頻率響應，Nv 為速度迴路之頻率響應數據之長度、
    Figure 03_image013
    及
    Figure 03_image015
    分別為速度迴路之頻率響應的大小及相位權重值。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述馬達、導桿及驅動平台係呈線性軸設置，且該線性軸之位置迴路轉移函數
    Figure 03_image117
    為
    Figure 03_image019
    ； 其中，
    Figure 03_image021
    Figure 03_image023
    Figure 03_image025
    ； 且其係經演算法計算以鑑別該驅動平台質量Mt 、導桿之阻尼係數Ct 及導桿之剛性K。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述導桿係接設於所述驅動平台一端，藉以令所述驅動平台繞所述導桿進行旋轉運動，藉以形成搖床之旋轉軸A之設置，且該旋轉軸A之位置迴路轉移函數
    Figure 03_image173
    為
    Figure 03_image029
    ； 且其係經演算法計算以鑑別該驅動平台質量Mt 。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其中，該工具驅動系統之所述導桿係接設於所述驅動平台中心，藉以令所述驅動平台以所述導桿為旋轉軸C而進行旋轉，且該旋轉軸C之位置迴路轉移函數
    Figure 03_image176
    為
    Figure 03_image033
    ； 且其係經演算法計算以鑑別該轉動慣量JM 及阻尼係數BM 。
  7. 如申請專利範圍第4至6項任一項所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題為
    Figure 03_image035
    限制
    Figure 03_image037
    ；以及
    Figure 03_image039
    限制
    Figure 03_image041
    ； 其中，
    Figure 03_image043
    及
    Figure 03_image045
    為位置迴路之頻率響應，Np 為位置迴路之頻率響應數據長度、 wp1 及 wp2 分別為位置迴路的頻率響應之大小及相位權重值。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其步驟更包含： 設定一路徑供該工具驅動系統進行變體速度運行； 擷取所述伺服控制器生成命令至所述馬達之電流數據以及對應之速度數據； 建立一穩態摩擦力函數，並經演算法鑑別正轉時之黏滯摩擦係數
    Figure 03_image047
    、負轉時之黏滯摩擦係數
    Figure 03_image049
    、黏滯摩擦之初始係數
    Figure 03_image051
    及靜摩擦係數
    Figure 03_image051
    。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之系統鑑別方法，其中，該穩態摩擦力函數
    Figure 03_image188
    為
    Figure 03_image055
    ； 其中，dv為受靜摩擦影響之低速範圍； 透過演算法計算以鑑別該正轉時之黏滯摩擦係數
    Figure 03_image047
    、負轉時之黏滯摩擦係數
    Figure 03_image049
    、黏滯摩擦之初始係數
    Figure 03_image051
    及靜摩擦係數
    Figure 03_image051
    。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之系統鑑別方法，其中，該演算法為PSO（粒子群優化）演算法，且界定優化問題之目標函數Enew 為
    Figure 03_image057
    ；
    Figure 03_image059
    ； 其中，
    Figure 03_image061
    為誤差權重。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之系統鑑別方法，其步驟更包含： 擷取該工具驅動系統進行往返移動時之驅動平台位置數據及馬達速度數據；以及 當馬達到達相同位置時，將驅動平台及導桿之間之位置相減，並透過最小平方法鑑別一背隙值。
  12. 一種伺服調機方法，其係應用於如申請專利範圍第1至11項中任一項所述之系統鑑別方法，其速度迴路之調機步驟包含： 界定求得最大化閉迴路之速度迴路之系統頻寬Bwvel ； 限制一相依於該速度迴路頻率響應之共振峰值； 界定一相依於該速度迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限； 界定伺服控制器之參數中之比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi 之間的比率；以及 求得比例增益值Kvp 及積分增益值Kvi ，並調整輸入於該伺服控制器。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之伺服調機方法，其中，該共振峰值
    Figure 03_image063
    為速度迴路頻率響應之最大值，且界定
    Figure 03_image194
    。
  14. 如申請專利範圍第12項所述之伺服調機方法，其中，該增益邊限GM 為
    Figure 03_image067
    ； 其中，
    Figure 03_image069
    為所述工具驅動系統速度迴路之開迴路轉移函數，
    Figure 03_image071
    為相位交叉頻率；並限制增益邊限GM >10 dB。
  15. 如申請專利範圍第12項所述之伺服調機方法，其中，該相位邊限PM 為
    Figure 03_image073
    ； 其中，
    Figure 03_image069
    為所述工具驅動系統速度迴路之開迴路轉移函數，
    Figure 03_image075
    為增益交叉頻率；並限制相位邊限PM > 45˚。
  16. 如申請專利範圍第12項所述之伺服調機方法，其中，比例增益值Kvp及積分增益值Kvi之間的比率
    Figure 03_image077
    為
    Figure 03_image079
    。
  17. 如申請專利範圍第12至16項中任一項所述之伺服調機方法，更包含一位置迴路之步驟： 界定求得最大化閉迴路之位置迴路之系統頻寬Bwpos ； 限制為伺服控制器之參數Kp ； 限制一相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值； 界定一相依於該位置迴路頻率響應之增益邊限及相位邊限； 限制最大化閉迴路之位置迴路的系統頻寬
    Figure 03_image081
    ； 求得伺服控制器之參數Kp ，並調整輸入於該伺服控制器。
  18. 如申請專利範圍第17項所述之伺服調機方法，其中，伺服控制器之參數Kp 限制為
    Figure 03_image083
    ，且相依於該位置迴路頻率響應之共振峰值Mpp 之限制為
    Figure 03_image085
    ，其中，共振峰值Mpp為位置迴路頻率響應之最大值。
  19. 如申請專利範圍第17項所述之伺服調機方法，其中，係限制增益邊限GM >15dB，且限制相位邊限PM > 45˚。
  20. 如申請專利範圍第17項所述之伺服調機方法，其步驟更包含： 於所述伺服控制器設置一前饋控制單元，並界定該前饋控制單元相依且控制速度及加速度之一常數係數AF； 令位置迴路的頻率響應接近水平，並界定優化問題之函數E之最小值為
    Figure 03_image087
    ； 擷取函數E為最小值時之常數係數AF，並對應輸入於該前饋控制單元。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4272750B2 (ja) * 1998-06-23 2009-06-03 キヤノン株式会社 露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法
CN105934724B (zh) * 2014-01-23 2018-12-21 三菱电机株式会社 电动机控制装置
JP6212068B2 (ja) * 2015-04-24 2017-10-11 ファナック株式会社 機械の周波数特性をオンラインで取得する機能を有するサーボ制御装置
TWI656940B (zh) * 2017-12-22 2019-04-21 財團法人工業技術研究院 調機方法及其調機系統暨模擬單元與模擬方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI768830B (zh) * 2021-04-15 2022-06-21 財團法人精密機械研究發展中心 工具機伺服參數調整裝置及使用方法

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