TW201807313A - 往復式泵 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種往復式泵，可防止因壓力計之安裝結構所引起之泵室內發生液體積留的情況。

此一往復式泵(1)，具備：外殼(2)，係具有吸入口及噴出口；往復動構件(3)，係以於上述外殼內形成泵室(28)的方式配置，而且以可將流體經由吸入口(15)吸入上述泵室，且將流入上述泵室之流體自上述泵室經由噴出口(16)噴出的方式設置成可往復動；驅動裝置(4)，係構成為可令上述往復動構件往復動；及壓力計(6)，此壓力計係具有受壓部(46)且以經由此受壓部而檢測出流入上述泵室的流體之壓力的方式構成之壓力計(6)，而且以藉由上述驅動裝置而被迫與上述往復動構件一體往復動之方式與該往復動構件連結。

Description

往復式泵

本發明係關於一種往復式泵。

迄今為止，用以移送包含化學藥液等液體之流體的往復式泵業已為人所知。作為上述往復式泵，例如，包括專利文獻1中所記載般之隔膜泵。此種隔膜泵，在半導體、液晶、有機EL、太陽電池、LED之製造時經常被使用。

上述往復式泵具備：外殼、往復動構件、驅動裝置、及壓力計。上述外殼具有吸入口及噴出口。在配置上，上述往復動構件係由滾動隔膜等所構成，上述外殼內形成有泵室。

而且，上述往復動構件於上述外殼內，係設置成可往復動而能夠將流體經由上述吸入口吸入上述泵室內，並將流入上述泵室之流體自上述泵室經由上述噴出口噴出。

上述驅動裝置係構成為可使上述可動構件往復動。上述壓力計係構成為具有受壓部，經由該受壓部而檢測出流入上述泵室之流體的壓力。上述壓力計係安裝於 上述外殼。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-23935號公報

先前之往復式泵，如第8圖所示，作為其壓力計206係採用本體螺入型者。而且，外殼202之壁部211上設有通至泵室228之上述壓力計206用之安裝孔233，藉由上述壓力計206螺入該安裝孔233，上述壓力計206乃可安裝於上述外殼202之壁部211。

於此一安裝時，上述壓力計206之受壓部246係以面對上述泵室228之方式配置於周邊部位，但該受壓部246與上述泵室228之間會產生由上述安裝孔233之階差或未參與螺合之部分等所形成之空間238，以致在流體流入上述泵室228時，與上述泵室228連通之上述空間238或上述安裝孔233中會發生液體積留之情形。

如前所述，發生液體積留之情形時，此一積留之液體中易於發生粒子。因此，上述粒子會混入於流入上述泵室228的流體中，因此會有上述往復式泵自上述泵室228經由噴出口噴出之流體的純度降低之掛慮。

本發明係有鑑此等情事開發而成者，其目的 係在提供一種可防止因壓力計之安裝結構所引起之泵室內發生液體積留之情況的往復式泵。

本發明係一種往復式泵，係用以移送流體的往復式泵，具備：外殼，係具有吸入口及噴出口；往復動構件，係以於上述外殼內形成泵室的方式配置，而且以可將流體經由上述吸入口吸入上述泵室、且將流入上述泵室之流體自上述泵室經由上述噴出口噴出的方式設置成可往復動；驅動裝置，係構成為可令上述往復動構件往復動；及壓力計，係具有受壓部且係以經由此受壓部而檢測出流入上述泵室的流體之壓力的方式構成之壓力計，而且以藉由上述驅動裝置而被迫與上述往復動構件一體往復動之方式與該往復動構件連結。

根據此一構成，因朝向上述外殼之上述壓力計的安裝結構所引起之流體流入上述泵室時發生液體積留的空間，對於上述泵室不致形成。因此，可防止上述泵室內發生液體積留之事態。因此，使用上述往復式泵，可在良好地保持流體之純度下進行流體之移送。

根據本發明之另一方式，其中上述往復動構件具備膜狀部分，此膜狀部分具有可撓性且配置於上述受壓部與上述泵室之間； 上述壓力計係以將上述受壓部抵接於上述膜狀部分的狀態，配置於上述膜狀部分與上述驅動裝置之間。

根據本發明之又一方式，其中上述往復動構件係由滾動隔膜所構成。

本發明之復一其他方式，其中上述往復動構件係由波紋管所構成。

根據本發明，能夠提供一種可防止因壓力計之安裝結構所引起之泵室內發生液體積留之情況的往復式泵。

1‧‧‧隔膜泵(往復式泵)

2‧‧‧外殼

3‧‧‧滾動隔膜(往復動構件)

4‧‧‧驅動裝置

6‧‧‧壓力計

28‧‧‧泵室

46‧‧‧受壓部

60‧‧‧膜狀部分

100‧‧‧風箱式泵(往復式泵)

102‧‧‧外殼

103‧‧‧波紋管(往復動構件)

104‧‧‧驅動裝置

106‧‧‧壓力計

128‧‧‧泵室

146‧‧‧受壓部

160‧‧‧膜狀部分

第1圖係表示本發明第1實施方式之往復式泵之噴出行程終了時之狀態的側視剖視圖。

第2圖係表示第1圖之往復式泵的吸入行程終了時之狀態的側視剖視圖。

第3圖係表示第1圖之往復式泵的概略方塊圖。

第4圖係表示第1圖之往復式泵的壓力計之安裝結構的側視剖視圖。

第5圖係表示其他實施例之壓力計之安裝結構的側視剖視圖。

第6圖係表示本發明第2實施方式之往復式泵之風箱式 泵的側視剖視圖。

第7圖係表示第6圖往復式泵之壓力計之安裝結構的側視剖視圖。

第8圖係表示先前之往復式泵的壓力計之安裝結構的剖視圖。

首先，針對本發明之第1實施方式，參照圖面進行說明。

本發明之第1實施方式之往復式泵，係用以進行包含化學藥液等液體的流體之移送的隔膜泵1。上述隔膜泵1，如第1圖及第2圖所示，具備：外殼2、往復動構件(滾動隔膜)3、驅動裝置4、及壓力計6。上述隔膜泵1，如第3圖所示，進而具備控制裝置8。

以下之說明中，前後方向係指圖面上之上下方向，前進係指朝向前方之移動，後退係指朝向後方之移動。

上述外殼2具有吸入口15及噴出口16。本實施方式中，上述外殼2具備：缸筒11、及泵壓頭12。上述缸筒11例如係由SUS304等之不鏽鋼所構成。上述缸筒11具有圓筒形狀，以軸向為前後方向之方式配置。

上述缸筒11具有通氣孔13。上述通氣孔13係以於與上述缸筒11之軸向(即上述外殼2之軸向)交叉的方向貫通之方式，設於該缸筒11之側部。上述通氣孔13可 連接於真空泵或抽氣器等之減壓裝置(圖未示)。

上述泵壓頭12係由樹脂所構成。例如，上述泵壓頭12係由PTFE(聚四氟乙烯)等之氟樹脂所構成。上述泵壓頭12具有有蓋圓筒之形狀，與上述缸筒11具有大致相同之內徑，且與上述缸筒11同軸配置。

上述泵壓頭12係以閉塞上述缸筒11之軸向一方側(前側)的開口部之方式，安裝於上述缸筒11之軸向一端部(前端部)。藉此，於上述外殼2內，形成由上述缸筒11與上述泵壓頭12所圍成之第1內部空間14。

上述泵壓頭12具有上述吸入口15及上述噴出口16。上述吸入口15係以於與上述泵壓頭12之軸向交叉的方向貫通之方式，設於該泵壓頭12之側部。上述吸入口15係與作為流體之供給源的特定之機器(圖未示)經由吸入側之開閉閥及配管等而連接。

上述噴出口16係以於上述泵壓頭12之軸向貫通的方式，設於該泵壓頭12之軸向一端部(前端部)，亦即蓋部18。上述噴出口16係配置於上述蓋部18之徑向中央部分，與作為流體之供給對象的特定之機器(圖未示)經由噴出側之開閉閥及配管等而連接。

上述驅動裝置4係構成為可將上述滾動隔膜3往復動。本實施方式中，上述驅動裝置4具有軸22。上述軸22於上述外殼2(上述缸筒11)內設置成可往復動，並經由上述壓力計6與上述滾動隔膜3連接。

上述軸22，例如係由經淬火之高碳鉻軸承鋼 等之鋼材所構成。上述軸22係與上述外殼2同軸配置，且以於上述外殼2之軸向可往復動之方式，介隔以O型環26貫設穿過上述外殼2之分隔壁25。上述分隔壁25係設置成將上述外殼2內區劃為上述第1內部空間14及第2內部空間24。

此處，上述O型環26係利用上述O型的環壓件27而保持於上述分隔壁25。上述O型環壓件27例如係不鏽鋼製的。上述O型環壓件27係以使上述軸22採取非接觸式貫通的狀態，配置於上述外殼2內之上述第2內部空間24內。

上述軸22具有位於上述第1內部空間14內之軸向一端部(前端部)、及位於上述第2內部空間24內之軸向另一端部(後端部)。上述軸22係以與上述壓力計6及上述滾動隔膜3之各者一體往復動之方式，於上述軸向一端部與上述壓力計6連結。

上述驅動裝置4另具有用以將上述軸22保持於上述外殼2之軸保持具29。上述軸保持具29，例如係不鏽鋼製的。上述軸保持具29配置於上述外殼2之上述第2內部空間24內，且設置成將上述軸22與後述之輸出軸42結合。

上述滾動隔膜3係以在上述外殼2內形成泵室28之方式配置，且以可將流體經由上述吸入口15吸入上述泵室28，並可將流入上述泵室28之流體自該泵室28經由上述噴出口16噴出之方式可往復動地設於上述外殼2內。

本實施方式中，上述滾動隔膜3係樹脂製的。 例如，上述滾動隔膜3係由PTFE(聚四氟乙烯)等之氟樹脂製的。上述滾動隔膜3具有呈有蓋筒形之中央部分，於此一中央部分配置成將上述壓力計6自軸向一方側(前側)被覆。

詳言之，上述滾動隔膜3具有：中央部31、外周部32、及折返部33。上述中央部31形成上述滾動隔膜3之圓形的蓋部分，面臨上述泵室28，且與上述外殼2之軸向一端部(頂板部)、即上述蓋部18對向配置。

上述外周部32形成上述滾動隔膜3之圓形的外周緣部分，配置於上述中央部31之徑向外側，且由上述缸筒11及上述泵壓頭12夾持。上述折返部33具有可撓性，設置成在上述中央部31與上述外周部32之間可變形。

而且，上述滾動隔膜3係利用上述外周部32而相對上述外殼2形成位置固定之狀態，並形成為使上述折返部33在上述外殼2之內壁部與上述壓力計6之間變形，且可一面將上述中央部31之位置於上述外殼2之軸向變化，一面與上述壓力計6一體作往復動。

上述滾動隔膜3，另又設置成將上述外殼2內之上述第1內部空間14液密且氣密地區劃為上述泵室28及減壓室38。上述泵室28係由上述滾動隔膜3(上述中央部31及上述折返部33)與上述泵壓頭12包圍形成。

因此，上述泵室28藉由與上述外殼2之軸向相關的伴隨與上述壓力計6及上述軸22之一體性往復動的上述滾動隔膜3之位置變化、即伴隨上述折返部33之變形的 上述中央部31之位置變化，而使該泵室28之容積變化(增大或減少)。

此處，上述泵室28係與上述吸入口15及上述噴出口16之各者連接，在上述隔膜泵1之運轉時，可將自上述吸入口15吸入之流體於其被噴出至外部為止之期間暫時地予以貯留。上述減壓室38係與上述通氣孔13連接，可由上述減壓裝置減壓。

又，由上述滾動隔膜3區劃之上述第1內部空間14之空間，本實施方式中係分別設為上述泵室28與上述減壓室38，但不受此限定，也可設為上述泵室28與經由上述通氣孔13而保持成開放狀態之大氣室。

上述隔膜泵1中，另外，上述驅動裝置4具有作為驅動源之馬達40。本實施方式中，上述驅動裝置4除上述軸22及上述馬達40之外，進而具有上述輸出軸42。

上述馬達40為脈衝馬達(步進馬達)。上述馬達40較上述軸22設置成偏靠上述外殼2之軸向另一方側(後側)。上述輸出軸42為螺軸(導螺桿)。上述輸出軸42相對於上述馬達40之轉軸係連接成與其連動。

又，上述馬達40並無特別限定，也可為脈衝馬達(步進馬達)以外之馬達。

上述輸出軸42係以自上述馬達40側朝上述外殼2內突出之狀態於該外殼2之軸向設置成可往復動。上述輸出軸42係與上述軸22同軸配置，以突出端部(前端部)與上述軸22之軸向另一端部(後端部)經由上述軸保持具 29而連接。

此外，上述驅動裝置4係以可經由上述輸出軸42及上述軸22等將上述滾動隔膜3與上述壓力計6一起於上述外殼2之軸向可往復移動之方式，將上述馬達40之旋轉運動變換成直線運動並自上述輸出軸42傳遞至上述軸22。

又，上述驅動裝置4中，係使用編碼器45(參見第3圖)。上述編碼器45係安裝於上述馬達40之轉軸。上述編碼器45在構成上係用以進行上述馬達40之驅動控制，將與上述馬達40之旋轉同步之脈衝信號輸出。

上述壓力計6在構成上具有受壓部46，經由此一受壓部46將流入上述泵室28之流體之壓力予以檢測。另外，上述壓力計6係與該滾動隔膜3連結成可藉由上述驅動裝置4與上述滾動隔膜3一體被迫作往復動。

本實施方式中，上述壓力計6係配置於上述外殼2內，詳言之配置於上述第1內部空間14中之上述減壓室38側。另外，上述壓力計6，係自反上述泵室28側(後側)嵌入上述滾動隔膜3，詳言之嵌入由上述中央部31與上述折返部33所形成之凹部39。

換言之，上述壓力計6係由上述滾動隔膜3自上述泵室28側(前側)受到被覆。於此一狀態下，上述壓力計6經安裝於上述滾動隔膜3，並於該壓力計6之反上述泵室28側(後側)與上述軸22連結。上述壓力計6之配線48係被導出至外部。

又，上述壓力計6雖經敘述為與上述滾動隔膜 3及上述軸22連結，然此並非意味著非得固定不可。亦即，於上述第1內部空間14設置上述減壓室38或上述大氣室，使上述減壓室38或上述大氣室之壓力保持成較上述泵室28內之壓力(流入上述泵室28的流體之壓力)經常為低之情形下，上述壓力計6並無固定於上述滾動隔膜3及上述軸22之必要。

上述控制裝置8，係為了使上述滾動隔膜3往動或復動而控制上述驅動裝置4者。如第3圖所示，上述控制裝置8係經由控制器(控制基板)47而與上述馬達40及上述編碼器45之各者連接，而且經由上述配線48而與上述壓力計6連接。

此處，上述滾動隔膜3之往復動之中的往動，係指朝前方(上述泵室28之容積減少之方向)之移動(前進)，復動則係指朝相反之後方(上述泵室28之容積增大之方向)之移動(後退)。

上述控制裝置8在構成上，為了驅動控制上述馬達40，可將驅動信號輸出至上述控制器47。上述控制器47在構成上，係基於其驅動信號，將用以驅動上述馬達40之脈衝信號輸出至上述馬達40。

上述控制器47在構成上係取得自上述編碼器45輸出之脈衝信號，並基於取得之脈衝信號(脈衝數)檢測上述馬達40之旋轉量(旋轉角度)等，且將其檢測得之旋轉量等輸出至上述控制裝置8。

藉此，上述控制裝置8基於自上述控制器47取 得之旋轉量等，而可掌握與上述滾動隔膜3之往復動方向相關的位置。上述控制裝置8取得上述壓力計6之檢測結果，而可掌握流入上述泵室28之流體之壓力。

而且，上述控制裝置8，為了在上述隔膜泵1運轉時移送流體而交替地執行吸入行程與噴出行程，在構成上係可進行上述馬達40之驅動控制而使上述滾動隔膜3在上述外殼2之軸向往復動。

具體言之，上述控制裝置8在上述吸入行程執行時，係使上述馬達40反轉，而以使上述滾動隔膜3朝上述泵室28之容積增大的方向(自第1圖所示之狀態朝第2圖所示之狀態)變位之方式復動。此時，上述控制裝置8亦進行開啟上述吸入側之開閉閥，且關閉上述噴出側之開閉閥的控制。藉此，流體將會通過上述吸入口15被吸入上述泵室28。

另一方面，上述控制裝置8於上述噴出行程執行時，係使上述馬達40正轉，而以使上述滾動隔膜3朝上述泵室28之容積減少的方向(自第2圖所示之狀態朝第1圖所示之狀態)變位之方式往動。此時，上述控制裝置8亦進行關閉上述吸入側之開閉閥，且開啟上述噴出側之開閉閥的控制。藉此，流體將會通過上述噴出口16自上述泵室28被噴出。

又，本實施方式中，如第1圖、第2圖、第4圖所示，上述滾動隔膜3具備膜狀部分60。上述膜狀部分60具有可撓性，且配置於上述泵室28與上述壓力計6之受壓 部46之間。而且，上述壓力計6係以使上述受壓部46抵接於上述膜狀部分60的狀態，配置於上述膜狀部分60與上述驅動裝置4之間。

詳言之，上述膜狀部分60包含於上述滾動隔膜3之中央部31。上述膜狀部分60係設置成自上述中央部31之中心部朝徑向外側沿著與上述滾動隔膜3之往復動方向大致直交的方向放射狀擴展。上述膜狀部分60係與其所抵接之上述壓力計6的受壓部46之抵接面(前端面)65大致平行地形成。

另外，上述膜狀部分60係配置成面臨上述泵室28(面對上述泵室28)，且沿上述受壓部46之抵接面65配置。此處，上述膜狀部分60之形狀係設置成具有可撓性，該可撓性為不致阻礙上述壓力計6之受壓部46檢測流入上述泵室28的流體之壓力而發揮機能的程度。

本實施方式中，上述膜狀部分60係樹脂製的。例如，上述膜狀部分60係與上述滾動隔膜3為同一種之樹脂製的。而且，上述膜狀部分60，其厚度(上述滾動隔膜3之往復動方向之幅度)形成為約0.1mm~約1mm，較佳的是落於約0.1mm~約0.5mm之範圍內之值。

又，上述壓力計6具有由直徑不同之複數個圓柱依直徑大的順序同心狀積層而成之多段圓柱形，與上述外殼2同軸配置。上述壓力計6係以就上述外殼2之軸向相對上述膜狀部分60反上述泵室28側(後側)地配置，可與上述膜狀部分60一體往復動的方式安裝於上述滾動隔膜 3。

上述壓力計6，係以其抵接面65與上述滾動隔膜3之膜狀部分60自反上述泵室28側(後側)抵接的方式，緊密地嵌入上述滾動隔膜3之多段凹部即上述凹部39，而相對上述膜狀部分60(上述滾動隔膜3)經定位。上述受壓部46之抵接面65係形成為大致平坦。

如是，上述壓力計6，為了與上述泵室28隔絕，係以將上述受壓部46(上述抵接面65)抵接於上述膜狀部分60，同時藉由上述滾動隔膜3自上述泵室28側(前側)受到被覆之狀態，亦即至少將包含上述受壓部46之一部分內藏於上述滾動隔膜3的狀態下被保持。

因此，不會起因於上述壓力計6之安裝結構，而在流體流入上述泵室28時，在上述泵室28內形成導致發生液體積留之空間。因此，可防止上述泵室28內發生液體積留之情況。因此，可在使用上述隔膜泵1良好地保持流體之純度下，進行流體之移送。

又，本實施方式係針對上述壓力計6之安裝結構，採用在上述受壓部46與上述泵室28之間介置上述膜狀部分60之構成，但也可如第5圖所示，採用於上述滾動隔膜3之中央部31設置開口部74，以上述受壓部46與經由上述開口部74流入上述泵室28的流體直接接觸之方式相對上述泵室28使其露出的構成。

又，本實施方式，係就相對上述滾動隔膜3之上述壓力計6的定位構造，採用將具有多段圓柱形之上述 壓力計6緊密地嵌入與其對應的上述滾動隔膜3之多段凹部(上述凹部39)之構成，但也可採用其他之構成。

其次，針對本發明之第2實施方式，參照圖面進行說明。

本發明第2實施方式之往復式泵，係用以移送包含化學藥液等液體之流體的風箱式泵100。如第6圖所示，上述風箱式泵100係具有第1泵部101A及第2泵部101B之雙動型之風箱式泵。

上述第1泵部101A及上述第2泵部101B，實質上具有相同之構成，於構成上乃是相對上述風箱式泵100之長度方向的中心線配置成彼此線對稱，且於上述風箱式泵100運轉時被迫進行互補之動作。

上述風箱式泵100中，上述第1泵部101A及上述第2泵部101B分別具備：外殼102、往復動構件(波紋管)103、驅動裝置104及壓力計106。上述風箱式泵100進而具備控制裝置(圖未示)。

上述外殼102具有吸入口115及噴出口116。本實施方式中，上述外殼102具備：泵殼111、及泵壓頭112。此處，上述泵壓頭112係在上述第1泵部101A及上述第2泵部101B中為共通使用者。

上述泵殼111係由樹脂、金屬、其他材料、或其等之組合所構成，較佳的是表面具有耐蝕性。例如，上述泵殼111係由施有PTFE等之氟樹脂塗層之鋁所構成。上述泵殼111具有有底圓筒之形狀，配置成朝上述泵壓頭112 開口。

上述泵壓頭112係由樹脂、金屬、其他材料、或其等之組合所構成，較佳的是整體具有耐蝕性。例如，上述泵壓頭112係由PTFE等之氟樹脂等所構成。上述泵壓頭112具有對應於上述泵殼111之形狀的盤形，配置成與上述泵殼111同軸。

上述泵壓頭112係以閉塞上述泵殼111之開口部的方式氣密地安裝於上述泵殼111。藉此，上述外殼102內形成由上述泵殼111與上述泵壓頭112圍成之內部空間114。

上述泵壓頭112具有：上述吸入口115、上述噴出口116、吸入側流體流路117、及噴出側流體流路118。上述吸入側流體流路117係以連通於上述吸入口115之方式設於上述泵壓頭112，經由吸入側之開閉閥及配管等連接於作為流體之供給源的特定之機器(圖未示)。

上述噴出側流體流路118係以連通於上述噴出口116之方式設於上述泵壓頭112，經由噴出側之開閉閥及配管等連接於作為流體之供給源的特定之機器(圖未示)。上述吸入側流體流路117及上述噴出側流體流路118，係以分別在延伸方向之中途改變流路之方向的方式形成。

上述波紋管103係以在上述外殼102內形成上述泵室128之方式配置，而且以可將流體經由上述吸入口115吸入上述泵室128，且可將流入上述泵室128之流體自 該泵室128經由上述噴出口116噴出的方式可往復動(伸縮動作)地設於上述外殼102內。

本實施方式中，上述波紋管103係樹脂製的。例如，上述波紋管103係由PTFE等之氟樹脂製的。上述波紋管103具有有底圓筒之形狀，以該波紋管103之開口部由上述泵壓頭112閉塞之方式安裝於該泵壓頭112，且設置成於上述泵殼111之軸向可伸縮。

詳言之，上述波紋管103具有閉塞端部131、開口端部132、及蛇腹部133。上述閉塞端部131設於上述波紋管103之底部。上述開口端部132設於上述波紋管103之開口部。上述蛇腹部133具有筒形，以連接上述閉塞端部131與上述開口端部132之方式設置。

另外，上述閉塞端部131及上述蛇腹部133設於上述泵殼111內，與上述開口端部132一起均是與上述泵殼111及上述泵壓頭112同軸配置。上述開口端部132為了將上述波紋管103固定於上述泵壓頭112，係由環狀卡止構件135卡止於上述泵壓頭112。

又，上述閉塞端部131係與配置於上述蛇腹部133相反側之可動體136連結。上述可動體136係經由連結棒137與另一方之泵部101B(101A)的可動體136連結。上述連結棒137係以可於上述波紋管103之伸縮方向往復動方式，貫設於上述泵壓頭112。

而且，上述波紋管103係以自上述泵壓頭112朝上述外殼102之軸向突出的方式設置，且以將作為其突 出基端部之上述開口端部132固定於上述泵壓頭112的狀態而令上述連結棒137往復動之方式，相對該泵壓頭112於上述外殼102之軸向可伸長或收縮。

上述波紋管103，另將上述外殼102中之上述內部空間114液密且氣密地區劃成上述泵室128與空氣室138。上述泵室128係由上述波紋管103(上述閉塞端部131及上述蛇腹部133)與上述泵壓頭112包圍形成。

因此，上述泵室128藉由就上述外殼102之軸向的上述波紋管103之往復動，具體而言，藉由上述蛇腹部133之伸縮動作所導致之形狀的變化、及伴隨此一伸縮動作之上述閉塞端部131之位置的變化，而使該泵室128之容積變化(增大或減少)。

此處，上述泵室128係與上述吸入口115及上述噴出口116之各者連接，於上述風箱式泵100運轉時可將自上述吸入口115吸入之流體至其噴出外部為止之期間暫時予以貯留。上述空氣室138係連接於給排氣孔139，經由此一給排氣孔139可供給或排出空氣。

上述吸入口115上設有吸入側止回閥141。上述吸入側止回閥141係以位於上述吸入側流體流路117(上述吸入口115)與上述泵室128之間的方式安裝於上述泵壓頭112。上述吸入側止回閥141在構成上可容許自上述吸入側流體流路117往向上述泵室128之流體的只朝一個方向之流動。

上述噴出口116處設有噴出側止回閥142。上 述噴出側止回閥142係以位於上述噴出側流體流路118(上述噴出口116)與上述泵室128之間的方式安裝於上述泵壓頭112。上述噴出側止回閥142在構成上可容許自上述泵室128往向上述噴出側流體流路118之流體的只朝一個方向之流動。

上述驅動裝置104構成為可使上述波紋管103往復動(伸縮動作)。本實施方式中，上述驅動裝置104係構成為可經由上述泵殼111之上述給排氣孔139而將自空氣供給裝置150供給之加壓空氣供給至上述空氣室138，且將上述空氣室138之空氣排出至外部。

上述壓力計106具有受壓部146，在構成上可經由此一受壓部146檢測出流入上述泵室128之流體的壓力。而且，上述壓力計106係以藉由上述驅動裝置104被迫與上述波紋管103一體往復動之方式，與該波紋管103連結。

亦如第7圖所示，本實施方式中，上述壓力計106於上述外殼102內，詳言之於上述內部空間114之中係配置於上述空氣室138側。而且，上述壓力計106係自上述空氣室138側嵌入上述波紋管103，詳言之嵌入上述閉塞端部131處形成之安裝孔157。

換言之，上述壓力計106係由上述波紋管103自上述泵室128側(前側)受到被覆。於此一狀態下，上述壓力計106係安裝於上述波紋管103，並設置成伴隨著上述波紋管103之伸縮動作於該伸縮方向與上述閉塞端部131 一體地變位。上述壓力計106之配線168係導出至外部。

上述控制裝置係用以控制上述驅動裝置104，使得上述波紋管103進行收縮動作或伸長動作。上述控制裝置係與上述驅動裝置104之空氣供給裝置150等連接，且與上述壓力計106經由上述配線168連接。

而且，上述控制裝置於上述風箱式泵100運轉時，為了於上述第1泵部101A及上述第2泵部101B之各者移送流體而交替地執行吸入行程及噴出行程，乃以可使上述波紋管103於上述外殼102之軸向伸縮動作的方式，進行上述驅動裝置104之驅動控制。

例如，上述控制裝置於上述第1泵部101A之吸入行程執行時，為了使上述第2泵部101B執行噴出行程，乃以於上述第2泵部101B中對上述空氣室138供給壓縮空氣，且於上述第1泵部101A中使上述空氣室138之空氣排出至外部之方式驅動上述驅動裝置104。

藉此，於上述第1泵部101A中，流體自上述吸入側流體流路117通過上述吸入口115被吸入上述泵室128。同時，於上述第2泵部101B中，流體自上述泵室128通過上述噴出口116朝上述噴出側流體流路118噴出。

上述控制裝置於上述第1泵部101A之噴出工程執行時，為使上述第2泵部101B執行吸入行程，係令上述驅動裝置104作動，於上述第1泵部101A中對於上述空氣室138供給壓縮空氣，且於上述第2泵部101B中使上述空氣室138之空氣排出至外部。

藉此，於上述第1泵部101A中，流體自上述泵室128朝上述噴出側流體流路118通過上述噴出口116被噴出。同時，於上述第2泵部101B中，流體自上述吸入側流體流路117通過述吸入口115被吸入上述泵室128。

又，本實施方式中，如第6圖、第7圖所示，上述波紋管103具有膜狀部分160。上述膜狀部分160具有可撓性，配置於上述泵室128與上述壓力計106之受壓部146之間。而且，上述壓力計106係以將上述受壓部146抵接於上述膜狀部分160之狀態，配置於上述膜狀部分160與上述驅動裝置104之間。

詳言之，上述膜狀部分160包含於上述波紋管103之閉塞端部131之中。上述膜狀部分160係設置成自上述閉塞端部131之中心部朝徑向外側沿著與上述波紋管103之往復動方向大致正交的方向放射狀地擴展。上述膜狀部分160係形成為與其所抵接之上述壓力計106的受壓部146之抵接面165大致平行。

再者，上述膜狀部分160係以面臨上述泵室128之方式(面對上述泵室128)配置，且沿著上述受壓部146之抵接面165配置。此處，上述膜狀部分160係設為具有可撓性的形狀，此可撓性之程度為不致阻礙上述壓力計106之受壓部146為了檢測出流入上述泵室128的流體之壓力而發揮機能。

本實施方式中，上述膜狀部分160係樹脂製的。例如，上述膜狀部分160係由與上述波紋管103為同一 種之樹脂製的。而且，上述膜狀部分160，其厚度(上述波紋管103之往復動方向之幅度)為約0.1mm~約1mm，較佳的是形成為落於約0.1mm~約0.5mm之範圍內之值。

又，上述壓力計106具有由直徑不同之複數個圓柱依直徑大的順序同心狀積層而成之多段圓柱形，與上述外殼102同軸配置。上述壓力計106係以就上述外殼102之軸向相對上述膜狀部分160之反上述泵室28側(位於後側)地配置，且可與上述膜狀部分60一體往復動(變位)的方式安裝於上述波紋管103。

上述壓力計106，係以其抵接面165與上述波紋管103之膜狀部分160自反上述泵室28側抵接的方式，嵌入上述波紋管103之上述安裝孔157且由保持構件171保持，而相對上述膜狀部分60(上述波紋管103)經定位。上述受壓部146之抵接面165係形成為大致平坦。

如是，上述壓力計106，為了與上述泵室128隔絕，係以將上述受壓部146(上述抵接面165)抵接於上述膜狀部分160下由上述波紋管103自上述泵室128側受到被覆之狀態，亦即至少將包含上述受壓部146之一部分內藏於上述波紋管103的狀態被保持。

因此，不會起因於上述壓力計106之安裝結構，而在流體流入上述泵室128時，相對上述泵室128形成導致液體積留發生之空間。因此，可防止上述泵室128內發生液體積留之情形。是以，使用上述風箱式泵100可在良好地保持流體之純度下，進行流體之移送。

又，考慮上述之教示，可自明的是本發明可採用許多變更形態及變化形態。因此，企待理解的是，本發明於後附之申請專利範圍內，可由本說明書所記載之方法以外的方法來實施。

例如，第1實施方式可為以下之構成，即上述壓力計6經由上述配線48與上述控制器47連接，於上述控制器47取得上述壓力計6之檢測結果。又，上述控制器47也可組裝於上述控制裝置8。於此一情況下，上述馬達40及上述編碼器45與上述控制裝置8直接連接，而上述控制裝置8係將用以驅動上述馬達40之脈衝信號輸出至上述馬達40，並取得自上述編碼器45輸出之脈衝信號。

1‧‧‧隔膜泵(往復式泵)

2‧‧‧外殼

3‧‧‧滾動隔膜(往復動構件)

4‧‧‧驅動裝置

6‧‧‧壓力計

11‧‧‧缸筒

12‧‧‧泵壓頭

13‧‧‧通氣孔

14‧‧‧第1內部空間

15‧‧‧吸入口

16‧‧‧噴出口

18‧‧‧蓋部

22‧‧‧軸

24‧‧‧第2內部空間

25‧‧‧分隔壁

26‧‧‧O型環

27‧‧‧O型環壓件

28‧‧‧泵室

29‧‧‧軸保持具

31‧‧‧中央部

32‧‧‧外周部

33‧‧‧折返部

38‧‧‧減壓室

40‧‧‧馬達

42‧‧‧輸出軸

46‧‧‧受壓部

48‧‧‧配線

60‧‧‧膜狀部分

Claims (4)

1. 一種往復式泵，係用以移送流體的往復式泵，具備：外殼，係具有吸入口及噴出口；往復動構件，係以於上述外殼內形成泵室的方式配置，而且以可將流體經由上述吸入口吸入上述泵室、且將流入上述泵室之流體自上述泵室經由上述噴出口噴出的方式設置成可往復動；驅動裝置，係構成為可令上述往復動構件往復動；及壓力計，係具有受壓部且係以經由此受壓部而檢測出流入上述泵室的流體之壓力的方式構成之壓力計，而且以藉由上述驅動裝置而被迫與上述往復動構件一體往復動之方式與該往復動構件連結。
2. 如申請專利範圍第1項所述之往復式泵，其中上述往復動構件具備膜狀部分，此膜狀部分具有可撓性且配置於上述受壓部與上述泵室之間；上述壓力計係以將上述受壓部抵接於上述膜狀部分的狀態，配置於上述膜狀部分與上述驅動裝置之間。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之往復式泵，其中上述往復動構件是由滾動隔膜所構成。
4. 如申請專利範圍第1或2項所述之往復式泵，其中上述往復動構件是由波紋管所構成。