TW201535079A - 用於校準制動輪的座標的方法及用於處理襯底的設備 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及用於校準制動輪的座標的方法及用於處理襯底的設備。根據本發明的示範性實施例，一種用於校準制動輪的座標以校準設置於支架中的多個制動輪的過程開始座標的方法包含：在辨識襯底上的對準標記時理解個別系統座標，所述個別系統座標為制動輪移動構件的座標；通過從所述個別系統座標減去對準襯底座標而計算個別偏移，所述對準襯底座標為所述對準標記的所述襯底上的座標；以及對所述個別偏移及對於每一制動輪所請求的移動請求座標求和以計算每一制動輪的移動校準座標。

Description

用於校準制動輪的座標的方法及用於處理襯底的設備
本發明是有關於用於校準制動輪(headblock)的座標的方法及用於處理襯底的設備，並且更具體而言，是有關於用於校準制動輪的座標的方法及能夠在滴液設備(liquid dropping apparatus)的所述制動輪移動時校準座標的用於處理襯底的設備。
通過使用密封分配器設備(seal dispenser equipment)來接合一對平面型襯底製造平面顯示面板。作為實例描述液晶顯示面板的製造，首先製造其上形成有多個薄膜電晶體及圖元電極的下部襯底及其上形成有濾色器及共同電極的上部電極。接下來，液晶滴落到下部襯底，且將密封劑塗覆於下部襯底的邊緣區。接下來，其上形成有圖元電極的下部襯底的表面及其上形成有共同電極的上部襯底的表面經安置成彼此相對，且接著密封兩個襯底，使其彼此接合，從而製造液晶面板。本文中，例如密封分配器等滴液設備用以塗覆密封劑。通過這樣做，沿著襯底的邊緣外周塗覆密封劑。
同時，在塗覆密封劑的制動輪在密封分配器中移動時，制動輪可能並不準確地移動到實際目標位置。原因在於制動輪歸因於經編碼的誤差、相機測量的誤差、儀器的變形等而移動到實際目標位置之外。因此，密封分配器設備具有被稱作位置偏移的功能。所述功能給出了到設備的軸桿的多達設定量(必要時)的位置偏移以便校準誤差。
然而，相關技術允許操作密封分配器設備以將值直接輸入到指定軸桿。然而，在操作者直接輸入偏移值時，難以即時反映即時設備條件，且因此不可能輸入準確的偏移值。舉例來說，可能並未反映由比例尺在測量時歸因於溫度及濕度的變形而造成的誤差。此外，無論操作者如何直接輸入偏移值，可僅在設備的設置及維護期間輸入偏移值。結果，存在可能在設備的操作期間並未即時反映偏移值的問題。
[相關技術文獻]
[專利文獻]
(專利文獻1)韓國專利特許公開公布第10-2013-0051881號。
本發明提供一種用於將滴液設備的制動輪傳送到準確座標的襯底處理設備。本發明更提供一種用於計算滴液設備的每一制動輪的單獨偏移及用於在設備的操作期間即時反映偏移的襯底處理設備。
根據本發明的示範性實施例，一種用於校準制動輪的座 標以校準設置於支架(gantry)中的多個制動輪的過程開始座標的方法包含：在辨識襯底上的對準標記時理解個別系統座標，所述個別系統座標為制動輪移動構件的座標；通過從所述個別系統座標減去對準襯底座標而計算個別偏移，所述對準襯底座標為所述對準標記的所述襯底上的座標；以及對所述個別偏移及對於每一制動輪所請求的移動請求座標求和以計算每一制動輪的移動校準座標。
每一制動輪的所述個別系統座標的計算可包含：在視覺相機(vision camera)辨識所述襯底的拐角時將所述制動輪移動構件的座標值設定為參考座標；在所述視覺相機辨識所述襯底上的所述對準標記時將所述制動輪移動構件的所述座標值設定為對準系統座標；將所述視覺相機與設定的參考相機之間的間隔距離計算為相機座標；以及使用所述參考座標、所述對準系統座標及所述相機座標計算每一制動輪的所述個別系統座標。
在所述個別系統座標的所述計算中，可通過從所述對準系統座標減去所述參考座標及所述相機座標來計算所述個別系統座標。
所述參考相機可為設置於首先定位於所述支架的軸上的所述制動輪處的視覺相機。
在所述移動校準座標的所述計算中，可分別對所述個別偏移及設定的過程開始座標求和以計算每一制動輪的過程開始校準座標，且使每一制動輪移動到所述過程開始校準座標。
可使所述襯底對準以使所述襯底的邊緣的表面與所述支架的縱軸彼此平行，且接著可計算每一制動輪的所述個別系統座 標。
對於所述襯底上的象限，可以交叉形式逐個地形成所述對準標記。
根據本發明的另一個示範性實施例，一種用於處理襯底的設備包含：其上安放所述襯底的平臺(stage)；安置在所述平臺上的支架；固定地安裝在所述支架上且經安置成彼此間隔開的多個制動輪，所述多個制動輪是在一個方向上列出；多個排放單元，其安置於所述多個制動輪之下且在一個方向上彼此間隔開以將液體排放到所述襯底；支架移動單元，其安置於所述平臺上以使所述支架在Y軸方向上水平地移動；以及制動輪移動單元，其在辨識所述襯底上的所述對準標記時算出每一制動輪的為所述制動輪移動單元的座標的個別系統座標，以從所述個別系統座標減去為其上形成有所述對準標記的襯底座標的對準襯底座標以便計算個別偏移，且接著分別對所述個別偏移與對於每一制動輪所請求的移動座標求和以計算每一制動輪的移動校準座標，從而使所述多個制動輪在X軸方向上水平地移動。
根據本發明的示範性實施例，有可能通過個別地計算滴液設備的每一制動輪的偏移以便個別地應用所述偏移來將每一制動輪傳送到準確座標。此外，根據本發明的示範性實施例，有可能通過計算用於傳送每一制動輪的偏移在移動制動輪時即時反映偏移。
100‧‧‧平臺
200‧‧‧支架
300‧‧‧制動輪
300a‧‧‧第一制動輪
300b‧‧‧第二制動輪
300c‧‧‧第三制動輪
300n‧‧‧第n制動輪
310‧‧‧視覺相機
310a‧‧‧第一視覺相機
310b‧‧‧第二視覺相機
310c‧‧‧第三視覺相機
310n‧‧‧第n視覺相機
400‧‧‧注射器
400a‧‧‧第一注射器
400b‧‧‧第二注射器
400c‧‧‧第三注射器
410‧‧‧排放單元
410a‧‧‧第一排放單元
410b‧‧‧第二排放單元
410c‧‧‧第三排放單元
500‧‧‧制動輪移動單元/導軌
600‧‧‧支架移動單元
610‧‧‧支架導軌
620‧‧‧支架驅動單元
M‧‧‧對準標記
S‧‧‧襯底
S210~S214、S220、S230‧‧‧流程圖的過程
圖1為說明根據本發明的示範性實施例的滴液設備的圖。
圖2為說明根據本發明的示範性實施例的制動輪的校準移動座標的過程的流程圖。
圖3為說明其中對準標記形成於襯底上的外觀的圖。
圖4為說明根據本發明的示範性實施例的對準標記及多個制動輪的圖。
圖5為說明根據本發明的示範性實施例的在安置襯底時制動輪移動構件的座標圖的圖。
下文中參考附圖詳細描述本發明的示範性實施例。然而，本發明限於下文所揭示的示範性實施例，但可以各種不同形式實施。將僅提供這些示範性實施例以便使本發明的揭示內容完整，且允許所屬領域的技術人員完全認識到本發明的範圍。附圖上的元件可經放大以便描述本發明，且將由相同參考標號表示相同元件。
圖1為說明根據本發明的示範性實施例的滴液設備的圖。
參考圖1，根據本發明的示範性實施例的滴液設備包含：其上安放襯底S的平臺100；安置在平臺100上的支架200；固定地安裝在支架200上且經安置成彼此間隔開的多個制動輪300，所述多個制動輪是在一個方向上列出；以及多個排放單元410，其安置於多個制動輪300之下且在一個方向上彼此間隔開以將液體排放到襯底S。滴液設備包含制動輪移動單元500，其使多個制動輪300在X軸方向上水平地移動。此外，滴液設備包含支架移動單 元600，所述支架移動單元安置於平臺100上以使支架200在Y軸方向上水平地移動。出於參考目的，X軸及Y軸彼此形成直角，支架200沿著Y軸水準地移動，且附接到支架200的制動輪300沿著X軸水準地移動。此外，改變X軸及Y軸的交叉方向，且因此支架200可沿著X軸水準地移動，且附接到支架200的制動輪300可沿著Y軸水準地移動。
根據本發明的示範性實施例，將密封劑用作滴落到襯底S的液體，且根據本發明的示範性實施例的滴液設備可為密封分配器。當然，本發明並不限於此，且因此可使用各種類型的液體。舉例來說，液晶可滴落到襯底S。本文中，液體的實例可包含例如水等具有低粘度的液體、例如液晶、溶膠、密封劑、各種混合液體、漿料及糊狀物等具有高粘度的液體及液體混合物。
可將平臺100製造成對應於表面S的形狀以便使襯底S安放在其上。根據本發明的示範性實施例，將四邊形襯底S用作襯底S。對應地，將四邊形平臺100用作平臺100。儘管並未說明，但平臺100可具備用於固定地安放襯底S的單獨固定部分。在此狀況下，可將靜電卡盤或真空固定設備用作固定部分。此處，在使用真空固定設備時，可將與真空泵連通的多個孔設置於平臺100中。通過這樣做，可以固定安放在平臺100上的襯底S。
支架移動單元600可經製造以使支架200在與其中多個排放單元410水準地移動的方向交叉的方向上移動。支架移動單元600包含一對支架導軌610，其並行地安置，在平臺100上彼此間隔開；以及支架驅動單元620，其各自安置於所述對支架導軌610上以沿著所述對支架導軌610滑動。此處，所述對支架導軌 610沿著Y軸方向安置於平臺100上，且在正交於排放單元410的移動方向的方向上(也就是說，在正交於X方向的方向上)安置。此外，支架驅動單元620的上部部分與支架200的下部部分耦合。因此，隨著支架驅動單元620沿著支架滑軌610滑動，與支架驅動單元620耦合的支架200水準地移動。在此狀況下，支架驅動單元620可為產生例如線性運動的線性電動機或滾珠螺桿與使滾珠螺桿旋轉的電動機的組合。同時，本發明並不限於此，且因此，可將可使支架驅動單元620在支架滑軌610上滑動的任何方法應用於支架驅動單元620。
制動輪300具有儲存其中提供的液體的容器(未說明)，且包含安置於容器(未說明)之下的經供應有來自容器的液體且儲存預定量的液體的注射器以及固定容器及注射器400的固定構件(未說明)。在此狀況下，多個制動輪300可經安置成彼此間隔開，在正交於支架200上的支架導軌610的方向(例如X軸方向)上列出。也就是說，多個制動輪300經安置以在正交於支架導軌610的方向上列出。
制動輪300中的容器(未說明)用以儲存經供應到注射器400的液體，且根據本發明的示範性實施例，經製造成圓柱形形狀。然而，本發明並不限於此，且因此容器可製造成各種形狀。容器(未說明)可具備消泡設備，其具有設置於其中的真空構件以將容器(未說明)中的空氣排放到大氣中。注射器400用以供應有來自容器(未說明)的液體，且將預定量的液體提供到排放單元410。此處，注射器400可與注射載氣(例如氮氣)的壓力設備(未說明)連接以在預定壓力下將液體供應到排放單元410。此 外，在容器(未說明)與注射器400之間具備連通於容器(未說明)與注射器400之間的閥門(未說明)。通過這樣做，在閥門(未說明)打開時，容器(未說明)中的液體移動到注射器400。排放單元410經實施為噴嘴及其類似者，用以使液體到安放在平臺100上的襯底S上，且安置於設置於每一制動輪300處的注射器400之下。
制動輪移動單元500用以使制動輪300水準地移動，所述制動輪包含將液體排放到襯底S上的排放單元410。制動輪移動單元500包含經安置成在X軸方向上延伸的導軌500及使每一制動輪300沿著導軌500在X軸方向上移動的制動輪驅動單元(未說明)。可不同地驅動使制動輪300沿著滑軌移動的制動輪驅動單元(未說明)。舉例來說，制動輪驅動單元可由各種方法(例如通過磁力驅動器進行的驅動方法及通過電動機進行的驅動方法)驅動。
每一制動輪300具備視覺相機310。視覺相機310可經安置成朝向襯底，安置於形成於制動輪300之下的噴嘴的一側、制動輪300的側壁表面、制動輪300的前表面及其類似者上。本發明的示範性實施例描述其中制動輪300的前表面具備視覺相機310的實例。視覺相機310為感測及測量輸入可見光以檢測圖像的相機，且可在通過辨識形成於襯底上的對準標記M及其類似者而對準襯底或移動制動輪300時使用。
根據本發明的示範性實施例，在每一制動輪300移動到過程開始位置時通過使用設置於每一制動輪300中的視覺相機310來自動執行偏移校準。
制動輪移動單元在辨識襯底上的對準標記時算出每一制動輪的個別系統座標，所述個別系統座標為制動輪移動單元的座標。制動輪移動單元從個別系統座標減去對準襯底座標(所述對準襯底座標為其上形成有對準標記的襯底座標)以便計算個別偏移。且制動輪移動單元分別對個別偏移及對於每一制動輪請求的移動請求座標求和，以便計算每一制動輪的移動校準座標，從而使多個制動輪在X軸方向上水平地移動。
在計算每一制動輪的個別系統座標時，在視覺相機辨識襯底的拐角時將制動輪移動單元的座標值設定為參考座標，在視覺相機辨識襯底上的對準標記時將制動輪移動單元的座標值設定為對準系統座標，且將視覺相機與預設參考相機之間的間隔距離計算為相機座標，且結果，使用參考座標、對準系統座標及相機座標計算每一制動輪的個別系統座標。
圖2為說明根據本發明的示範性實施例的制動輪的校準移動座標的過程的流程圖，圖3為說明其中對準標記形成於襯底上的外觀的圖，圖4為說明根據本發明的示範性實施例的對準標記及多個制動輪的圖，且圖5為說明根據本發明的示範性實施例的在安置襯底時制動輪移動構件的座標圖的圖。
具有例如交叉形式等唯一圖案的對準標記M由視覺相機310認識，且因此在襯底的對準及移動時使用。儘管圖3說明一個對準標記M形成於襯底S上，但對準標記M可以交叉形式逐個地形成於襯底S的象限上。在以下描述中，將作為實例描述顯示於襯底上的第二象限上的一個對準標記M，且假設對準標記M的中心座標具有制動輪移動構件(未說明)的座標圖上的X及Y座標 [10,10]。在此狀況下，制動輪移動構件為可移動制動輪的設備。舉例來說，制動輪移動構件可包含上文所描述的制動輪移動單元及支架移動單元中的至少一者。此外，作為補充，各種類型的構件可使制動輪在X軸及Y軸方向上移動。
此外，如圖4中所說明，制動輪300經配置成沿著支架的軸安置、彼此間隔開的多個制動輪300a、300b、300c及300n，其中每一制動輪300安置於過程開始之前的預設第一位置處。舉例來說，可沿著支架的軸順序地設置第一制動輪300a、第二制動輪300b、第三制動輪300c及第n制動輪300n。
在襯底被裝到用於處理襯底的設備中以塗覆密封劑時，執行使襯底對準的對準過程。也就是說，使襯底對準以使得襯底的邊緣的表面與支架的縱軸彼此平行。
在襯底的對準完成時，為了開始密封劑的排放過程，其中包含排放部分的多個制動輪300移動取決於輸入值的每一過程開始位置。根據本發明的示範性實施例，對輸入值執行偏移校準以將制動輪300準確地移動到過程開始位置。
首先，在執行襯底的對準且接著每一制動輪300辨識襯底上的對準標記M時，理解每一制動輪的個別系統座標，所述個別系統座標為制動輪移動構件的座標值(S210)。
如果如圖5中所說明，假設將向上與對準標記M間隔開第一制動輪300a設定為定位於第一座標[10,10]處作為在過程開始之前的第一位置，所述第一座標為[X,Y]座標，定位經定位於[20,10]座標處的第二制動輪300b、經定位於[30,10]座標處的第三制動輪300c及其類似者，那麼在辨識襯底上的對準標記時，為制 動輪移動構件的座標值的個別系統座標需要是[10,10]。
然而，第一制動輪300a、第二制動輪300b及第三制動輪300c的個別系統座標為在不存在滴液設備中的設備的故障的正常條件下以相等間隔經定位為[10,10]、[20,10]及[30,10]的個別系統座標。實際上，歸因於設備的問題(例如支架的熱彎曲及視覺相機310的第一位置安裝改變)，不可能準確地理解個別系統座標。
根據本發明的示範性實施例，即使在發生設備的異常時，可準確地計算個別系統座標。為此目的，計算每一制動輪的個別系統座標的過程在視覺相機310辨識襯底的拐角時計算為制動輪移動構件的座標值的參考座標，在視覺相機310辨識對準標記M時使為制動輪移動構件的座標值的系統座標對準，且使用視覺相機310與參考相機之間的間隔距離計算相機座標，且使用這些值計算每一制動輪(300)的每一個別系統座標(S210)。
下文中，上文描述了參考座標、對準系統座標、相機座標及個別系統座標。
在設定參考座標(S211)時，在視覺相機310辨識襯底的拐角時，將制動輪移動構件的座標值設定為參考座標。制動輪移動構件的座標值表示在制動輪移動構件的作業系統個別地移動每一制動輪300時使用的映射座標。制動輪移動構件的座標值具有在其中制動輪300可移動的範圍內的唯一座標圖，且用可由制動輪移動構件的作業系統辨識的唯一座標來映射座標圖。舉例來說，如圖5中所說明，制動輪移動構件的作業系統的座標圖上的襯底上的對準標記M的座標具有X及Y座標值[10,10]。此外，移動構件座標圖上的襯底的拐角的座標具有X及Y座標值[5,5]。
因此，因為在每一視覺相機310辨識襯底的拐角時參考座標表示制動輪移動構件的座標值，所以在如圖5中所說明使襯底對準時，將為最鄰近於對準標記M的襯底的拐角的位置值的[5,5]設定為參考座標。出於參考目的，襯底的拐角的位置表示最靠近使用的對準標記M的角的位置。在圖5中，使用定位於第二象限處的對準標記M，且因此可將襯底的第二象限的拐角的位置設定為參考座標。在使用定位於襯底的第一象限處的對準標記M獲得個別系統座標時，可將第一象限的拐角的位置設定為參考座標。
同時，將描述對準系統座標的設定(S212)。在視覺相機310辨識襯底上的對準標記M時，對準系統座標表示制動輪移動構件的座標值。在圖5的狀況下，在第一視覺相機310a移動以辨識對準標記M時，座標圖上的[10,10]經辨識為X及Y座標，且因此可被設定為對準系統座標。類似地，在第二視覺相機310b移動以辨識對準標記M時，座標圖上的[10,10]經辨識為X及Y座標，且因此也可被設定為對準系統座標。
如上文所描述，在設定對準系統座標及參考座標之後，計算為每一視覺相機的位置的相機座標(S213)。相機座標為安裝於每一制動輪300中的每一視覺相機310與參考相機之間的間隔距離。此處，參考相機為佈置於支架中的多個視覺相機310中的任一者的視覺相機310。優選地，參考相機可對應於設置於首先定位於支架的軸上的第一制動輪300a中的的第一視覺相機310a。
舉例來說，在每一視覺相機310以對於每一設備完全相等的間隔彼此間隔開的假定下，在圖4中被用作參考相機的第一視覺相機310a的狀況下，因為第一視覺相機310a與參考相機相 同，所以第一視覺相機310a的相機座標變為[0,0]。因為第二視覺相機310b與為參考相機的第一視覺相機310a在X軸上間隔開10，所以第二視覺相機310b的X及Y座標變為[10,0]。類似地，因為第三視覺相機310c與為參考相機的第一視覺相機310a在X軸上間隔開20，所以第三視覺相機301c的X及Y座標變為[20,0]。
同時，在每一視覺相機310以對於每一設備完全相等的間隔彼此間隔開時，視覺相機的第一安裝位置之間的間隔將相等。然而，出於熱、濕度及其類似者的原因，在支架傾斜或支架、制動輪及其類似者歸因於設備的安裝誤差而未安裝於準確位置處時，視覺相機310的X軸上的間隔可不均勻。舉例來說，第二視覺相機310b與為參考相機的第一視覺相機310a在X軸上間隔開10，但在制動輪移動構件的座標圖處可歸因於支架的傾斜在X軸上間隔開9.9，且視覺相機301c與第一視覺相機310a在X軸上間隔開20，但在制動輪移動構件的座標圖處可在X軸上間隔開20.2。
出於參考目的，在每一視覺相機310的制動輪移動構件的座標圖處的X軸上的間隔距離可使用平臺中所提供的相同固定試樣(未說明)來計算。舉例來說，第二視覺相機310的相機座標通過在為第一視覺相機310a的參考相機辨識固定試樣時首先測量制動輪移動構件的座標值(第一視覺相機的固定試樣的座標值)及接著在第二視覺相機310b辨識固定試樣時測量制動輪移動構件的座標值(第二視覺相機的固定試樣的座標值)及從第一視覺相機的固定試樣的座標值減去第二視覺相機的固定試樣的座標值來獲得。
如上文所描述，在計算參考座標、對準系統座標及相機 座標之後，使用參考座標、對準系統座標及相機座標計算每一制動輪300的個別系統座標(S214)。在計算個別系統座標的過程中，可通過從對準系統座標減去參考座標及相機座標來計算個別系統座標。
如圖4中所說明，在以下[表1]中描述在所述位置處的每一視覺相機的個別系統座標及視覺相機310的對準標記M。
如上文[表1]中所示，由(對準系統座標-參考座標-相機座標)的關係等式獲得個別系統座標，且因此可瞭解，在第一視覺相機310a的個別系統座標的狀況下，計算[5,5]，在第二視覺相機310b的個別系統座標的狀況下，計算[5.1,5]，且在第三視覺相機310c的個別系統座標的狀況下，計算[4.8,5]。出於參考目的，如上文所描述，個別系統座標歸因於支架的扭曲、設備安裝的誤差及其類似者而不均勻，且因此相機座標並未被測量為相等間隔。
如上文所描述，用於校準座標的方法包含計算每一制動 輪300的個別系統座標(S214)及計算個別偏移(S220)的過程。可通過從個別系統座標減去為對準標記M的襯底上的座標的對準襯底座標而獲得個別偏移。參看圖5，在制動輪移動構件(未說明)的座標圖中，襯底的拐角具有座標[5,5]，但在從基於襯底的襯底座標觀看時，襯底的拐角具有座標[0,0]。類似地，在制動輪移動構件(未說明)的座標圖的狀況下，對準標記M具有作業系統座標[10,10]，但在從基於襯底的襯底座標觀看時，對準標記M具有襯底座標[5,5]。
因此，基於將襯底的拐角設定為座標[0,0]的襯底上的座標，表示對準標記M的襯底上的位置的對準襯底座標變為[5,5]。因此，從個別系統座標減去對準襯底座標，且因此，每一制動輪300的個別偏移可在如圖5中所說明安置時如下文[表2]中所示進行計算。
如上文所描述，計算設置於每一制動輪300中的視覺相機310的個別偏移，且接著分別對其及對於每一制動輪300所請 求的移動請求座標求和(如在下文等式1中)，從而計算每一制動輪300的移動校準座標(S230)。
[等式1]每一制動輪的移動校準座標=過程請求座標+個別偏移。
分別對個別偏移及對於每一制動輪所請求的移動請求座標求和以計算每一制動輪的移動校準座標。舉例來說，在第一制動輪300a移動到制動輪移動構件的作業系統的座標圖上的座標[3,29]時，加上個別偏移[0,0]以將第一制動輪300a移動到所請求的座標[3,29]。此外，在第二制動輪300b移動到座標[13,29]時，加上個別偏移[0.1,0]以將第二制動輪300b移動到座標[13.1,29]。類似地，在第三制動輪300c移動到座標[23,29]時，加上個別偏移[0.2,0]以將第三制動輪300c移動到座標[23.2,29]。
在過程開始時類似地應用通過將個別偏移應用於移動請求座標而執行的校準。也就是說，分別對個別偏移及設定的過程開始座標求和以計算每一制動輪的過程開始校準座標，且將每一制動輪移動到過程開始校準座標。
同時，為解釋的方便起見，在制動輪300及經設置以對應於每一制動輪300的視覺相機310的位置座標彼此相同的假設下作出前述描述。原因在於制動輪300移動多達視覺相機310的移動量。
本發明是參考隨附圖示及前述示範性實施例描述的，但其並不限於此，且由申請專利範圍限制。在不脫離下文描述的申請專利範圍的技術精神，本發明可由所屬領域的技術人員不同地 改變及修改。
S210~S214、S220、S230‧‧‧流程圖的過程

Claims (9)

  1. 一種用於校準制動輪的座標以校準設置於支架中的多個制動輪的過程開始座標的方法，所述方法包括：在辨識襯底上的對準標記時理解個別系統座標，所述個別系統座標為制動輪移動構件的座標；通過從所述個別系統座標減去對準襯底座標而計算個別偏移，所述對準襯底座標為所述對準標記的所述襯底上的座標；以及對所述個別偏移及對於每一制動輪所請求的移動請求座標求和以計算每一制動輪的移動校準座標。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的方法，其中每一制動輪的所述個別系統座標的計算包含：在視覺相機辨識所述襯底的拐角時將所述制動輪移動構件的座標值設定為參考座標；在所述視覺相機辨識所述襯底上的所述對準標記時將所述制動輪移動構件的所述座標值設定為對準系統座標；將所述視覺相機與設定的參考相機之間的間隔距離計算為相機座標；以及使用所述參考座標、所述對準系統座標及所述相機座標計算每一制動輪的所述個別系統座標。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的方法，其中在所述個別系統座標的所述計算中，通過從所述對準系統座標減去所述參考座標及所述相機座標來計算所述個別系統座標。
  4. 如申請專利範圍第2項所述的方法，其中所述參考相機為 設置於首先定位於所述支架的軸上的所述制動輪處的視覺相機。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的方法，其中在所述移動校準座標的所述計算中，分別對所述個別偏移及設定的過程開始座標求和以計算每一制動輪的過程開始校準座標，且使每一制動輪移動到所述過程開始校準座標。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的方法，其中使所述襯底對準以使所述襯底的邊緣的表面與所述支架的縱軸彼此平行，且接著計算每一制動輪的所述個別系統座標。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的方法，其中對於所述襯底上的象限，以交叉形式逐個地形成所述對準標記。
  8. 一種用於處理襯底的設備，所述設備包括：其上安放所述襯底的平臺；安置在所述平臺上的支架；安裝在所述支架上且經安置成彼此間隔開的多個制動輪，所述多個制動輪是在一個方向上列出；多個排放單元，其安置於所述多個制動輪之下且在一個方向上彼此間隔開以將液體排放到所述襯底；支架移動單元，其安置於所述平臺上以使所述支架在Y軸方向上水平地移動；以及制動輪移動單元，其在辨識所述襯底上的所述對準標記時算出每一制動輪的為所述制動輪移動單元的座標的個別系統座標，以從所述個別系統座標減去為其上形成有所述對準標記的襯底座標的對準襯底座標以便計算個別偏移，且接著分別對所述個別偏移與對於每一制動輪所請求的移動座標求和以計算每一制動輪的 移動校準座標，從而使所述多個制動輪在X軸方向上水平地移動。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的設備，其中在所述移動校準座標的所述計算中，在視覺相機辨識所述襯底的拐角時將所述制動輪移動單元的座標值設定為參考座標，在所述視覺相機辨識所述襯底上的所述對準標記時將所述制動輪移動單元的所述座標值設定為對準系統座標，且將所述視覺相機與設定的參考相機之間的間隔距離計算為相機座標，且接著使用所述參考座標、所述對準系統座標及所述相機座標來計算每一制動輪的所述個別系統座標。
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