TW201624226A - 觸控感測器面板及其製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種觸控感測器面板及其製造方法，其中用於形成一金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。在該觸控感測器面板及其該製造方法中，該等金屬導線由連續單元導線組成，在該等連續單元導線中一單元導線及與該單元導線交叉之另一單元導線具有彼此相關之對稱分量且該等對稱分量之大小係基於該等單元導線之線寬度來判定。

Description

觸控感測器面板及其製造方法

本發明係關於一種觸控面板，且更特定而言係關於一種觸控感測器面板及其製造方法，其中用於形成一金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。

一觸控面板(其係用於偵測一使用者在一顯示螢幕上之一觸控位置且接收該所偵測到之觸控位置上之資訊以執行對包含一顯示螢幕控制件之一電子裝置之一總體控制之一輸入/輸出構件)係當諸如一手指或一觸控筆之一物件在該螢幕上進行觸控時將觸控辨識為一輸入信號之一裝置。

該觸控輸入裝置近年來已頻繁地安裝於諸如一行動電話、一個人數位助理(PDA)及一可攜式多媒體播放器(PMP)之一行動裝置上。另外，貫穿全部行業(諸如一導航、一小筆電、一筆記型電腦、一數位資訊裝置(DID)、使用支援觸控輸入之一作業系統之一桌上型電腦、一網際網路協定TV(IPTV)、一最先進戰鬥機、一坦克及一裝甲車)使用觸控輸入裝置。

該觸控面板經設計以添加於諸如以下各項之一顯示裝置上或嵌入於該顯示裝置中：一液晶顯示器(LCD)、一電漿顯示面板(PDP)、 一有機發光二極體(OLED)或一主動矩陣有機發光二極體(AMOLED)。

該觸控面板係光學透射的且包含採用一導電材料之偵測單元。

該等偵測單元以重複圖案形成以便辨識一輸入信號在該觸控感測器面板上之位置。在此情形中，存在如下之一問題：當包含偵測單元之偵測層並行層壓時，該等圖案彼此重疊且因此由於該等圖案之間的干擾而出現一疊紋現象。

提議若干方法，其中當構成偵測電極之圖案由於偵測基板之堆疊或偵測基板與一影像顯示面板之堆疊而彼此重疊時在該等圖案之間施加基於一預定角度之扭矩以防止一疊紋圖案之出現，藉此解決可見性由於疊紋圖案而劣化之一問題。

作為用於藉由構成偵測電極之網狀圖案改良歸因於繞射、折射、漫反射、疊紋圖案及類似物之可見性劣化之另一方法，第10-1111564號韓國專利揭示一種用於一電容性觸控面板(包含蜂巢網狀圖案及一電容性觸控面板)之感測器，其中包括蜂巢圖案及菱形圖案之網狀圖案用於改良可見性。

然而，由連續地重複之蜂巢圖案及菱形圖案形成之此一網狀圖案結構可由於圖案之重疊而具有一經減小透射率，且其在大量生產方面具有一困難。

本發明將解決先前觸控面板中之網狀圖案結構之問題，且因此，本發明之一目標係提供一種觸控感測器面板及其製造方法，其中用於形成一金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。

本發明之另一目標係提供一種觸控感測器面板及其製造方法，其中用於形成一金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基 礎上彼此相關之數個對稱分量之一組合，藉此改良可見性。

本發明之又一目標係提供一種觸控感測器面板及其製造方法，其中藉由實施數個對稱分量之一組合之圖案化而自由形成四邊形到多邊形圖案，藉此改良可見性而不具有對圖案形式之限制。

本發明之又一目標係提供一種觸控感測器面板及其製造方法，其中金屬導線基於其線寬度大於或小於參考線寬度值而具有由其中之一者與x或y軸形成之不同角度，藉此形成具有能夠防止一疊紋圖案之出現之一最佳角度之一金屬網。

本發明之目標並不限於前述目標，且熟習此項技術者依據以下闡述將理解本發明之其他目標。

根據本發明之一態樣，提供一種觸控感測器面板，其具有其中配置有由導電單元導線組成之連續單元網之電極圖案，其中連接至單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|

其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與x軸形成之一角度，且Θ₂係由另一單元導線與x軸或y軸形成之一角度。

以上方程式適用於構成單元網之所有頂點。

當單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°。

而且，當單元導線之線寬度大於1μm且不大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足12°<Θ<78°。

另外，當單元導線之線寬度不大於1μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足0°Θ90°。

單元網可由具有相同大小之單元導線組成。

而且，單元網可由具有彼此不同之大小之兩個或兩個以上對稱單元導線組成。

電極圖案可包括具有彼此不同之大小之一第一單元網及一第二單元網。

根據本發明之另一態樣，提供一種用於製造一觸控感測器面板之方法，該方法包括：在一基板上形成一金屬層；及使該金屬層圖案化以形成其中配置有由導電單元導線組成之連續單元網之電極圖案，其中連接至單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|

其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與x軸形成之一角度，且Θ₂係由另一單元導線與x軸或y軸形成之一角度。

以上方程式適用於構成單元網之所有頂點。

當單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°。

而且，當單元導線之線寬度大於1μm且不大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足12°<Θ<78°。

另外，當單元導線之線寬度不大於1μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足0°Θ90°。

根據本發明之觸控感測器面板及其製造方法具有如下效應。

第一，用於形成一金屬網之金屬導線可經圖案化使得其具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。

第二，用於形成一單元網之金屬導線可經圖案化使得其具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之數個對稱分量之一組合，藉此有效地防止一疊紋圖案之出現。

第三，可實行圖案化使得數個對稱分量經組合以根據角度自由形成四邊形到多邊形圖案，藉此改良可見性而不具有對圖案形式之限制。

第四，金屬導線可基於其線寬度大於或小於參考線寬度值而具有由其中之一者與x或y軸形成之不同角度，藉此形成具有能夠防止一疊紋圖案之出現之一最佳角度之一金屬網。

20‧‧‧x軸

21‧‧‧y軸

22‧‧‧第一單元導線

23‧‧‧第二單元導線

40‧‧‧x軸

41‧‧‧y軸

42‧‧‧第一單元導線

43‧‧‧第二單元導線/第二導線

50‧‧‧透明基板

51‧‧‧第一氧化物層

51a‧‧‧第一氧化物層圖案

52‧‧‧第一金屬層

52a‧‧‧第一金屬圖案

53‧‧‧光阻劑

53a‧‧‧光阻劑圖案層

54‧‧‧光罩

55‧‧‧絕緣層

55a‧‧‧絕緣層圖案

56‧‧‧光阻劑

56a‧‧‧光阻劑圖案層

57‧‧‧光罩/連接孔

58‧‧‧第二氧化物層

58a‧‧‧第二氧化物層圖案

59‧‧‧第二金屬層

59a‧‧‧網橋圖案

60‧‧‧光阻劑

60a‧‧‧光阻劑圖案層

61‧‧‧光罩

62‧‧‧無機或有機絕緣層

62a‧‧‧無機或有機絕緣層圖案層

63‧‧‧光阻劑

63a‧‧‧光阻劑圖案層

64‧‧‧光罩

Θ₁‧‧‧角度

Θ₂‧‧‧角度

Θ₃‧‧‧角度

Θ₄‧‧‧角度

圖1係展示根據本發明之一單元網之一實例之一組態視圖。

圖2係展示在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量之一組態視圖。

圖3a至圖3e係根據本發明之實施例之觸控感測器面板之組態視圖。

圖4a及圖4b展示經圖案化使得數個對稱分量組合於一單元網中之一觸控感測器面板之組態。

圖5a至圖5v係用於製造根據本發明之觸控感測器面板之一程序之剖面圖。

在下文中，將如下闡述根據本發明之一種觸控感測器面板及其製造方法之較佳實施例。

透過對實施例之以下詳細闡述將明瞭根據本發明之該觸控感測 器面板及該其製造方法之特徵及優點。

圖1係展示根據本發明之一單元網之一實例之一組態視圖。圖2係展示在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量之一組態視圖。

在本發明中，用於形成一金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。

在本發明之一項實施例中，用於形成一金屬網之金屬導線可經受圖案化以在一單元網中具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之數個對稱分量之一組合。

而且，可實行圖案化使得數個對稱分量經組合以根據角度自由形成四邊形到多邊形圖案，且該等金屬導線可基於其線寬度大於或小於參考線寬度值而與x或y軸形成不同角度，藉此形成具有能夠防止一疊紋圖案之出現之一最佳角度之一金屬網。

圖1係根據本發明之一單元網及單元導線之一組態視圖。如本文中所使用，單元網係指藉由一金屬導線與另一金屬導線之交叉形成之一網狀圖案，且單元導線係指對應於構成單元網之一側之長度之一金屬導線。

而且，金屬網由經連接單元網組成。

圖2展示在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量。在具有其中配置有由導電單元導線組成之連續單元網之電極圖案之觸控感測器面板中，連接至單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|

其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與x軸形成之一角度，且Θ₂係由另一單元導線與x軸或y軸形成之一角度。

亦即，一第一單元導線22與x軸20形成一角度Θ₁，且與第一單元 導線交叉之一第二單元導線23與x軸20或y軸21形成一角度Θ₂。

角度Θ₁及Θ₂係對稱分量。而且，以上方程式適用於構成單元網之所有頂點。

作為對稱分量，Θ₁係兩個單元導線中之任一者自x軸之一扭轉角度，且Θ₂係另一單元導線自x軸或y軸之一扭轉角度，角度Θ₁及Θ₂具有相同大小。

而且，x軸係構成觸控面板之一驅動電極(T_x)之方向且y軸係一偵測電極(R_x)之方向。

對稱分量之大小可取決於單元導線之線寬度而變化，且基於線寬度而較佳地採取該大小以形成一金屬網。

舉例而言，當單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°。

而且，當單元導線之線寬度大於1μm且不大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足12°<Θ<78°。

另外，當單元導線之線寬度不大於1μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足0°Θ90°。

當對稱分量之大小滿足此類範圍時，可防止一疊紋圖案之出現。

圖3a至圖3d展示由一單元導線及與單元導線交叉之另一單元導線組成之單元網包含具有相同大小之對稱分量。

根據本發明之單元網不限於圖3a至圖3d中所展示之形式且可以其他形式來修改及體現。

圖3e展示由圖3d之單元網組成之一金屬導線之組態。

因此，單元網之對稱分量可具有相同大小。另一選擇係，數個 對稱分量可透過圖案化組合於單元網中。

圖4a及圖4b展示經圖案化使得數個對稱分量組合於一單元網中之一觸控感測器面板之組態。

如圖4a中所展示，由一單元導線及與該單元導線交叉之另一單元導線組成之一單元網可經組態以包含具有彼此不同之大小之第一對稱分量及第二對稱分量之一組合。

在展示在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量之圖4a中，一第一單元導線42與x軸40形成一角度Θ₁，與第一單元導線交叉之一第二單元導線43與x軸40或y軸41形成一角度Θ₂，連接至第一單元導線42之一第三單元導線44與x軸40形成一角度Θ₃，且連接至第二導線43之一第四單元導線45與x軸40或y軸41形成一角度Θ₄。

角度Θ₁及Θ₂具有相同大小且角度Θ₃及Θ₄具有相同大小，但第一對稱分量(Θ₁、Θ₂)具有不同於第二對稱分量(Θ₃、Θ₄)之一大小。

因此，與x軸及y軸具有角度Θ₁及Θ₂之第一對稱區域及與x軸及y軸具有角度Θ₃及Θ₄之第二對稱區域經組合以形成一單元網。

圖4b展示藉由組合其中對稱分量具有相同大小(如圖3a中所展示)的單元網之一結構及其中與x軸及y軸具有角度Θ₁及Θ₂之第一對稱區域和與x軸及y軸具有角度Θ₃及Θ₄之第二對稱區域組合(如圖4a中所展示)的單元網之一結構而形成之一金屬導線之組態。

亦即，藉由組合由具有相同大小之對稱分量組成之一第一單元網及由具有不同大小之一第一對稱分量及一第二對稱分量組成之一第二單元網而形成金屬導線。

此形成金屬網之金屬導線經受圖案化以具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量Θ₁、Θ₂，藉此製造具有經改良可見性之一觸控感測器面板，如下文闡述。

圖5a至圖5v係用於製造根據本發明之觸控感測器面板之一程序之 剖面圖。

以下闡述中之製造程序展示根據本發明之單元網應用至其之一程序之一實例。本發明之程序不限於下文所闡述之結構及程序條件，且可採取各種修改。

首先，如圖5a中所展示，在一透明基板50上形成一第一氧化物層51及一第一金屬層52。

第一氧化物層51可包含氧化銦錫(ITO)及氧化銦鋅(IZO)。第一金屬層52可包含一Mo與Ag合金、一Al合金及類似物。

此後，在第一金屬層52上施加一光阻劑53，如圖5b中所展示，且接著使用其中形成一網狀圖案之一光罩54曝露光阻劑53，如圖5c中所展示。

隨後，如圖5d中所展示，藉由使光阻劑53顯影而形成一光阻劑圖案層53a。如圖5e中所展示，藉由使用光阻劑圖案層53a而用一濕式蝕刻液體選擇性地圖案化第一金屬層52及第一氧化物層51，藉此形成一第一氧化物層圖案51a及一第一金屬圖案52a。

此處，第一金屬圖案52a變為沿任何一個方向構成偵測單元之一金屬導線。由連續單元導線組成之金屬導線可經圖案化使得一單元導線及與該單元導線交叉之另一單元導線具有彼此相關之對稱分量，如圖2及圖4a中所展示。

在具有其中配置有由導電單元導線組成之連續單元網之電極圖案之觸控感測器面板中，在圖案化以用於形成第一金屬圖案52a中獲得之對稱分量意味連接至單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|

其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與x軸形成之一角度，且 Θ₂係由另一單元導線與x軸或y軸形成之一角度。

而且，在圖案化以用於形成第一金屬圖案52a中，兩個單元導線經圖案化使得當單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°，當單元導線之線寬度大於1μm且不大於3μm時，角度滿足12°<Θ<78°，且當單元導線之線寬度不大於1μm時，角度滿足0°Θ90°。

此後，如圖5f中所展示，移除光阻劑圖案層53a且在第一金屬圖案52a上形成一絕緣層(SiON)55。

隨後，在絕緣層55上施加一光阻劑(PR)56，如圖5g中所展示。接著使用其中形成一孔圖案之一光罩57曝露光阻劑56，如圖5h中所展示，藉此形成一光阻劑圖案層56a，如圖5i中所展示。

此後，如圖5j中所展示，透過一乾式蝕刻程序使用光阻劑圖案層56a選擇性地移除絕緣層55，藉此形成一連接孔57。如圖5k中所展示，移除光阻劑圖案層56a。

隨後，如圖51中所展示，在其中形成連接孔57之一絕緣層圖案55a上形成一第二氧化物層58及一第二金屬層59。

此後，如圖5m中所展示，在第二金屬層59上施加一光阻劑60。如圖5n中所展示，使用其中形成一網橋圖案之一光罩61曝露光阻劑60。

隨後，如圖5o中所展示，藉由使光阻劑60顯影而形成一光阻劑圖案層60a。如圖5p中所展示，藉由使用光阻劑圖案層60a而用一濕式蝕刻液體選擇性地圖案化第二金屬層59及第二氧化物層58，藉此形成一第二氧化物層圖案58a及一網橋圖案59a。

此後，如圖5q至圖5v中所展示，在網橋圖案59a上形成一無機或有機絕緣層62，且藉由執行一光阻劑63之施加及使用一光罩64之曝露 及顯影而形成一光阻劑圖案層63a及一無機或有機絕緣層圖案層62a，藉此製造在其上形成偵測電極及驅動電極之一基板。

如此製造之根據本發明之觸控感測器面板具有如下之疊紋抑制特性。

表1展示根據單元導線之線寬度及由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之一角度出現之一疊紋圖案之程度。

較佳地，取決於像素結構及液晶類型而觀察出現之疊紋圖案。

像素結構可劃分成RGB條帶、Pentile、S條帶及菱形，且液晶類型可劃分成LCD及OLED。應用此劃分，在1μm、2μm、3μm、4μm及5μm(金屬導線之線寬度)處比較關於一角度大小之疊紋特性。

在像素結構中，考量到人眼對綠色敏感，藉由用相同區域配置R、G及B之三個子像素而獲得RGB條帶形式，藉由使G子像素之大小減小(例如，使子像素之大小成為R：G：B=2：1：2)或藉由以RGBG之形式製成一單元像素而獲得Pentile形式。

而且，藉由垂直配置藍色有機物同時水平配置綠色及紅色有機物而獲得S條帶形式，且藉由採取對角地安置子像素之一菱形類型像素配置同時維持RGBG Pentile結構而獲得菱形形式，以便增強可靠性。

因此，藉由取決於RGB條帶、Pentile、S條帶及菱形像素結構比 較疊紋特性(此乃因可靠性根據此等像素結構而可係不同的)，可準確地確認疊紋特性且可確認根據本發明自對稱分量之大小獲得之效應。

亦即，針對紅色、綠色、藍色及白色之每一背光源，藉由根據本發明之方法製造之觸控面板安置於一影像顯示裝置(由LCD、OLED及像素結構之液晶類型劃分)之頂部上，且接著在藉由旋轉形成之角度上觀察其疊紋圖案。

關於一內單元導線之角度藉由強、中等、弱及無出現之等級評估疊紋圖案之程度。

確認以背光源之綠色>白色>紅色=藍色之次序出現疊紋圖案。因此，針對導致最強疊紋圖案出現之綠色源進行用於評估疊紋圖案出現之一測試。

而且，根據對稱分量之角度大小分析疊紋圖案。當計算對稱分量之角度大小時，確認自較細線寬度出現較少疊紋圖案。

因此，根據本發明，當單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與x軸或y軸形成之角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)可滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°，當單元導線之線寬度大於1μm且不大於3μm時，角度可滿足12°<Θ<78°，且當單元導線之線寬度不大於1μm時，角度可滿足0°Θ90°。

如上文所提及之本發明之觸控感測器面板及其製造方法允許用於形成一金屬網之金屬導線經圖案化，使得其具有在x軸及y軸之基礎上彼此相關之對稱分量，藉此改良可見性。

而且，實行圖案化使得數個對稱分量經組合以根據角度自由形成四邊形到多邊形圖案，且金屬導線基於其線寬度大於或小於參考線寬度值而具有由其中之一者與x或y軸形成之不同角度，藉此形成具有能夠防止一疊紋圖案之出現之一最佳角度之一金屬網。

儘管已結合較佳實施例闡述本發明，但本發明之實施例僅用於 說明性目的且不應被解釋為限制本發明之範疇。

熟習此項技術者將理解，可在隨附申請專利範圍定義之技術精神及範疇內對其做出各種改變及修改。

20‧‧‧x軸

21‧‧‧y軸

22‧‧‧第一單元導線

23‧‧‧第二單元導線

Θ₁‧‧‧角度

Θ₂‧‧‧角度

Claims (13)

1. 一種觸控感測器面板，其具有電極圖案，於該電極圖案中配置有由導電單元導線組成之連續單元網，其中連接至該單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與該x軸形成之一角度，且Θ₂係由另一單元導線與該x軸或該y軸形成之一角度。
2. 如請求項1之觸控感測器面板，其中該方程式適用於構成該單元網之所有頂點。
3. 如請求項1之觸控感測器面板，其中當該等單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°。
4. 如請求項1之觸控感測器面板，其中當該等單元導線之該線寬度大於1μm且不大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足12°<Θ<78°。
5. 如請求項1之觸控感測器面板，其中當該等單元導線之該線寬度不大於1μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足0°Θ90°。
6. 如請求項1之觸控感測器面板，其中該單元網由具有相同大小之單元導線組成。
7. 如請求項1之觸控感測器面板，其中該單元網由具有彼此不同之大小之兩個或兩個以上對稱單元導線組成。
8. 如請求項1之觸控感測器面板，其中該等電極圖案包括具有彼此 不同之大小之一第一單元網及一第二單元網。
9. 一種用於製造一觸控感測器面板之方法，其包括：在一基板上形成一金屬層；及使該金屬層圖案化以形成其中配置有由導電單元導線組成之連續單元網之電極圖案，其中連接至該單元網之一頂點之兩個單元導線與x軸或y軸形成滿足以下方程式之一角度：|Θ₁|=|Θ₂|其中，Θ₁係由兩個單元導線中之任一者與該x軸形成之一角度，且Θ₂係由另一單元導線與該x軸或該y軸形成之一角度。
10. 如請求項9之方法，其中該方程式適用於構成該單元網之所有頂點。
11. 如請求項9之方法，其中當該等單元導線之線寬度大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足18°<Θ<33°或57°<Θ<72°。
12. 如請求項9之方法，其中當該等單元導線之該線寬度大於1μm且不大於3μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足12°<Θ<78°。
13. 如請求項9之方法，其中當該等單元導線之該線寬度不大於1μm時，由兩個單元導線中之每一者與該x軸或該y軸形成之該角度(Θ,Θ=|Θ₁|=|Θ₂|)滿足0°Θ90°。