TW201712307A - 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統 - Google Patents

多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統 Download PDF

Info

Publication number
TW201712307A
TW201712307A TW104131403A TW104131403A TW201712307A TW 201712307 A TW201712307 A TW 201712307A TW 104131403 A TW104131403 A TW 104131403A TW 104131403 A TW104131403 A TW 104131403A TW 201712307 A TW201712307 A TW 201712307A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
electrode
piezoelectric
film
sensing
stress sensing
Prior art date
Application number
TW104131403A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI620920B (zh
Inventor
丁鏞
林烜鵬
林育衡
Original Assignee
中原大學
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 中原大學 filed Critical 中原大學
Priority to TW104131403A priority Critical patent/TWI620920B/zh
Priority to US15/153,141 priority patent/US10060806B2/en
Publication of TW201712307A publication Critical patent/TW201712307A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI620920B publication Critical patent/TWI620920B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
    • G01L1/167—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators optical excitation or measuring of vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B23Q17/0952—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
    • B23Q17/0966—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining by measuring a force on parts of the machine other than a motor
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
    • H02N2/004—Rectangular vibrators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

一種多軸向壓電應力感測元件、壓電感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統。此多軸向壓電應力感測元件以及壓電感應偵測系統係用於工具機之切削力量測。多軸向壓電應力感測元件包括壓電感測薄膜、第一電極、第二電極、第三電極及第四電極。壓電感測薄膜具有四個邊角。第一電極、第二電極、第三電極及第四電極係位於壓電感測薄膜之四個邊角，且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。

Description

多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統
本發明係關於一種多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統，特別是一種可以自動量測工具機承受之應力之多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統。
隨著時代的進步，現今有許多關於工具機切削力量測之研究，藉此可以獲得大量之切削量測資料，以進一步改進切削方式以增進精度及效率或監測切削狀況，避免刀具受損或加工失敗等。工具機切削力之量測是近年來發展智慧型工具機之重點。而於先前技術當中，是將測力計(dynamometer)置於工具機之工件端，間接量測其受力情況。但測力計的精確性及系統昂貴，且易受損等缺點，是先前技術中較難克服的問題。另外，若使用一般厚度型極化、長度方向負載之PVDF壓電薄膜感測器來測量刀具表面形變時，至少需要使用三組六具感測器並貼附於刀具上，再經複雜之演算才能測量切削徑向(radial)力、切向(tangential)力及軸向(axial)力。且其中之三具感測器需與切削方向呈某一適當之角度才能得到正確的數值，在在都增加了測量的難度。
因此，有必要發明一種新的多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統，以解決先前技術的缺失。
本發明之主要目的係在提供一種多軸向壓電應力感測元件，其具有可以自動量測工具機承受之應力之效果。
本發明之另一主要目的係在提供一種製成上述多軸向壓電應力感測元件之多軸向壓電應力感測元件極化之方法
本發明之另一主要目的係在提供一種具有上述多軸向壓電應力感測元件之壓電感應偵測系統。
為達成上述之目的，本發明之多軸向壓電應力感測元件包括壓電感測薄膜、第一電極、第二電極、第三電極及第四電極。壓電感測薄膜具有四個邊角。第一電極、第二電極、第三電極及第四電極係位於壓電感測薄膜之四個邊角，且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法包括以下步驟：提供壓電感測薄膜；提供第一電極、第二電極、第三電極及第四電極，以分別設置於壓電感測薄膜之四個邊角；以及將至少一電極依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
本發明之壓電感應偵測系統係用於工具機。工具機具有刀具單元，用以對物品進行加工。壓電感應偵測系統包括多軸向壓電應力感測元件及訊號處理模組。多軸向壓電應力感測元件係設置於刀具單元上未接觸物品之處，當刀具單元對物品進行加工時，多軸向壓電應力感測元件係感應得到壓電感測訊號。訊號處理模組係電性連接多軸向壓電應力感測元件，用以根據壓電感測訊號得知該刀具單元之受力狀況。
為能讓 貴審查委員能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。
以下請先參考圖1係本發明之壓電感應偵測系統之架構示意圖。
本發明之壓電感應偵測系統10用以偵測一機具或物品所承受的應力，於本發明之一實施例中，本發明之壓電感應偵測系統10係用於一工具機40之切削力量測量，但本發明並不限於此。工具機40具有一刀具單元41，用以對一物品50(如圖4所示)進行加工。刀具單元41係為一車削刀具或一銑削刀具，以對物品50進行車削或銑削加工，但本發明壓電感應偵測系統10並不限於僅能用於此類型的加工工具。壓電感應偵測系統10可包括多軸向壓電應力感測元件20及訊號處理模組30。多軸向壓電應力感測元件20具有六個極化方向，並設置於該刀具單元41上未接觸該物品50之處。當該刀具單元41以對該物品50加工時，多軸向壓電應力感測元件20係因為刀具單元41的受力表面變形而可以感應得到一壓電感測訊號。多軸向壓電應力感測元件20係經由有線或無線方式以電性連接至訊號處理模組30，以將量測得到的壓電感測訊號傳輸至訊號處理模組30。訊號處理模組30係電性連接該多軸向壓電應力感測元件20，用以根據該壓電感測訊號計算得知該刀具單元41之一受力狀況。上述訊號處理模組30除可配置為硬體裝置、軟體程式、韌體或其組合外，亦可藉電路迴路或其他適當型式配置；並且，各個模組除可以單獨之型式配置外，亦可以結合之型式配置。此外，本實施方式僅例示本發明之較佳實施例，為避免贅述，並未詳加記載所有可能的變化組合。
而關於多軸向壓電應力感測元件20之技術請參考圖2，圖2係本發明之多軸向壓電應力感測元件之極化示意圖。
於本發明之一實施方式中多軸向壓電應力感測元件20包括壓電感測薄膜21、第一電極A、第二電極B、第三電極C及第四電極D。壓電感測薄膜21係為一高分子聚偏二氟乙烯(Polyvinylidene Difluoride，PVDF)，利用表面橫向長度極化所製成。壓電感測薄膜21具有四個邊角。壓電感測薄膜21會先熱拉伸來製成，使得壓電感測薄膜21從α相晶體結構轉變成β相晶體結構，讓壓電感測薄膜21可以顯示出較強的壓電性和焦電性。由於壓電感測薄膜21的製程已經為本發明所屬技術領域中具通常知識者所熟知，故在此不再贅述其原理。
第一電極A、第二電極B、第三電極C及第四電極D係貼附於該壓電感測薄膜21之四個邊角，且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。亦即於本發明之一實施方式中，該第一電極A、該第二電極B、該第三電極C及該第四電極D係依順時針方向依序設置於該壓電感測薄膜21之四個邊角，且該極化方向包括從該第一電極A朝向該第二電極B之方向進行極化(如圖1的第一極化方向X1)，其極化方式可以在第一電極A施加正高電壓，第二電極B接地或是負高電壓。接著從該第四電極D朝向該第三電極C之方向進行極化(第二極化方向X2)、從該第四電極D朝向該第一電極A之方向進行極化(第三極化方向Y1)、從該第三電極C朝向該第二電極B之方向進行極化(第四極化方向Y2)、從該第四電極D朝向該第二電極B之方向進行極化(第五極化方向α1)及從該第三電極C朝向該第一電極A之方向進行極化(第六極化方向α2)。藉此壓電感測薄膜21即可以得到六個方向的極化方向。
接著請參考圖3係本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法之步驟流程圖。此處需注意的是，以下雖以上述的多軸向壓電應力感測元件20為例說明本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法，但本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法並不以使用在上述相同結構的多軸向壓電應力感測元件20為限。
首先進行步驟301：提供一壓電感測薄膜21。
首先係提供一聚偏二氟乙烯薄膜，再利用熱拉伸方式來製成壓電感測薄膜21。
其次進行步驟302：提供一第一電極A、一第二電極B、一第三電極C及一第四電極D，以分別設置於該壓電感測薄膜21之四個邊角。
其次，將第一電極A、第二電極B、第三電極C及第四電極D依照順時針依序貼附於壓電感測薄膜21之四個邊角。
最後進行步驟303：將至少一電極依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
最後至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化，使得多軸向壓電應力感測元件20可以具有複數個極化方向。
於本發明之一實施方式中，步驟303可以包括下列步驟303a到步驟303c，但本發明並不限於此。
也就是先進行步驟303a：從該第一電極朝向該第二電極之方向進行極化。
先第一電極A施加正高電壓，第二電極B接地或是負高電壓，藉此從該第一電極A朝向該第二電極B之方向進行極化(如圖1的第一極化方向X1)。
接著進行步驟303b：從該第三電極分別朝向該第一電極及該第二電極之方向進行極化。
接著利用相同的極化方法，從該第三電極C朝向該第一電極A之方向進行極化(第六極化方向α2)，以及從該第三電極C朝向該第二電極B之方向進行極化(第四極化方向Y2)。
最後進行步驟303c：從該第四電極朝向該第一電極、該第二電極及該第三電極之方向進行極化。
最後從該第四電極D朝向該第一電極A之方向進行極化(第三極化方向Y1)，從該第四電極D朝向該第二電極B之方向進行極化(第五極化方向α1)及從該第四電極D朝向該第三電極C之方向進行極化(第二極化方向X2)，最終製成多軸向壓電應力感測元件20。如此一來，多軸向壓電應力感測元件20即可得到六個極化方向。
此處需注意的是，本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法並不以上述之步驟次序為限，只要能達成本發明之目的，上述之步驟次序亦可加以改變。
最後請參考圖4係本發明之多軸向壓電應力感測元件設置於工具機之示意圖。
如圖4所示，於本發明之一實施例中，本發明之壓電感應偵測系統10係用於一工具機40之刀具單元41，以對物品50進行車削或銑削加工。多軸向壓電應力感測元件20設置於該刀具單元41上未接觸該物品50之處，且多軸向壓電應力感測元件20並不限定要貼附於平面或曲面的刀具單元41上。當該刀具單元41以對該物品50加工時，多軸向壓電應力感測元件20係因為刀具單元41的受力表面變形而可以感應得到一壓電感測訊號，多軸向壓電應力感測元件20可以利用無線通訊方式連接至訊號處理模組30。如此一來，當兩電極間的電壓改變時，即可以得知於此方向有受到壓縮應力或是拉伸應力。以圖2的示意的多軸向壓電應力感測元件20來說，若該第一電極A的電壓小於該第二電極B時，就代表第一電極A及第二電極B之間受到拉伸應力。若該第一電極A的電壓大於該第二電極B時，就代表第一電極A及第二電極B之間受到壓縮應力。且第一電極A及第二電極B之間的電位差越大，其承受的應力也越大。由此可知，訊號處理模組30只要統計多軸向壓電應力感測元件20之第一極化方向X1到第六極化方向α2之中各方向的電壓改變量，就可以得知各電極之間的應力關係。由於刀具單元41與多軸向壓電應力感測元件20得到的壓電感測訊號的關係會與刀具單元41材質、形狀、多軸向壓電應力感測元件20貼附的位置、加工物品50的材質及加工法等因素有關，因此訊號處理模組30或其他的電腦系統統合計算上述的參數，即可以進一步得知刀具單元41之受力、變形量的大小及方向，得知其切削徑向(radial)力、切向(tangential)力及軸向(axial)力等數據，達到即時監控刀具單元41的切削力變化的目的。
需注意的是，上述僅為實施例，而非限制於實施例。譬如 此不脫離本發明基本架構者，皆應為本專利所主張之權利範圍，而應以專利申請範圍為準。
10‧‧‧壓電感應偵測系統 20‧‧‧多軸向壓電應力感測元件 21‧‧‧壓電感測薄膜 30‧‧‧訊號處理模組 40‧‧‧工具機 41‧‧‧刀具單元 50‧‧‧物品 A‧‧‧第一電極 B‧‧‧第二電極 C‧‧‧第三電極 D‧‧‧第四電極 X1‧‧‧第一極化方向 X2‧‧‧第二極化方向 Y1‧‧‧第三極化方向 Y2‧‧‧第四極化方向 α1‧‧‧第五極化方向 α2‧‧‧第六極化方向
圖1係本發明之壓電感應偵測系統之架構示意圖。 圖2係本發明之多軸向壓電應力感測元件經過極化之示意圖。 圖3係本發明之多軸向壓電應力感測元件極化之方法之步驟流程圖。 圖4係本發明之多軸向壓電應力感測元件設置於工具機之示意圖。
10‧‧‧壓電感應偵測系統
20‧‧‧多軸向壓電應力感測元件
21‧‧‧壓電感測薄膜
30‧‧‧訊號處理模組
40‧‧‧工具機
41‧‧‧刀具單元

Claims (10)

  1. 一種多軸向壓電應力感測元件，包括： 一壓電感測薄膜，具有四個邊角； 一第一電極； 一第二電極； 一第三電極；以及 一第四電極；其中該第一電極、該第二電極、該第三電極及該第四電極係位於該壓電感測薄膜之四個邊角，且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之多軸向壓電應力感測元件，其中該第一電極、該第二電極、該第三電極及該第四電極係依順時針方向依序設置於該壓電感測薄膜之四個邊角，且該極化方向包括從該第一電極朝向該第二電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第三電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第一電極之方向進行極化、從該第三電極朝向該第二電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第二電極之方向進行極化及從該第三電極朝向該第一電極之方向進行極化。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之多軸向壓電應力感測元件，其中該壓電感測薄膜係為一表面橫向長度極化薄膜。
  4. 一種多軸向壓電應力感測元件極化之方法，包括以下步驟： 提供一壓電感測薄膜； 提供一第一電極、一第二電極、一第三電極及一第四電極，以分別設置於該壓電感測薄膜之四個邊角；以及 將至少一電極依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之多軸向壓電應力感測元件極化之方法，更包括以下步驟： 將該第一電極、該第二電極、該第三電極及該第四電極係依順時針依序設置於該壓電感測薄膜之四個邊角； 從該第一電極朝向該第二電極之方向進行極化； 從該第三電極分別朝向該第一電極及該第二電極之方向進行極化；以及 從該第四電極朝向該第一電極、該第二電極及該第三電極之方向進行極化。
  6. 一種壓電感應偵測系統，係用於一工具機，該工具機具有一刀具單元，用以對一物品進行加工；該壓電感應偵測系統包括： 一多軸向壓電應力感測元件，係設置於該刀具單元上未接觸該物品之處，當該刀具單元對該物品進行加工時，該多軸向壓電應力感測元件係感應得到一壓電感測訊號；以及 一訊號處理模組，係電性連接該多軸向壓電應力感測元件，用以根據該壓電感測訊號得知該刀具單元之一受力狀況。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之壓電感應偵測系統，其中該多軸向壓電應力感測元件包括： 一壓電感測薄膜，具有四個邊角； 一第一電極； 一第二電極； 一第三電極；以及 一第四電極；其中該第一電極、該第二電極、該第三電極及該第四電極係位於該壓電感測薄膜之四個邊角，且其中至少一電極係依照至少一極化方向以對另一電極進行極化。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之壓電感應偵測系統，其中該第一電極、該第二電極、該第三電極及該第四電極係依順時針方向依序設置於該壓電感測薄膜之四個邊角，且該極化方向包括從該第一電極朝向該第二電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第三電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第一電極之方向進行極化、從該第三電極朝向該第二電極之方向進行極化、從該第四電極朝向該第二電極之方向進行極化及從該第三電極朝向該第一電極之方向進行極化。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之壓電感應偵測系統，其中該壓電感測薄膜係為一表面橫向長度極化薄膜。
  10. 如申請專利範圍第6項所述之壓電感應偵測系統，其中該刀具單元係為一車削刀具或一銑削刀具，當該車削刀具或該銑削刀具對該物品進行車削加工或銑削加工時，該多軸向壓電應力感測元件係感應得到該壓電感測訊號。
TW104131403A 2015-09-23 2015-09-23 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統 TWI620920B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104131403A TWI620920B (zh) 2015-09-23 2015-09-23 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統
US15/153,141 US10060806B2 (en) 2015-09-23 2016-05-12 Multi-axis piezoelectric stress-sensing device, multi-axis piezoelectric stress-sensing device polarization method, and piezoelectric sensing detection system thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104131403A TWI620920B (zh) 2015-09-23 2015-09-23 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201712307A true TW201712307A (zh) 2017-04-01
TWI620920B TWI620920B (zh) 2018-04-11

Family

ID=58277067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104131403A TWI620920B (zh) 2015-09-23 2015-09-23 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10060806B2 (zh)
TW (1) TWI620920B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110253340A (zh) * 2019-06-26 2019-09-20 浙江大学 一种基于三轴快速刀具伺服机构的三维力检测系统
CN113043071A (zh) * 2019-12-26 2021-06-29 财团法人工业技术研究院 可感测低频力与高频力的力感测装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI679784B (zh) * 2018-04-09 2019-12-11 中原大學 壓電感測模組、壓電感測模組偵測之方法及其壓電感應偵測系統

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3256346B2 (ja) * 1993-07-29 2002-02-12 和廣 岡田 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
JPH09284083A (ja) * 1996-04-12 1997-10-31 Nec Shizuoka Ltd セラミック共振子
JP4704537B2 (ja) * 2000-01-31 2011-06-15 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器
JP3473567B2 (ja) * 2000-10-30 2003-12-08 株式会社村田製作所 圧電共振子およびこの圧電共振子を用いたラダー型フィルタ
US6841919B2 (en) * 2001-03-27 2005-01-11 Seiko Epson Corporation Piezoactuator and drive circuit therefor
US7952525B2 (en) * 2005-06-03 2011-05-31 Sony Corporation Antenna device associated wireless communication apparatus and associated control methodology for multi-input and multi-output communication systems
JP4333883B2 (ja) * 2007-01-24 2009-09-16 ヤマハ株式会社 モーションセンサ及びその製造方法
US8132466B2 (en) * 2008-06-17 2012-03-13 Utah State University Mechanical properties testing device and method
TWI466437B (zh) * 2010-03-29 2014-12-21 Kyocera Kinseki Corp Piezoelectric vibrator
CN102742161B (zh) * 2010-05-26 2015-05-20 松下电器产业株式会社 驱动非易失性开关装置的方法
JP5327256B2 (ja) * 2011-03-30 2013-10-30 ブラザー工業株式会社 入力装置及び画像表示装置
JP5742954B2 (ja) * 2011-10-03 2015-07-01 株式会社村田製作所 超音波発生装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110253340A (zh) * 2019-06-26 2019-09-20 浙江大学 一种基于三轴快速刀具伺服机构的三维力检测系统
CN110253340B (zh) * 2019-06-26 2020-08-11 浙江大学 一种基于三轴快速刀具伺服机构的三维力检测系统
CN113043071A (zh) * 2019-12-26 2021-06-29 财团法人工业技术研究院 可感测低频力与高频力的力感测装置
US11566954B2 (en) 2019-12-26 2023-01-31 Industrial Technology Research Institute Force measurement device for measuring low-frequency force and high-frequency force

Also Published As

Publication number Publication date
US10060806B2 (en) 2018-08-28
US20170082506A1 (en) 2017-03-23
TWI620920B (zh) 2018-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9975250B2 (en) Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus
TWI620920B (zh) 多軸向壓電應力感測元件、多軸向壓電應力感測元件極化之方法及其壓電感應偵測系統
CN108351266B (zh) 用于力检测和力矩检测的装置
JP2012247403A5 (ja) 応力検出素子、センサーモジュール、電子機器、及び把持装置
WO2012106147A3 (en) Process condition measuring device (pcmd) and method for measuring process conditions in a workpi ece processing tool configured to process production workpieces
CN110132477A (zh) 一种六维力传感器的解耦方法及六维力传感器
Nguyen et al. Fault diagnosis in industrial systems based on blind source separation techniques using one single vibration sensor
Liu et al. Milling force monitoring with thin-film sensors integrated into fixtures
JP2016181220A (ja) 作業管理装置
JP4877665B2 (ja) ３軸力覚センサ
CN109531272A (zh) 一种传感器融合采集切削信号的方法
TWI679784B (zh) 壓電感測模組、壓電感測模組偵測之方法及其壓電感應偵測系統
CN104897318A (zh) 力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置
JP2014196922A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
JP6232943B2 (ja) 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置
JP2013134156A5 (zh)
CN105841570A (zh) 一种用于检测两旋向不同的内螺纹同轴度的量规及其检测方法
CN106679852B (zh) 一种基于显微硬度压痕距离变化的表层内应力测量方法
JP2014196921A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
CN206048259U (zh) 一种二维夹持力检测装置
CN113748323A (zh) 检测装置以及传感器的校准方法
TWI592250B (zh) 刀具裝置
JP2015087281A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、および部品加工装置
WO2020158466A1 (ja) 支援装置、支援方法及び支援プログラム
JP2017022339A (ja) 積層型圧電素子、力検出装置、及びロボット