TW201903308A - 用於高傳導性閥之控制板 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種高純度流體控制閥，其包含具有一流通通道以增強內部閥容積之流體掃掠之一可移動控制板。該閥屬於使用嵌套孔口脊來用小致動器移動達成高傳導性之噴座式(jet and seat type)。該流通控制板尤其用於諸如半導體製造中之氣體輸送之快速作用比例控制應用中。

Description

用於高傳導性閥之控制板
本發明係關於一流體控制閥之一可移動部分，其可主動定位於一完全打開狀態與一完全關閉狀態之間的任何位置處以調整通過閥之流體之一流動。可移動部分包含提供流動流體之一部分通過一控制板以藉此藉由減少潛在流體停滯來提高清潔度。本發明尤其用於閥(其意欲用於高純度比例控制或製造半導體裝置、藥物或精純化學品之工業程序內之流體輸送之調變控制)及諸多類似流體輸送系統(其同時需要完全關閉狀態之一密閉關斷及比例控制)中。
鑑於前文，申請者已發明一種高純度流體控制閥，其包含具有一流通通道以增強內部閥容積之流體掃掠之一可移動控制板。閥屬於噴座式，其中一相對較窄平坦區形成於一流體通道之開口處且一平座可移動而與平坦區接觸以封堵流體流動。在本發明中，噴射元件通常被描述為一孔口脊且座部元件通常被描述為一控制板。閥使用嵌套孔口脊以藉由提供大控制間隙長度及小封圍面積來用小致動器移動達成高傳導性。控制板具有經設定大小以橋接相鄰孔口脊區段以在完全關閉狀態中關斷流體流動之一連續不中斷平坦部分。孔口脊區段係共面的且可經搭接以提供用於支承控制板之一平滑表面。流通控制板尤其用於諸如半導體製造中之氣體輸送之快速作用比例控制應用中。
根據一實施例，一種控制板包括形成為具有一平坦側之一基本上呈圓形之圓盤之一控制板體，其中該控制板體由至少一流體通道穿過，且該至少一流體通道自該平坦側延伸至一對置側。
根據另一實施例，一種閥總成包括：一閥體，其包含嵌套孔口脊以界定該等孔口脊之間的一中間閥室部分，該中間閥室部分流體連接至一流體通道；及一控制板，其包含穿過該控制板之至少一流體通道，其中穿過該控制板之該至少一流體通道能夠控制定位於兩個嵌套孔口脊內之一內閥室部分與定位於兩個嵌套孔口脊外之一外閥室部分之間的一流體之流動，使得一些受控流體流掃過整個閥總成內之可能停滯容積。
根據本發明之一態樣，提供一種用於一高傳導性閥之控制板。該控制板包括：一控制板體，其形成為具有一平坦側及與該平坦側對置之一對置側之一基本上呈圓形之圓盤，該控制板經構形以藉由一致動器來移動於一閥內，該平坦側具有用於關斷該閥中之流體流動之一連續不中斷平坦部分；及至少一流體通道，其界定於該控制板體中，該至少一流體通道自該平坦側延伸穿至該對置側。根據各種實例，該至少一流體通道包含界定於該控制板體中且自該平坦側延伸穿至該對置側之複數個流體通道。
根據一實例，該複數個流體通道圍繞該控制板體之一中心安置且該平坦側之該連續不中斷平坦部分包圍該複數個流體通道之各者。根據另一實例，該控制板在該控制板體之一中心中進一步包括形成於該控制板體之該平坦側中之一凹口，該複數個流體通道依一角度自該凹口向外延伸穿至該對置側，且該平坦側之該連續不中斷平坦部分包圍該複數個流體通道之各者。
根據又一實例，該複數個流體通道包含圍繞該控制板體之一中心安置之第一複數個傾斜流體通道及圍繞該控制板體之一徑向外部分安置且實質上筆直延伸穿過該控制板體之第二複數個筆直流體通道，該第一複數個傾斜流體通道自該對置側徑向向內斜穿至該平坦側。根據此實例之一態樣，該平坦側包含安置於該複數個傾斜流體通道與該複數個筆直流體通道之間的一第一連續不中斷平坦部分及安置成自該複數個筆直流體通道徑向向外之一第二連續不中斷平坦部分。根據上述實例之各者之一態樣，該控制板進一步包括延伸穿過該控制板體之該中心之一中心穿孔及形成於該控制板體之該中心中之該對置側中之一盲孔之一者，該中心穿孔及該盲孔之該一者經構造以將該控制板體安裝至一控制軸上。
根據另一實例，該控制板可進一步包括耦合至該控制板體之一放大器圓盤。該放大器圓盤具有一內區段及一外周邊，該內區段耦合至該外周邊且藉由連接臂來與該外周邊隔開，使得該內區段之軸向位移引起該放大器圓盤之該外周邊之一對置部分之不對稱位移。根據此實例，該控制板進一步包含界定於該控制板體中之一環形溝槽，該環形溝槽具有與該平坦側對置之一離隙面，其中該至少一流體通道包含界定於該控制板體中且與該環形溝槽相交之一穿孔。
根據本發明之另一態樣，提供一種閥總成。該閥總成包括一閥體及一控制板。該閥體具有：一閥室；至少一第一流體導管口，其與該閥室流體連通；至少一第二流體導管口，其與該閥室流體連通；及至少一對相鄰孔口脊區段，該至少一對相鄰孔口脊區段自該閥體延伸至該閥室中且界定該至少一對相鄰孔口脊區段之間的一中間閥室區域。該控制板包含具有一第一側及與該第一側對置之一第二側之一控制板體，該控制板體可在一關閉位置與一打開位置之間移動，在該關閉位置中，該第一側之一表面區域密封地接觸該至少一對相鄰孔口脊區段，且在該打開位置中，一開口間隙存在於該表面區域與該至少一對相鄰孔口脊區段之間。該控制板在該至少一對相鄰孔口脊區段之一周邊內具有自該第一側穿過該控制板體而延伸至該第二側之至少一流體通道。根據各種實例，該至少一對相鄰孔口脊區段可彼此同心且實質上位於該閥室之中心處，或該至少一對相鄰孔口脊區段可定位於該閥室內之偏心處且被嵌套。
根據一實例，該至少一對相鄰孔口脊區段包含兩個相鄰孔口脊區段，其等實質上呈圓形形狀且進一步界定安置於該兩個相鄰孔口脊區段外之一外閥室部分及安置於該兩個相鄰孔口脊區段內之一內閥室部分。根據此實例之一態樣，該閥總成可進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該內閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該中間閥室部分流體連通，且該控制板體之該第一側之該表面區域密封地接觸該兩個相鄰孔口脊區段以防止流體流在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。根據此實例之又一態樣，當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板之該至少一流體通道提供該內閥室部分與該外閥室部分之間的流體連通。
根據此實例之一替代態樣，該閥總成可進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該外閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該中間閥室部分流體連通，且該控制板體之該第一側之該表面區域密封地接觸該兩個相鄰孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。根據此實例之另一態樣，當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板之該至少一流體通道提供該外閥室部分與該內閥室部分之間的流體連通。
根據一替代實例，該至少一對相鄰孔口脊區段包含實質上呈圓形形狀之四個相鄰孔口脊區段，該四個相鄰孔口脊區段包含一最大孔口脊區段、由該最大孔口脊區段包圍之一第一較小孔口脊區段、由該第一較小孔口脊區段包圍之一第二較小孔口脊區段及由該第二較小孔口脊區段包圍之一最小孔口脊區段，該四個相鄰孔口脊區段界定安置於該四個相鄰孔口脊區段外之一外閥室部分、安置於該四個相鄰孔口脊區段內之一內閥室部分、安置於該最大孔口脊區段與該第一較小孔口脊區段之間的一第一中間閥室部分、安置於該第一較小孔口脊區段與該第二較小孔口脊區段之間的一第二中間閥室部分及安置於該第二較小孔口脊區段與該最小孔口脊區段之間的一第三中間閥室部分。
根據該替代實例之一態樣，該閥總成進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該內閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該第一中間閥室部分流體連通且該控制板體之該第一側之該表面區域之一第一連續不中斷平坦部分密封地接觸該最大孔口脊區段區段及該第一較小孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。
根據此替代實例之另一態樣，該閥體進一步包含與該第二流體導管流體連通之至少一第三流體導管口，且其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第三流體導管口與該第三中間閥室部分流體連通且該控制板體之該第一側之該表面區域之一第二連續不中斷平坦部分密封地接觸該第二較小孔口脊區段及該最小孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第三流體導管口之間流動。
根據此替代實例之又一態樣，該至少一流體通道包含圍繞該控制板體之一徑向內部分安置之第一複數個傾斜流體通道及圍繞該控制板體之一徑向外部分安置且實質上筆直延伸穿過該控制板體之第二複數個筆直流體通道，該第一複數個傾斜流體通道自該控制板體之該第二側徑向向內斜穿至該第一側。根據此替代實例之另一態樣，該控制板體之該第一側之該表面區域之該第二連續不中斷平坦部分安置於該複數個傾斜流體通道與該複數個筆直流體通道之間且該表面區域之該第二連續不中斷平坦部分安置成自該複數個筆直流體通道徑向向外。根據此替代實例，當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板中之該第一複數個傾斜流體通道提供該內閥室部分與該外閥室部分之間的流體連通，且該第一複數個傾斜流體通道及該第二複數個筆直流體通道提供該內閥室部分、該外閥室部分及該第二中間閥室部分之間的流體連通。
本申請案根據35 U.S.C. § 119(e)之規定主張2017年6月5日申請之名稱為「CONTROL PLATE WITH FLOW-THROUGH PASSAGE FOR A VALVE」之美國臨時申請案第62/515,063號之權利，該案之全部內容以引用的方式併入本文中以用於所有目的。本申請案係相關於2016年7月7日申請之名稱為「CONTROL PLATE IN A VALVE」之美國專利申請案第15/204,245號及2016年6月15日申請之名稱為「LOW HYSTERESIS DIAPHRAGM FOR A VALVE」之美國專利申請案第15/182,978號、2015年11月4日申請之名稱為「VALVE STROKE AMPLIFIER MECHANISM ASSEMBLY」之美國專利申請案第14/932,086號及2015年6月12日申請之名稱為「HIGH CONDUCTANCE VALVE FOR FLUIDS AND VAPORS」之美國專利申請案第14/737,564號，該等各申請案之全部內容以引用的方式併入本文中以用於所有目的。
本發明不使其應用受限於以下描述中所闡述或圖式中所繪示之組件之構造及配置之細節。本發明能夠實現其他實施例且依各種方式實踐或實施。另外，本文所使用之措辭及術語係為了描述且不應被視為限制。本文中使用「包含」、「包括」或「具有」、「含有」、「涉及」及其變型意謂涵蓋其後列項及其等效物以及額外項。使用方向形容詞「內」、「外」、「上」、「下」及類似術語意在促進設計元件之間的相對關係之理解且不應被解釋為意謂空間中之一絕對方向且亦不應被視為限制。
圖1A至圖1D中繪示具有中心同心孔口脊120、121之一高傳導性閥體190之一代表性實例。一更完全例示性閥總成100可具有一頂部套組，其包含藉由使一金屬墊圈165 (作為圖4A至4D中所進一步繪示之一無洩漏總成)變形來可移除地接合至閥體190之一閥罩160。頂部套組可包含依據一特定應用所選之一致動器(圖中未展示)。例如，一氣動致動器可用於一簡單開關高傳導性閥，而一壓電致動器可用於適合於一質流控制器電子系統之一比例控制高傳導性閥。形成於閥體190之一上表面中之開口腔154、158、159可被視為一閥室150之下部分，而閥室之一上部分157形成於閥室上方之閥罩160之一下表面中。形成為自閥體190之一圓形向上突起之一大孔口脊120使一外閥室部分158與由大孔口脊120包圍之一中間閥室部分154分離。一大體上同心之小孔口脊121亦形成為由大孔口脊120包圍之自閥體190之一圓形向上突起且進一步使一內閥室部分159與中間閥室部分154分離。在本發明中，僅為了識別且不指示流體流之方向，定位於一對相鄰孔口脊區段之間(例如大孔口脊120與小孔口脊121之間)的一連續容積可指稱一中間閥室部分，安置於一(或若干)相鄰孔口脊區段對外之一相鄰連續容積可指稱一外閥室部分(例如158)，且安置於一(或若干)相鄰孔口脊區段對內之一相鄰連續容積可指稱一內閥室部分(例如159)。一墊圈密封區域164可形成於閥體190之上表面中以將金屬墊圈165接納於外閥室部分158之周邊相鄰處。
例示性閥100可進一步包括：一第一流體導管110 (通常為一入口)及一第二流體導管114 (通常為一出口)，該兩個導管將流體傳送至閥室150；一閥室密封隔膜170；及一控制元件，其可藉由使閥室密封隔膜170撓曲來移動。可移動控制元件可由附裝至一控制軸182之一控制板200 (下文將進一步描述)組成，控制軸182附裝至隔膜170。在例示性閥100之設計中，一第一流體導管口112提供內閥室部分159與第一流體導管110之間的流體連通。類似地，一第二流體導管口116提供中間閥室部分154與第二流體導管114之間的流體連通。在圖4A至圖4D之呈現繪示中，閥100在一關斷無流動狀態中係完全關閉的，因此控制板200展示為接觸大孔口脊120及小孔口脊121兩者。設計者應瞭解，第一流體導管110及第二流體導管114可提供至一表面安裝組件界面而非所繪示之管短柱之流體通道。K1S及W-密封係半導體資本設備設計中所熟知之表面安裝組件界面實例且因此不在本發明之圖式中加以繪示。包括該閥之部分可由依據相對於待處置流體之所要化學惰性所選之材料構造且可包含(例如)不鏽鋼、Monel® 金屬、鈦合金、Hastelloy® 合金、Elgiloy® 、黃銅或聚合物(諸如Teflon® 、Kel-F® 、Vespel® 、Kynar® )及金屬及聚合物之單獨或共同組合。例如，一316L型不鏽鋼閥體190可與一Hastelloy® 鎳合金控制板200及一Elgiloy® 鈷合金密封隔膜170一起使用。
圖2A至圖2D中所繪示之一流通控制板200之一實例包括形成為一基本上呈圓形之圓盤之一控制板體240，其在圓盤之對置側上具有一或多個特徵。該等特徵可包含一中心穿孔242、一沉孔244及一或多個頂孔246。沉孔244通常將位於意欲面向孔口脊120、121之一平坦圓盤側之中心處且通常形成於平坦圓盤側中。一或多個頂孔246可自對置圓盤側穿透控制板體240且藉此在中心穿孔242與控制板體240之間留下一或多個腹板248。替代地，頂孔246可經放置以與沉孔244相交，同時亦在中心穿孔242與控制板體240之剩餘部分之間留下一或多個腹板248。腹板248橋接於沉孔244上。無論何種情況，頂孔246構成流體可透過其自控制板體240之一側傳遞至對置側以無需圍繞外徑周邊通過之流體通道。如圖4A至圖4D中所繪示，控制板200可安裝至控制軸182之一短柱上且藉此懸置於閥室150內。只要不遮掩穿過頂孔246之流體通道，則可使用任何適合安裝方法，諸如壓入配合(參閱(例如)圖9A至圖9D)、鍛造短柱之頭部、一螺紋緊固件、焊接或根據一開業者之期望之類似設計選擇。應瞭解，可不像圖2A至圖2D中所展示般使用一穿孔242來將控制板安裝至控制軸182之短柱，而是如圖9A至圖9D中所描繪般使用一盲孔安裝。
藉由以下考量來進一步理解控制流體流動之方式：使由小孔口脊121包圍之內閥室部分159由與第一流體導管110流體連通之第一流體導管口112連接，藉此控制板200之至少一部分可朝向或遠離小孔口脊121移動以產生一第一流體部分可可控地流動通過其之一第一控制間隙(圖中未展示)。可控第一流體部分可自內閥室部分159通過第一控制間隙而直接中轉至中間閥室部分154，可控第一流體部分可自內閥室部分159通過與第二流體導管114流體連通之一偏移第二流體導管口116流出。在本實例性閥100中，一致動器(圖中未展示)可將一力施加於控制軸182以使隔膜170撓曲且藉此藉由改變第一控制間隙來調變通過閥100之傳導性。
在第一流體部分之上述流動之同時，使控制板200之至少一部分朝向或遠離大孔口脊120移動類似地產生一第二流體部分可可控地流動通過其之一第二控制間隙(圖中未展示)。可控第二流體部分可自內閥室部分159通過控制板200之頂孔246且掃過上閥室部分157而至外閥室部分158中，第二流體部分可自外閥室部分158通過第二控制間隙而流出至中間閥室部分154中。在到達中間閥室部分154之後，可控第二流體部分亦可通過與第二流體導管114流體連通之偏移第二流體導管口116流出。因此，在本實例性閥100中，將一力施加於控制軸182且使隔膜170撓曲之致動器(圖中未展示)藉此藉由改變第二控制間隙來另外調變通過閥100之傳導性。應瞭解，儘管關閉閥100，但流體可通過控制板200中之孔但無法再向前流動。當關閉閥100時，流體無法自第一流體導管110傳遞至第二流體導管114。
設計者應瞭解，大孔口脊120及小孔口脊121僅需要被嵌套而非完全同心；再者，孔口脊120、121之嵌套對可相對於內部閥室150之形狀及尺寸不對稱放置。當然，流通控制板200需要在圓盤形本體240之下平坦側上具有足以跨越接觸大孔口脊120與小孔口脊121之間且覆蓋整個中間閥室部分154之一連續不中斷表面區域。非圓形形狀之一單一孔口脊(圖中未展示)亦可具有圍封一流通控制板可完全覆蓋之一中間閥室部分之相鄰區段。設計者亦應瞭解，為了方便及清楚而非限制，使用自第一流體導管110前進至第二流體導管114之所描述之流體流動方向。流體可在自第二流體導管114至第一流體導管110之一相反方向上流動，且整個閥室150仍將有益地由可控流體流掃掠。圖4A至圖4D中所繪示之閥設計實質上消除關於內部死區對掃掠容積之任何擔憂且亦可改良例示性閥設計之動態回應。流通控制板能夠使用嵌套孔口脊120、121，其等共同產生幾乎為一單一大孔口之圓周之兩倍之總控制間隙長度，同時實質上減小為了達成關斷而必須關閉之面積。此組合提供高傳導性及低關閉力。應瞭解，在圖4A至圖4D所繪示之類型之一隔膜密封閥中，控制板200之軸向位移量(例如，在圖4B之橫截面圖中，向上及向下)非常有限(例如，就一壓電致動閥而言，約50 μm，而就一電磁致動閥而言，約200 μm)。因此，使用嵌套孔口脊容許幾乎為僅使用一單一孔口脊可達成之傳導性之兩倍之較高傳導性。
圖3A至圖3D中繪示一流通控制板300之另一實例且流通控制板300包括形成為一基本上呈圓形之圓盤之一控制板體341，控制板體341在圓盤之對置側上具有一或多個特徵。該等特徵可包含一中心穿孔343、一球形凹穴(或凹口) 345及一或多個傾斜頂孔347。球形凹穴345通常將位於意欲面向孔口脊120、121之一平坦圓盤側之中心處且通常將形成於平坦圓盤側中。一或多個傾斜頂孔347可自球形凹穴345至對置圓盤側穿透控制板體341且藉此在中心穿孔343與控制板體341之剩餘部分之間留下一或多個腹板349。腹板349橋接於球形凹穴345上。球形凹穴345用於鑽探傾斜頂孔347時，因為該等傾斜孔之入口可局部垂直於凹穴表面以藉此最小化鑽頭搖擺或彎曲。應瞭解，可替代地使用一適合傾斜錐形凹穴或凹口而非一球形凹穴或凹口345來促進傾斜頂孔347之鑽探。傾斜頂孔347構成流體可透過其自控制板體341之一側傳遞至對置側以無需圍繞外徑周邊通過之流體通道。如圖5A至圖5D中所繪示，控制板300可安裝至控制軸182之一短柱上且藉此懸置於閥室150內。只要不遮掩穿過傾斜頂孔347之流體通道，則可使用任何適合安裝方法，諸如壓入配合(參閱(例如)圖9A至圖9D)、鍛造短柱之頭部、一螺紋緊固件、焊接或根據一開業者之期望之類似設計選擇。應瞭解，可不像圖3A至圖3D中所展示般使用一穿孔343來將控制板安裝至控制軸182之短柱，而是如圖9A至圖9D中所描繪般使用一盲孔安裝。
使用例示性流通控制板300來控制圖5A至圖5D中所繪示之閥總成之流體流動之方式可被進一步理解為本質上相同於針對使用早先所提及之例示性流通控制板200之圖4A至圖4D中所繪示之閥總成所描述之方式。一可控第一流體部分可自內閥室部分159通過一第一控制間隙(圖中未展示)而直接中轉至中間閥室部分154，第一流體部分可自內閥室部分159通過與第二流體導管114流體連通之一偏移第二流體導管口116流出。就流通控制板設計300而言，一可控第二流體部分可自內閥室部分159通過控制板300之傾斜頂孔347以掃過上閥室部分157而至外閥室部分158中，第二流體部分可自外閥室部分158通過第二控制間隙而流出至中間閥室部分154中。流通控制板300亦需要在圓盤形本體341之下平坦側上具有足以跨越接觸大孔口脊120與小孔口脊121之間且覆蓋整個中間閥室部分154之一連續不中斷表面區域。設計者亦應瞭解，為了方便及清楚而非限制，圖5A至圖5D所繪示之例示性閥總成中使用所描述之流體流動方向。流體可在一相反方向上流動且整個閥室150仍將有益地由可控流體流掃掠。圖5A至圖5D中所繪示之閥總成設計實質上消除關於內部死區對掃掠容積之任何擔憂且亦可改良例示性閥設計之動態回應。流通控制板能夠使用嵌套孔口脊120、121，其等共同產生幾乎為一單一大孔口之圓周之兩倍之總控制間隙長度，同時實質上減小為了達成關斷而必須關閉之面積。此組合提供高傳導性及低關閉力。
圖6A至圖6D中繪示具有嵌套孔口脊420、421之另一高傳導性閥體490之一代表性實例。一更完全例示性閥總成400可具有一頂部套組，其包含藉由使一金屬墊圈465 (作為圖8A至圖8D中所進一步繪示之一無洩漏總成)變形來可移除地接合至閥體490之一閥罩460。頂部套組可包含依據一特定應用所選之一致動器(圖中未展示)。例如，一氣動致動器可用於一簡單開關高傳導性閥，而一壓電致動器可用於適合於一質流控制器電子系統之一比例控制高傳導性閥。形成於閥體490之一上表面中之開口腔454、458、459可被視為一閥室之下部分，而閥室之一上部分457形成於閥室上方之閥罩460之一下表面中。形成為在閥體490內偏移之一大體上呈圓形之向上突起之一大孔口脊420使一外閥室部分458與大孔口脊420包圍之一中間閥室部分454分離。亦形成為自閥體490之一圓形向上突起之一嵌套小孔口脊421進一步使一內閥室部分459與包圍小孔口脊421之中間閥室部分454分離。一墊圈密封區域464可形成於閥體490之上表面中以在外閥室部分458之周邊相鄰處接納金屬墊圈465。
例示性閥400可進一步包括：一第一流體導管417 (通常為一入口)及一第二流體導管414 (通常為一出口)，該兩個導管將流體傳送至閥室；一閥室密封隔膜470；及一控制元件，其可藉由使閥室密封隔膜470撓曲來移動。控制元件可由一控制板600 (下文將進一步描述)組成，控制板600包含附裝至一控制軸482之一閥衝程放大器機構，控制軸482附裝至隔膜470。在例示性閥400之設計中，一第一流體導管口419提供外閥室部分458與第一流體導管417之間的流體連通。類似地，一第二流體導管口416提供中間閥室部分454與第二流體導管414之間的流體連通。在圖8A至圖8D之呈現繪示中，閥總成400在一關斷無流動狀態中完全關閉，因此控制板600展示為接觸大孔口脊420及小孔口脊421兩者。設計者應瞭解，第一流體導管417及第二流體導管414可提供至一表面安裝組件界面而非所繪示之管短柱之流體通道。K1S及W-密封係半導體資本設備設計中所熟知之表面安裝組件界面實例且因此不在本發明之圖式中加以繪示。包括該閥之部分可由選擇依據相對於待處置流體之所要化學惰性所選之材料構造且可包含(例如)不鏽鋼、Monel® 金屬、鈦合金、Hastelloy® 合金、Elgiloy® 、黃銅或聚合物(諸如Teflon® 、Kel-F® 、Vespel® 、Kynar® )及金屬及聚合物之單獨或共同組合。例如，一316L型不鏽鋼閥體490可與一Hastelloy® 鎳合金控制板600及一Elgiloy® 鈷合金密封隔膜470一起使用。
圖7A至圖7F中所繪示及圖8A至圖8D中所包含之一流通控制板600之另一實例包括一控制板體640及一閥衝程放大機構放大器圓盤641，如由本發明者Kim Ngoc Vu於2015年11月4日申請之美國專利申請案第14/932,086號中所描述。如圖7A至圖7F中所繪示，控制板體640形成為具有包含一中心穿孔642、一環形溝槽644及一頂部離隙646之特徵之一基本上呈圓形之圓盤。環形溝槽644及頂部離隙646形成於與意欲面向一或多個孔口脊之平坦側對置之圓盤側中。頂部離隙646放置成與環形溝槽644及中心穿孔642之一部分相交以藉此提供流體可透過其自控制板體640之一側傳遞至對置側以無需圍繞其外徑周邊通過之一開口流體通道。所引用之美國專利申請案第14/932,086內詳細描述放大器圓盤641。本申請案所關注之放大器圓盤特徵包含一提升孔643、一被動區段、一主動區段649、相鄰於主動區段之一空隙通道639、附接點645及扭力桿648。控制板體640及放大器圓盤641藉由焊接於兩個附接點645處來彼此附接，其中扭力桿648及主動區段649構成橋接於頂部離隙646及環形溝槽644之一部分上之一腹板。空隙通道639之一部分緊鄰於頂部離隙646以藉此提供流體可透過其自控制板600之一側傳遞至對置側以無需圍繞總成之外徑周邊通過之一流體路徑。如圖8A至圖8D中所繪示，控制板600可使用衝程放大器圓盤提升孔643來安裝至控制軸482之一短柱上且藉此懸置於閥室內。只要不遮掩穿過頂部離隙646之流體通道及放大器圓盤空隙通道639，則可使用任何適合安裝方法，諸如壓入配合、鍛造短柱頭、一螺紋緊固件、焊接或根據一開業者之期望之類似設計選擇。
自一頂部套組致動器(圖中未展示)施加於主動區段649中之放大器圓盤提升孔643處之一力將由扭力桿648傳送至附接點645。當此施加力係一提升例項時，被動區段647將向下扣住流通控制板體640之一偏心第一部分，同時由施予附接點645之直徑力向上提升一直徑相對第二部分。所得運動將打開控制板平坦底面與圖8A至圖8D所繪示之例示性閥400中之大孔口脊420及小孔口脊421兩者之間的一楔形間隙。當閥400處於一關閉狀態中(如圖8A至圖8D中所展示)時，各種放大器圓盤元件標稱上係共面的且流通控制板體640接觸大孔口脊420及小孔口脊421。
可藉由以下考量來進一步理解控制流體流動之方式：外閥室部分458由與第一流體導管417流體連通之第一流體導管口419供給，其中控制板600之至少一部分可朝向或遠離大孔口脊420移動以產生一第一流體部分可可控地流動通過之一楔形第一控制間隙(圖中未展示)。可控第一流體部分可自外閥室部分458通過第一控制間隙而直接中轉至中間閥室部分454，可控第一流體部分可自中間閥室部分454通過與第二流體導管414流體連通之第二流體導管口416流出。在本實例性閥400中，一致動器(圖中未展示)可將一力施加於控制軸482以使隔膜470撓曲且藉此藉由改變第一控制間隙來調變通過閥400之傳導性。應瞭解，儘管關閉閥400，但流體可自第一流體導管417，通過第一流體導管口419，圍繞控制板600之一外周邊而傳遞至外閥室部分458及閥室之上部分457中且通過控制板600中之孔而傳遞至內閥室部分459中，但無法再向前傳遞。因此，當關閉閥400時，流體無法自第一流體導管417傳遞至第二流體導管414。
在第一流體部分之上述流動之同時，使控制板600之至少一部分朝向或遠離小孔口脊421移動類似地產生一第二流體部分可可控地流動通過之一楔形第二控制間隙(圖中未展示)。可控第二流體部分可自外閥室部分458掃過上閥室部分457且接著通過控制板600，經由控制板體640之放大器圓盤空隙通道639及頂部離隙646而至內閥室部分459中，接著，可控第二流體部分可自內閥室部分459通過第二控制間隙而中轉至中間閥室部分454，第二流體部分可自中間閥室部分454通過與第二流體導管414流體連通之第二導管口416流出。因此，在本實例性閥400中，將一力施加於控制軸482且使隔膜470撓曲之致動器(圖中未展示)藉此藉由改變第二控制間隙來另外調變通過閥400之傳導性。設計者亦應瞭解，為了方便及清楚而非限制，圖8A至圖8D所繪示之例示性閥總成中使用所描述之流體流動方向。流體可在一相反方向上流動且整個閥室450仍將有益地由可控流體流動掃掠。圖8A至圖8D中所繪示之閥設計實質上消除關於內部死區對掃掠容積之任何擔憂且亦可改良例示性閥設計之動態回應。流通控制板能夠使用嵌套孔口脊420、421，其等共同產生幾乎為一單一大孔口之圓周之兩倍之總控制間隙長度，同時實質上減小為了達成關斷而必須關閉之面積。此組合提供高傳導性及低關閉力。
圖10A至圖10D中繪示具有中心同心孔口脊820、821、822、823之兩個嵌套群組之另一高傳導性閥體890之一代表性實例。一更完全例示性閥總成1000可具有一頂部套組，其包含藉由使一金屬墊圈865 (作為圖11A至圖11D中所進一步繪示之一無洩漏總成)變形來可移除地接合至閥體890之一閥罩860。頂部套組可包含依據一特定應用所選之一致動器(圖中未展示)。例如，一手動致動器可用於一簡單開關高傳導性閥，而一壓電或電磁致動器可用於適合於一質流控制器電子系統之一比例控制高傳導性閥。形成於閥體890之一上表面中之開口腔852、854、856、858、859可被視為一閥室之下部分，而閥室之一上部分857形成於閥室上方之閥罩860之一下表面中。形成為自閥體890之一圓形向上突起之一最大孔口脊820使一外閥室部分858與由最大孔口脊820包圍之一第一中間閥室部分856分離。一大體上同心之第一較小孔口脊821亦形成為由最大孔口脊820包圍之自閥體890之一圓形向上突起且進一步使一圍封第二中間閥室部分854與第一中間閥室部分856分離。一大體上同心之第二較小孔口脊822亦形成為由第一較小孔口脊821包圍之自閥體890之一圓形向上突起且進一步使一圍封第三中間閥室部分852與第二中間閥室部分854分離。一大體上同心之最小孔口脊823亦形成為由第二較小孔口脊822包圍之自閥體890之一圓形向上突起且進一步使一內閥室部分859與第三中間閥室部分852分離。一墊圈密封區域864可形成於閥體890之上表面中以在外閥室部分858之周邊相鄰處接納金屬墊圈865。
例示性閥1000可進一步包括：一第一流體導管810 (通常為一入口)及一第二流體導管814 (通常為一出口)，該兩個導管將流體傳送至閥室；一閥室密封隔膜870；及一控制元件，其可藉由使閥室密封隔膜870撓曲來移動。另外，可移動控制元件可由附裝至一控制軸882之一控制板900 (下文將進一步描述)組成，控制軸882附裝至隔膜870。在例示性閥1000之設計中，一第一流體導管口812提供內閥室部分859與第一流體導管810之間的流體連通。類似地，一或多個第二流體導管口816提供第一中間閥室部分856與第二流體導管814之間的流體連通。亦提供一或多個第三內流體導管口818，其提供第三中間閥室部分852與第二流體導管814之間的流體連通。在圖11A至圖11D之呈現繪示中，閥1000在一關斷無流動狀態中完全關閉，因此控制板900展示為接觸所有四個孔口脊：最大孔口脊820、第一較小孔口脊821、第二較小孔口脊822及最小孔口脊823。設計者應瞭解，第一流體導管810及第二流體導管814可提供至一表面安裝組件界面而非所繪示之管短柱之流體通道。K1S及W-密封係半導體資本設備設計中所熟知之表面安裝組件界面實例且因此不在本發明之圖式中加以繪示。包括該閥之部分可由依據相對於待處置流體之所要化學惰性所選之材料構造且可包含(例如)不鏽鋼、Monel® 金屬、鈦合金、Hastelloy® 合金、Elgiloy® 、黃銅或聚合物(諸如Teflon® 、Kel-F® 、Vespel® 、Kynar® )及金屬及聚合物之單獨或共同組合。例如，一316L型不鏽鋼閥體890可與一Hastelloy® 鎳合金控制板900及一Elgiloy® 鈷合金密封隔膜870一起使用。替代地，閥體、密封隔膜及控制板體可全部由相同不鏽鋼合金製成。
圖9A至圖9D中所繪示之一流通控制板900之一實例包括形成為一基本上呈圓形之圓盤之一控制板體940，其在圓盤之對置側上具有一或多個特徵。該等特徵可包含一中心安裝孔942 (盲孔或穿孔)、一或多個第一中間穿孔944及一或多個第二中間穿孔946。如圖11A至圖11D中所繪示，控制板900可安裝至控制軸882之一短柱上且藉此懸置於閥室內。只要不遮掩由第一中間穿孔944及第二中間穿孔946形成之流體通道，則可使用任何適合安裝方法，諸如壓入配合、鍛造短柱之頭部、一螺紋緊固件、焊接或根據一開業者之期望之類似設計選擇。應瞭解，可不像圖9A至圖9D中所展示般使用一盲孔來將控制板900安裝至控制軸882之短柱，而是如圖2A至圖2D、圖3A至圖3D及圖7A至圖7F中所描繪般使用一穿孔安裝。
一或多個第一中間穿孔944穿透控制板體940且通常圍繞包圍中心安裝孔942之一等徑第一圓均勻間隔。第一圓之直徑及第一中間穿孔944之直徑經選擇使得該等穿孔僅覆蓋內閥室部分859且不與相鄰最小孔口脊823重疊。如圖9A至圖9D及圖11A至圖11D中所繪示，傾斜鑽探第一中間穿孔944允許使用較大直徑孔且不與最小孔口脊823重疊。應瞭解，儘管圖中未展示，但一球形凹穴或凹口可用於促進依先前相對於圖3A至圖3D所討論之方式鑽探第一中間穿孔944。第一中間穿孔944構成流體可透過其自控制板體940之一側傳遞至對置側以無需圍繞外徑周邊通過之流體通道。更特定言之，第一中間穿孔944流體地連接內閥室部分859與上閥室部分857。一或多個相鄰第一中間穿孔944之間的腹板945提供自中心安裝孔942至圓盤形本體940之下平坦側上之一連續不中斷第一表面區域941之機械連接，該第一表面區域941具有足以跨越接觸第二較小孔口脊822與最小孔口脊823之間且覆蓋整個第三中間閥室部分852之徑向範圍。
一或多個第二中間穿孔946穿透控制板體940且通常圍繞進一步包圍第一表面區域941及第一中間穿孔944之一等徑第二圓均勻間隔。第二圓之直徑及第二中間穿孔946之直徑經選擇使得該等穿孔僅覆蓋第二中間閥室部分854且不與相鄰第一較小孔口脊821及第二較小孔口脊822重疊。第二中間穿孔946構成流體可透過其自控制板體940之一側傳遞至對置側以無需圍繞外徑周邊通過之流體通道。更特定言之，第二中間穿孔946流體地連接第二中間閥室部分854與上閥室部分857。一或多個相鄰第二中間穿孔946之間的腹板947提供自第一表面區域941至圓盤形本體940之下平坦側上之一連續不中斷第二表面區域943之機械連接，該第二表面區域943具有足以跨越接觸最大孔口脊820與第一較小孔口脊821之間且覆蓋整個第一中間閥室部分856之徑向範圍。
藉由以下考量來進一步理解控制流體流動之方式：由較小孔口脊823包圍之內閥室部分859由與第一流體導管810流體連通之第一流體導管口812供給，其中控制板900之至少一部分可朝向或遠離最小孔口脊823移動以產生一第一流體部分可可控地流動通過之一第一控制間隙(圖中未展示)。可控第一流體部分可直接中轉至第三中間閥室部分852中，可控第一流體部分可自第三中間閥室部分852通過與第二流體導管814流體連通之一或多個第三流體導管口818流出。一第二流體部分可自內閥室部分859向上通過一或多個第一中間穿孔944而至閥室之上部分857中，且自上部分857向下通過一或多個第二中間穿孔946而至第二中間閥室部分854中。使控制板900之至少一部分朝向或遠離第二較小孔口脊822移動將產生一第二控制間隙(圖中未展示)，第二流體部分亦可自第二中間閥室部分854通過第二控制間隙而可控地直接流入至第三中間閥室部分852中且接著通過與第二流體導管814流體連通之一或多個第三流體導管口818流出。在本實例性閥1000中，一致動器(圖中未展示)可將一力施加於控制軸882以使隔膜870撓曲且藉此藉由改變第一控制間隙及第二控制間隙來調變通過閥1000之傳導性。
在第一流體部分及第二流體部分之上述流動之同時，使控制板900之至少一部分朝向或遠離最大孔口脊820移動類似地產生一第三流體部分可可控地流動通過之一第三控制間隙(圖中未展示)。可控第三流體部分可自內閥室部分859向上通過控制板900之一或多個第一中間穿孔944且掃過上閥室部分857而至外閥室部分858中，第三流體部分可自外閥室部分858通過第三控制間隙而流出至第一中間閥室部分856中。在到達第一中間閥室部分856之後，可控第三流體部分可通過與第二流體導管814流體連通之一或多個第二流體導管口816流出。一第四流體部分可自內閥室部分859向上通過一或多個第一中間穿孔944而至閥室之上部分857中，且自上部分857向下通過一或多個第二中間穿孔946而至第二中間閥室部分854中。使移動控制板900之至少一部分朝向或遠離第一較小孔口脊821移動將產生一第四控制間隙(圖中未展示)，第四流體部分亦可通過第四控制間隙而可控地直接流入至第一中間閥室部分856中，第四流體部分可自第一中間閥室部分856通過與第二流體導管814流體連通之一或多個第二內流體導管口816流出。因此，在本實例性閥1000中，將一力施加於控制軸882且使隔膜870撓曲之致動器(圖中未展示)藉此藉由改變第三控制間隙及第四控制間隙來另外調變通過閥1000之傳導性。應瞭解，儘管關閉閥1000，但流體可通過控制板900中之孔而至閥室之上部分857、外閥室部分858及第二中間閥室部分854中，但無法再向前流動。因此，當關閉閥1000時，流體無法自第一流體導管810傳遞至第二流體導管814。
設計者應瞭解，最大孔口脊820及第一較小孔口脊821僅需為嵌套的且無需為完全同心；再者，孔口脊820、821之嵌套對可相對於內部閥室之形狀及尺寸不對稱放置。當然，流通控制板900主要需要在圓盤形本體940之下平坦側上具有足以跨越接觸最大孔口脊820與第一較小孔口脊821之間且覆蓋整個第一中間閥室部分856之一連續不中斷第二表面區域943。依類似方式，第二較小孔口脊822及最小孔口脊823僅需為嵌套的且無需為完全同心；再者，孔口脊822、823之嵌套對可相對於內部閥室850之形狀及尺寸不對稱放置。當然，流通控制板900主要需要在圓盤形本體940之下平坦側上具有足以跨越接觸第二較小孔口脊822與最小孔口脊823之間且覆蓋整個第三中間閥室部分852之一連續不中斷第一表面區域941。設計者亦應瞭解，為了方便及清楚而非限制，使用自第一流體導管810前進至第二流體導管814之所描述之流體流動方向。流體可在自第二流體導管814至第一流體導管810之一相反方向上流動，且整個閥室仍將有益地由可控流體流掃掠。圖11A至圖11D中所繪示之閥設計實質上消除關於內部死區對掃掠容積之任何擔憂且亦可改良例示性閥設計之動態回應。流通控制板能夠使用嵌套孔口脊820、821、822、823，其等共同產生約為一單一大孔口之圓周之三倍之總控制間隙長度，同時實質上減小為了達成關斷而必須關閉之面積。此組合提供高傳導性及低關閉力。
因此，儘管已描述本發明之至少一實施例之若干態樣，但應瞭解，熟習技術者將易於想到各種更改、修改及改良。此等更改、修改及改良意欲為本發明之部分且意欲在本發明之範疇內。因此，以上描述及圖式僅供例示。
100‧‧‧閥總成
110‧‧‧第一流體導管
112‧‧‧第一流體導管口
114‧‧‧第二流體導管
116‧‧‧第二流體導管口
120‧‧‧大孔口脊
121‧‧‧小孔口脊
150‧‧‧閥室
154‧‧‧開口腔/中間閥室部分
157‧‧‧上閥室部分
158‧‧‧開口腔/外閥室部分
159‧‧‧開口腔/內閥室部分
160‧‧‧閥罩
164‧‧‧墊圈密封區域
165‧‧‧金屬墊圈
170‧‧‧閥室密封隔膜
182‧‧‧控制軸
190‧‧‧閥體
200‧‧‧控制板
240‧‧‧控制板體
242‧‧‧中心穿孔
244‧‧‧沉孔
246‧‧‧頂孔
248‧‧‧腹板
300‧‧‧控制板
341‧‧‧控制板體
343‧‧‧中心穿孔
345‧‧‧球形凹穴
347‧‧‧傾斜頂孔
349‧‧‧腹板
400‧‧‧閥總成
414‧‧‧第二流體導管
416‧‧‧第二流體導管口
417‧‧‧第一流體導管
419‧‧‧第一流體導管口
420‧‧‧大孔口脊
421‧‧‧小孔口脊
450‧‧‧閥室
454‧‧‧開口腔/中間閥室部分
457‧‧‧上閥室部分
458‧‧‧開口腔/外閥室部分
459‧‧‧開口腔/內閥室部分
460‧‧‧閥罩
464‧‧‧墊圈密封區域
465‧‧‧金屬墊圈
470‧‧‧閥室密封隔膜
482‧‧‧控制軸
490‧‧‧閥體
600‧‧‧控制板
639‧‧‧空隙通道
640‧‧‧控制板體
641‧‧‧放大器圓盤
642‧‧‧中心穿孔
643‧‧‧提升孔
644‧‧‧環形溝槽
645‧‧‧附接點
646‧‧‧頂部離隙
647‧‧‧被動區段
648‧‧‧扭力桿
649‧‧‧主動區段
810‧‧‧第一流體導管
812‧‧‧第一流體導管口
814‧‧‧第二流體導管
816‧‧‧第二流體導管口
818‧‧‧第三內流體導管口
820‧‧‧最大孔口脊
821‧‧‧第一較小孔口脊
822‧‧‧第二較小孔口脊
823‧‧‧最小孔口脊
852‧‧‧開口腔/第三中間閥室部分
854‧‧‧開口腔/第二中間閥室部分
856‧‧‧開口腔/第一中間閥室部分
857‧‧‧上閥室部分
858‧‧‧開口腔/外閥室部分
859‧‧‧開口腔/內閥室部分
860‧‧‧閥罩
864‧‧‧墊圈密封區域
865‧‧‧金屬墊圈
870‧‧‧閥室密封隔膜
882‧‧‧控制軸
890‧‧‧閥體
900‧‧‧控制板
940‧‧‧控制板體
941‧‧‧第一表面區域
942‧‧‧中心安裝孔
943‧‧‧第二表面區域
944‧‧‧第一中間穿孔
945‧‧‧腹板
946‧‧‧第二中間穿孔
947‧‧‧腹板
1000‧‧‧閥總成
圖1A繪示具有中心同心孔口脊之一代表性高傳導性閥體之一平面圖；
圖1B繪示沿線I-I取得之圖1A之高傳導性閥體之一橫截面圖；
圖1C繪示圖1A之高傳導性閥體之一俯視透視圖；
圖1D繪示沿線I-I取得之圖1A之高傳導性閥體之一俯視透視橫截面圖；
圖2A繪示具有用於一高傳導性閥之流通通道之一控制板之一實施例之一平面圖；
圖2B繪示沿線II-II取得之圖2A之控制板之一橫截面圖；
圖2C繪示圖2A之控制板之一俯視透視圖；
圖2D繪示沿線II-II取得之圖2A之控制板之一俯視透視橫截面圖；
圖3A繪示具有用於一高傳導性閥之流通通道之一控制板之另一實施例之一平面圖；
圖3B繪示沿線III-III取得之圖3A之控制板之一橫截面圖；
圖3C繪示圖3A之控制板之一俯視透視圖；
圖3D繪示沿線III-III取得之圖3A之控制板之一俯視透視橫截面圖；
圖4A繪示具有根據圖2A至圖2D之流通通道之一控制板與安裝於具有根據圖1A至圖1D之同心中心孔口脊之一高傳導性閥體頂上之一閥頂部套組(topworks)之組合之一實施例之一平面圖；
圖4B繪示沿線IV-IV取得之圖4A之實施例之一橫截面圖；
圖4C繪示圖4A之實施例之一俯視透視圖；
圖4D繪示沿線IV-IV取得之圖4A之實施例之一俯視透視橫截面圖；
圖5A繪示具有根據圖3A至圖3D之流通通道之一控制板與安裝於具有根據圖1A至圖1D之中心同心孔口脊之一高傳導性閥體頂上之一閥頂部套組之組合之一實施例之一平面圖；
圖5B繪示沿線V-V取得之圖5A之實施例之一橫截面圖；
圖5C繪示圖5A之實施例之一俯視透視圖；
圖5D繪示沿線V-V取得之圖5A之實施例之一俯視透視橫截面圖；
圖6A繪示具有偏移同心孔口脊之另一代表性高傳導性閥體之一平面圖；
圖6B繪示沿線VI-VI取得之圖6A之高傳導性閥體之一橫截面圖；
圖6C繪示圖6A之高傳導性閥體之一俯視透視圖；
圖6D繪示沿線VI-VI取得之圖6A之高傳導性閥體之一俯視透視橫截面圖；
圖7A繪示具有流通通道之一控制板與一閥衝程放大器圓盤之組合之一實施例；
圖7B繪示沿線VII-VII取得之圖7A之控制板及閥衝程放大器圓盤之一橫截面圖；
圖7C繪示圖7A之組合控制板及閥衝程放大器圓盤之控制板之一俯視透視圖；
圖7D繪示沿線VII-VII取得之圖7A之組合控制板及閥衝程放大器圓盤之控制板之一俯視透視橫截面圖；
圖7E繪示圖7A之組合控制板及閥衝程放大器圓盤之一俯視透視圖；
圖7F繪示沿線VII-VII取得之圖7A之組合控制板及閥衝程放大器圓盤之一俯視透視橫截面圖；
圖8A繪示具有根據圖7A至圖7F之流通通道及放大器圓盤之一控制板與安裝於具有根據圖6A至圖6D之偏移同心孔口脊之一高傳導性閥體頂上之一閥頂部套組之組合之一平面圖；
圖8B繪示沿線VIII-VIII取得之圖8A之實施例之一橫截面圖；
圖8C繪示圖8A之實施例之一俯視透視圖；
圖8D繪示沿線VIII-VIII取得之圖8A之實施例之一俯視透視橫截面圖；
圖9A繪示具有用於一高傳導性閥之流通通道之一控制板之另一實施例之一平面圖；
圖9B繪示沿線IX-IX取得之圖9A之控制板之一橫截面圖；
圖9C繪示圖9A之控制板之一俯視透視圖；
圖9D繪示沿線IX-IX取得之圖9A之控制板之一俯視透視橫截面圖；
圖10A繪示具有同心孔口脊之兩個嵌套群組之另一代表性高傳導性閥體之一平面圖；
圖10B繪示沿線X-X取得之圖10A之高傳導性閥體之一橫截面圖；
圖10C繪示圖10A之高傳導性閥體之一俯視透視圖；
圖10D繪示沿線X-X取得之圖10A之高傳導性閥體之一俯視透視橫截面圖；
圖11A繪示具有根據圖9A至圖9D之流通通道之一控制板與安裝於具有根據圖10A至圖10D之同心孔口脊之嵌套群組之一高傳導性閥體頂上之一閥頂部套組之組合之一平面圖；
圖11B繪示沿線XI-XI取得之圖11A之實施例之一橫截面圖；
圖11C繪示圖11A之實施例之一俯視透視圖；及
圖11D繪示沿線XI-XI取得之圖11A之實施例之一俯視透視橫截面圖。

Claims (20)

  1. 一種用於一高傳導性閥之控制板，其包括： 一控制板體，其形成為具有一平坦側及與該平坦側對置之一對置側之一基本上呈圓形之圓盤，該控制板經構形以藉由一致動器來移動於一閥內，該平坦側具有用於關斷該閥中之流體流動之一連續不中斷平坦部分；及 至少一流體通道，其界定於該控制板體中，該至少一流體通道自該平坦側延伸穿至該對置側。
  2. 如請求項1之控制板，其中該至少一流體通道包含界定於該控制板體中且自該平坦側延伸穿至該對置側之複數個流體通道。
  3. 如請求項2之控制板，其中該複數個流體通道圍繞該控制板體之一中心安置且該平坦側之該連續不中斷平坦部分包圍該複數個流體通道之各者。
  4. 如請求項2之控制板，其進一步包括在該控制板體之一中心中形成於該控制板體之該平坦側中之一凹口，其中該複數個流體通道依一角度自該凹口向外延伸穿至該對置側，且其中該平坦側之該連續不中斷平坦部分包圍該複數個流體通道之各者。
  5. 如請求項2之控制板，其中該複數個流體通道包含圍繞該控制板體之一中心安置之第一複數個傾斜流體通道及圍繞該控制板體之一徑向外部分安置且實質上筆直延伸穿過該控制板體之第二複數個筆直流體通道，該第一複數個傾斜流體通道自該對置側徑向向內斜穿至該平坦側。
  6. 如請求項5之控制板，其中該平坦側包含安置於該複數個傾斜流體通道與該複數個筆直流體通道之間的一第一連續不中斷平坦部分及安置成自該複數個筆直流體通道徑向向外之一第二連續不中斷平坦部分。
  7. 4、5或6中任一項之控制板，其進一步包括延伸穿過該控制板體之該中心之一中心穿孔及形成於該控制板體之該中心中之該對置側中之一盲孔之一者，該中心穿孔及該盲孔之該一者經構造以將該控制板體安裝至一控制軸上。
  8. 如請求項1之控制板，其進一步包括： 一放大器圓盤，其耦合至該控制板體，該放大器圓盤具有一內區段及一外周邊，該內區段耦合至該外周邊且藉由連接臂來與該外周邊隔開，使得該內區段之軸向位移引起該放大器圓盤之該外周邊之一對置部分不對稱位移； 其中該控制板包含界定於該控制板體中之一環形溝槽，該環形溝槽具有與該平坦側對置之一離隙面，該至少一流體通道包含界定於該控制板體中且與該環形溝槽相交之一穿孔。
  9. 一種閥總成，其包括： 一閥體，其具有一閥室、與該閥室流體連通之至少一第一流體導管口、與該閥室流體連通之至少一第二流體導管口及至少一對相鄰孔口脊區段，該至少一對相鄰孔口脊區段自該閥體延伸至該閥室中且界定該至少一對相鄰孔口脊區段之間的一中間閥室區域；及 一控制板，其包含具有一第一側及與該第一側對置之一第二側之一控制板體，該控制板體可在一關閉位置與一打開位置之間移動，在該關閉位置中，該第一側之一表面區域密封地接觸該至少一對相鄰孔口脊區段，且在該打開位置中，一開口間隙存在於該表面區域與該至少一對相鄰孔口脊區段之間，該控制板在該至少一對相鄰孔口脊區段之一周邊內具有自該第一側穿過該控制板體而延伸至該第二側之至少一流體通道。
  10. 如請求項9之閥總成，其中該至少一對相鄰孔口脊區段包含兩個相鄰孔口脊區段，其等實質上呈圓形形狀且進一步界定安置於該兩個相鄰孔口脊區段外之一外閥室部分及安置於該兩個相鄰孔口脊區段內之一內閥室部分。
  11. 如請求項10之閥總成，其進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該內閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該中間閥室部分流體連通，且該控制板體之該第一側之該表面區域密封地接觸該兩個相鄰孔口脊區段以防止流體流在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。
  12. 如請求項11之閥總成，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板之該至少一流體通道提供該內閥室部分與該外閥室部分之間的流體連通。
  13. 如請求項10之閥總成，其進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該外閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該中間閥室部分流體連通，且該控制板體之該第一側之該表面區域密封地接觸該兩個相鄰孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。
  14. 如請求項13之閥總成，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板之該至少一流體通道提供該外閥室部分與該內閥室部分之間的流體連通。
  15. 如請求項9之閥總成，其中該至少一對相鄰孔口脊區段包含實質上呈圓形形狀之四個相鄰孔口脊區段，該四個相鄰孔口脊區段包含一最大孔口脊區段、由該最大孔口脊區段包圍之一第一較小孔口脊區段、由該第一較小孔口脊區段包圍之一第二較小孔口脊區段及由該第二較小孔口脊區段包圍之一最小孔口脊區段，該四個相鄰孔口脊區段界定安置於該四個相鄰孔口脊區段外之一外閥室部分、安置於該四個相鄰孔口脊區段內之一內閥室部分、安置於該最大孔口脊區段與該第一較小孔口脊區段之間的一第一中間閥室部分、安置於該第一較小孔口脊區段與該第二較小孔口脊區段之間的一第二中間閥室部分及安置於該第二較小孔口脊區段與該最小孔口脊區段之間的一第三中間閥室部分。
  16. 如請求項15之閥總成，其進一步包括與該至少一第一流體導管口流體連通之一第一流體導管及與該至少一第二流體導管口流體連通之一第二流體導管，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第一流體導管口與該內閥室部分流體連通，該至少一第二流體導管口與該第一中間閥室部分流體連通，且該控制板體之該第一側之該表面區域之一第一連續不中斷平坦部分密封地接觸該最大孔口脊區段及該第一較小孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第二流體導管口之間流動。
  17. 如請求項16之閥總成，其中該閥體進一步包含與該第二流體導管流體連通之至少一第三流體導管口，且其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該至少一第三流體導管口與該第三中間閥室部分流體連通且該控制板體之該第一側之該表面區域之一第二連續不中斷平坦部分密封地接觸該第二較小孔口脊區段及該最小孔口脊區段以防止流體在該至少一第一流體導管口與該至少一第三流體導管口之間流動。
  18. 如請求項17之閥總成，其中該至少一流體通道包含圍繞該控制板體之一徑向內部分安置之第一複數個傾斜流體通道及圍繞該控制板體之一徑向外部分安置且實質上筆直延伸穿過該控制板體之第二複數個筆直流體通道，該第一複數個傾斜流體通道自該控制板體之該第二側徑向向內斜穿至該第一側。
  19. 如請求項18之閥總成，其中該控制板體之該第一側之該表面區域之該第二連續不中斷平坦部分安置於該複數個傾斜流體通道與該複數個筆直流體通道之間且該表面區域之該第二連續不中斷平坦部分安置成自該複數個筆直流體通道徑向向外。
  20. 如請求項19之閥總成，其中當該控制板體處於該關閉位置中時，該控制板中之該第一複數個傾斜流體通道提供該內閥室部分與該外閥室部分之間的流體連通，且該第一複數個傾斜流體通道及該第二複數個筆直流體通道提供該內閥室部分、該外閥室部分及該第二中間閥室部分之間的流體連通。
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