TW201247791A - Thick-film pastes and solar cells made therefrom - Google Patents
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201247791 . 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於厚膜膏與使用此類膏以製造太陽能 電池接點及其他電路裝置之方法。 【先前技術】 太陽能電池典型為以一半導體材料如矽製成,其將 陽光轉換為可用之電能。此類太陽能電池包含薄矽晶 圓’其中一 PN接面係藉由使磷(P)從一合適磷源擴散至 一 P型矽晶圓而形成。該矽晶圓面對陽光之一側常塗覆 有—抗反射塗層(ARC) ’以避免入射陽光的反射逸失, 從而增加該太陽能電池之效率。將一二維之電極網格圖 开’(已知為「前接點(front contact)」)連接至該石夕之η 側’並且將一在對側(背接點(back contact))之紹(Α1) 塗層連接至該矽之p側。這些接點為由該PN接面至外 側負載的電出口。 砂太陽能電池的前接點通常藉由網版印刷一厚膜 膏而形成。典型的是’該膏含有細敏的銀粒子(75-80重 罝百分比)、玻璃(1-5重量百分比)與一有機介質(15_2〇 重量百分比)。在網版印刷後,使該晶圓與膏在空氣中 燒成’典型為在設定溫度在約650-1000°C下的爐中燒成 歲秒’以形成一具有高度導電性銀痕之濃密固體。在此 步驟中,玻璃與該抗反射塗層反應、蝕刻該矽表面並且 有萍·!於形成选接的梦銀接觸。該有機組分亦在此步驟中 燒除。. - 201247791 雖然銀為高度導電性的金屬,但其價格亦為昂貴且 供應常有短缺。此情形已促使嘗試在厚膜膏中以較廉價 之金屬取代至少一部分的銀。已揭露在厚膜膏組成物中 有1-90重量百分比的銀已為鎳或一鎳合金所取代。 然而,理想為發展厚膜膏組成物,使其在用於PV 裝置與其他應用中時,具有改善之效能性質(例如效 率、填充因子與附著力)。 【發明内容】 本發明之一種態樣為一厚膜膏,其包含: a) —導電金屬部分’其包含一銀組分與一鎳組分; b) —玻璃料組分,其包含鉛碲氧化物;以及 c) 一有機載體。 本發明之另一種態樣為一用於製造一太陽能電池 接點之方法,其包含: a) 將一厚膜膏施用於一矽晶圓上,其中該厚膜膏包含: i) 一導電金屬部分,其包含一銀組分與一錄組分; ii) 一玻璃料組分,其包含鉛碲氧化物;以及 iii) 一有機載體。 b) 燒成該矽晶圓並且燒成時間與溫度足以燒結該導電 金屬部分。 本發明之另一種態樣為一包含一前接點的太陽能 電池,其中該前接點係藉由燒成一本發明之厚膜膏而形 成。 除了太陽能電池外,本發明之膏可用於生產各式不 同之電路裝置。 201247791 【實施方式】 申徵會在後文中更加完整描述,並且會在 申μ專利關中特定指出。下列描述會詳細提 說 明性之本發明實施例,這也實施例僅 μ二 發明料时式。 从㈣種實施本 ^文巾所述之賴膏可㈣製造前接點,其用於石夕 基太陽能電池以收集藉由曝露於光中而產生的電流。該 膏亦可用以製造背接點以傳導電子至—外側負载:該^ 亦可用以創造用於太陽能電池的耳片。 導電金屬部分。該厚膜膏之導電金屬部分包含一銀 組分與-鎳組分,典型為約10_99.9重量百分比的銀與 0.1-90重量百分比的鎳;或約5〇_99 9重量百分比 與0.1-50重量百分比的鎳;或約7〇_99 9重量百分比的 銀與0.1-.30重量百分比的鎳;或約8〇_99 9重量百分比 的銀與0.1-20重量百分比的鎳,其中該銀(或鎳)之重 里百分比係基於該導電金屬部分之銀(或錄)含量來計 算。 ° 典型的是’該導電金屬部分包含50-95重量百分比 的該厚膜膏,並且係基於該銀組分(例如銀金屬粒子或 銀鹽)與鎳組分(例如鎳金屬或鎳合金)來計算。 銀組分。該銀可為銀金屬、銀合金或其混合物之形 式。該銀亦可為下列形式:氧化銀(Ag2〇)、銀鹽如AgCh AgN03、AgOOCCH3 (乙酸銀)、AgOOCF3 (三 I 乙酸 銀)、-正磷酸銀(Ag3P〇4)或其混合物。亦可使用能與其 他厚膜膏之組分相容的銀形式。可將銀合金或銀粒子與 201247791 其他材料塗覆,γ I ^ 或者在玻魏者,可將銀塗覆於玻璃上, 中。 化造過程中,可將氧化銀溶於該玻璃 二一9^二該厚膜膏組成物之固體部分包含約 分比的銀薄片刀比的銀粒子與約1至約9.5重量百 銀輪;。例中’轉膜膏組成物包含導電之已塗覆 y 。口適之塗層包括磷與表面活性 :性=聚乙㈣化物―y— 肉豆H、聚(乙二醇)乙酸、月桂酸、油酸、癸酸、 櫚㈣二、麻油酸、硬脂酸、棕櫊酸、硬脂酸鹽、棕 物4合物。該鹽之相對離子可_、納、卸或 ,的㈣並未受到任何制㈣卜在—實施例中, 為小於10微米;在-實施例中,該平均粒 =小二5:米,·在一實施例中’該平均粒徑為小於3 t 實施例中,該平均粒徑為小於1微米;在另 一實施财,係使用-多_徑之混合物。 2分。該錄組分係選自於由錄金屬與錄合金所組 T金屬典型為以粉末或薄片之形式。在某些 ======米 在料實施财,該徑概略為 錄虚基本上為闕粉末、片、膠體錄或為 錄與-種❹種其他金狀合麵m提供,該其他金 201247791 屬包括銘、鉻、石夕、鐵、鉬、銻、飢與銳/组之任一者 或全部。如該項技術領域中已知者,銳與组之所以用配 比形式一起給出,係由於它們傾向緊密熔合/混合並且 難以將其中一種從另外一種純化出來。 在某些實施例中,該厚膜膏包含一鎳合金,該鎳合 金包含約70-99重量百分比的鎳與約1-30重量百分比的 銘,或約80-99重量百分比的鎳與1-20重量百分比的 i呂,或約80-96重量百分比的鎳與約4-20重量百分比的 鋁。 除了 Ni-Al合金以外或者不使用Ni_Al合金,一 Ni-Cr合金可存在於該膏中,例如包含約48-81重量百 分比的鎳與約19-52重量百分比的鉻的Ni_Cr合金。在 本發明之另一實施例中,該膏包含一 Ni_Cr合金,該 Ni-Cr合金包含約1-60重量百分比的絡。 在另一實施例中,該導電金屬部分包含約10-99.9 重量百分比的銀,以及(b)約0.1-90重量百分比的一鎳 合金,該鎳合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合 金、一 Ni-Al-Cr合金以及其組合所組成之群組。 在使用一 Ni-Al合金時,其可包含約1-30重量百分 比的鋁與約70-99重量百分比的鎳。在又一實施例中, 該導電金屬部分包含⑻約37.5-75重量百分比的銀與(b) 約25-62.5重量百分比的一鎳合金。在另一實施例中, 該導電金屬部分包含(a)約13.8-87.5重量百分比的銀, 以及(b)約12.5-86.2重量百分比的一鎳合金,該鎳合金 係選自於由Ni-Al合金、Ni-Cr合金、Ni-Al-Cr合金以 及其組合所組成之群組。 201247791 該鎳合金可進一步包含一元素,該元素係選自於由 銘、鐵、>5夕、钥、銳、钮、猛、飢、錄、硼與其組合所 組成之群組。例如,某些實施例可包括下列中之至少一 者:約1-30重量百分比、或約5-25重量百分比、或約 10-20重量百分比的鉻;約0.1-10重量百分比、或約0.3-8 重量百分比、或約1_5重量百分比的鐵;約0.1-5重量 百分比、或約1-4重量百分比、或約1.5-3重量百分比 的矽;約1-10重量百分比、或約2-8重量百分比、或約 3-7重量百分比的鉬;約0.1-5重量百分比、或約0.25-4 重量百分比的猛;約0.1-10重量百分比、或約0.3-8重 量百分比、或約1-5重量百分比的鈮+鈕;約0.5-8重量 百分比、或約1-7重量百分比、或約2-6重量百分比的 釩;以及0.5-9重量百分比、或約1-8重量百分比、或 約2-6重量百分比的錄。 該金屬與合金可以粉末、薄片或膠體的形式提供。 該金屬銀、鎳、鋁(僅在一背接點才會只有鋁)與合金 (含有銀、鋁、鎳與鎳合金之組合)之粒子的平均粒徑 為小於約10微米、或小於約5微米、或小於約1微米。 在其他實施例中,該金屬或合金粒子之平均粒徑為小於 約750 nm、小於約500 nm或小於約250 nm。 玻璃料組分。該玻璃料組分包含一鉛碲氧化物以及 選擇性之其他金屬化合物、金屬氧化物或玻璃。典型的 是,該玻璃料包含1-10重量百分比的厚膜膏,此係基 於固體之重量。 該鉛碲氧化物(Pb_Te-0)可藉由以下方式製備,即混 合Te02與PbO粉末、在空氣中或一含氧環境中加熱該 201247791 粉末混合物以形成一熔體、悴火該熔體、磨碎與球磨該 已焊火之材料,以及網篩該已磨碎之材料以提供一具有 所欲粒徑之粉末。該鉛與碲氧化物之混合物之燒成典型 為在一 800至1200X:的峰值溫度下進行。已熔化之混 合物,例如可在一不鏽鋼壓板上或在對轉之不鏽鋼滾筒 間淬火,以形成一厚片。所得之厚片可經研磨以形成一 粉末。典型的是,該經研磨粉末之D5〇為0.1-3.0微米。 典型的是’該PbO與Te〇2粉末之混合物包含5_95 mol%的氧化鉛與5-95 mol%的氧化碲,此係基於合併之 粉末。在一實施例中,該PbO與Te02粉末之混合物包 含30-85 mol%的氧化錯與15-70 mol%的氧化碲,此係 基於合併之粉末。 在某些實施例中,該PbO與Te02粉末之混合物進 一步包含一種或多種其他金屬化合物。合適之其他金屬 化合物包括 PbF?、Si02、B2〇3、Li20、Na20、K20、Rb20、 CS2O、MgO、CaO、SrO、BaO、Ti02、v205、ZrO、 Mo03、Mn203、Ag2〇、ZnO、Ga2〇3、Ge02、ln2〇3、Sn〇2、
Sb203、Bi203、P2〇5、CuO、Se02 與 Ce02。表 i 列出一 些含有PbO、Te〇2與其他可用於製造鉛碲氧化物之選擇 性金屬化合物的實例。此列表意欲作為說明而非限制之 用0 201247791 表1 :可用於製造合適鉛碲氧化物之粉末混合物的說明性實 例。 粉末混 合物 Wt% PbO Wt% Te02 Wt% PbF2 Wt% Si〇2 Wt% B203 Wt% P2〇5 Wt% Sn〇2 Wt% Ag2〇 Wt% Li20 A 32.95 67.05 B 38.23 51.26 10.50 C 67.72 32.28 D 72.20 27.80 E 80.75 19.25 F 59.69 9.30 16.19 14.82 G 75.86 9.26 14.88 Η 48.06 51.55 0.39 I 48.16 51.65 0.19 J 47.44 50.88 1.68 K 47.85 51.33 0.82 L 41.76 44.80 0.32 0.80 12.32 Μ 46.71 50.10 3.19 N 46.41 49.78 3.80 0 45.11 48.39 6.50 P 44.53 47.76 7.71 Q 48.05 51.54 0.41 R 47.85 51.33 0.82 S 47.26 50.70 2.04 T 45.82 49.19 U 48.04 51.53 V 39.53 28.26 w 48.04 51.53 0.42 如本文中所用者,術語「Pb-Te-O」係指包含鉛碲 氧化物之組成物,並且可進一步包含金屬氧化物或碳酸 鹽,該金屬氧化物或碳酸鹽含有一種或多種選自於由
S 10 201247791
Si、Li、Na、Κ、Rb、Cs、Mg、Ca、Sr、Ba、Ti、v、
Zr、Mo、Μη、Zn、B、P、Sn、Ga、Ge、In、Sb、Bi、
Ce ' Cu與Ag所組成之群組的元素。 在某些實施例中,該鉛碲氧化物玻璃料組分包含一 备蹄氧化物與一無碲氧化物(例如一錯經侧梦銘錯納氧 化物)之混合物。 有機載體。該有機載體典型為一樹脂溶於一溶劑之 一溶液,選擇性進一步包含一搖變劑(thix〇tr〇pic agent)。該溶劑之沸點典型為介於約13〇與35〇<t間。 在某些實施例中’該樹脂為乙基纖維素、乙基羥乙基纖 維素、木松香、乙基纖維素與酚樹脂之一混合物、一聚 甲基丙烯酸酯、乙二醇單乙酸酯之單丁醚或其混合物。 合適溶劑包括萜烯(例如α•或β_萜品醇 (terpineol) ; Hercules Inc.,Wilmington,DE) ; Dowanol® (二乙二醇單乙醚;Dow Chemical Co·,Midland,MI); 丁基 Carbitol® (二乙二醇單 丁醚;Dow Chemical Co.); 一 丁基 Carbitol® ( — 乙二醇二丁 謎;Dow Chemical Co.); 丁基Carbitol®乙酸醋(二乙二醇單丁醚乙酸醋;
Dow Chemical Co.);己二醇;Texanol® (2,2,4·三曱基 -1,3-戊二醇单異丁酸醋;Eastman Chemical Company, Kingsport, TN);醇酯;煤油(kerosene);酞酸二丁酯與 其混合物。其他合適之有機介質組分包括:雙(2-(2-丁 氧乙氧基)己二酸乙酯、二元酯(如DBE、DBE-2、 DBE-3、DBE-4、DBE,5、DBE-6、DBE-9 與 DBE 1B )、 環氧妥爾酸辛酯(octyl epoxy tallate)、—異十四醇與氫化 松香之新戊四醇酯。該有機介質亦可包括揮發性液體, 201247791 ^在該厚料組絲施肖在—基材上歧it其快速硬 化0 用所各式組合’以達到各種應 必然ίΐΐί機:包=化咖與其衍生物。不 上= 剪應力稀化料能足夠。合適之濁濕 -油酸酯例如科脂·],3·二胺基丙燒二 Ρ-二胺、〃,:、法丙—胺二乙_、界可可伸丙二胺、 伸丙二胺㈣咖 與其組合。曰丙一胺、^牛脂伸丙二胺二油酸酯 該有機載體可進一牛 或流變改質劑,其通二3 /刀政劑、表面活性劑與/ 有牆八@ ▲吊用於厚臈膏配方中。 該膏之方法以及戶組成物中之最佳量係與施用 該厚特定有機介質有關。典型的是, 5至3〇重量百分比的有胃重量百分比的無機組分與 若該有機介質包含一^人二 15重量百分比的該有機介質。。物,該聚合物可構成8至 無機/其他添加劑。 以降低該前接點之電阻。用各種方式添加磷至該膏中 玻璃狀氧化物形式之ρ。例如,某些玻璃可用粉末狀或 他有機磷化合物之方式2〇5改質,或者可用磷酸酯或其 前,亦可將磷作為一1塗碟添加至該膏中。在製造一膏 合金粒子。在此類情形層添加至銀與/或鎳與或Ag/Ni ^中’ δ亥銀與/或鎳與或Ag/Ni合 201247791 金粒子係與液體磷〜 量百分比的銀與/武雜,谷悧混σ。例如,將約85-95重 5-b重量百八屮1 /、與/或Ag/Nl粒子之一摻合物、約 魏合並且“溶約〇增5-丄〇重量百分比的液體 Ag/Ni合金、、發。塗覆有叙銀與/或錄與/或 合金在該膏中得以緊偷與/或鎳與/或學 膏中可緻的讓戈碳粉末添加至該 體中之H-rt 反應。在界面或在玻璃主 Ν 由調整燒成環境(例如藉由在流動之 2 5 2 : 2〇混合物中燒成)而控制。然而,並不需 ,特殊的%〈境。可添加細_低1縣加劑(亦即元素 態金屬添加劑’此與金屬氧化物截然不同)如Pb、Bi、
In、Ga、Sn、Νι與Zn或上述各元素與至少一種其他金 屬之合金,以於低燒成溫度下提供接點或者使燒成窗擴 展。此類金屬添加劑典型係以在該膏中低於約丨重量百 分比的導電金屬部分存在。可使用提供鋁、鋇、絲、鎂、 鋅、錯與斜之有機金屬化合物,例如像是上述金屬的乙 酸鹽、丙烯西欠鹽、甲酸鹽、新癸酸鹽(ne〇dec〇nate)、曱 醇鹽、乙醇鹽、曱氧乙醇鹽與硬脂酸鹽。矽酸鉀亦為一 合適之鉀源。 實施例。在一實施例中’該厚膜膏包含一有機載 體、一鉛碲氧化物玻璃料組分與一導電金屬部分,其中 該導電金屬部分包含:(a)約10-99重量百分比的銀與(b) 約1-90重量百分比的一錄合金,該錄合金係選自於由 一 Ni-Al合金、一 Ni:Cr合金、一 Ni-Al-Cr合金與其組 合所組成之群組。 13 201247791 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含:(a)—鉛 碲氧化物玻璃料組分,其包含粒徑不大於約2微米的玻 璃料粒子,與(b)—導電金屬部分,其包含:⑴約10-99 重量百分比的銀與(ii)約0.05-90重量百分比的一鎳合 金’該錄合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合金、 一 Ni_Al-Cr合金與其組合所組成之群組。 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含:(a)—鉛 碲氧化物玻璃料組分;與(b)—金屬部分,其包含約5-85 重量百分比的鎳;約10-80重量百分比的銀與約0.1-10 重量百分比的一金屬,該金屬係選自於由銘、鉻與其組 合所組成之群組。 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含:一鉛碲 氧化物玻璃料組分與一導電金屬部分,該導電金屬部分 包含:約10-99重量百分比的銀與約1-90重量百分比的 一鎳合金,該錄合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr 合金、一 Ni-Al-Cr合金與其組合所組成之群組。 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含一載體、 一鉛碲氧化物玻璃料組分與一導電金屬部分,其中該導 電金屬部分包含:(a)約10-99重量百分比的銀與(b)約 1 -90重量百分比的一鎳合金,該錄合係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合金、一 Ni-Al-Cr合金與其組合 所組成之群組。 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含一金屬部 分,該金屬部分包含約5-85重量百分比的鎳;約10-80 重量百分比的銀與約0.1-10重量百分比的一金屬,該金 屬係選自於由鋁、鉻與其組合所組成之群組。 201247791 本發明之另一實施例為一厚膜膏,其包含:(a)—鉛 碌氧化物玻璃料組分,其包含粒徑不大於約2微米的玻 璃料粒子,與(b)—導電金屬部分,其包含:⑴約10-99 重量百分比的銀與(ii)約0.05-90重量百分比的一鎳合 金,該鎳合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合金、 一 Ni-Al-Cr合金與其組合所組成之群組。 若使用一鎳合金,該厚膜膏可包含少至以重量計約 10%的銀。在該膏中使用鎳可提供一明顯優點,因為鎳 的成本典型為比銀成本的一半還低。 太陽能電池。本發明之另一實施例為一太陽能電 池,其包含一電接點,其中該接點包含一金屬部分,該 金屬部分在燒成前包含:約5-85重量百分比的鎳;約 10-80重量百分比的銀與約0.1-10重量百分比的一金 屬,該金屬係選自於由銘、鉻與其組合所組成之群組。 本發明之另一實施例為一太陽能電池,其包含一前 電接點,該前電接點係藉由燒成一厚膜膏組成物而形 成,該組成物包含一鉛碲氧化物玻璃料組分與一導電金 屬部分,該導電金屬部分包含銀與至少約8重量百分比 的錄。 本發明之另一實施例涉及一種用於製造一太陽能 電池接點之方法,該方法包含(a)將一厚膜膏施用至一矽 晶圓,其中該厚膜膏包含⑴一鉛碲氧化物玻璃料組分與 (ii)一導電金屬部分,該導電金屬部分包含(1)約10-99.1 重量百分比的銀與(2)約0.1-90重量百分比的一鎳合 金,該鎳合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合金、 201247791 一 Ni-Al-Cr合金與其組合所組成之群組,以及(b)在一 足以燒結該金屬部分之時間與溫度下燒成該矽晶圓。 本發明之另一實施例為一種用於製造一太陽能電 池接點之方法,該方法包含(a)將一厚膜膏施用至一矽晶 圓,其中該厚膜膏包含⑴一鉛碲氧化物玻璃料組分與(ii) 一導電金屬部分,該導電金屬部分包含(1)銀與(2)至少 約0.1重量百分比的鎳,以及(b)在一足以燒結該金屬部 分之時間與溫度下燒成該矽晶圓。 本發明之另一實施例為一太陽能電池,其包含一前 電接點,該前電接點係藉由燒成一厚膜膏組成物而形 成,該組成物包含一鉛碲氧化物玻璃料組分與一導電金 屬部分。該導電金屬部分包含Ag與至少約1重量百分 比的鎳。 本發明之另一實施例為一太陽能電池,其包含一電 接點,其中該電接點包含一金屬部分,該金屬部分在燒 成前包含:約5-85重量百分比的鎳;約10-80重量百分 比的銀與約0.1-10重量百分比的一金屬,其係選自於由 鋁、鉻與其組合所組成之群組。 另一實施例為一太陽能電池前電接點,其包含銀、 一鎳合金與鋁。 本發明之另一實施例為一種用於製造一太陽能電 池電接點之方法,該方法包含(a)將一厚膜膏施用至一矽 晶圓,其中該厚膜膏包含⑴一鉛碲氧化物玻璃料組分與 (ii)一導電金屬部分,該導電金屬部分包含(1)約10-99.9 重量百分比的銀與(2)約0.1-90重量百分比的一鎳合 金,該鎳合金係選自於由一 Ni-Al合金、一 Ni-Cr合金、 201247791 一 Ni-Al-Cr合金與其組合所組成之群組,以及(b)在一 足以燒結該金屬部分之時間與溫度下燒成該矽晶圓。 本發明之另一實施例為一種用於製造一太陽能電 池接點之方法,該方法包含⑻將-厚膜膏顧至-石夕晶 其中該膏包含⑴―錯碲氧化物玻璃料組分與⑼一 ,金屬部分’該導電金屬部分包含⑴銀與(2)至少約ι = —足以燒結該金屬部分之時 間與〉m度下燒成該矽晶圓。 下物,備。一根據本發明之膏可藉由以 與膏’或者在製造該膏前以所需比例混合銀 在-實施例巾,該相膏 混合該導電金屬粉末、該錯碲氧:物:=以任何順序 而製備。在某較物巾 *末與該有機介質 將它們加人該有機讀中。愛:5錢機材料,而後 整難度。提―力;溶劑而調 本發明之另-種態樣為一種 a)提供一物件,|勺人1禋万去,其包含·· 材之至少-表面上的絕緣膜個或夕個設置於-半導體基 W將-厚膜膏組成物施用於’ :一部分上以形成-層狀結構:其中^個絕緣臈之至 含: 、中5亥厗膜膏組成物包 i) 以固體重蔷4 Λ 屬源 重里汁90至99.9%的—導電金 17 201247791 ϋ)以固體重量計0.1至10%的一鉛碲氧化物,其 中該鉛碲氧化物之鉛與鎊莫耳比為介於5/95與 95/5間;以及 iii) 一有機介質;以及 (c)燒成該半導體基材、一個或多個絕緣膜與厚膜膏, 其中該厚膜膏之有機介質係經揮發,進而形成一接觸該 一個或多個絕緣層並且電性接觸該半導體基材之電才虽^ 在一實施例中,一半導體裝置係由一物件製成,該 物件包含-帶有接面之半導體基材與—形成於該基材 之主要表面上的氮化石夕絕緣膜。該方法包括以下步驟: 以-預定形狀與厚度並在-駭位置上,在賴緣膜上 施用(例如塗覆或網版印刷)—厚膜f組成物,該組成 物具有穿透該絕緣層之能力,然後燒成以使厚膜膏組成 物與該絕緣膜反應並穿透該絕緣膜,從由形成與該矽基 材之電性接觸。 、 此方法之一實施例係說明於圖1。 圖1(A)顯示一單晶石夕或多晶石夕p型基材1〇。 在圖1(B)中,形成一反向極性之n型擴散層2〇以 創造一 P-η接面。該η型擴散層20可藉由熱擴散磷(ρ) (使用氧氣化磷(POCI3)作為麟源)而形成。在不進行 任何特定修改下,該η型擴散層2〇係形成在該矽ρ型 基材之全部表面上。該擴散層之深度可藉由控制擴散溫 ,與時間而改變,並且形成之厚度範圍為約〇3至〇5 微米。該η型擴散層之片電阻可為每平方數十歐姆。 在以一光阻或類似者保護該η型擴散層2〇之一表 面後(如圖1 (C)所示)’藉由蝕刻從大部分表面移除該 201247791 η型擴散層20,使其僅存在於—主要表m列如 使用一有機溶劑移除該光阻。 接下來在圖1(D)中,-亦作為一抗反射塗層之絕緣 層30係形成於遠η型擴散層2〇上。該絕緣層通常為氮 化石夕’但亦可為- SiN/H膜(亦即該絕緣膜包含在後 ,燒成處理中用於鈍化作用之氫)、一氧化欽膜或一氧 化石夕膜。厚度約700至900 A的一氮化石夕膜係適用於一 約1.9至2_0的折射係數。可藉由濺鍍、化學氣相沉 或其他方法沉積該絕緣層3〇。 ” 接下來,形成電極。如圖所示,本發明之一厚 膜膏組成物係網版印刷於該絕緣膜30上,而後乾燥。 此外’銘膏60與背側銀膏7(H系網版印刷於該基材之背 側,接著依序乾燥。燒成係在75〇至85〇<t的溫度下進 行一段數秒至數十分鐘的期間。 因此如圖1(F)所示,在燒成期間,紹由該紹膏擴散 至背側之石夕基材中,進而形成一 p+層4〇,其含有一高 濃度之鋁摻雜物。此層通常被稱為背面電場(碰 surfacefiddJSF)層,且t有助於改善該太陽能電池之 能量轉換效率。燒成會將已乾燥之料6()轉化成一紹 背電極6卜該賴㈣7㈣相時燒成,變成一銀或 銀/銘背電極7卜在燒成期間,在該背側紹與該背側銀 間之邊界形成-合金狀態,_達成電性連接。該背電 極之大部分II域係由該㈣極所佔據,由於部分需要形 成- P+層40。同時’因為無法輝接至一銘電極,該銀 或銀/射言㈣形成在該背_有限區域,以作為一 用於以銅帶或_者之方式互連域能電池的電極。 19 201247791 在該前側,本發明之厚膜膏組成物500在燒成期間 燒結並穿透該絕緣膜30,並進而與該n型擴散層2〇達 成電性接觸。此類程序通常稱為「燒穿(firethr〇ugh)」。 此燒穿狀態(亦即該膏熔化並通過該絕緣膜3 〇的程度) 取決於該絕緣膜30之品質與厚度、該膏之組成以及燒 成條件。在燒成後’該膏5 〇 〇變為該電極5 〇丨,如圖丨(f ) 所示。 在-貫施例中,該絕緣膜係選自於由氧化鈦、氧化 結、氮化_、SiNx:H、氧切純切/減 ^夕膜可藉由_、-賴輔助化學氣相沉積(pEc 或一熱CVD程序而形成。在一杳 ) μ , ^ . 在實施例中,該氧化矽膜
f藉由熱氧彳b、频或熱咖或賴CT 可f由塗覆一含鈦有機液體材料至該Ϊ導體 土材上並燒成或者藉由_熱CVD而形成。 極。在此方法中,該何體基材可為-單晶或多晶石夕電 合適之絕緣膜包括—種或多 化銘、氧化鈦、氮化石夕、SfN H夕種;^自以下之組分:氧 鈦。在本發明之一實心、氧化矽與氧化矽/氧化 (ARC)。該絕緣膜可祐田,*亥絕緣臈為一抗反射塗層 自然形成::=情;r材上,或者其可 何含-魏切。該氣化 學氣相㈣)、濺鍍或其他方法而=知(電漿輔助化 該氮切係經處理以移除 峨可為一化學處理。移除
S 20 201247791 該氮化碎之至少—部分可改善該厚財組成物 /、该半導體基材間之電性接觸。此可改善該半導體 之效率。 _衣直 在—實施例中,_緣獻氮切為—抗反 之部分》 日 該厚膜膏組成物可以一圖形印刷於該絕緣膜上,談 圖开肩如為具有連接線路之Μ流排。該印刷可為藉 版印刷、電鑛、擠出、喷墨、_或多重印刷或色帶。 移^形成方法中,該厚膜f組成物係經加熱以 移除该有機介質並燒結該金屬粉末。該加孰可在空氣中 或二含氧魏切行。此步卿t稱為「誠」。該燒 成/皿度77布典型設定為使有機黏結劑材料以及任何其 他存在之有機材料,能夠從已乾燥之厚膜膏組成物中燒 除。在一實施例中,該燒成溫度為750至95(TC。該燒 成可使用高運輸率(例如1GG_5G()em/min)在—帶式爐 (belt furnace)中進行,所得之滞留時間為〇 〇5至5分 鐘夕重溫度區間(例如3_u個區間)可用於控制所 欲之熱分布。 在k成時,该導電金屬與鉛碲氧化物玻璃料組分混 口物穿透魏緣n絕緣膜之冑透導致該電極與該半 導,基材間形成電性接觸。在燒成後,—中間層可形成 於該半導縣材與該電極間,其巾該中⑽包含蹄、碡 化合物”化合物與魏合物中的—種或多種,其 中該石夕可源自於物歸與域該絕緣層 。在燒成後,該電 極包含已燒結金屬’該已燒結金屬係接觸其下之半導體 基材並且亦可接觸-個❹個絕緣層, 21 201247791 本發明之另一種態樣為一種由一方法形成之物 件’該方法包含: (a) 提供一物件,其包含一個或多個設置於一半導體基 材之至少一表面上的絕緣膜; (b) 將一厚膜膏組成物施用於該一個或多個絕緣膜之至 少一部分上以形成一層狀結構, 其中該厚膜膏組成物包含: i)以固體重量計,90至99%的一導電金屬源; 以固體重量計,1至10%的一鉛碲氧化物玻璃 料組分,其中該錯蹄氧化物之鉛與錄莫耳比為介於 5/95與95/5間;以及 Hi) —有機介質;以及 (c) 燒成該半導體基材、一個或多個絕緣膜與厚膜膏, 其中該厚膜膏之有機介質係經揮發,進而形成一接觸該 一個或多個絕緣層並且電性接觸該半導體基材之電極。 此類物件可用於製造光伏打裝置。在一實施例中, 該物件為一包含一由該厚膜膏組成物形成之電極的半 導體裝置。在一實施例中,該電極為一在一矽太陽能電 池上之前側電極。在一實施例中,該物件進一步包含一 背電極。 可理解的是,雖然本文中的實例主要涉及一用於3 導體膏之導電組成物,其用以形成太陽能電㈤ 明亦思及使用本文中所揭露之理論以形成t °再者,可考慮使用此如 成物作為狀形祕歡㈣ 組成物可㈣在基材上形成導b本文+所揭露· 又等電性、阻抗性或半導性ί 22 201247791 徑或圖形。此類導電性組成物可採用為各式形式,包括 一墨水、一膏或一膠帶。該組成物在一基材上之沉積可 為藉由網版印刷、電鍍、擠出、喷墨、接觸印刷、刻板 印刷、塑形或多重印刷或色帶。 矽以外之基材可使用於連接本發明之膏。亦可預見 使用本文中所揭露之組成物在各式電子組件與裝置中。 本領域具有通常知識者將可迅速思及額外之優點 與修改。因此,本發明之更廣泛態樣不限於本文中所描 述與顯示之特定細節與說明性實例。所以,可在不偏離 隨附申请專利範圍與其等效者所定義之整體發明理論 下’進行各式不同之修改。 實例 厚膜膏係藉由以各式比例混合已個別製備之銀與 鎳膏而製成。該銀與鎳膏係如下詳述之方式製成。 玻璃料製備
TeO:’_粉末(99+%純度)、pb〇粉末(ACS試劑級, 多㈤人纯幻與^取之混合物以陽離子比例化卩咖 為57.38.5在l乙婦谷器中滾轉3〇 min以混合該些起 始粉末。該起始粉末混合物係放置於一鉑坩堝中,^以 10°(J/min的加熱速率於空氣中加熱至卿。c,而後在 900C持狐一小時以熔化該混合物。使該熔體從9〇〇<>c 綷火,此敎係藉由將躺㈣從該爐中移除並將該炫 體倒於-不鏽鋼壓板上。所得材料係在—研砵中研磨並 研碎至小於100網目。已㈣之材料錢在—聚乙婦容 23 201247791 器中以氧化锆球與異丙醇進行球磨,直到其d50為 0.5-0.7微米。而後使已球磨之材料與該磨球分離、乾燥 並通過一 100網目網篩,以提供用於該厚膜膏製備之 Pb0-Te02-Li20 粉末(PTOL)。 厚膜膏製備 銀膏:一 50 g批量之銀膏係以下列方式製成:將 銀粉末(44.72 g)放置於一玻璃瓶,在其中加入ι·〇4 g的 PbO-Te〇2_Li〇2粉末(PTOL)(製備如上兩後使該粉 末滾動混合約15分鐘。一含有溶劑與黏合劑之有機介 質係以下列方式製備:以表2分別列示之量在一塑膠瓶 中使用一行星式離心混合器(THINKY® ARE-310 (THINKY USA,Inc.,Laguna Hills,CA))以 2000 i*pm 混 合各式組分1分鐘。在此有機介質中,加入約三分之一 的該銀與PTOL粉末混合物,並且使用THINKY® ARE-310以2000 rpm混合1分鐘。使第二份與第三份 之該銀與PTOL粉末混合物重複此步驟,並確定該無機 粉末混合物完全分散於該介質中。已分散之混合物而後 以三幸昆磨機(Charles Ross & Son Company, Floor Model, 4" x 8")摻合以獲得一稠膏,其摻合條件為以i 間隙 在零psi下通過三次並在1〇〇 psi下通過三次。以〇 g 的 Texanol (Eastman Chemical Company,TN)調整已摻合 膏之黏度以獲得一可印刷膏。 最終膏之固體含量係以下列方式用兩份重複量 測:以少量(1-2 g)置於一礬土船中秤重並於一蒙烊爐中 在450 C下燒成30分鐘以移除有機物,並且重新秤重 24 201247791 該礬土船與内容物。該膏之平均固體含量係測定為 90.2%。 該膏黏度係使用一具有恆溫小樣品配接器之 Brookfield HADV-I Prime 黏度計(Brookfield Engineering Laboratories,Inc·,Middleboro, ΜΑ)在約 10 rpm下量測,並且測得為278 Pas 〇 表2:該有機介質之組成 成分 重量(g) 50-52%乙氧基乙基纖維素樹脂,黏度=150-250 cps,溶於 Texanol 0.6776 48-50%乙氧基乙基纖維素樹脂,黏度=18-24 cps,溶於 Texanol 0.2612 油酸胺(Amine oleate)表面活性劑 0.5200 Foralyn(氫化松香酯),50重量百分比溶於Texanol (2,2,4-三曱基-1,3-戍二醇單異丁酸g旨) 1.3002 氫化蓖麻油衍生物 0.2610 二元酯-3 1.8206 鎳膏:依照上述用於製備該銀膏之程序製成一 5〇g 批量的鎳膏,除了使用鎳粉末取代銀粉末。最終膏之固 體含量係測得為90.8%並且其黏度係測得為i7〇 Pas。 銀/鎳膏:以約3:1比例含有銀與鎳(亦即約75重 量百分比銀與25重量百分比錄)之膏係以下列方式製 備:以3:1之重量比例在一 ΤΗΙΝΚγ® ARE_31〇行星式 混合器中以2000 ι·ρηι混合銀膏與鎳膏1分鐘。同樣地, 一含有約5 0重量百分比銀與5 〇重量百分比鎳之膏係藉 西以1:1重量比例混合銀膏與鎳膏而製備。對於各膏混 25 201247791 合物而言’該混合係、重複超過三次以獲得一完全混合之 摻合膏。使用PTOL _料製備的膏配方係標示為「膏 A」 太陽能電池製造 用於測試該厚膜膏性能的太陽能電池可由200微 米厚的多晶矽晶圓(Deutsche Solar AG)製成,該晶圓具 有一 65 ohm/sq的磷摻雜射極層,該射極層具有一酸蝕 刻粗化之表面與70-80 nm厚之PECVD SiNx抗反射塗 層。該晶圓係使用一鑽石切片鋸切割為28nmi X 28 mm 晶圓。 晶圓係以用於背側接點之商用鋁膏(PV381 (Ε· I. du Pont de Nemours and Company,Wilmington, DE))網 版印刷全部接地平面,此網版印刷係使用一在一帶有一 26.99 mm X 26.99 mm 之方形開口的 8,,X 10"框架(Sefar Inc.,Depew,NY)上之網版與一網版印刷機(MSP 885 (Affiliated Manufacturers Inc.,North Branch,NJ))而進 行。此網版印刷程序圍繞邊緣留下一僅含珍(亦即無铭 膏)之額定0.5 mm邊界。鋁膏之濕重目標為約60mg, 其在燒成後產生一紹加料量為約5.9 mg Al/cm2。在印刷 後,該鋁膏係於一具有通風排氣之機械式對流烘箱中在 150 C下乾燥30分鐘,導致一乾燥膜厚為25-30微米。 該銀膏或錄摻合銀膏係使用一在8" X 1〇"框架 (Sefar Inc.)上之網版與一網版印刷機(MSP 485 (Affiliated Manufacturers Inc.))網版印刷於晶圓前表面 之氮化矽層上,並且於一對流烘箱中在150¾下乾燥3〇
S 26 201247791 分鐘,以得出25-30微米厚之網格線與一匯流排。已網 版印刷之銀膏(或銀鎳膏)具有一圖形為100-125微米 寬之指形/網格線,其連接至一位於該電池一邊緣附近 的1.25 mm寬匯流排。用於印刷該銀膏之網版使用325 網目之線路(在30。角為23微米直徑)與32微米厚乳 劑。 已乾燥之電池在一 4區間爐(BTU International, North Billerica,MA; Model PV309)中以一 221 cm/min 之帶速以及下列爐設定點溫度燒成:區間1在.61(TC, 區間2在61(TC,區間3在585eC,以及最終區間4設 定為峰值溫度(Tmax),在860°C至960°C的範圍中。該晶 圓約需5.2秒以通過區間4。在表3中,只記述區間4 的峰值燒成溫度,其大約較實際晶圓溫度高出100-125 C。在該燒成過程後,該晶圓即成一功能性光伏打電 池。針對各個膏組成物,係製造數個重複之光伏打電 池。這些光伏打電池係分成4-5組而各組中有4_5電池, 所有皆在相同溫度下燒成。各個電池組得到在一燒成溫 度下之最佳中位數效率,而不同膏組成物可能在不同之 溫度。 太陽能電池之電量測 使用一商用·電流-電壓(JV)測試機ST-1000 (Telecom-STV Ltd·,Moscow,Russia)以執行該多晶石夕光 伏打電池之效率量測。兩個電性連接(一個用於電壓而 一個用於電流)係連接至各個光伏打電池的頂部與底 部。使用瞬時光激發以避免加熱該矽光伏打電池,並且 27 201247791 在標準溫度條件(25°C)下獲得JV曲線。具有一類似於 太陽光谱之光譜輸出的閃光燈從1 m之垂直距離照射 該光伏打電池。該閃光燈之功率維持恆定14微秒。在 此段期間,在樣品表面之強度(對外部太陽能電池作校 正)為1000 W/m2 (或1 Sun)。在此14微秒期間,兮 JV測試機使該樣品上的人工電負載從短路變成開路。 該JV測試機記錄由光引發而通過該光伏打電池之電汸 以及該光伏打電池之電壓,同時負載在所述負载範圍^ 變化。藉由以電流乘上在各個電壓位準之電壓而得到之 乘積,即由此數據得到一功率對電壓之曲線。採用功率 對電壓曲線之最大值作為該太陽能電池之特徵輪出= 率,以計算太陽能電池效率。使此最大功率除以樣品面 積以得到在1 Sim強度下之最大功率密度。而後使:值 除以1000 W/m2的輸入強度以得到效率,而後此效率再 乘以100而用百分比效率呈現結果。其他相關參數亦由 此相同的電流-電愿曲線獲得。一個此類參數為填充因 子(FF),其_由取該太陽能電池之最切率與開 壓及短路電流之乘積的比例而獲得。對於具有合理效率 之電池而言,串聯電阻(Rseries)之估計值係從該‘流電壓 曲,在該短路點附近之局部斜率的倒數而得到。該卯 ,定義為該域能電池之最大功率與ν。。^。之乘 比例。 針對使用實例】·3製備之厚料㈣得之太陽能電 j ’其最佳電池效率 '填充因子與串聯電阻之中位數 歸納於表3。 ’、 28 201247791 表3 :實例1與2及比較例A之電性能 實例玻璃料wt% Wt%峰值燒成中位數中位數填充中位數串聯電 _ Ni Ag 溫度 fC)效率(°/c〇^ 因子(〇/〇)阻(ohm.cm2) —k~PT〇L 0~925 ΪΓτΓ~ ^-γγ3- 1 PT〇L 25 75 940 15.61 ?9.4 1 32 2 PT〇L 50 50 930 15.16 ?7.5 151 這些結果顯示,該Ag/Ni摻合之厚膜膏可提供具有 良好性能特徵之太陽能電池。 膏附著力量測 對於太陽能電池裝置之穩定性與長期财用性而 5,膏對矽晶圓之附著力為一極重要之性能要求。如下 所述,附著力可藉由將已燒成膏貼附至一焊帶,而後拉 拔已焊接之耳片並量測斷裂時所需之力量來評估。通常 認為需要超過2.5N力量才會斷裂之已燒成膏才符合產 業需求。 ,用於附著力量測之測試樣品係如同於「太陽能電池 製造」段落所詳述之方式印刷與燒成,除了樣品係印刷 有三個匯流排而非網格線與一個匯流排,此印刷係使用 在8 X 1〇"植架(Sefar Inc )上的網版,該網版具有 網目之線路(在3〇。角為27微米直徑)與27微米厚乳 劑。 已燒成測試樣品之印刷匯流排為2 mm X 20 mm, 在匯流排間具有4mm間距。已燒成測試樣品之背側係 使用兩 W 式環氧樹脂(Hardman® (Royal adhesives and sealants,CA))膠黏至一礬土基材上,並且硬化至少15 29 201247791 分鐘。切割並壓平一 2 mm寬、3"長之鍍錫銅帶 (Sn/Cu/Ag 為 62/36/2 比例;Ulbrich Inc, CT),而後將一 薄層之免清洗助焊劑(959T (Kester Inc, IL))施用於一 Γ 長部分並乾燥15分鐘。已乾燥之塗覆助焊劑部分而後 放置於已燒成匯流排之頂部。以320°C加熱該焊料棒約 5秒鐘’而使該銅帶接附至該已燒成膏。對該樣品之其 他兩個匯流排重複此步驟。 該附著力測試係藉由以下方式執行:以一 9〇。角拉 拔該已焊接耳片並以 Instron® Model 5569 (Instron Inc, MA)量測斷裂時所需之力量。記錄拉拔各個耳片所需之 平均力量。各個膏測試四個樣品,每個膏組成物總共拉 拔12個耳片。來自4個樣品之平均數據係呈現於表4。 用於比較例Β之厚膜膏係類似於實例丨所用者,但 其不含PT0L。
ΑΛ2來自實例1與比較例A、B 骨配方(玻璃料;Ni/Ag) 平均拉拔數據(N) 實例3 (PT0L - 25/75) 4.89 比較例A (PT0L > o/ioo) 2.01 ..... 比較例B (商用玻璃料,0/100) 3.59 · 比較例C (商用矽酸鉛玻璃料,無PT0L,25/75) 1.87
S 30 201247791 這些結果顯示,本發明之一含有Ag、Ni與PTOL 的奮顯著改善其對於石夕晶圓之附著力,此係相較於不含 Ni或PTOL之比較例A - C。
實例4-15與比較例D-H 以7列程序進行膏製備:秤重適量的溶劑、介質與 种面^性劑,而後在一 Thinky®混合器中混合30-60 ^ .然後加入破塢料與金屬添加劑並混合1-2分鐘。在 次二4,、使礒膏在0-250 psi下通過一 3輥磨機幾 量八^間隙典型聰為1密耳。以磨料細度(FOG)測 程度。用於導體之典型F〇G值通常等於或小於 有嫉入π 之鎳、鎳合金粉末、鉛碲氧/ 顯矛;::成係栺述於表5-7。表8以總組成物: (玻璃 *貝不该金屬丄、 料) g +炖或Ni合金)與鉛碲氧化物
Ni第II類
與錄合_粉末
Ni-B-Cr-Fe 合金
Ni-Cr合金 3.2
31 201247791 B203 1.86 Si02 15.76 Al2〇3 0.2 Zr02 0.42 Na20 0.1 總和 100 100 100 100 表7 :用於實例4-15與比較例D-Η之有機介質組成(以該 .厚膜膏總重量之wt%表示) 實例 8%EC 11%EC F110 TST Duo DBE3 Tex D,F,G, H,4, 5, 8-15 0.74 0.74 2.6 0.5 1.04 2.6 3.78 E,6, 7 0.74 0.74 2.6 0.5 1.04 2.6 3.43 8%EC = 8重量百分比的48-50%乙氧基乙基纖維 素,溶於Texanol 11%EC = 11重量百分比的50-52%乙氧基乙基纖維 素,溶於Texanol F110 = Foralyn 110 (氫化松香醋),50重量百分比 溶於 Texanol TST = ThixatrolST,一種氫化蓖麻油衍生物 Duo = Duomeen,一種油酸胺表面活性劑 DBE3 =二元酯-3 溶劑(DBE-3)
Tex = Texanol,一種溶劑
32 S 201247791 表8 :以總組成物wt%表示金屬(Ag + Ni或沌合金)與鉛 _ . 碲氧化物(玻璃料)之組成 實例 Ag Ni第I 類 Ni 第 II 類 Ni-B- Cr-Fe Ni-Cr 玻璃 I 玻璃 II 玻璃 III 玻璃 IV D 88 2 =~~" . 4 77 11 2 5 66 22 2 E 87.65 76.69 --- ~6~ r 10.96 — 2 ~2~~ h0.7 0.7 7 65.74 21.91 h 2 0.7 F 88 1 1 8 77 11 1 1 9 66 22 1 I G 88 2 10 77 11 2 11 66 22 2 12 77 11 2 13 66 22 2 Η 88 1 !' 14 77 11 1 1 15 66 22 1 1 Ni第I類=6.5微米粉末
Ni第II類==1微米粉末 測試程序一效率 依據上述方法製造之太陽能電池係放置於一 Berger IV測試機中以量測其效率。該IV測試機中之光 燈泡係以一已知之強度模擬陽光,並且照射該電池之前 表面。印刷於該電池前側之匯流排係連接至該lv測試 33 201247791 機之複數探針,並且其電訊號係透過該探針傳送至電腦 以計算效率。 測試程序一附著力 在燒成後’一焊料帶(塗覆有62Sn/36Pb/2Ag之銅) 係焊接至該印刷於該電池前側之匯流排。該焊接典型為 在200°C下進行1-2秒鐘。所用之助焊劑為Kester® 959。知接區域約為1 8 mm X 145 mm。附著力強度係藉 由以一 180。之角度(相對於該電池表面)與120mm/min 之速度拉拔該焊料帶而獲得。
S
實例 Eff(0^) FF 可焊性(%) 附著力(N) D '' 76 90 2.5 E 17.74 一 75.8 ης. 2.5 F ------ nm nm 75 2.4 G 17.71 ~~ 75.5 nm 2.1 Η 17.29~~' 74.7 90 2.4 4 17.78 75.6 90 3.9 5 17.48 一 75.1 nm 4.7 6 1 7 '—* 1/.// 76.1 75 5 7 17.77 75.9 75 2.9 8 nm nm 75 3 10 13.8 ---7Z------- 59.7 nm 3.1 11 10 一 42 nm 0.5 12 10.97 54 nm 3.5 13 9.55 一 44.1 nm nm 14 16.46 _ 71 75 —J L
Nm ==未量測 34 201247791 在使用不同大小之Ni粉末與6英寸晶圓之類似實 驗中,係得到下列如表10與11所示之結果。在這些實 例中,該玻璃料組分包含玻璃II與玻璃IV (見表8)。 表10 :使用0.4-6.6微米大小鎳粉末之厚膜膏的平均附著力 數據(N)
Ni (微米) Ni/(A g +Ni) x 100% 0 0.5 5 12.5 20 30 50 0.4 4.42 4.93 nm 0.57 0.19 nm nm 1 4.42 4.55 nm 0.97 0.26 nm nm 2.5- 4.42 4.07 4.42 2.06 0.97 nm <0.10 5 4.42 3.29 4.32 3.8 2.47 1.35 0.2 6.6 4.42 nm nm 4.54 3.44 nm nm
Nm =未量測 表11 :使用0.4-6.6微米大小鎳粉末之厚膜膏在最佳溫度 (925-985°C)下的中位數 Eff (%)
Ni (微米) Ni/(Ag + Ni) x 100% 0 0.5 5 12.5 20 30 50 0.4 16.50 (985) 16.66 (985) nm 9.46 (925) 8.39 (925) nm nm 1 16.50 (985) 16.60 (985) nm 15.60 (925) 14.31 (925) nm nm 2.5 16.50 (985) 16.68 (985) 16.63 (985) 16.51 (945) 15.74 (925) nm 11.99 (925) 5 16.50 (985) 16.63 (985) 16.64 (965) 16.87 (945) 16.21 (945) 15.98 (925) 14.53 (925) 6.6 16.50 (985) nm nm 16.22 (985) 16.44 (945) nm nm
Nm =未量測 【圖式簡單說明】 35 201247791 圖1A- IF說明在製造一半導體元件的經選擇步 驟。圖1A- 1F所示之標號係說明如下。 10 : p型>5夕基材 20 : η型擴散層 30 :絕緣膜 40 : ρ+層(背面電場,BSF) 60 :設置於背側的鋁膏 61 :鋁背電極(藉由燒成背側鋁膏而得到) 70 :設置於背側的銀或銀/鋁膏 71 :銀或銀/鋁背電極(藉由燒成背側銀膏而得到) 500 :設置於前側的厚膜膏 501 :前電極(藉由燒成該厚膜膏而形成) 36 201247791 【主要元件符號說明】 10.. .P型矽基材 20.. .η型擴散層 30.. .絕緣膜 40.. .Ρ+層 60…紹膏 61…鋁背電極 70.. .銀或銀/鋁膏 71.. .銀或銀/鋁背電極 500.. .厚膜膏 501.. .前電極
Claims (1)
- 201247791 七、申請專利範圍: 1. 一種厚膜膏,其包含: (a) —導電金屬部分,其包含一銀組分與一鎳組分; (b) —鉛碲氧化物玻璃料組分;以及 (c) 一有機載體。 2. 如請求項1所述之厚膜膏,其中該鎳組分為一鎳合金。 3. 如請求項1所述之厚膜膏,其中該鎳組分包含鎳粉末、鎳 薄片或其混合物。 4. 如請求項1所述之厚膜膏,其中該銀組分包含銀粉末、銀 薄片或其混合物。 5.如請求項1所述之厚膜膏,其中該導電金屬部分包含: (a) 約10-99.9重量百分比的一銀組分;以及 (b) 約0.1-90重量百分比的一鎳組分。 6.如請求項1所述之厚膜膏,其中該導電金屬部分包含: (a) 約50-99.9重量百分比的銀;以及 (b) 約0.1-50重量百分比的鎮。 7.如請求項1所述之厚膜膏,其中該導電金屬部分包含: (a) 約70-99.9重量百分比的銀;以及 (b) 約0.1-30重量百分比的鎳。 S 38 201247791 >•如明求項1所述之厚膜膏,立中兮導電金屬邻八 ⑷1〇,重量百分比的銀械屬心包含: :c)) : S〇85重量百分比的鎳;以及 (C)約〇 J曰 鋁、重1百分比的一金屬,該金屬係選白# 銘鉻與其組合所組成之群組。 選自於由 9, 的1-10重量百分比 10. =求項1所述之厚膜f,其中駿魏化物進— 步包 其進一步包含鈦 虫w月求項1〇所述之厚膜膏, 12):2項1所述之厚膜膏,其中該鉛碲氧化物破壙粗 刀包含粒徑小於或等於約2微米之粒子。㈣如且 13. 一種方法,其包含: ⑷提供—物件’其包含—設置於—半導縣材 上的絕緣膜; 之〜表面 ⑼將厚膜膏組成物施用於該絕緣膜之至少 以形成—層狀結構’其中該厚膜膏組成物包含:°刀上 ⑴一導電金屬部分,其包含一銀組分歲 分; 與—鎳钽 (H) —鉛碲氧化物玻璃料組分;以及 (&) 一有機载體;以及 39 201247791 (C)燒成該層狀結構以形成一電極,該電極係接觸該絕緣 層並且電性接觸該半導體基材。 14. 如請求項13所述之方法,其中該厚膜膏組成物係以形成 圖形之方式施用於該絕緣膜上。 15. 如請求項13所述之方法,其中該燒成係在一含氧環境中 進行。 16. 如請求項13所述之方法,其中該鉛碲氧化物進一步包含 裡。 17. —種物件,其包含: (a) —半導體基材; (b) —絕緣層,其位於該半導體基材上;以及 (c) 一電極,其係接觸該絕緣層並且電性接觸該半導體基 材,其中該電極包含銀、鎳、鉛與碲。 18. 如請求項17所述之物件,其中該物件為一半導體裝置。 19. 如請求項18所述之物件,其中該半導體裝置為一太陽能 電池。 20. 如請求項19所述之物件,其中該電極進一步包含鋰。 β 201247791 - 21.如請求項19所述之物件,其中該電極進一步包含一元 素,該元素係選自於由銘、鐵、碎、I孟、猛、紀與其組 合所組成之群組。 41
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TWI612020B (zh) * | 2013-12-20 | 2018-01-21 | 三星Sdi股份有限公司 | 太陽電池電極用組成物及使用其製作的電極 |
-
2011
- 2011-05-26 TW TW100118422A patent/TW201247791A/zh unknown
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