201205009 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種空氣淨化裝置，尤指一種於一筒體 内部分隔出複數個淨化室，且於各該淨化室填充有淨化 材’而於該筒體内部形成有連通該進氣口、各該淨化室及 該出氣口之氣流通道，俾以利用單一結構體將待淨化氣體 進行連續性淨化程序之設計者。 【先前技術】 按，半導體晶圓製造廠及TFT-LCD面板或太陽能光電 製造業製程中’在濕蝕刻製程會使用到無機酸（硝酸、硫 酸、氫氟酸、鹽酸）及有機酸（如醋酸）等酸液，而在乾蝕刻 製程或洗淨程序會使用到大量的氟化合物（如PFC : nf3、 SF6、CF4、C2F6)，經淨化設備分解處理後衍生無機酸（硝酸、 氫氟酸），其中，有機酸及無機酸之比例配置不盡相同，主 要之蝕刻作用由無機酸進行，加入有機酸（如醋酸）主要是 使無機酸更穩定，提高餘刻的良率，然而卻造成大量之毒 性氣體 '臭氣、白煙、N〇2黃煙或厭惡性異味排放。 -人按，懸浮微粒（Suspended particuiate)泛指在氣流 中懸洋之©態或液態粒子，在提及-般空氣品質時多以此 為=估項目’在測量時則以高量採樣ϋ作水平向過滤採氣 測疋。而懸浮微粒因不同粒徑之顆粒進入人體呼吸系統之 能力差異極大’且—般醫學界認為1Q微米以下之顆粒方可 進入人體呼吸道，其中又以2 5微米以下之顆粒對呼吸系 統之危害最“烈。目前-般環保單位對於空氣懸浮微粒 201205009 之污染程度多改用「粒徑小於等於1 〇微米之懸浮微粒 (Particulate matters 10ym，簡稱 ΡΜ10)」，在公衛界則 多採用「粒徑小於等於2.5微米之懸浮微粒（particulate matter S 2. 5 " m，簡稱PM2. 5)」以評估污染對健康之影響。 此2 5微米以下之微粒因此又被稱為「可呼吸性懸浮粒子 (Respirable suspended particle)」。 然而’以傳統冷凝法及吸收法目前最常採用的淨化設 備（諸如以抽風與簡易滤網或一般吸附或水洗洗務處理）， 並無法完全去除上述存在於空氣中之懸浮微粒及酸性氣體 (硝酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氨、N〇2;尤其是氫氟酸、n〇2) 等難處理之分子污染物，而且該等懸浮粒子若為人體吸入 將引發身體健康之安危；同時該等酸性氣體於低濃度下即 會產生惡臭’並易於排放管道產生次微米微粒之白煙或/及 黃煙現象，極易影響廠房周圍生活環境而引發民眾抗議， 同時也影響到廠房周圍其他高科技廠高階製程之產品良 率。再者，尚有運用觸媒濾材來淨化處理空氣中含硫化合 物、硝酸及醋酸..·等物質氣體之方法，該觸媒濾材淨化氣 體之優點為含硫化合物、硝酸及醋酸...等物質氣體之脫除 效率尚、反應溫度低、能源消耗低、避免生成二次污染物 等’是一種環境友好的催化淨化技術。 【發明内容】 本發明之主要目的，係欲提供一種空氣淨化裝置，而 具有設備體積小之功效。 本發明之另一目的，則具有利用線上再生而提升淨化 效率之功效。 201205009 為達上述功效，本發明之結構特徵，係於一筒體内部分 隔出複數個淨化室，且於各該淨化室填充有淨化材，並於該 筒體形成有進氣口與出氣口，而於該筒體内部形成有連通該 進氣口、各該淨化室及該出氣口之氣流通道；藉此，待淨化 氣體由該進氣口導入，進而利用填充於不同淨化室之淨化材 進行連續性之淨化，並由該出氣口將淨化後氣體導出者。 其一，該筒體内部橫貫設置一多孔板，並於該多孔板上 方頂天設置一縱隔板，遂於該縱隔板兩側分隔出第一淨化室 與第二淨化室，而於該多孔板底侧分隔出連通該第一淨化室 底側與該第二淨化室底側之通道室，並令該進氣口之形成位 置對應於該第一淨化室頂側，該出氣口之形成位置對應於該 第二淨化室頂側，進而於該筒體内部形成有連通該進氣口、 該第一淨化室頂側、該第一淨化室底側、該通道室、該第二 淨化室底側、該第二淨化室頂側及該出氣口之氣流通道。 其二，該筒體内部橫貫設置一上多孔板與一下多孔板， 並於該上多孔板與該下多孔板設置一縱隔板，遂於該縱隔板 兩側分隔出第一上、下淨化室、第二上、下淨化室與分流、 合流室，另分隔出連通該第一上淨化室頂側與該第二上淨化 室頂侧之上通道室與連通該第一下淨化室底側與該第二下 淨化室底側之下通道室，並令該進氣口之形成位置對應於該 分流室，該出氣口之形成位置對應於該合流室，進而於該筒 體内部形成有連通該進氣口、該分流室、該第一上淨化室底 側/該第一下淨化室頂側、該第一上淨化室頂側/該第一下淨 化室底側、該上通道室/該下通道室、該第二上淨化室頂側/ 該第二下淨化室底側、該第二上淨化室底側/該第二下淨化 室頂侧、該合流室及該出氣口之氣流通道。 201205009 其三=筒體_以橫向設置之第—多孔板與頂天設置 之第-縱隔板分隔出第-淨化室’另以橫向設置之第二多孔 板與立地設置之第二縱隔板分隔出第二淨化室，而於該第一 縱隔板與該第二縱隔板之間分隔出連通該第-淨化室底側 與該第二淨化室頂侧之通道室，並令該進氣口之形成位置對 應於該第-淨化室頂侧，該出氣口之形成位置對應於該第二 淨化室底側’進而於該龍㈣形成有連通該進氣口、該第 :淨化室頂側、該第—淨化室底側、該通道室、該第二淨化 室頂側、該第二淨化室底側及該出氣口之氣流通道。 此外’該筒體為圓形。又’各該淨化室各自填充或級 配填充有不同淨化屬性之多孔性淨化材。#，填充於該第 一淨化室、該第一上淨化室或該第一下淨化室之多孔性淨 化材為活性碳、活性氧化鋁、陶瓷或沸石，填充於該第二 淨化室、該第二上淨化室或該第二下淨化室之多孔性淨化 材為經改質之活性碳、活性氧化鋁、奈米碳管、多孔性樹 脂或彿石。再者，進一步於各該淨化室各自設置有再生液 喷麗器’並於該筒體底部設置有再生液之排洩口。另者’ 進一步相對各該再生液喷灑器連結有再生液循環單元，各 該再生液循環單元各將一循環管之吸取端設置於該筒體底 部’各該循環管之排放端則與各該再生液喷灑器連結，且 於各該循環管設置有循環泵，並將再生液容器藉供給管連 結至各該循環管之低壓段，另於該筒體底部設置有再生液 縱隔板。又一，各該淨化室之多孔性淨化材填充高度可彈 性應用，較佳為30〜60公分。 201205009 【實施方式】 首先，請參閱第一圖所示，本發明之第一實施例，係於 橫置之圓形筒體10内部橫貫設置一多孔板，並於該多 孔板17上方頂天設置一縱隔板14，遂於該縱隔板14兩側 分隔出第一淨化室U與第二淨化室12，且於各該淨化室 11、12填充有淨化材4〇a、40b，而於該多孔板17底側分隔 出連通該第一淨化室11底側與該第二淨化室12底側之通道 室13,並令一進氣口 15之形成位置對應於該第一淨化室u 頂侧，另令一出氣口 16之形成位置對應於該第二淨化室12 頂側，進而於該筒體1〇内部形成有連通該進氣口 15、該第 一淨化室11頂側、該第一淨化室11底側、該通道室13、 s玄第二淨化室12底側、該第二淨化室12頂側及該出氣口 16之氣流通道。藉此，待淨化氣體由該進氣口 15導入，進 而利用填充於不同淨化室11、12之淨化材4〇a、40b進行連 續性之淨化，並由該出氣口丨6將淨化後氣體導出者。 接著’請參閱第二圖所示，本發明之第二實施例，係 於一橫置之圓形筒體20内部橫貫設置一上多孔板27a與一 下多孔板27b ’並於該上多孔板27a與該下多孔板27b設置 一縱隔板24 ’遂於該縱隔板24兩側分隔出第一上、下淨化 室21a、21b、第二上、下淨化室22a、22b與分流、合流室 28、29，另分隔出連通該第一上淨化室21a頂側與該第二 上淨化室22a頂側之上通道室23a與連通該第一下淨化室 21b底侧與該第二下淨化室22b底侧之下通道室23b，且於 各該淨化室21a、21b、22a、22b填充有淨化材40a、40b， 並令一進氣口 25之形成位置對應於該分流室28,另令一出 201205009 氣口 26之形成位置對應於該合流室29，進而於該筒體20 内部形成有連通該進氣口 25、該分流室28、該第一上淨化 室21a底側與該第一下淨化室21b頂側、該第一上淨化室 21a頂側與該第一下淨化室21b底側、該上通道室23a與該 下通道室23b、該第二上淨化室22a頂側與該第二下淨化室 22b底側、該第二上淨化室22a底側與該第二下淨化室22b 頂側、該合流室29及該出氣口 26之氣流通道。藉此，待 淨化氣體由該進氣口 25導入後於該分流室28分流，進而 利用填充於不同淨化室21a、21b、22a、22b之淨化材40a、 40b進行連續性之淨化，並於該合流室29予以合流後，再 由該出氣口 26將淨化後氣體導出者。 然後，請參閱第三圖所示，本發明之第三實施例，係於 一橫置之圓形筒體30内部以橫向設置之第一多孔板37a與頂 天設置之第一縱隔板34a分隔出第一淨化室31，另以橫向設 置之第二多孔板37b與立地設置之第二縱隔板34b分隔出第 二淨化室32,且於各該淨化室31、32填充有淨化材40a、40b， 而於該第一縱隔板34a與該第二縱隔板34b之間分隔出連通 該第一淨化室31底側與該第二淨化室32頂側之通道室33， 並令一進氣口 35之形成位置對應於該第一淨化室31頂側， 另令一出氣口 36之形成位置對應於該第二淨化室32底側， 進而於該筒體30内部形成有連通該進氣口 35、該第一淨化室 31頂側、該第一淨化室31底側、該通道室33、該第二淨化 室32頂側、該第二淨化室32底側及該出氣口 36之氣流通道。 藉此，待淨化氣體由該進氣口 35導入，進而利用填充於不同 淨化室31、32之淨化材40a、40b進行連續性之淨化，並由 該出氣口 36將淨化後氣體導出者。 201205009 此外，各該淨化室（第一淨化室u、31或第一上下淨
化室21a、21b與該第二淨化室12、L 以或第一上、下淨化室 22a、22b)各自填充不同淨化屬性之多孔性淨化材偷、獅， 或是將不同淨化屬性之多孔性淨化材術、她級配（分級配 置）填充，俾以淨化不同之汙㈣，而其填充高度為2〇〜9〇 公分，更佳為30〜60公分；其中，填充於該第—淨化室^、 31或第一上、下淨化室2U、2lb之多孔性淨化材_可為 活性碳、活性氧化IS、陶竞或彿石，而可用以淨化待淨化氣 體中之懸浮微粒；又，填充於該第二淨化室12、32或第二 上、下淨化室22a、22b之多孔性淨化材働可為㈣質: 活性碳、活性氧化鋁、奈米碳管、多孔性樹脂或沸石，而可 用以淨化待淨化氣體中之酸性氣體。 再者，進一步於該第一淨化室u、31或第一上、下淨 化室21a、21b設置有再生液噴灑器5〇a，而對填充於該第 一淨化室π、31或第一上、下淨化室21a、21b之多孔性 淨化材40a喷灑水（熱水更佳），俾令該多孔性淨化材4〇a 洗滌再生；另，進一步於該第二淨化室12、32或第二上、 下淨化室22a、22b設置有再生液噴灑器5〇b，而對填充於 該第二淨化室12、32或第二上、下淨化室22a、22b之多 孔性淨化材4〇b喷灑水或鹼溶液（如：K〇H、Na0H、KMn〇4或 CuS04或其任一組合）’俾令該多孔性淨化材40b改質再生。 然而，由於該筒體1〇、20或30為圓形且底部設置有排洩 口 123’該筒體1〇、2〇或30底部乃可供所喷灑之再生液蓄 積且方便由排洩口 123排洩。 另者，進一步相對各該再生液噴灑器5〇a、50b連結有 再生液循環單元60a、60b ’各該再生液循環單元6〇a、6〇b 201205009 各將一循環管61a、61b之吸取端設置於該筒體1Q、2〇或 30底部，各該循環管6ia、6ib之排放端則與各該再生液喷 灑器50a、50b連結，且於各該循環管61a、61b設置有循 %泵62a、62b ’並將再生液容器63a、63b藉供給管64a、 64b連結至各該循環管6ia、61b2低壓段，另於該筒體1〇、 20或30底部設置有再生液縱隔板丨24。 基於如是之構成’本發明係於一筒體1〇、2〇或3〇内 部分隔出複數個淨化室（第一淨化室u、31或第一上、下 淨化室21a、21b與該第二淨化室12、32或第二上、下淨 化室22a、22b)，且於各該淨化室填充有淨化材4〇a、4〇b， 並於該筒體10、20或30形成有進氣口 15、25或35與出 氣口 16、26或36，而於該筒體10、2〇或3〇内部形成有連 通該進氣口 15、25或35、各該淨化室（第一淨化室丨丨、31 或第一上、下淨化室21a、21b與該第二淨化室12、32或 第二上、下淨化室22a、22b)及該出氣口 16、26或36之氣 流通道；藉此，待淨化氣體由該進氣口 15、25或35導入， 進而利用填充於不同淨化室之淨化材4〇a、4〇b進行連續性 之淨化，並由該出氣口 16、26或36將淨化後氣體導出。 是故，本發明利用單一結構體將待淨化氣體連續進行連 續性之淨化程序（習知方式則必須將兩結構體率連方可連續 進仃兩次之淨化程序）；是以，具有設備體積小之功效；又， 該再生液喷濃器50a、50b與該再生液循環單元6〇a、^牝之 汉置，遂可令該多孔性淨化材4〇a、4〇b於線上直接再生（不 必停機取出再生），則具有利用線上再生而提升淨化效率之 功效，然而，前述之第三實施例，因其通過各該淨化室31、 32之氣流流向係與再生液之喷灑方向相同（皆向下） ，而得 以較低之壓損進行線上再生（喷灑再生液）之過程。 -10- 201205009 綜上所述，本發明所揭示之技術手段，確具「新穎性、 進步性」及「可供產業利用」等發明專利要件，祈請 局惠賜專利’以勵發明，無任德感。 惟，上述所揭露之圖式、說明，僅為本發明之較佳資 施例’大凡熟悉此項技藝人士’依本案精神範_所作之修 飾或等效變化，仍應包括在本案巾請專利範圍i " 【圖式簡單說明】 第-圖係本發明第-實施例之結構說明圖。 第二圖係本發明第二實施例之結構說明圖。 第三圖係本發明第三實施例之結構㈣圖。 【主要元件符號說明】 10、 20、30 筒體 11、 31第一淨化室 21a第一上淨化室 21b第一下淨化室 12、 32第二淨化室 22a第二上淨化室 22b第二下淨化室 13、 33通道室 23a上通道室 23b下通道室 14、 24縱隔板 34a第一縱隔板 34b第二縱隔板 15、 25、35 進氣口 16、 26、36 出氣口 17多孔板 2 7 a上多孔板 27b下多孔板 37a第一多孔板 37b第二多孔板 28分流室 29合流室 123排洩口 124再生液縱隔板 40a、40b多孔性淨化材 50a、50b再生液喷灑器 60a、60b再生液循環單元 61a、61b循環管 62a、62b循環泵 63a、63b再生液容器 64a、64b供給管 11 -