TW201610470A

TW201610470A - 包括流體動力表面特徵之顯示器快門組合件

Info

Publication number: TW201610470A
Application number: TW104125279A
Authority: TW
Inventors: 喬伊斯吳; 馬克安德森; 泰勒杜恩; 安德魯威廉史帕克
Original assignee: 皮克斯特隆尼斯有限公司
Priority date: 2014-08-05
Filing date: 2015-08-04
Publication date: 2016-03-16
Also published as: US20160042700A1; WO2016022285A1

Abstract

本發明提供用於一基於快門之光調變器的系統、方法及裝置。該快門包括自該快門之表面向外延伸的至少三個凹口。該至少三個凹口之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙，以減少由該快門浸沒於之流體所導致的阻尼力。在一些實施中，該至少三個凹口可沿該快門之該表面對準成一個以上列，其中每一列包括該至少三個凹口之兩個以上凹口。在一些實施中，為改良該快門之結構穩定性，一列中之凹口相對於另一列中之凹口交錯。

Description

包括流體動力表面特徵之顯示器快門組合件

相關申請案

本專利申請案主張美國實用申請案第14/452,188號的優先權，該申請案於2014年8月5日申請，名稱為「包括流體動力表面特徵之顯示器快門組合件」，且被讓予給本受讓人並特此明確地以引用方式併入本文中。

本發明係關於顯示器之領域，且詳言之係關於機電系統(EMS)顯示元件。

機電系統(EMS)器件包括具有電及機械元件(諸如，致動器、光學組件(諸如，鏡面、快門及/或光學薄膜層)及電子裝置)之器件。EMS器件可以多種尺度來製造，包括(但不限於)微尺度及奈米尺度。舉例而言，微機電系統(MEMS)器件可包括具有範圍為約一微米至數百微米或更大之大小的結構。奈米機電系統(NEMS)器件可包括具有小於一微米之大小(包括(例如)小於數百奈米之大小)的結構。可使用沈積、蝕刻、微影及/或蝕刻掉所沈積材料層之部分或添加層以形成電及機電器件的其他微機械加工製程來形成機電元件。

本發明之系統、方法及器件各自具有若干新穎態樣，其中該等態樣中無單一態樣單獨負責本文中所揭示之所要屬性。

本發明中描述之標的物的一新穎態樣可實施於一裝置中，該裝置包括一基板；安置於該基板上之一錨定物；及藉由該錨定物支撐於該基板上方的一平面本體，其中該平面本體包括自該平面本體之該平面延伸出的至少三個凹口；其中該至少三個凹口中之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙，且其中該至少三個凹口沿該平面本體之一表面對準。

在一些實施中，該至少三個凹口自該平面本體之該平面延伸出，且向著該基板凸起。在一些實施中，該至少三個凹口沿該平面本體之該表面對準成至少兩列，其中每一列包括該至少三個凹口中之兩個以上凹口。在一些實施中，由該至少兩列中之一者中的任何兩個相鄰凹口所界定的間隙在該平面本體之一運動方向上與該至少兩列中之另一者中的一凹口對準。

在一些實施中，該至少三個凹口沿該平面本體之該表面在至少兩個列中對準，使得沿該平面本體之一運動方向與該平面本體共面且交叉該平面本體中之一開口的任何線穿過該至少三個凹口中之至少一者。在一些實施中，該至少三個凹口沿該平面本體之該表面在至少兩個列中對準，使得與該平面本體共面的穿過由一列中的該至少三個凹口中之任何兩者所界定之一間隙的任何線交叉另一列中的該至少三個凹口之另一者。

在一些實施中，該至少三個凹口包括一前邊緣，該前邊緣相對於該平面本體之一運動方向形成一角。在一些實施中，沿該平面本體之一運動方向與該平面本體共面且交叉該平面本體中之一開口的任何線穿過該至少三個凹口中之至少一者。在一些實施中，該至少三個凹口之長度小於或等於約25微米。在一些實施中，該至少三個凹口係橢圓狀的。

在一些實施中，該裝置進一步包括：一顯示器；一處理器，其能夠與該顯示器通信，該處理器能夠處理影像資料；及一記憶體器件，其能夠與該處理器通信。在一些實施中，該裝置進一步包括：一驅動器電路，其能夠將至少一信號發送至該顯示器；及一控制器，其能夠將該影像資料之至少一部分發送至該驅動器電路。在一些實施中，該裝置進一步包括一影像源模組，其能夠將該影像資料發送至該處理器，其中該影像源模組包括一接收器、收發器及發射器中之至少一者。在一些實施中，該裝置進一步包括一輸入器件，其能夠接收輸入資料及將該輸入資料傳達至該處理器。

本發明中描述之標的物之另一新穎態樣可實施於一種形成顯示器裝置之方法中。該方法包括：提供一基板；在該基板上方形成一模具，該模具具有實質上垂直於該基板之側壁、實質上平行於該基板之一頂表面及一底表面，及至少三個突起；在該模具上方(包括在該至少三個突起上方)沈積一快門材料；及將該快門材料圖案化以形成一快門，該快門具有一開口及沿該快門之一表面對準的至少三個凹口，該至少三個凹口中之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙。

在一些實施中，在該基板上方形成其中具有至少三個突起的該模具包括在該模具之該頂表面內形成向著該基板延伸的腔。在一些實施中，在該基板上方形成其中具有至少三個突起的該模具包括在該模具中形成延伸遠離該模具之該底表面的支柱。

在一些實施中，圖案化該快門材料包括圖案化該快門材料以形成沿該快門之該表面對準成至少兩列的該至少三個凹口，每一列包括該至少三個凹口中之兩個以上凹口。在一些實施中，圖案化該快門材料以形成沿該快門之該表面對準成至少兩列的該至少三個凹口包括圖案化該快門材料，使得由該至少兩列中之一者中的任何兩個相鄰凹口所界定的間隙在該快門之一運動方向上與該至少兩列中之另一列中的一凹口對準。

在一些實施中，圖案化該快門材料以形成沿該快門之該表面對準成至少兩列的該至少三個凹口包括圖案化該快門材料，使得沿該快門之運動方向與該快門共面且與該開口交叉的任何線穿過該至少三個凹口中之至少一者。在一些實施中，圖案化該快門材料以形成沿該快門之該表面對準成至少兩列之該至少三個凹口包括圖案化該快門材料，使得與該平面本體共面的穿過由一列中的該至少三個凹口之任何兩者所界定之一間隙的任何線與另一列中的該至少三個凹口之另一者交叉。

在一些實施中，圖案化該快門材料以形成具有一開口及沿快門之一表面對準的至少三個凹口(該至少三個凹口之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙)的快門包括圖案化該快門材料，使得該至少三個凹口包括相對於該快門之一運動方向形成一角的一前邊緣。在一些實施中，圖案化該快門材料以形成具有一開口及沿快門之一表面對準的至少三個凹口(該至少三個凹口之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙)的快門包括圖案化該快門材料，使得該至少三個凹口之長度小於或等於約25微米。在一些實施中，在該基板上方形成該模具(其中該模具中具有至少三個突起)包括在該模具中形成橢圓狀的至少三個突起。

本發明中所描述之標的物的一或多個實施之細節在隨附圖式及下文描述中闡述。其他特徵、態樣及優勢自描述、圖式及申請專利範圍將變得顯而易見。應注意，下列諸圖之相對尺寸可能未按比例繪製。

21‧‧‧處理器

22‧‧‧陣列驅動器

27‧‧‧網路介面

28‧‧‧圖框緩衝器

29‧‧‧驅動器控制器

30‧‧‧顯示器陣列

40‧‧‧顯示器件

41‧‧‧外殼

43‧‧‧天線

45‧‧‧揚聲器

46‧‧‧麥克風

47‧‧‧收發器

48‧‧‧輸入器件

50‧‧‧電源供應器

52‧‧‧調節硬體

100‧‧‧顯示器裝置

102a-102d‧‧‧光調變器

104‧‧‧影像

105‧‧‧燈

106‧‧‧像素

108‧‧‧快門

109‧‧‧孔隙

110‧‧‧寫入啟用互連件

112‧‧‧資料互連件

114‧‧‧共同互連件

120‧‧‧主機器件

122‧‧‧主機處理器

124‧‧‧環境感測器

126‧‧‧使用者輸入模組

128‧‧‧顯示器裝置

130‧‧‧掃描驅動器

131‧‧‧掃描線互連件

132‧‧‧資料驅動器

133‧‧‧資料互連件

134‧‧‧控制器

138‧‧‧共同驅動器

140-146‧‧‧燈

148‧‧‧燈驅動器

150‧‧‧顯示元件陣列

200‧‧‧快門組合件

202‧‧‧致動器

204‧‧‧致動器

206‧‧‧快門

207‧‧‧孔隙層

208‧‧‧錨定物

209‧‧‧孔隙

212‧‧‧快門孔隙

216‧‧‧重疊

400‧‧‧快門組合件

402‧‧‧快門

404a‧‧‧第一肋

404b‧‧‧第二肋

406‧‧‧第一致動器

408‧‧‧第二致動器

410‧‧‧負載樑電極

412‧‧‧負載錨定物

414‧‧‧環形驅動樑

416‧‧‧驅動錨定物

418‧‧‧開口

500‧‧‧快門組合件

502‧‧‧快門

504a‧‧‧第一組斷裂肋

504b‧‧‧第二組斷裂肋

550‧‧‧肋

600‧‧‧快門

604a‧‧‧第一組交錯肋

604b‧‧‧第二組交錯肋

650‧‧‧第一列肋

652‧‧‧第二列肋

660‧‧‧邊界

702‧‧‧快門

704a‧‧‧第一組成角度之肋

704b‧‧‧第二組成角度之肋

750‧‧‧成角度之肋

760‧‧‧邊界

770‧‧‧前邊緣

802‧‧‧快門

804a‧‧‧第一組成角度之肋

804b‧‧‧第二組成角度之肋

850‧‧‧成角度之肋

860‧‧‧邊界

870‧‧‧前邊緣

902‧‧‧快門

904a‧‧‧第一組成角度之肋

904b‧‧‧第二組成角度之肋

1002‧‧‧快門

1004a‧‧‧第一組成角度之橢圓肋

1004b‧‧‧第二組成角度之橢圓肋

1100‧‧‧用於形成快門組合件之實例程序

1202‧‧‧基板

1204‧‧‧第一犧牲層

1206‧‧‧第二犧牲層

1208‧‧‧模具

1210‧‧‧頂表面

1212‧‧‧側壁

1214‧‧‧側壁

1216‧‧‧腔

1252‧‧‧基板

1254‧‧‧第一犧牲層

1256‧‧‧錨定物開口

1258‧‧‧第二犧牲層

1260‧‧‧模具

1262‧‧‧側壁

1264‧‧‧底表面

1266‧‧‧支柱

1270‧‧‧快門

1272‧‧‧開口

1274‧‧‧肋

1276‧‧‧錨定物

1278‧‧‧柔性樑

D₁‧‧‧深度

D₂‧‧‧深度

G₁‧‧‧間隙

G₂‧‧‧間隙

G₃‧‧‧間隙

G₄‧‧‧間隙

L₁‧‧‧長度

L₂‧‧‧長度

L₃‧‧‧長度

L₄‧‧‧長度

O₃‧‧‧距離

O₄‧‧‧距離

W₁‧‧‧寬度

W₂‧‧‧寬度

W₃‧‧‧寬度

W₄‧‧‧寬度

Y₃‧‧‧投影長度

Y₄‧‧‧投影高度

θ₃‧‧‧角

θ₄‧‧‧角

θ₅‧‧‧角

圖1A展示實例直觀式基於微機電系統(MEMS)之顯示器裝置的示意圖。

圖1B展示實例主機器件的方塊圖。

圖2A及圖2B展示實例雙致動器快門組合件的視圖。

圖3展示包括具有肋之快門的實例快門組合件之俯視圖。

圖4展示圖3中所示之實例快門組合件之快門的橫截面圖。

圖5A至圖5C展示包括具有斷裂肋之快門之實例快門組合件的各種視圖。

圖6A至圖6C展示具有斷裂肋之實例快門的各種視圖。

圖7A及圖7B展示具有成角度之肋的實例快門的兩個視圖。

圖8A及圖8B展示具有成角度之肋的另一實例快門的兩個視圖。

圖9展示具有非重疊肋之實例快門的俯視圖。

圖10展示具有橢圓狀肋之實例快門的俯視圖。

圖11展示用於形成快門組合件之實例程序的流程圖。

圖12A至圖12C展示使用圖11中所示之程序製造快門組合件的實例階段。

圖13A及圖13B展示包括複數個顯示元件之實例顯示器件的系統方塊圖。

各圖式中相同參考數字及名稱均指示相同組件。

出於描述本發明之新穎態樣之目的，以下描述係有關某些實施。然而，一般熟習此項技術者將易於認識到，可以眾多不同方式來應用本文之教示。所描述之實施可實施於能夠顯示影像的任何器件、裝置或系統中，無論影像為運動的(諸如，視訊)抑或靜止的(諸如，靜態影像)，且無論影像為文字的、圖形的抑或圖像的。本發明中所提供之概念及實例可適用於多種顯示器，諸如液晶顯示器(LCD)、有機發光二極體(OLED)顯示器、場發射顯示器及基於機電系統(EMS)及微機電(MEMS)之顯示器，以及合併了來自一或多個顯示技術之特徵的顯示器。

所描述實施可包括於諸如(但不限於)以下各者之多種電子器件中或與該等電子器件相關聯：行動電話、具備多媒體網際網路功能之蜂巢式電話、行動電視接收器、無線器件、智慧型電話、Bluetooth®器件、個人資料助理(PDA)、無線電子郵件接收器、手持型或攜帶型電腦、迷你筆記型電腦、筆記型電腦、智慧筆記型電腦、平板電腦、印表機、影印機、掃描器、傳真器件、全球定位系統(GPS)接收器/導航器、攝影機、數位媒體播放器(諸如，MP3播放器)、攝錄影機、遊戲控制台、腕錶、可穿戴式器件、時鐘、計算器、電視監視器、平板顯示器、電子閱讀器件(例如，電子閱讀器)、電腦監視器、汽車顯示器(諸如里程錶及速度錶顯示器)、座艙控制器及/或顯示器、攝影機景觀顯示器(諸如，車輛中的後視攝影機之顯示器)、電子相片、電子廣告牌或標識、投影儀、架構結構、微波爐、冰箱、立體聲系統、卡式錄音機或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、收音機、攜帶型記憶體晶片、清洗機、乾燥機、清洗機/乾燥機、停車計時錶、封裝(諸如，在包括微機電系統(MEMS)應用之機電系統(EMS)應用以及非EMS應用中)、美學結構(諸如，影像在一件珠寶或服裝上之顯示)及多種EMS器件。

本文中之教示亦可用於非顯示器應用中，諸如(但不限於)電子切換器件、射頻濾波器、感測器、加速計、陀螺儀、運動感測器件、磁力計、用於消費型電子裝置之慣性組件、消費型電子產品之部件、可變電抗器、液晶器件、電泳器件、驅動方案、製造製程及電子測試設備。因此，該等教示並不意欲限於僅在諸圖中描繪之實施，而實情為，具有如一般熟習此項技術者將易於顯而易見之廣泛適用性。

在一些實施中，顯示器件可利用用於顯示影像的基於快門之光調變器。在操作期間，基於快門之光調變器可浸沒於一流體中。在一些實施中，基於快門之調變器之快門可包括肋或凹口，其自快門之表面向外延伸以提高快門之剛性。然而，驅動肋狀快門穿過流體可能歸因於由該流體所展現之阻尼而需要額外的力。在一些實施中，此阻尼可藉由形成由間隙分隔開之一或多個肋或凹口來減少。舉例而言，在一些實施中，可形成藉由各別間隙分隔開之至少三個肋或凹口來減少阻尼。在快門之操作期間，由流體導致的對快門運動的阻尼可藉由使凹口之間存在間隙來減少。在一些實施中，至少三個凹口可沿快門之表面對準成一或多列。在一些實施中，凹口可相對於快門之一邊緣傾斜或成角度。

可實施本發明中所描述的標的物之特定實施以實現下列潛在優勢中之一或多者。在形成於快門之表面內的肋或凹口中包括間隙不僅為快門提供結構穩定性，且亦減少操作快門所需的致動電壓或改良快門之操作速度。該等間隙減少歸因於快門浸沒於的一流體而作用於快門上的阻尼效應。阻尼效應之減少轉而允許減少致動快門所需之致動電壓，其減少了達成所需切換時間所必要的過驅動。在一些實施中，相鄰肋之部分可沿平行於快門之運動方向的線重疊，減少快門之彎曲風險，且改良該快門之結構穩定性。此外，在肋中引入間隙減少肋之總面積，其可藉由使底板與快門之間的靜摩擦力最小化來改良顯示器之良率。

圖1A展示實例直觀式基於MEMS之顯示器裝置100的示意圖。顯示器裝置100包括配置成列及行的複數個光調變器102a至102d(一般而言，光調變器102)。在顯示器裝置100中，光調變器102a及102d在敞開狀態下，從而允許光通過。光調變器102b及102c在關閉狀態中，從而阻礙光通過。若由一或多個燈105照明，則藉由選擇性設定光調變器102a至102d的狀態，顯示器裝置100可用以形成一用於背光顯示的影像104。在另一實施中，裝置100可藉由源自裝置之前面的環境光的反射而形成影像。在另一實施中，裝置100可藉由反射來自定位於顯示器前部的一或多個燈之光(亦即，藉由使用前光)來形成影像。

在一些實施中，每一光調變器102對應於影像104中之一像素106。在一些其他實施中，顯示器裝置100可利用複數個光調變器形成影像104中的一像素106。舉例而言，顯示器裝置100可包括三個色彩特定光調變器102。藉由選擇性敞開對應於一特定像素106的色彩特定光調變器102中之一或多者，顯示器裝置100可產生影像104中的一彩色像素106。在另一實例中，顯示器裝置100包括每個像素106兩個或兩個以上光調變器102以在影像104中提供明度位準。關於影像，像素對應於由影像之解析度定義的最小像元。關於顯示器裝置100之結構組件，術語像素指用以調變形成影像之單一像素之光的組合式機械與電組件。

顯示器裝置100為直觀式顯示器，此係因為該顯示器裝置可能不包括通常見於投影應用中之成像光學器件。在投影顯示器中，形成於顯示器裝置之表面上的影像被投影至螢幕上或投影至牆壁上。顯示器裝置實質上小於所投影影像。在直觀式顯示器中，可藉由直接觀看顯示器裝置而看到影像，顯示器裝置含有光調變器且視情況含有用於增強在顯示器上見到的亮度及/或對比度的背光或前光。

直觀式顯示器可以透射模式或反射模式中任一者來操作。在透射性顯示器中，光調變器過濾或選擇性地阻擋源自定位於顯示器後方之一或多個燈之光。來自燈之光視情況而注入至光導或背光中，使得每一像素可得到均勻照明。透射性直觀式顯示器常常建置至透明基板上以促進含有光調變器之一個基板定位於背光之上的夾層組合件配置。在一些實施中，透明基板可為玻璃基板(有時被稱作玻璃板或面板)或塑膠基板。玻璃基板可為或包括(例如)硼矽酸鹽玻璃、紫紅玻璃(wine glass)、熔融二氧化矽、鹼石灰玻璃、石英、人造石英、派熱斯玻璃(Pyrex)或其他合適之玻璃材料。

每一光調變器102可包括快門108及孔隙109。為照明影像104中之像素106，快門108經定位使得其允許光通過孔隙109。為保持像素106不被照亮，快門108經定位使得其阻礙光穿過孔隙109。孔隙109係由被圖案化穿過每一光調變器102中之反射或光吸收材料的開口界定。

顯示器裝置亦包括耦接至基板及光調變器以用於控制快門之移動的控制矩陣。控制矩陣包括一系列電互連件(諸如互連件110、112及114)，該等電互連件包括：每像素列至少一寫入啟用互連件110(亦稱為掃描線互連件)；用於每一像素行之一資料互連件112；及一共同互連件114，其將共同電壓提供至所有像素或至少提供至來自顯示器裝置100中之多個行且多個列的像素。回應於適當電壓(寫入啟用電壓V_WE)之施加，用於給定像素列之寫入啟用互連件110使該列中之像素預備接受新快門移動指令。資料互連件112以資料電壓脈衝之形式傳達新移動指令。在一些實施中，施加至資料互連件112之資料電壓脈衝直接對快門之靜電移動有影響。在一些其他實施中，資料電壓脈衝控制開關(諸如控制獨立驅動電壓向光調變器102之施加的電晶體或其他非線性電路元件，獨立驅動電壓的量值通常比資料電壓高)。此等驅動電壓之施加導致快門108的靜電驅動移動。

控制矩陣亦可包括(但不限於)電路，諸如與每一快門組合件相關聯之電晶體及電容器。在一些實施中，每一電晶體之閘極可電連接至掃描線互連件。在一些實施中，每一電晶體之源極可電連接至對應資料互連件。在一些實施中，每一電晶體的汲極可並聯電連接至對應電容器之電極及對應致動器之電極。在一些實施中，與每一快門組合件相關聯的電容器及致動器之另一電極可連接至一共同或地面電位。在一些其他實施中，電晶體可替換為半導體二極體或金屬-絕緣體-金屬切換元件。

圖1B展示實例主機器件120(亦即，蜂巢式電話、智慧型手機、PDA、MP3播放器、平板電腦、電子閱讀器、迷你筆記型電腦、筆記型電腦、手錶、可穿戴式器件、膝上型電腦、電視或其他電子器件)之方塊圖。主機器件120包括顯示器裝置128(諸如圖1A中所示之顯示器裝置100)、主機處理器122、環境感測器124、使用者輸入模組126及電源。

顯示器裝置128包括複數個掃描驅動器130(亦被稱作寫入啟用電壓源)、複數個資料驅動器132(亦被稱作資料電壓源)、控制器134、共同驅動器138、燈140至146、燈驅動器148及顯示元件陣列150(諸如圖1A中所示之光調變器102)。掃描驅動器130施加寫入啟用電壓至掃描線互連件131。資料驅動器132施加資料電壓至資料互連件133。

在顯示器裝置之一些實施中，資料驅動器132能夠將類比資料電壓提供至顯示元件陣列150，尤其在影像之明度位準將以類比方式導出之情況下。在類比操作中，顯示元件經設計，使得當經由資料互連件133施加一系列中間電壓時，在所得影像中產生一系列中間照明狀態或明度位準。在一些其他實施中，資料驅動器132能夠施加數位電壓位準之縮減集合(諸如2、3或4個)至資料互連件133。在顯示元件為基於快門之光調變器(諸如圖1A中所示光調變器102)的實施中，此等電壓位準經設計來以數位方式設定快門108中之每一者的敞開狀態、關閉狀態或其他離散狀態。在一些實施中，驅動器能夠在類比與數位模式之間切換。

掃描驅動器130及資料驅動器132連接至數位控制器電路134(亦被稱作控制器134)。控制器134以主要串列方式發送按順序組織(在一些實施中，其可經預定)、按列及按影像圖框分組之資料至資料驅動器132。資料驅動器132可包括串列至並列資料轉換器、位準移位及(用於一些應用)數位至類比電壓轉換器。

顯示器裝置視情況包括一組共同驅動器138，亦被稱作共同電壓源。在一些實施中，共同驅動器138提供DC共同電位至顯示元件陣列150內的所有顯示元件，例如，藉由供應電壓至一系列共同互連件139。在一些其他實施中，共同驅動器138按照來自控制器134之命令發出電壓脈衝或信號至顯示元件陣列150，該等電壓脈衝或信號為(例如)能夠驅動及/或起始陣列之多個列及行中的所有顯示元件之同時致動的全域致動脈衝。

用於不同顯示器功能之驅動器(諸如掃描驅動器130、資料驅動器132及共同驅動器138)中之每一者可由控制器134時間同步化。來自控制器134之計時命令協調經由燈驅動器148對紅燈、綠燈、藍燈及白燈(分別為140、142、144及146)的照明、顯示元件陣列150內的特定列之寫入啟用及定序、自資料驅動器132之電壓輸出及提供顯示元件致動之電壓輸出。在一些實施中，該等燈為發光二極體(LED)。

控制器134判定顯示元件中之每一者可藉以重設至適於新影像104之照明位準的定序或定址方案。可以週期性時間間隔來設定新影像104。舉例而言，對於視訊顯示器，按範圍為10赫茲至300赫茲(Hz)之頻率再新彩色影像或視訊之圖框。在一些實施中，至顯示元件陣列150之影像圖框的設定與燈140、142、144及146之照明同步，使得用一系列交替之色彩(諸如，紅色、綠色、藍色及白色)照明交替影像圖框。每一各別色彩之影像圖框被稱作色彩子圖框。在此方法(被稱作場序色彩方法)中，若彩色子圖框以超過20Hz之頻率交替，則人類視覺系統(HVS)會將交替圖框影像平均化而感知具有廣泛及連續色彩範圍的影像。在一些其他實施中，燈可使用除紅色、綠色、藍色及白色以外的原色。在一些實施中，小於四個或大於四個具有原色之燈可用於顯示器裝置128中。

在一些實施中，在顯示器裝置128經設計用於在敞開與關閉狀態之間數位切換快門(諸如圖1A中所示之快門108)之情況下，控制器134藉由分時灰度之方法形成影像。在一些其他實施中，顯示器裝置128可經由使用每一像素多個顯示元件提供灰度。

在一些實施中，影像狀態之資料係由控制器134藉由個別列(亦被稱作掃描線)之順序定址而載入至顯示元件陣列150。對於序列中之每一列或掃描線，掃描驅動器130將寫入啟用電壓施加至用於顯示元件陣列150之彼列的寫入啟用互連件131，且隨後資料驅動器132為陣列之選定列中的每一行供應對應於所要快門狀態之資料電壓。此定址程序可重複直至已對於顯示元件陣列150中的所有列載入資料為止。在一些實施中，用於資料載入之選定列的序列為線性的，在顯示元件陣列150中自頂部至底部進行。在一些其他實施中，選定列之序列為偽隨機的，以便減輕可能的視覺假影。且在一些其他實施中，定序係按區塊組織，其中對於一區塊，用於影像之某一部分的資料經載入至顯示元件陣列150。舉例而言，序列可經實施以按順序定址顯示元件陣列150的每第五列。

在一些實施中，用於將影像資料載入至顯示元件陣列150之定址程序與致動顯示元件的程序在時間上係分開的。在此實施中，顯示元件陣列150可包括用於每一顯示元件之資料記憶體元件，且控制矩陣可包括用於攜載來自共同驅動器138之觸發信號以根據儲存於記憶體元件中之資料來起始顯示元件之同時致動的全域致動互連件。

在一些實施中，顯示元件之陣列150及控制該等顯示元件之控制矩陣可以除矩形列及行以外的組態來配置。舉例而言，可按六邊形陣列或曲線列及行來配置顯示元件。

主機處理器122大體上控制主機器件120之操作。舉例而言，主機處理器122可為用於控制攜帶型電子器件的通用或專用處理器。關於包括於主機器件120中之顯示器裝置128，主機處理器122輸出影像資料以及關於主機器件120之額外資料。此資訊可包括來自環境感測器124之資料(諸如，環境光或溫度)；關於主機器件120之資訊(包括(例如)主機之操作模式或主機器件之電源中剩餘的電力量)；關於影像資料之內容的資訊；關於影像資料之類型的資訊；及/或供顯示器裝置128用於選擇成像模式之指令。

在一些實施中，使用者輸入模組126實現直接或經由主機處理器122傳送使用者的個人偏好至控制器134。在一些實施中，該使用者輸入模組126由軟體控制，在該軟體中使用者輸入個人偏好(例如，色彩、對比度、功率、亮度、內容及其他顯示設定及參數偏好)。在一些其他實施中，使用者輸入模組126係藉由使用者藉以輸入個人偏好之硬體控制。在一些實施中，使用者可經由話音命令、一或多個按鈕、開關或撥號盤或藉由觸控能力輸入此等偏好。至控制器134之複數個資料輸入引導控制器將資料提供至對應於最佳成像特性之各種驅動器130、132、138及148。

環境感測器模組124亦可被包括作為主機器件120之部分。環境感測器模組124可能能夠接收關於周圍環境之資料(諸如，溫度及或環境照明條件)。感測器模組124可經程式化以(例如)區分器件是在室內或辦公室環境中操作、在明亮日光中之戶外環境中操作，還是在夜間室外環境中操作。感測器模組124將此資訊傳達至顯示器控制器134，使得控制器134可回應於周圍環境而使檢視條件最佳化。

圖2A及圖2B展示實例雙致動器快門組合件200之視圖。如圖2A中所描繪之雙致動器快門組合件200在敞開狀態中。圖2B展示處於關閉狀態下之雙致動器快門組合件200。快門組合件200包括在快門206之任一側上的致動器202及204。每一致動器202及204經獨立地控制。第一致動器(快門敞開致動器202)用以敞開快門206。第二相對致動器 (快門關閉致動器204)用以關閉快門206。致動器202及204中之每一者可實施為柔性樑電極致動器。致動器202及204藉由實質上在平行於孔隙層207(快門懸浮於孔隙層之上)之平面中驅動快門206來敞開及關閉快門206。藉由附接於致動器202及204之錨定物208將快門206懸掛於孔隙層207上方之一短距離。使致動器202及204沿快門之移動軸線附接於快門206之相對末端減少了快門206之平面外移動，且將運動實質上限制至平行於基板(未描繪)之平面。

在所描繪之實施中，快門206包括光可通過的兩個快門孔隙212。孔隙層207包括一組三個孔隙209。在圖2A中，快門組合件200在敞開狀態中，因而，快門敞開致動器202已致動，快門關閉致動器204在其鬆弛位置中，且快門孔隙212之中心線與孔隙層孔隙209中之兩者之中心線一致。在圖2B中，快門組合件200已移動至關閉狀態，且因而快門敞開致動器202在其鬆弛位置中，快門關閉致動器204已致動，且快門206之光阻擋部分現在在位置中以阻擋光透射穿過孔隙209(描繪為點線)。

每一孔隙具有圍繞其周邊之至少一個邊緣。舉例而言，矩形孔隙209具有四個邊緣。在圓形、橢圓形、卵形或其他曲線型孔隙形成於孔隙層207中之一些實施中，每一孔隙可僅具有單一邊緣。在一些其他實施中，孔隙不需要分開或在數學意義上不相交，而取而代之，可經連接。換言之，雖然孔隙之部分或成形區段可維持與每一快門之對應性，但此等區段中之若干者可經連接以使得孔隙之單一連續周邊由多個快門共用。

為了使得具有多種出射角之光穿過在敞開狀態中之孔隙212及209，快門孔隙212之寬度或大小可經設計成大於孔隙層207中之孔隙209之對應寬度或大小。為了在關閉狀態中有效阻擋光逸出，快門206之光阻擋部分可經設計以重疊孔隙209之邊緣。圖2B展示在一些實施中可經預定義的在快門206中之光阻擋部分之邊緣與形成於孔隙層207中之孔隙209的一邊緣之間的重疊216。

靜電致動器202及204經設計以使得其電壓位移行為對快門組合件200提供雙穩態特性。對於快門敞開致動器及快門關閉致動器中之每一者，存在低於致動電壓之一系列電壓，其若在彼致動器處於閉合狀態(其中快門敞開或關閉)時施加，則將保持致動器關閉及快門處於適當位置中，甚至在將驅動電壓施加至相對致動器後亦如此。與此反作用力相抵維持快門之位置所需的最小電壓被稱作維持電壓V_m。

在一些實施中，在用以形成快門組合件200之材料沈積及蝕刻期間產生的固有應力可使快門自其所需組態變形。快門之不合要求的變形轉而可產生快門組合件之非所要操作。在一些實施中，肋可被引入於快門中以減輕快門之變形。

圖3及圖4展示包括具有肋之快門402的實例快門組合件400的兩個視圖。詳言之，圖3展示實例快門組合件400之俯視圖，且圖4展示沿圖3中所描繪之虛線B-B'的圖3中所示之實例快門組合件400的快門402之橫截面圖。

如上所述，圖3展示包括具有肋之快門402的快門組合件400的俯視圖。詳言之，圖3中所示之快門402包括第一肋404a及第二肋404b。快門組合件400包括位於快門402之任一側上的第一致動器406及相對的第二致動器408。第一致動器406及第二致動器408可在形成於形成有快門組合件400之基板上及/或形成於一相對基板上的光阻擋層中的一或多個孔隙(未圖示)上將快門402定位於敞開及關閉狀態中。第一及第二致動器406及408中之每一者可使用柔性樑電極來實施。舉例而言，第一及第二致動器406及408中之每一者可包括負載樑電極410，其中一端附接至快門402，且另一端附接至負載錨定物412。第一及第二致動器406及408中之每一者亦可包括附接至驅動錨定物416之環形驅動樑414。

第一及第二致動器406及408中之每一者可藉由施加適當電壓至其各別柔性樑來個別控制。第一及第二致動器406及408中之一者可用作將快門402定位於敞開狀態中的敞開致動器，而第一及第二致動器406及408中之另一者可用作將快門402定位於關閉狀態中的關閉致動器。第一及第二致動器406及408可在實質上平行於基板之平面上移動快門404，其中該快門組合件形成於該基板上。舉例而言，第一及第二致動器406及408可在由圖3中標記有「A」之箭頭所指示的方向上移動快門402。

快門402可包括一開口418，該開口沿快門402之一維度(其垂直於快門402之運動方向)延伸。在敞開狀態中，快門402經定位使得開口418實質上與光阻擋層中的孔隙對準。在一些實施中，在敞開狀態中，在快門402旁可露出另一孔隙。

如上所述，快門402包括第一肋404a及第二肋404b，以改良快門402之機械性質且減輕快門變形。第一肋404a及第二肋404b可各沿開口418之長度延伸。在一些實施中，快門402可包括額外的肋。舉例而言，在一些實施中，快門402可包括沿開口418之廣度的肋。在一些實施中，快門402可包括平行於或垂直於第一及第二肋404a及404b中之一或兩者的額外的肋。

圖4展示沿圖3中所示之橫截面線B-B'的快門組合件400之快門402的橫截面圖。詳言之，橫截面圖展示自快門402之平面(舉例而言，自圖3之頁面的平面)向著形成有快門之基板凸起的第一及第二肋404a及404b。橫截面圖亦相對於由標記有「A」之箭頭所指示的快門402之運動方向展示第一及第二肋404a及404b。具體而言，第一及第二肋404a及404b實質上垂直於快門402之運動方向。

在一些實施中，快門組合件400定位於一腔內，該腔由形成有快門組合件400之基板及與該基板相對之另一基板形成。該腔可充滿流體且隨後密封。在一些實施中，流體可部分或完全地圍繞快門組合件400。在一些實施中，該流體可充當顯示器件內的潤滑劑、絕緣體或光折射組件。流體可包括液體或氣體。在一些實施中，可提供具有低黏度、低摩擦係數、高介電常數及高折射率之液體。流體之實例包括(不限於)去離子水、油、甲醇、乙醇及其他醇類、石蠟、烯烴、醚、聚矽氧油、酮類、氟化聚矽氧油、氟化酮、氟化醚，或其他天然或合成溶劑或潤滑劑。

雖然流體可提供上述若干益處，但在一些實施中，流體可能不合要求地影響具有第一及第二肋404a及404b之快門402的動態特性。如圖4中所示，第一及第二肋404a及404b經定位使得其自快門402之平面凸起。因此，當浸沒於流體中之快門402在藉由標記有「A」之箭頭所指示的方向上移動時，快門之移動受到流體中凸起的第一及第二肋404a及404b阻礙。因此，流體對快門402之運動具有阻尼效應。在一些實施中，流體對快門402之阻尼效應可降低快門402之操作速度。在一些實施中，可必須增加被提供至第一及第二致動器406及408之致動電壓，以補償歸因於流體之該阻尼效應的快門402之操作速度的降低。致動電壓之提高轉而可能導致顯示器件之功率消耗提高。

如下文進一步詳細論述，快門402上的肋可按照使因肋與流體之相互作用而對快門402之運動產生的阻尼減少的方式進行組態。

以下論述揭示具有斷裂肋之快門組合件。詳言之，圖5A至圖10展示包括具有斷裂肋之快門的快門組合件之各種實例實施的各種視圖。圖11展示用於形成包括具有斷裂肋之快門的快門組合件的實例方法。圖12A至圖12C展示使用圖11中所示之程序製造快門組合件的實例階段。

圖5A至圖5C展示包括具有斷裂肋之快門502的實例快門組合件 500的各種視圖。具體而言，圖5A展示包括具有斷裂肋之快門502的快門組合件500的俯視圖。快門組合件500類似於圖3中所示之快門組合件400。然而，雖然圖3中之快門402包括連續肋，但圖5A中所示之快門組合件500的快門502包括斷裂肋。快門組合件500以類似於關於圖3中所示之快門組合件400而描述的方式發揮作用。快門502包括兩組斷裂肋：第一組斷裂肋504a及第二組斷裂肋504b。第一組及第二組斷裂肋504a及504b形成於開口418之任一側上，其中該開口418穿過快門502而形成。在一些實施中，第一組及第二組斷裂肋504a及504b中之每一者可包括兩個以上斷裂肋。

第一組及第二組斷裂肋504a及504b係沿開口418之長度(或縱向維度)而形成。第一組斷裂肋504a及第二組斷裂肋504b兩者均包括相鄰肋之間的間隙。在快門502於箭頭A所指示之方向上的運動期間，肋之間的間隙提供一路徑(由標記有「C」之箭頭指示)以供流體流動。藉由允許流體於肋之間流動，流體對快門502之阻尼效應減少。因此，對於一給定致動電壓，快門502的操作速度可相比於(例如)圖3中所示之快門402(其具有連續肋404a及404b)增大。

圖5B及圖5C展示快門502之額外視圖。具體而言，圖5B展示來自第一組斷裂肋504a或第二組斷裂肋504b之兩個相鄰肋550的展開俯視圖，而圖5C展示在由標記有「D」之箭頭所指示的方向中觀察到的快門502之側視圖。參考圖5B及圖5C，每一肋550具有：介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約1微米至約40微米之間)的長度L₁；介於約0.5微米與約50微米(諸如約1微米至約25微米之間)的寬度W₁；及介於約0.1微米與約50微米(諸如約1微米與約25微米之間)的深度D₁。肋550由間隙G₁分隔開，該間隙為介於約0.5微米與約30微米之間(諸如介於約1微米至約20微米之間)，其提供一路徑以供流體於肋550之間流動。

在一些實施中，第一組肋504a及504b中之一或兩者可包括具有不等尺寸之至少兩個肋。在一些實施中，第一組肋504a及504b中之一或兩者可包括至少兩個相鄰肋，其由不等於分隔開任何其他兩個相鄰肋之間隙的一間隙分隔開。

圖6A至圖6C展示具有斷裂肋之實例快門602的各種視圖。具體而言，圖6A展示具有第一組交錯肋604a及第二組交錯肋604b之實例快門602的俯視圖。可利用圖6A中所示之快門602來代替圖3中所示之快門組合件400中的快門402，或代替圖5A中所示之快門組合件500中的快門502。

第一及第二組交錯肋604a及604b中之每一者包括兩列斷裂肋，其中一列中之肋相對於另一列中之肋偏移。每一列包括兩個以上肋。此外，每一列中之兩個相鄰肋被分隔開以形成一間隙。歸因於一列中之肋相對於另一列中之肋的位置偏移，第一及第二組交錯肋604a及604b並未提供穿過間隙跨過快門602的直線路徑。舉例而言，標記有「E」之箭頭展示穿過第一列中之肋之間的間隙的直線與第二列中之至少一肋交叉。在一些實施中，不提供跨過快門的在間隙之間的直線路徑可減少快門沿平行於快門602之運動方向的軸線彎曲或變形的風險，由此改良對快門602之變形的抵抗性。

圖6B展示圖6A中所示之快門600之複數個肋的展開視圖。詳言之，圖6B展示圖6A中所示之邊界660內的肋之展開視圖。圖6B展示分別來自第二組交錯肋604b之第一列及第二列的肋650及652。圖6C展示在由標記有「F」之箭頭所指示的方向(亦即，快門602之運動方向)上觀察到的圖6A中所示之快門602的側視圖。如圖6B及圖6C中所示，每一肋650及652具有：介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約1微米至約40微米之間)的長度L₂；介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約1微米至約25微米之間)的寬度W₂；及介於約0.1微米與約50微米之間(諸如約1微米與約40微米之間)的深度D₂。兩個相鄰肋650由介於約0.5 微米與約50微米之間(諸如約1微米至約20微米之間)的間隙G₂分隔開。當沿快門602之運動方向觀察時，形成於第二組交錯肋604b之一列中的肋652之間的間隙被第二組交錯肋604b之另一列中的肋650阻擋。類似地，形成於第二組交錯肋604b之一列中的肋650之間的間隙被第二組交錯肋604b之另一列中的肋652阻擋。因此，沿快門602之運動方向的所有線(除快門602之邊緣附近之外)穿過交錯肋650或652中之至少一者。在以另一方式觀察的情況下，沿快門602之運動方嚮導引且與開口418交叉的與快門602共面之任何線穿過交錯肋650或652中之至少一者。

如上所述，不提供跨過快門的在間隙之間的直線路徑可降低快門沿此線彎曲或變形的風險，由此改良快門602之機械穩定性。在一些實施中，肋650及652經大小設定且經隔開，使得除實質上垂直於快門之運動方向的彼等之外的直線無法在不交叉肋650或652的情況下穿過快門(除在其邊緣處之外)，此消除額外的可能彎曲軸線。在一些實施中，肋650及652經大小設定且經隔開，使得與快門共面且穿過肋650之間的間隙的任何直線與肋652交叉。在以另一方式觀察的情況下，與快門共面且穿過肋652之間的間隙的任何直線與肋650交叉。

在一些實施中，第一組交錯肋604a及第二組交錯肋604b中之一或兩者可包括兩列以上肋。在一些實施中，第一及第二組交錯肋604a及604b之每一列中的肋可相對於相鄰列中之肋發生位置偏移。在一些實施中，一列肋中之至少兩個肋的尺寸可不等。在一些實施中，一列中之肋的尺寸可不同於另一列中之肋的尺寸。

圖7A及圖7B展示具有成角度之肋的實例快門702的各種視圖。具體而言，圖7A展示具有成角度之肋的實例快門702的俯視圖。快門702包括第一組成角度之肋704a及第二組成角度之肋704b。可利用快門702來代替圖3中所示之快門組合件400中的快門402，或代替圖5A 中所示之快門組合件500中的快門502。第一組及第二組成角度之肋704a及704b形成於開口418之任一側上。第一及第二組成角度之肋704a及704b中之每一者包括相對於開口418之較長邊緣形成一角的肋。在一些實施中，由第一組成角度之肋704a中的成角度之肋形成的角與由第二組成角度之肋704b中的成角度之肋形成的角可為關於平行於開口418的長度的軸線之鏡像。在一些實施中，該等成角度之肋由一間隙分隔開。在一些實施中，第一組及第二組成角度之肋704a及704b中之每一者可包括兩個以上成角度之肋。

圖7B展示圖7A中所示之邊界760內的兩個相鄰成角度之肋750的展開俯視圖。成角度之肋750包括實質上垂直於快門702的運動方向的前邊緣770。成角度之肋750與開口418之邊緣形成一角θ₃。相鄰的成角度之肋750包括：介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約2微米至約25微米之間)的長度L₃；介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約2微米至約25微米之間)的寬度W₃；介於約0.5微米與約50微米之間(諸如約2微米至約25微米之間)的沿平行於快門702之運動方向之維度的投影長度Y₃；且界定介於約0.5微米與約30微米之間(諸如約2微米至約20微米之間)的間隙G₃。相鄰成角度之肋750經定位使得肋750之部分在垂直於快門702之運動方向的方向上重疊介於約0.5微米與約20微米(諸如約2微米至約10微米之間)的距離O₃。相鄰成角度之肋750經定位使得平行於快門702之運動方向且穿過成角度之肋750之間的間隙的任何線(諸如標記有「G」之線)與兩個相鄰成角度之肋750中之至少一者的至少一邊緣交叉。

在一些實施中，第一組及第二組成角度之肋704a及704b中之一或兩者可包括一個以上列的成角度之肋。在一些實施中，第一組或第二組成角度之肋704a及704b內的至少一成角度之肋的尺寸可不同於另一成角度之肋的尺寸。

圖8A及圖8B展示具有成角度之肋的實例快門802的各種視圖。詳言之，圖8A展示具有成角度之肋之實例快門802的俯視圖。快門802包括相對於快門802之邊緣成角度或傾斜的肋。此外，肋之前邊緣並非垂直於快門802之運動方向。可利用圖8A中所示之快門802來代替圖3中所示之快門組合件400中的快門402，或代替圖5A中所示之快門組合件500中的快門502。

快門802包括第一組成角度之肋804a及第二組成角度之肋804b。第一及第二組成角度之肋804a及804b形成於開口418之任一側上。在一些實施中，由第一組成角度之肋804a中的成角度之肋所形成的角與由第二組成角度之肋804b中的成角度之肋所形成的角為關於平行於開口418之長度的軸線的鏡像。在一些實施中，第一組成角度之肋804a具有平行於第二組成角度之肋804b的角。在一些實施中，第一組及第二組成角度之肋804a及804b中之每一者可包括兩個以上成角度之肋。

圖8B展示圖8A中所示之邊界860內的兩個相鄰的成角度之肋850的展開俯視圖。成角度之肋850包括前邊緣870，其亦與快門802之前邊緣形成一角。角前邊緣870與圖7B中所示的成角度之肋750的前邊緣770形成對比，該前邊緣770平行於快門702之前邊緣。成角度之肋850具有寬度W₄及長度L₄。相鄰成角度之肋850界定其相鄰邊緣之間的間隙G₄，該間隙介於約0.5微米與約30微米之間(諸如約2微米至約20微米之間)。相鄰的成角度之肋850經定位使得其重疊介於約0.5微米與約20微米之間(諸如約2微米至約10微米之間)的一距離O₄。在一些實施中，相鄰的成角度之肋850之間的重疊不允許存在穿過成角度之肋850之間的間隙的一直線路徑。舉例而言，實質上平行於快門802之運動方向的標記有「J」之箭頭與兩個相鄰的成角度之肋中之任一者的至少一邊緣交叉。如上所述，不提供穿過間隙且跨過快門之直線路徑可改良快門802之機械穩定性。在一些實施中，相鄰的成角度之肋850可被定位成不重疊，且提供穿過間隙之直線路徑。

在一些實施中，成角度之肋850包括沿平行於快門702之運動方向的一維度的投影高度Y₄。該投影高度Y₄可為可用於形成成角度之肋830的快門802之邊緣與開口418之邊緣之間的最大距離(Y_rib)之函數。在一些實施中，Y₄=Y_rib-2微米(Y₄可介於約3至約14微米之間)。在一些實施中，成角度之肋850的寬度W₄的範圍可為約3微米至約由表達式Y₄/sin(θ₄)所判定的一值。在一些實施中，間隙G₄可具有介於約3微米與約一值(其為成角度之肋850之寬度W₄的兩倍)之間的值。在一些實施中，可使用表達式Y ₄/sin(90°-θ ₄)-(W ₄．sinθ ₄)來判定成角度之肋的長度L₄。在一些實施中，角θ₄的值之範圍可介於約0度與約60度之間。在一些實施中，角θ₄可具有約45度之值。

圖9展示具有非重疊肋之實例快門902的俯視圖。可利用快門902來代替圖3中所示之快門組合件400中的快門402，或代替圖5A中所示之快門組合件500中的快門502。圖9展示包括第一組成角度之肋904a及第二組成角度之肋904b的快門902。第一組及第二組成角度之肋904a及904b包括類似於圖8A中所示之第一及第二組成角度之肋804a及804b中的彼等的成角度之肋。然而，第一及第二組成角度之肋904a及904b中的肋並不重疊。此產生穿過相鄰肋之間的間隙的一直線路徑，如標記有「L」之箭頭所示。此直線路徑導致作用於快門902上的流體阻尼相比於圖5A、圖6A、圖7A及圖8A中所示之快門502、602、702及802的進一步減少。在一些實施中，第一組及第二組成角度之肋904a及904b中之每一者可包括兩個以上成角度之肋。

圖10展示具有橢圓狀肋之實例快門1002的俯視圖。可利用快門1002來代替圖3中所示之快門組合件400中的快門402，或代替圖5A中所示之快門組合件500中的快門502。圖10展示包括第一組成角度之橢圓肋及第二組成角度之橢圓肋1004b的快門1004a。相比於圖8A中所示的實質上矩形狀之肋850，第一組及第二組橢圓肋可包括橢圓狀之肋。橢圓狀之肋的長軸可與快門1002之前邊緣形成一角θ₅。在一些實施中，θ₅可以在約0°至約60°(諸如約45°)的範圍內。橢圓狀肋可形成為包括相鄰的橢圓狀肋之間的間隙。在一些實施中，橢圓狀肋可經定位，使得存在穿過相鄰的橢圓狀肋之間的間隙的直線路徑。舉例而言，標記有「M」之箭頭指示兩個相鄰的橢圓狀肋之間的直線路徑。在一些實施中，橢圓狀肋被隔開得較靠近，以提供某程度之重疊，從而消除任何此直線路徑。在一些實施中，亦可利用具有其他形狀之肋，例如環狀、三角形等。

圖11展示用於形成快門組合件之實例程序1100的流程圖。詳言之，程序1100可用於形成包括圖5A至圖10中所示的具有複數個肋之快門的快門組合件。

圖12A至圖12C展示製造快門組合件之實例階段。詳言之，圖12A及圖12B展示模具之圖案化以促進在快門中形成肋的結果，而圖12C展示沈積於圖12B中所示之模具上的快門材料之圖案化的結果。下文關於程序1100進一步論述圖12A至圖12C中所示之製造階段結果。

程序1100包括：提供一基板(階段1102)；於該基板上形成一模具，該模具具有實質上垂直於該基板之側壁、實質上平行於該基板之一頂表面及一底表面，及至少三個突起(階段1104)；將快門材料沈積於模具上，包括沈積於至少三個突起上(階段1106)；及圖案化該快門材料以形成一快門，該快門具有一開口及沿快門之表面對準的至少三個凹口，其中該至少三個凹口之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙(階段1108)。

程序1100包括提供一基板(階段1102)。此程序階段之結果的一實例被展示於圖12A及圖12B中。舉例而言，圖12A及圖12B分別展示基板1202及1252，其中每一者經提供用於形成各別快門組合件。在一些實施中，基板1202及1252可為(例如)由玻璃或塑膠製成的透明基板。

程序1100亦包括在基板上形成一模具，該模具具有實質上垂直於該基板之側壁、實質上平行於該基板之一頂表面及一底表面，及至少三個突起(階段1104)。此程序階段之結果的一實例展示於圖12A中。具體而言，圖12A展示形成於基板1202上方的模具1208。模具包括第一犧牲層1204及已在第一犧牲層1204上進行沈積及圖案化的第二犧牲層1206。模具包括頂表面1210及側壁1212及1214。頂表面1210實質上平行於基板1202，而側壁1212及1214實質上垂直於基板1202。側壁1212及1214可用以形成用於致動器之柔性樑電極。舉例而言，側壁1212可用以形成圖5A中所示之負載樑410。類似地，側壁1214可用以形成諸如圖5A中所示之驅動樑414的柔性環形驅動樑。

如下文所論述，頂表面1210可用以形成具有一開口及若干肋之快門。為促進肋之形成，第二犧牲層1206可經圖案化以在模具1208中形成突起。具體而言，該等突起可自模具1208之頂表面1210的平面延伸出且向著基板1202延伸。舉例而言，如圖12A中所示，此等突起在模具1208中呈腔1216之形式。在一些實施中，第二犧牲層1206可經蝕刻或光圖案化以形成腔1216。圖12A中所示之腔1216實質上係矩形的，且可用以形成(例如)圖5A中所示之第一組肋504a及第二組肋504b。然而，腔1216可基於併入至快門中之肋的所需大小及形狀而以適當方式進行大小及形狀設定。舉例而言，腔1216可在一角度下形成，使得當肋形成於腔1216中時，肋在一角度下與形成於快門中之開口的一長邊緣對準。大體而言，腔1216可經形狀及大小設定以形成如上文關於圖5A至圖10所論述之肋中的任一者。

用作第一及第二犧牲材料1204及1206的材料可包括聚醯亞胺。其他候選犧牲層材料包括(但不限於)聚合物材料，諸如含氟聚合物、苯并環丁烯、聚苯喹啉二甲苯、聚對二甲苯或聚降冰片烯。該等材料係由於其平坦化粗糙表面、在超過250℃之處理溫度下維持機械完整性之能力以及其在移除期間之蝕刻及/或熱分解之容易性而被選擇。在其他實施中，犧牲層1204及/或1206由光阻形成，諸如聚乙酸乙烯酯、聚乙烯，及酚系或酚醛樹脂。在一些實施中使用之替代性犧牲層材料為二氧化矽(SiO₂)，只要其他電子層或結構層對用於移除該犧牲層材料之氫氟酸溶液具有抗性，就可優先移除該犧牲層材料。一種此合適的抵抗性材料為氮化矽。另一替代性犧牲層材料為矽(Si)，只要電子或結構層對用於移除矽之氟電漿或二氟化氙(XeF₂)具有抗性(諸如大部分金屬及氮化矽)，就可優先移除矽。又另一替代犧牲層材料為鋁(Al)，只要其他電子層或結構層對強鹼溶液(諸如，濃縮之氫氧化鈉(NaOH)溶液)具有抗性，就可優先移除鋁。合適的材料包括(例如)鉻(Cr)、鎳(Ni)、鉬(Mo)、鉭(Ta)及Si。另一替代犧牲層材料為銅(Cu)，只要其他電子層或結構層對硝酸或硫酸溶液具有抗性，就可優先移除銅。此等材料包括(例如)Cr、Ni及Si。

程序階段1104之結果的另一實例展示於圖12B中。圖12B展示快門組合件之形成階段的一橫截面。舉例而言，圖12B中所示之橫截面可表示沿橫截面線N-N'的圖5A中所示之快門組合件500之形成的橫截面。圖12B展示形成於基板1252上方的模具1260。模具1260包括在基板1252上方進行沈積及圖案化的第一犧牲層1254，且包括錨定物開口1256以促進錨定物之形成。第二犧牲層1258在第一犧牲層1254上方進行沈積及圖案化。第二犧牲層1258經圖案化以維持錨定物開口1256。模具1260進一步包括側壁1262以促進柔性驅動與負載樑之形成。模具1260亦包括底表面1264(在一些實施中，該底表面可為在第二犧牲層1258之蝕刻之後所曝露的第一犧牲層1254之頂表面)，在該底表面上方可形成具有肋之快門。

為促進肋之形成，第二犧牲層1258可經圖案化以在模具1260中形成突起。具體而言，該等突起可自模具1260之底表面1264的平面延伸出且遠離基板1252。舉例而言，如圖12B中所示，此等突起呈模具1260中的支柱1266的形式。在一些實施中，支柱1266可為實質上矩形的，且可用以形成(例如)圖5A中所示之第一組肋504a及第二組肋504b。然而，支柱1266可基於肋之所要大小及形狀而具有適當大小。第一及第二犧牲層1254及1258的材料及形成及圖案化方法可類似於如上文關於圖12A所論述之模具1208的第一及第二犧牲層1204及1206之形成及圖案化中所用的彼等。

程序進一步包括將快門材料沈積於包括至少三個突起之模具上方(階段1106)。快門材料之沈積可包括一或多個機械層、傳導層及介電層之沈積。該等機械層中之至少一者可經沈積至超過0.15微米之厚度，因為該等機械層中之一或兩者充當快門組合件之主要承載及機械致動部件，但在一些實施中，該等機械層可較薄。用於機械層之候選材料包括(但不限於)：金屬，諸如Al、Cu、Ni、Cr、Mo、鈦(Ti)、Ta、鈮(Nb)、釹(Nd)、或其合金；介電材料，諸如氧化鋁(Al₂O₃)、SiO₂、五氧化鉭(Ta₂O₅)，或氮化矽；或半導電材料，諸如類金剛石碳、Si、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、碲化鎘(CdTe)、或其合金。該等層中之至少一者(諸如，導體層)應為導電的，以便將電荷載送至致動元件及載送離開致動元件。候選材料包括(但不限於)Al、Cu、Ni、Cr、Mo、Ti、Ta、Nb、Nd或其合金，或半導電材料(諸如，類金剛石碳、Si、Ge、GaAs、CdTe或其合金)。在使用半導體層之一些實施中，半導體摻雜有諸如磷(P)、砷(As)、硼(B)或Al之雜質。

在一些實施中，快門組合件中之層的次序可倒置，使得快門組合件之一或多個外層由一導體層形成，而快門組合件之一或多個內層由一機械層形成。在一些實施中，快門組合件包括一導體層及一機械層。快門材料經沈積至小於約2微米之厚度。在一些實施中，快門材料經沈積以具有小於約1.5微米之厚度。在一些其他實施中，快門材料經沈積以具有小於約1.0微米之厚度且最薄約為0.10微米。

快門材料可沈積於圖12A中所示之模具1208的上方，使得快門材料沈積於模具1208之所有曝露表面上方。類似地，快門材料可沈積於圖12B中所示之模具1260上方，使得快門材料沈積於模具1260之所有曝露表面上方。在一些實施中，快門材料可使用諸如(不限於)化學氣相沈積、濺鍍及蒸發之沈積技術來沈積。

程序1100亦包括圖案化快門材料以形成一快門，該快門具有一開口及沿快門之表面對準的至少三個凹口，該至少三個凹口之任何兩個相鄰凹口於其間界定一間隙(階段1108)。此程序階段之一實例展示於圖12C中。舉例而言，12C展示圖12B中所示之模具1260上方的快門材料之沈積及圖案化的結果。快門材料經圖案化以形成快門1270。快門1270包括一開口1272及位於開口1272之任一側上的肋或凹口1274。肋1274形成於圖12B中所示之模具1260的支柱1266上方。舉例而言，快門1270可類似於圖5A中所示之快門502，其中開口1272可表示開口418且肋1274可表示位於開口418之任一側上的第一組肋504a及第二組肋504b。圖12C亦展示錨定物開口1256內的錨定物1276之形成及形成於圖12B中所示之模具1260之側壁上方的柔性樑1278。以一類似方式，可藉由將快門材料沈積且圖案化於圖12A中所示之模具1208上方而形成具有肋之快門。

在一些實施中，可藉由首先沈積且圖案化一蝕刻遮罩，接著蝕刻快門材料以形成包括具有至少三個肋之快門的快門組合件(藉由各向異性地蝕刻快門材料)，來將沈積於模具1260(或圖12A中所示之模具1208)上方之快門材料圖案化。在一些實施中，快門材料之各向異性蝕刻可繼之以各向同性蝕刻步驟。

在一些實施中，快門材料之圖案化可繼之以一脫模步驟，其中移除包括第一及第二犧牲層(諸如圖12C中所示之第一及第二犧牲層1254及1258)的模具。模具之移除將所有活動部件自基板釋放，但在錨定點(諸如圖12C中所示之錨定物1276)處除外。在一些實施中，在氧電漿中移除聚醯亞胺犧牲材料。用於犧牲層之其他聚合物材料亦可在氧電漿中經移除，或在一些情況下藉由熱解移除。一些犧牲層材料(諸如SiO₂)可藉由濕式化學蝕刻或藉由氣相蝕刻移除。

圖13A及圖13B展示包括複數個顯示元件之實例顯示器件40的系統方塊圖。顯示器件40可為(例如)智慧型手機、蜂巢式或行動電話。然而，顯示器件40之相同組件或其略微變化亦說明各種類型之顯示器件，諸如電視、電腦、平板電腦、電子閱讀器、手持型器件及攜帶型媒體器件。

顯示器件40包括外殼41、顯示器30、天線43、揚聲器45、輸入器件48及麥克風46。外殼41可由多種製造程序中之任一者形成，製造程序包括射出模製及真空成型。此外，外殼41可由多種材料中之任一者製成，多種材料包括(但不限於)：塑膠、金屬、玻璃、橡膠及陶瓷或其組合。外殼41可包括可與不同色彩或含有不同標誌、圖片或符號之其他可移除部分互換的可移除部分(圖中未展示)。

顯示器30可為如本文所描述之多種顯示器中之任一者，包括雙穩態或類比顯示器。顯示器30亦能夠包括平板顯示器(諸如，電漿、電致發光(EL)顯示器、OLED、超扭轉向列(STN)顯示器、LCD或薄膜電晶體(TFT)LCD)，或非平板顯示器(諸如，陰極射線管(CRT)或其他管式器件)。另外，顯示器30可包括如本文所描述之基於機械光調變器之顯示器。

顯示器件40之組件示意性地說明於圖13B中。顯示器件40包括外殼41，且可包括至少部分圍封於外殼中之額外組件。舉例而言，顯示器件40包括網路介面27，網路介面27包括可耦接至收發器47之天線43。網路介面27可為可在顯示器件40上顯示之影像資料的源。因此，網路介面27為影像源模組之一實例，但處理器21及輸入器件48亦可充當影像源模組。收發器47連接至處理器21，該處理器連接至調節硬體52。調節硬體52可經組態以調節信號(諸如濾波或以其他方式操縱信號)。調節硬體52可連接至揚聲器45及麥克風46。處理器21亦可連接至輸入器件48及驅動器控制器29。驅動器控制器29可耦接至圖框緩衝器28，且耦接至陣列驅動器22，該陣列驅動器又可耦接至顯示器陣列30。顯示器件40中之一或多個元件(包括未在圖13A中具體描繪之元件)能夠充當記憶體器件且能夠與處理器21通信。在一些實施中，電源供應器50可將電力提供至特定顯示器件40設計中之實質上所有組件。

網路介面27包括天線43及收發器47，使得顯示器件40可經由網路與一或多個器件通信。網路介面27亦可具有減輕(例如)處理器21之資料處理要求的一些處理能力。天線43可傳輸且接收信號。在一些實施中，天線43根據IEEE 16.11標準中之任一者或IEEE 802.11標準中之任一者傳輸且接收RF信號。在一些其他實施中，天線43根據藍芽®標準傳輸及接收RF信號。在蜂巢式電話之情況下，天線43可經設計以接收分碼多重存取(CDMA)、分頻多重存取(FDMA)、分時多重存取(TDMA)、全球行動通信系統(GSM)、GSM/通用封包無線電服務(GPRS)、增強型資料GSM環境(EDGE)、陸上集群無線電(TETRA)、寬頻CDMA(W-CDMA)、演進資料最佳化(EV-DO)、1xEV-DO、EV-DO Rev A、EV-DO Rev B、高速封包存取(HSPA)、高速下行鏈路封包存取(HSDPA)、高速上行鏈路封包存取(HSUPA)、演進型高速封包存取(HSPA+)、長期演進(LTE)、AMPS或用以在無線網路(諸如，利用3G、4G、5G技術或其另外實施之系統)內通信之其他已知信號。收發器47可預先處理自天線43接收之信號，以使得該等信號可由處理器21接收及進一步操縱。收發器47亦可處理自處理器21接收之信號以使得該等信號可自顯示器件40經由天線43傳輸。

在一些實施中，可用接收器替換收發器47。另外，在一些實施中，網路介面27可由影像源替換，影像源可儲存或產生待發送至處理器21之影像資料。處理器21可控制顯示器件40之總體操作。處理器21自網路介面27或影像源接收資料，諸如經壓縮之影像資料，且將資料處理成原始影像資料或處理成可易於處理成原始影像資料之格式。處理器21可發送經處理之資料至驅動器控制器29或至圖框緩衝器28以供儲存。原始資料通常指識別影像內之每一位置處之影像特性的資訊。舉例而言，此等影像特性可包括色彩、飽和度及灰度階。

處理器21可包括微控制器、CPU或邏輯單元以控制顯示器件40之操作。調節硬體52可包括用於將信號傳輸至揚聲器45且用於接收來自麥克風46之信號的放大器及濾波器。調節硬體52可為顯示器件40內之離散組件，或可併入處理器21或其他組件內。

驅動器控制器29可直接自處理器21抑或自圖框緩衝器28獲取由處理器21產生之原始影像資料，且可適當地重新格式化該原始影像資料以用於高速傳輸至陣列驅動器22。在一些實施中，驅動器控制器29可將原始影像資料重新格式化為具有光柵狀格式之資料流，以使得其具有適於跨越顯示器陣列30掃描之時間次序。接著驅動控制器29將經格式化之資訊發送至陣列驅動器22。儘管驅動器控制器29常常作為獨立積體電路(IC)與系統處理器21相關聯，但此等控制器可以諸多方式來實施。舉例而言，控制器可作為硬體嵌入處理器21中、作為軟體嵌入處理器21中，或以硬體形式完全與陣列驅動器22整合。

陣列驅動器22可自驅動器控制器29接收經格式化資訊，且可將視訊資料重新格式化為平行之波形集合，該等波形被每秒許多次地施加至來自顯示器的x-y顯示元件矩陣之數百且有時數千個(或更多)引線。在一些實施中，陣列驅動器22及顯示器陣列30為顯示模組之一部分。在一些實施中，驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯示器陣列30為顯示模組之一部分。

在一些實施中，驅動器控制器29、陣列驅動器22及顯示器陣列30適用於本文所描述之任何類型的顯示器。舉例而言，驅動器控制器29可為習知的顯示器控制器、雙穩態顯示器控制器(諸如，機械光調變器顯示元件控制器)。另外，陣列驅動器22可為習知驅動器或雙穩態顯示器驅動器(諸如，機械光調變器顯示元件控制器)。此外，顯示器陣列30可為習知顯示器陣列或雙穩態顯示器陣列(諸如，包括機械光調變器顯示元件陣列之顯示器)。在一些實施中，驅動器控制器29可與陣列驅動器22整合。此實施可適用於高度整合系統(例如，行動電話、攜帶型電子器件、手錶或小面積顯示器)中。

在一些實施中，輸入裝置48可經組態以允許(例如)使用者控制顯示器件40之操作。輸入器件48可包括小鍵盤(諸如，QWERTY鍵盤或電話小鍵盤)、按鈕、開關、搖臂、觸敏式螢幕、與顯示陣列30整合之觸敏式螢幕或壓敏或熱敏式膜。麥克風46可經組態作為用於顯示器件40之輸入器件。在一些實施中，經由麥克風46之話音命令可用於控制顯示器件40之操作。此外，在一些實施中，話音命令可用於控制顯示器參數及設置。

電源供應器50可包括多種能量儲存器件。舉例而言，電源供應器50可為可再充電電池，諸如，鎳鎘電池或鋰離子電池。在使用可再充電電池之實施中，可再充電電池可為可使用來自(例如)壁式插座或光伏打器件或陣列之電力充電的。或者，可再充電電池可為可無線充電的。電源供應器50亦可為再生能源、電容器或太陽能電池(包括塑膠太陽能電池或太陽能電池漆)。電源供應器50亦可經組態以自壁式插座接收電力。

在一些實施中，控制可程式化性駐留於可位於電子顯示系統中之若干處的驅動器控制器29中。在一些其他實施中，控制可程式化性駐留於陣列驅動器22中。以上所描述之最佳化可實施於任何數目個硬體及/或軟體組件中且以各種組態來實施。

如本文中所使用，談及項目清單「中之至少一者」的片語指彼等項目之任何組合，包括單一成員。作為實例，「a、b或c中之至少一者」意欲涵蓋：a、b、c、a-b、a-c、b-c及a-b-c。

結合本文中所揭示之實施所描述的各種說明性邏輯、邏輯區塊、模組、電路及演算法程序可實施為電子硬體、電腦軟體或兩者之組合。已大體按功能性描述硬體與軟體之互換性，並在上文所描述之各種說明性組件、區塊、模組、電路及程序中說明該互換性。將此功能性實施於硬體抑或軟體中取決於特定應用及強加於整個系統之設計約束。

用以實施結合本文中所揭示之態樣而描述的各種說明性邏輯、邏輯區塊、模組及電路之硬體及資料處理裝置可藉由通用單晶片或多晶片處理器、數位信號處理器(DSP)、特殊應用積體電路(ASIC)、場可程式化閘陣列(FPGA)或其他可程式化邏輯器件、離散閘或電晶體邏輯、離散硬體組件或其經設計以執行本文中所描述之功能的任何組合來實施或執行。通用處理器可為微處理器、或任何習知處理器、控制器、微控制器或狀態機。處理器亦可實施為計算器件之組合，諸如，DSP與微處理器之組合、複數個微處理器、結合DSP核心之一或多個微處理器，或任何其他此組態。在一些實施例中，特定程序及方法可藉由特定於給定功能之電路執行。

在一或多個態樣中，所描述之功能可實施於硬體、數位電子電路、電腦軟體、韌體(包括在此說明書中揭示之結構及其結構等效物) 或其任何組合中。本說明書中所描述之標的物之實施亦可實施為編碼於電腦儲存媒體上以用於供資料處理裝置執行或控制資料處理裝置之操作的一或多個電腦程式(亦即，電腦程式指令之一或多個模組)。

熟習此項技術者可容易地顯而易見對本發明中所描述之實施的各種修改，且在不脫離本發明之精神或範疇的情況下，本文中所定義之一般原理可應用於其他實施。因此，申請專利範圍並不意欲限於本文中所展示之實施，而應符合與本文中揭示之本發明、原理及新穎特徵相一致之最廣泛範疇。

另外，一般熟習此項技術者將容易地瞭解，術語「上部」及「下部」有時為了易於描述圖式而使用，且指示對應於在恰當定向之頁面上的圖式之定向的相對位置，且可能並不反映(例如)如所實施之任何器件的適當定向。

在單獨實施之背景中描述於此說明書中之某些特徵亦可在單一實施中以組合形式實施。相反，在單一實施之背景中所描述之各種特徵亦可分別在多個實施中或以任何合適之子組合實施。此外，儘管上文可能將特徵描述為以某些組合起作用且甚至最初按此來主張，但來自所主張組合之一或多個特徵在一些狀況下可自所述組合刪除，且所主張組合可針對子組合或子組合之變化。

相似地，儘管在圖式中以特定次序來描繪操作，但一般熟習此項技術者將易於認識到，此等操作無需以所示之特定次序或以依序次序執行，或所有所說明操作需經執行以達成合乎需要的結果。另外，圖式可按流程圖之形式示意性地描繪一個以上實例程序。然而，未描繪之其他操作可併入於示意性說明之實例程序中。舉例而言，可在說明之操作中之任一者前、後、同時或之間執行一或多個額外操作。在某些情況下，多任務及並行處理可為有利的。此外，不應將在上述實施中之各種系統組件之分開理解為需要在所有實施中之此分開，且應理解，所描述之程式組件及系統可大體上在單一軟體產品中整合在一起或經封裝至多個軟體產品中。另外，其他實施處於以下申請專利範圍之範疇內。在一些情況下，申請專利範圍中所敍述之動作可以不同次序執行且仍達成所需的結果。