TW201134792A - Method of preparing organometallic compounds - Google Patents

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201134792 六、發明說明： 基於35 U.S.C.幻19(e)，本申請案主張於2007年7 月20日提出之美國臨時申請案第6〇/961 37〇號以及於 2008年6月3〇日提出之非臨時申請案第12215828號之優 先權。 【發明所屬之技術4員域】 本發明係關於製備有機金屬化合物⑽c)之方法。特 別地’本發明係針對製備用於諸如化學氣相沉積之製程之 高純度有機金屬化合物的方法。 【先前技術】 I藉由夕種手段如化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉 積（PVD)及其他蟲晶技術如液相蠢晶術（LPE)、分子束遙晶 術(_、化學束蟲晶術（CBE)及原子層沉積（ALD)，將金屬 膜’儿積於表面’如非導電（電子材料應用）表面。化學氣相 "L·積製知’如有機金屬化學氣相沉積⑽⑽），藉由在升高 之度（亦即，超過室溫），於大氣壓力或於減壓下分解有 機金屬前體化合物來沉積金屬層。使用此等⑽或m〇cvd 製程可沉積多種金屬。 對於半導體及電子裝置應絲說，有機金屬前體化合 物必須為超純且為實質上不含可測得水準（ievei)之金屬 雜質如石夕與鋅以及包括烴類及經氧化化合物之其他雜質。 理想地’超純度係生產具有雜質水準復_，較佳〈_， 或甚至<lppb的材料。經氧化雜質典型係來自用以製備此 等有機金屬化合物之溶劑，也來自濕度或氧之其他不定 95102 3 201134792 源。當製造電子應用之材料包括第ΙΠ族及第V族⑽C用 於CVD以生產LED用及光電裝置用半導體之化合物的材料 時，或製造ALD用有機金屬前體以生長用於先進之矽晶片 之薄膜的材料時，達成超純度係重要者。某些雜質具有對 該等有機金屬前體化合物而言為相似之沸點’使得難以用 常規蒸餾技術達成高純度。 業經進行很多工作，以改良製備超純有機金屬前體化 合物的合成方法。歷史上，業經藉由批式製程製備有機金 屬前體化合物，但近來，已有如美國專利第6,495,7〇7號 及美國專利公開第2004/0254389號中所揭示之用於生產 有機金屬化合物如三曱基銦及三曱基鎵之連續方法。 儘管有這些進步，該有機金屬化合物之合成仍困難。 許多該等反應為放熱反應，且大量生產，尤其是如此高純 度之大量生產是困難的。此外，難以規模化（scale)生產該 等材料以適應波動需求，而且，由於可能引入雜質及降解 產物’因此該等有機金屬化合物之存儲可能為非所欲者。 用於純化之傳統方法係包括蒸餾、結晶、加成物純 化、質量選擇（mass-selective)超離心及與蒸館合用之化 學處理。雖然此等方法提供一些雜質水準之降低，仍持續 需要生產超純有機金屬化合物，以滿足今天最先進之電子 裝置的效此要求。再者’使用現有方法可達之純度水準往 往存在經濟限制。由於不可接受之產率損失、能量輸入、 或由於該等雜質及有機金屬化合物之物理及/或化學性質 造成的製程循環時間，過量之資本或操作成本可限制可達 95102 4 201134792 之純度。 舉例而言’可使用芬斯克方程（Fenske Equation)而 基於該等成份之相對揮發性（a)以及所欲純度來計算之蒸 餾所需的最小平衡階數（stage)。為了移除最成問題之相近 沸點的雜質（a<l.2) ’該階數或理論板相當高度（height equivalent theoretical plate, HETP)數可超過 50、100 或甚至200 ’以至於即使使用今天最先進之封裝（HETp= 0. 05至0· 20公尺（m))，亦可能需要>ι〇公尺之柱高。當嘗 試製備超純材料時，這一尺寸之柱面臨難以擴大規模及可 操作性之挑戰’及就可燃性有機金屬化合物大量存放來看 的安全性問題。 因此，對於製備用作CVD前體之超純有機金屬化合物 的新方法仍有持續需求。 【發明内容】 憑藉微通道裝置之益處，本發明滿足前述之需求。微 通道裝置提供製私條件之更佳調控，改善之安全性，以及 自實驗室研發至商業製造之市場化速度。微通道裝置之一 個實例，連續流微反應器，幫助透過傑出之熱及質量傳遞 以調控該反應條件且透過材料之低庫存而最小化反應失控 或危險的溢出之風險，從而達成改善之合成產率及純度。 該微通道裝置進一步藉由增加多個裝置數目，以無效能損 失且無需進行傳統製程規模放大研究而於顯著之時間及成 本節約下滿足市場需要，使得生產規模放大成為可能。 微通道裝置也可以相似之益處用於試劑、溶劑、中間 5 95102 201134792 體或最終產物之分離及純化步驟。於微通道技術中，該等 益處之基礎係來自於該裝置内提供之使得相之間的高交換 率成為可能的高表面積。透過增加介面現象之重要性以及 降低熱及質量傳遞之距離而於該微通道構築維度（典型i 至1000微米）達成分離之提升。於此等裝置中之傑出之熱 及質量傳遞為更高效率之分離階段或更低之理論板相當高 度（HETP)提供相之間的高交換率及更佳之溫度調控。這使 得於固定之分離裝置幾何形狀内獲得更高純度之更多階段 成為可能。透過改善能量效率（藉由更佳之熱交換整合）， 亦有益於降低資本密集度及降低操作成本。 微通道裝置可用於寬範圍之分離應用，包括蒸顧、吸 附（adsorption)、萃取、吸收（absorption)及氣體汽提。 憑藉微通道裝置之益處’本發明成功地生產超純有機 金屬前體化合物。 於本發明之一個態樣，係提供用於製備超高純度之有 機金屬化合物的製程，係包含： 將金屬齒化物之金屬鹽與如烧基金屬之烧基化劑，於 微通道裝置中反應，以獲得有機金屬化合物，其中，所得 % 化合物係具有化學氣相沉積製程所需之最小純度。 於本發明之第二態樣，係提供製備超高純度之有機金 屬化合物的方法，係包含：於微通道裝置中純化包含雜質 之有機金屬化合物，以將具有界於〇. 8<a<l. 5之相對揮發 性（a)之雜質之水準降低至適用於電子材料應用之水準。 【實施方式】 6 95102 201134792 如本文中所使用者，術語“金屬齒化物’’係指含有金屬 以及至J 一個鍵結至該金屬之_素的化合物。該金屬也可 具有額外之非函化物取代基。 如本文中所使用者，術語“電子材料應用”係指包括， 但不限於化學氣相沉積（CVD)、物理氣相沉積（PVD)及其他 蠢晶技術如液相磊晶術（LPE)、分子束磊晶術（MBE)、化學 束磊晶術（CBE)及原子層沉積（ALD)之應用。於電子材料應 用中，具有界於0.8<a<1.5之相對揮發性（a)之雜質之水準 典型係必須低於1 OOppm，或者低於1 ppm。 “鹵素’’係指氟、氯、溴及碘，且“齒基”係指代氟基、 氯基、溴基及碘基。相似地，“齒化”係指氟化、氣化、溴 化及碘化。“烷基”係包括直鏈、分支鏈及環狀烷基。相似 地’“烯基”及“快基”係分別包括直鏈、分支鏈及環狀的埽 基及炔基。術語“第IV族金屬’’不意欲包括第IV族非金屬 如碳。相似地，術語“第VI族金屬”不意欲包括第VI族非 金屬如氧及硫。“芳基”係指任意芳香族部份，較佳係芳香 族烴。 冠詞“一 外文為“a”及“an”）係指單數及複數。 如本文中所使用者，“CVD”意欲包括全部形式之化學氣 相沉積，舉例而言：金屬有機化學氣相沉積（M〇CVD)、金屬 有機氣相磊晶術（M0VPE)、有機金屬氣相蟲晶術（qmvPE)、 有機金屬化學氣相沉積（0MCVD)及遙控電漿化學氣相沉積 (RPCVD)。於CVD製程中，為了滿足使用此等有機金屬化合 物生產之半導體裝置之嚴苛的電效能或光電效能的需求， 7 95102 201134792 有機金屬化合物必須具有至少99. 9999%之純度。 除了另行指明者之外’全部之量係重量百分率，以及 全部比例係莫耳比。全部數值範圍係包括邊值且可以任意 順序組合，除非此等數值範圍明顯限定為其總和至高為 100%。 微通道裝置於化學合成及純化中提供新的機會。微通 道裝置所具有之通道橫截面維度（寬度）為〇. 1至5, 000微 米，較佳1至1，000微米，或更佳1至1〇〇微米。微通道 裝置典型係由多個供流體沿平行於主要流動方向流動之通 道所構成。由於通道橫截面維度小，該微通道裝置係具有 高表面積與體積之比，造成高效之質量及熱傳遞。特別低， 質量傳遞係於分子規格上’以及熱傳遞係數可高至25千瓦 /平方米凱氏溫度或更高。供比較用，傳統外罩反應器 (jacketed reactor)之熱傳遞係數典型為〇. 1至〇.2千瓦/ 平方米凱氏溫度。於微通道裴置中之高效質量及熱傳遞允 許對於反應條件如溫度、反應物濃度及停留時間的更緊凑 的調控。對於高純度有機金屬產物之製備而言，溫度調控 係尤其重要者。偏離放熱反應或吸熱反應的恒溫條件可導 致非所欲副產物的量增加，造成較低之產率及產物純度。 於咼純度產物之生產中的精確溫度調控降低，或於某些例 中消除對於後續純化之需要，因此降低生產該有機金屬化 合物所需之資源的總量。 由於每一個微通道裝置典型係生產小量之有機金屬 前體，可並聯（in parallel)使用大量微通道裝置。可藉由 8 95102 201134792 在定時間點增加或降低微通道裝置的數目來調控藉由該系 列微通道裝置所生產之總體積，因此降低或消除對於產物 儲存之需求。 微通道裝置可自任何傳統材料做成包括，但不限於， 金屬、聚合物、陶瓷、矽或玻璃。例示性金屬係包括，但 不限於，金屬合金如來自哈氏合金國際公司（Haynes International Inc.)之 HastelloyTM 合金’以及沃斯田鐵 不鏽鋼如304、312及316不鏽鋼。製造方法係包括，但不 限於，機械式微機械加工、模製、薄帶成形、蝕刻、雷射 圖形化、沙磨、熱壓花、微影及微立體微影。該微通道裝 置可構築為具有平滑通道壁及/或該通道壁上具有提升熱 及質量傳遞之結構特徵的通道兩者。微反應器係微通道裝 置之一個實例。 用於施行反應之某些微通道裝置之具體實施態樣中， 該微反應器係包含用於每種試劑之入口。於採用三種或更 多種試劑之反應中，可將兩種或更多種試劑組合並通過單 一入口進料至該微反應器中，其限制條件為試劑之總數直 至位於該微反應區域中才予以組合。舉例而言，當該反應 採用二種试劑時，該專5式劑之兩種可通過相同入口共同進 料至該微反應器中，而第三種試劑可通過第二入口進料。 該微通道裝置可包含經由外部冷卻或加熱源進行溫 度調控之分開（seperate)的通道系統。例示性系統包括， 但不限於，熱油、熱水、熱蒸氣、冷油、冷水、冷浴及冷 卻單元。如本文中所使用者，“熱，，係意指超過室溫之溫度， 95102 9 201134792 典型係超過35°C。如本文中所使用者，“冷”係意指低於室 溫之溫度，典型係低於15°C。於微反應器之例中，該裝置 係於適用於特定合成反應之溫度操作。 該微通道裝置可復包含用於將入口蒸氣混合之微混 合器。 該微通道裝置可具有1微米至1米或更大範圍之長 度，此係取決於製程需要或裝置之製造方法。若需要，可 依序使用多個微通道裝置以達成所欲之總長度。於微反應 器之例中，除流速及溫度之外’該微通道裝置之長度也藉 由待實施之特定反應的動力學所指定。較慢反應需要較長 之微反應器内停留時間，ji據此需要更長之微反應器。此 外，當所欲者係依序反應時’該微反應器可沿著該裝置之 長度或介於裝置之間包含供額外試劑使用之額外入口。 該微通道裝置係包含用於移除產物之出口。於某些具 體實施態樣中，該微通道裝置係包括兩個出口，一個供液 體流使用，另一個供氣體流使用。隨後’來自微反應器之 產物流可使用傳統純化方法、微通道純化或其組合進行純 化。 微反應器之一種實例係揭示於美國專利第6, 537, 506 號中，其揭示合併熱傳遞流體路徑、反應物流體路徑、產 物路徑、混合腔及反應腔之堆疊板、多通道反應器。 微通道裝置可視需要含有墊（wick)或膜結構以調控 流體膜厚度並提升介面現象。微通道裝置可用於流體分離 包括蒸餾。微通道裝置於商業重要之蒸餾應用中的應用為 10 95102 201134792 C2分離器，其自乙烯中分離乙烷。該微通道蒸餾製程可減 少用於乙烯生產之能量消耗及資本成本。 本發明係提供用於製備有機金屬化合物之製程，藉由 將金屬鹽與烷基化劑於微通道裝置中反應以生產用於諸如 化學氣相沉積之製程的超純烷基金屬（alkylmetal)化合 物。此外，本發明之烷基化劑自身可為經純化者。 .金屬鹽與烧基化劑之組合的實例係包括，但不限於， 於例如微反應器之微通道裝置中將金屬函化物與三烷基鋁 溶液反應，將金屬i化物溶液與齒化烷基鎂反應，或將金 屬鹵化物溶液與烧基链溶液反應，以生產烧基金屬化合物。 於某些具體實施態樣中，烷基化劑與金屬鹽之莫耳比係大 於或等於1。於某些具體實施態樣中，該莫耳比係大於或 等於2。於某些具體實施態樣中，該莫耳比係大於或等於3。 該金屬齒化物可包含第II族、第III族、第IV族或 第V族之金屬。該金屬函化物中存在足夠數目之έ素以形 成中性化合物。例示性金屬鹵化物係包括，但不限於， Z11CI2、GaCl3、InCh、InBra、Inh、GeCh、SiCh、SnCl4、 PC13、AsC13、SbCh及 BiCl3。 該三烷基鋁溶液係包含三個烷基，其可相同或不同。 每個烷基係包含1個至8個碳原子。該等烷基可係直鍵、 分支鏈或環狀。該齒化烷基鎂及烷基鋰化合物係包含H 1個至8個碳原子之單一個烧基。類似地，該等燒基可係 直鏈、分支鏈或環狀。 該金屬鹽溶液及該烷基化劑溶液可包含任何有機溶 95102 201134792 劑，該溶劑對於該兩種成分間之反應呈惰性以及對自該反 應獲得之任何產物亦呈惰性。於某些具體實施態樣中，該 金屬鹽溶液係不含溶劑’亦即，該金屬鹽係已經呈液體升3 式且以“純的（neat)”之狀態加入。該溶劑應選擇為提供足 夠之溶解度，以使得反應進行。該金屬鹽溶液與該烧基化 劑溶液可使用相同或不同之溶劑。特別適當之有機溶劑係 包括，但不限於，烴類及芳香族烴類。例示性有機溶劑係 包括’但不限於，苯；經烷基取代之苯，如甲苯、二甲苯 及（C4-C20)烧基苯如（Ci〇-Ci2)烧基苯及（Ci〇-C2。）燒基聯苯； 以及脂肪族烴類如戊烧、己烧、庚烧、辛燒、癸烧、十二 烷、鯊烷、環戊烷、環己烷及環庚烷；以及其混合物。更 佳地，該有機溶劑係苯、甲苯、二甲苯、（C4〜c2fl)烷基苯、 己烷、庚烷、環戊烷或環己烷。適宜者係可較佳地使用超 過一種有機溶劑。此等有機溶劑通常可自各種來源如 Aldrich Chemicals(Milwaukee，Wis.)商業地獲得。此等 溶劑可直接使用，或較佳地，於使用之前先純化。 較佳地’此等有機溶劑係於使用之前乾燥以及去氧。 可藉由各種手段，如以惰性氣體沖洗、於真空中對溶劑進 行脫氣或其組合’將該等溶劑進行去氧。適當之惰性氣體 係包括氬氣、氮氣及氦氣，較佳係氬氣或氮氣。 於另外之具體實施態樣中’將採用離子液體（i〇nic liquid)作為溶劑，係慮及離子液體不與有機金屬合成相互 作用並提供環境友好之“綠色環保溶劑，\離子液體通常為 於低溫為液體之鹽，具有低於l〇(TC之熔點。多數離子液 95102 12 201134792 體於室溫㈣為液相，且稱為室溫離子㈣。離子液體完 全由離子構成，且典型地，他們係由大體積有機陽離子及 無機陰離子構成。由於此等化合物中之高庫余引力，離子 液體實際上不具有蒸氣壓。 任何適當之離子液财用財發0种。㈣離子液體 之例示性陽離子係包括，但不限於，烴基錢 (hydrocarbylammonium)陽離子、烴基碟錯 (hydrocarbylphosphonium)陽離子、烴基„比啶鑌 (hy drocar by 1 py r i d i n i um )陽離子及二烴基咪唑鏽 (dihydrocarbylimidazolium)陽離子。適用於本發明之離 子液體之例示性陰離子係包括’但不限於，氯金屬酸根 (chlorometalate)陰離子、氟硼酸根陰離子如四氟硼酸根 陰離子及經烴基取代之氟硼酸根陰離子、以及氟磷酸根陰 離子如六氟磷酸根陰離子及經烴基取代之氟磷酸根陰離 子。氯金屬酸根陰離子之實例係包括，但不限於，氯代紹 酸根陰離子如四氯鋁酸根陰離子及氯三烷基鋁酸根陰離 子、氣鎵酸根陰離子如氯三甲基鎵酸根及四氯鎵酸根、氣 銦酸根陰離子如四氣銦酸根及氯三甲基銦酸根。 適當之氯鋁酸根系離子液體係包括，但不限於，彼等具 有經烴基取代之函化銨、經烴基取代之磷鑌函化物、經烴基 取代之吡啶鑌齒化物或經烴基取代之咪唑鏽齒化物者。例 示性氣鋁酸根系離子液體係包括，但不限於，氣鋁酸三甲 基苯基銨（TMPACA)、氣鋁酸苄基三甲基銨（BTMACA)、氣鋁 酸苄基三乙基銨（BTEACA)、氣鋁酸苄基三丁基銨（BTBACA)、 13 95102 201134792 氯鋁酸三曱基苯基磷錄KTMPPCA)、氣鋁酸苄基三曱基磷鑌 (BTMPCA)、氣鋁酸苄基三乙基磷鏽（BTEPCA)、氣鋁酸苄基 三丁基磷鏽（BTBPCA)、氣鋁酸卜丁基-4-曱基吡啶鑌 (BMPYCA)、氣鋁酸卜丁基°比啶鑌（BPYCA)、氣鋁酸3-曱基 -1-丙基吡啶鏽（MPPYCA)、氯鋁酸1-丁基-3-甲基咪唑鏽 (BMIMCA)、氣鋁酸卜乙基-3-甲基咪唑鏽（EMIMCA)、溴-三 氣鋁酸1-乙基-3-曱基咪唑鏽（EMIMBTCA)、氣代鋁酸1_己 基-3-曱基咪唾鏽（HMI MCA)、氯三曱基铭酸苄基三曱基敍 (BTMACTMA)、以及氯鋁酸卜曱基-3-辛基咪唑鏽（M0IMCA)。 其他適當之離子液體係包括彼等具有氟硼酸根陰離 子或氟磷酸根陰離子者，例如但不限於，氟硼酸三曱基苯 基銨（TMPAFB)、氟硼酸苄基三甲基銨（BTMAFB)、氟硼酸苄 基三乙基銨（BTEAFB)、氟硼酸苄基三丁基銨（BTBAFB)、氟 硼酸三曱基苯基磷鑌（TMPPFB)、氟硼酸苄基三甲基磷鏽 (BTMPFB)、氟硼酸苄基三乙基磷鏽（BTEPFB)、氟硼酸苄基 三丁基磷鑌（BTBPFB)、氟硼酸1-丁基-4-曱基吼啶鏽 (JBMPFB)、氟硼酸卜丁基吡啶鏽（BPFB)、氟硼酸3-甲基-1-丙基吡啶鑌（MPPFB)、氟硼酸1-丁基-3-曱基咪唑鏽 (BMIMFB)、氟硼酸1-乙基-3-甲基咪唑鑌（EMIMFB)、溴-三 氟硼酸1-乙基-3-甲基咪唑鑌（EMIMBTFB)、氟硼酸1-己基 -3-甲基咪唑鏽（HMIMFB)、氟硼酸1-甲基-3-辛基咪唑鏘 (M0IMFB)、以及氟磷酸苄基三甲基銨（BTMAFP)。 離子液體通常可商業地購得或可藉由該技術領域中 已知之方法製備。此等化合物可直接使用或可經進一步純 14 95102 201134792 化。 此等溶液之濃度及量係經選擇而使得該烷基化劑化 合物與該金屬鹽之莫耳比係大於或等於特定之烷基化反應 之化學計量學之需要。 該金屬齒化物與三烷基鋁溶液之反應可於_10°c至 100°C施行。可用之壓力為1至10巴（bar)。 該金屬齒化物溶液與函化烷基鎂或烷基鋰溶液之反 應可於-50°C至50°C施行。可用之壓力為1至1〇巴。 於本發明之另一具體實施態樣中，係提供製備作為適 用於原子層沉積（ALD)之可用源之金屬肺（metal amidinate) 化合物的方法。該金屬脒化合物係適用於作為ALD前體使 用之有機金屬化合物，具有式（RiNCRMlOnirVo^lA，其 中，R1、R2及R3係獨立選自H、（OC6)烷基、（C2_C6)烯基、 (C2-C〇炔基、二烷基胺基、二（經矽烷基取代之烷基）胺 基、二石夕烧基胺基（disilylamino)、二（經烧基取代之石夕烧 基）胺基、及芳基；Μ為金屬；L1為陰離子性配位子；L2為 中性配位子；m為Μ之價數；η=0至6 ; ρ=0至3 ;以及其 中，m2 η。金屬脒之本質可係均配物或雜配物，亦即’可 包含不同之脒（amidinate)配位子或脒配位子與其他陰離 子性配位子之組合。此等化合物係適用於多種氣相沉積方 法，如化學氣相沉積（CVD)，以及特別適用於原子層沉積 (ALD)。亦提供包括上揭化合物與有機溶劑之組成物。此組 成物特別適用於ALD與直接液體注射（DLI)製程。 製備有機金屬脒化合物之方法係包含，將金屬齒化物 15 95102 201134792 溶液與脒基鋰（amidinato lithium)溶液於諸如微反應器 之微通道裝置中反應，以生產金屬烷基脒（metal alkylamidinate)化合物，其中，該脒基鋰化合物與金屬_ 化物之莫耳比係大於或等於卜於某些具體實施態樣中， 該莫耳比係大於或等於2。於某些具體實施態樣中，該莫 耳比係大於或等於3。 ' 該金屬齒化物可包含第π族至第¥111族之金屬。該 金屬函化物中存在足夠數目之函素以形成中性化合物。例 示性金屬_化物係包括，但不限於，ZnCh、GaCh、inBn、 A1C13、HfCl4、ZrCl4、GeCl4、SiCl4、TaCh、WCh、SbCh 及 RuC13。 該脎基链化合物係包含單一脉基，該肺基係包含具有 1個至8個碳原子之烧基或芳基或環狀基。該等絲可係 直鏈、分支鏈或環狀基。 μ 該金屬齒化物溶液及該脒基鋰溶液可包含任何溶劑， 該溶劑對於金屬齒化物與脒基鋰溶液間之反應呈惰性以及 對自該反應獲得之任何產物亦呈惰性。該等溶劑及試劑必 須被乾燥以及去氧。該溶劑應選擇為提供足夠之溶解度， 以使得反應進行。該金屬齒化物溶液與該脒基鋰溶液可使 用相同或不同之溶劑。例示性溶劑係包括，但不限於前述 列述者。 於某些具體實施態樣中，金屬齒化物溶液係不含溶劑， 亦即，該金屬齒化物係已經呈液體形式且以“純的，，狀態加 入。此等溶液之濃度及量係經選擇而使得該脒基鋰化二物 95102 16 201134792 與該金屬齒化物之莫耳比係大 計量學之需要。 於或等於所欲之反應的化學 巴 該反應可於-50°C至 5〇c施行。可用之壓力為1至10 於又一具體實施態樣中，製備右 / A 表備有機金屬化合物之方法 係包r將金屬i化物料與絲金屬溶液於三級胺、三 級膦、或三級贿三輯之私物的料下於如微反應器 之微通道裝置中施行。 4特別地，該方法係包含將式隨“之金屬鹵化物與式 RUn之第III族化合物於三級胺、三級鱗、或三級胺 與三級膦之混合物的存在下於有機溶射反應，以提供烧 基金屬化合物，其中，每個R係獨立選自Η、烷基、烯基、 炔基及芳基；Μ係選自第IV族金屬及第VI族金屬；每個χ 係獨立為齒素；每個r4係獨立選自（Ci_c〇烷基；Ml為第ιπ 族金屬；每個X1係獨立為鹵素；m為〇至3 ;以及η為工 至3。該第IV族金屬i化物與該第VI族金屬函化物通常 可自諸如Gelest公司（Tullytown，Pa.)商業地購得，或可 藉由文獻中已知之方法製備。此等化合物可直接使用或於 使用之刖先純化。熟識該技術之人士應知悉，可使用超過 種金屬鹵化物、超過一種第III族化合物、以及其組合。 例示性第IV族金屬係包括’但不限於，石夕、鍺及錫。 例示性第VI族金屬係包括，但不限於，碲及硒。M較佳係 矽、鍺或錫，更佳係鍺^ X可為任何鹵素。每個χ可相同 或不同。於一具體實施態樣中，當m=0時，係使用第 95102 17 201134792 IV族或第VI族金屬四鹵化物。於其他具體實施態樣中，m 可為1、2或3。 廣泛種類之烷基、烯基及炔基可用於R。適當之烷基 包括，而不限於，（G-C!2)烷基，典型為（Cl_Ce)烷基，更典 型為（G-α)烷基。於一具體實施態樣中，該等烷基係大體 積烷基。“大體積烷基”係意指任何空間位阻之烷基。此等 大體積烧基係具有至少3個碳，此基中碳之數目並無特定 之上限^較佳地，該等大體積烷基係個別具有3個至6個 碳原子，更佳3個至5個碳原子。此等大體積烷基較佳係 非直鏈’較佳係環狀或分支鏈。例示性烷基係包括甲基、 乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第 三丁基、戊基、環戊基、己基及環己基。更典型地，適當 之烷基係包括乙基、異丙基及第三丁基、適當之烯基係包 括，但不限於’（Cz-G2)烯基，典型為（C2_C6)烯基，更典型 為（C2_C4)稀基。例示性稀基係包括乙稀基、烯丙基、曱基 烯丙基及巴豆基。典型之炔基係包括，但不限於，（C2_C12) 块基’典型為（C2_Ce)炔基，更典型為（C2-C4)炔基。適當之 芳基係（Ce-Ci。）芳基，包括但不限於，苯基、曱苯基、二甲 笨基、苄基及苯乙基。當存在兩個或更多個烷基、烯基或 块基時，此等基可相同或不同。 R之任何上揭之烷基、烯基、炔基或芳基可視需要經 取代，如經鹵素或二烷基胺基取代。“經取代，，係意指該烷 基、烯基、炔基或芳基上之一個或多個氫經一個或多個鹵 素或二烷基胺基置換。 18 95102 201134792 可使用廣泛種類之第III族化合物。可用於本發明之 適當之第III族化合物典型係具有式，其中，每 個R4係獨立選自（G-CO烷基；M1為第IIIA族金屬；X1為 鹵素；以及η為1至3之整數。M1適當地為硼、鋁、鎵、 銦及銘，且較佳為銘。較佳地，X1係選自氟、氯或漠。適 用於R4之烷基係包括，但不限於，曱基、乙基、正丙基、 異丙基、正丁基、異丁基及第三丁基。較佳之烷基係包括 甲基、乙基、正丙基及異丙基。於一具體實施態樣中，η 為3。其中η為3之此第III族化合物係包括三烷基硼、 三烧基銘、三炫基鎵、三烧基銦及三烧基銘，且三烧基紹 化合物係較佳者。於替代之具體實施態樣中，η為1或2。 其中η為1至2之此等第IIΙΑ族化合物係包括鹵化二烷基 鋁如氯化二烷基鋁。第III族化合物通常可自多種來源如 Gelest商業地購得，或可藉由文獻中已知之多種方法製 備。此等化合物可直接使用或於使用之前純化。 適當之三級胺係包括，但不限於，彼等具有通式 NR5R6R7者，其中，R5、R6及R7係獨立選自（CrCe)烷基、經 二（Ci-Ce)烷基胺基取代之（Ci-Ce)烷基以及苯基，以及其中 R5與R6可與其所連接之氮原子一起形成5員至7員雜環。 此雜環可為芳香族或非芳香族。特別適當之三級胺係包 括，但不限於，三曱胺、三乙胺、三正丙基胺、三正丁基 胺、三異丙基胺、三異丁基胺、二曱胺基環己烷、二乙胺 基環己烷、二曱胺基環戊烷、二乙胺基環戊烷、N-甲基吡 咯啶、N-乙基吡咯啶、N-正丙基吡咯啶、N-異丙基吡咯啶、 19 95102 201134792 N-曱基α底咬、N-乙基°底咬、N-正丙基旅唆、N-異丙基底咬、 Ν，Ν’ -二曱基哌畊、N，Ν’ -二乙基哌畊、Ν，Ν’ -二丙基哌 畊、Ν，Ν，Ν’，Ν’ -四甲基-1,2-二胺基乙烷、吡啶、吡畊、 嘧啶及其混合物。較佳之胺係包括三曱胺、三乙胺、三正 丙基胺、三異丙基胺、及三正丁基胺。於一具體實施態樣 中，該三級胺係三乙胺或三正丙基胺。 例示性三級膦係包括，但不限於，彼等具有通式 R8RY°P者，其中，R8、R9及R1。係獨立選自（CrCe)烷基、 苯基及經（G-Ce)烷基取代之苯基。適當之三級膦係包括三 乙基膦、三丙基膦、三丁基膦、苯基二曱基膦、苯基二乙 基膦及丁基二乙基膦。 技術領域中具有通常知識者應知悉，可使用超過一種 之三級胺或三級膦。也可使用三級胺及三級膦之混合物。 此等三級胺及三級膦係通常可自多種來源商業地購得。此 等三級胺及三級膦可直接使用，或較佳地，於使用之前進 一步純化。 可使用廣泛種類之有機溶劑。典型地，此等有機溶劑 不含有經氧化者如醚鏈結，且較佳係不含氧。例示性有機 溶劑係包括，但不限於，烴類及芳香族烴類。適當之有機 溶劑係包括，但不限於，苯、甲苯、二曱苯、戊烷、己烷、 庚烧、辛烧、癸烧、十二烧、鯊烧、環戊烧、環己烧、環 庚烷及其混合物。適宜地，較佳可將超過一種之有機溶劑 用於本發明中。於另外之具體實施態樣中，該三級胺可用 作該有機溶劑。此等有機溶劑通常可自多種來源如 20 95102 201134792

Aldrich Chemicals (Milwaukee，Wis·)商業地購得。此等 溶劑可直接使用，或較佳地，於使用之前純化。 較佳地，此等有機溶劑係於使用之前去氧。可藉由各 種手段’如以惰性氣體沖洗、於真空對溶劑進行脫氣或其 組合，將該等溶劑進行去氧。適當之惰性氣體係包括氩氣、 氮氣及氦氣，較佳係氬氣或氮氣。 所使用之具體之三級胺、三級膦及有機溶劑係取決於 所欲之特定之烷基金屬化合物。舉例而言，該有機溶劑及 三級胺可經選擇而使得他們比所欲之烷基金屬化合物具更 多揮發性或更少揮發性。此等揮發性之差異使該烷基金』 化合物與該胺及有機溶劑兩者更容易分離。該三級胺及+ 有機溶劑之選擇係屬技術領域中具有通常知識者能力範〜 之内。 色讀 通常，該三級胺及/或三級膦係以該第UIA族化人, 之化學汁量之當量存在。該金屬齒化物與該第Η ΙΑ族化 物之莫耳比可於寬範圍内變動，如自丨.0 1 、 υ· i至1:5，特哀 之莫耳比係取決於所欲之烷基金屬化合物。另一適杏之^ 耳比範圍係自1:〇.5至1:2。亦預期超過1:5之莫^1^^ 有效者。 ^ 可藉由選擇該金屬減物與該第叫族化合物之莫 耳比來調控自本方法獲得之特定之絲金屬化合物，亦、 即’可藉由第ΙΠ純合物之莫耳數來調控該金屬齒化物 化合物中被置換之較的數目。舉例而言，於如四氣化錯 之第IV族金屬四_化物⑴與如三甲基叙之三烧基铭⑻ 95102 21 201134792 之反應中’ 1 :〇· 5(A:B；)之莫耳比係提供烷基第ιν族金屬三 鹵化物；1:1(A:B)之莫耳比係提供二烧基第IV族金屬二鹵 化物’1:1. 5(A:B)之莫耳比係提供三烷基第Iv族金屬鹵化 物，以及1:2(A:B)之莫耳比係提供四烷基第IV族金屬。 因此，根據本發明之方法，該金屬齒化物之一個、兩個、 三個或四個_素可經置換。 於一具體實施態樣中，可在與該金屬鹵化物反應之前， 以任何順序將該第ΠΙ族化合物、三級胺及/或三級膦及有 機溶劑組合。於再一具體實施態樣中，首先係將該第III 族化合物與該三級胺及/或三級膦組合以形成胺第ίη族 加成物或膦-第III族加成物。典型地，該胺_第ΙΠ族加 成物可於寬範圍之溫度形成。形成該加成物之適當溫度係 環境溫度至9(TC。隨後，該金屬鹵化物與該胺_第ΠΙ族 加成物反應以形成所欲之烷基金屬化合物。較佳係將該金 屬鹵化物以純化合物或呈烴溶液滴加至該胺_第ΙΠ族加 成物中。或者，該胺-第III族加成物可以純化合物或呈烴 溶液滴加至該金屬南化物中。用以形成該烷基金屬化合物 之適當之溫度係環境溫度至8〇°c。因此，於一具體實施態 樣中，本發明係提供用於製備烷基金屬化合物之方法，係 包含將第III族化合物與三級胺於不含經氧化之物質的有 機溶劑中反應以形成胺-第UI族加成物；以及將該胺一第 ΙΠ族加成物與第IV族金屬齒化物、第VIA族金屬齒化物 或其混合物於該有機溶劑中反應。當於上揭反應中使用三 級膦時’形成膦-第III族加成物。 22 95102 201134792 於另一具體實施態樣中，可在與該三級胺及/或三級 膦混合之前，將該金屬齒化物與該第ΠΙ族化合物及梘需 要之有機溶劑組合。隨後，使用該微通道裝置内之適當的 混合區域或傳統外部攪動技術將該三級胺及/或三級膦及 視需要之有機溶劑與該金屬由化物_第ΙΙΙΑ族化合物混合 物組合。或者，可將該金屬_化物_第ΙΠ族化合物加入該 一級胺及/或二級膦及視需要之有機溶劑中。雖非欲為理論 所束缚，咸信，直至將該金屬_化物、第ΙΠ族化合物及 二級胺纽合時，該轉烷基化（transalkylati〇n)反應方才 始。 ^或者，可以連續之方式製備該烷基金屬化合物。舉例 而a ,可將該金屬齒化物與該第ΙΠ族化合物以連續之方 j 1立加入微通道反應器中’並於適當有機溶劑（如芳香族 =肪，）中與三級胺及/或三級膦接觸。可藉由多種適 ^手段（如藉由使用質量流調控器）調控該金屬ώ化物與 I化Ul族化合物之加入。於此連續製程中，於將該金屬 由諸，第Πι族化合物加入該反應區域中之同時，可藉 中：，顧來回收所欲之院基金屬化合物。於再一替代者 當溶ί將該金屬_化物與該第111族化合物之混合物於適 於將該與該一級胺及/或三級膦組合。於此連續製程中， 區域;屬_化物/第丨11族化合物之混合物加入該反應 。合物 同夺可藉由諸如蒸德來回收所欲之烧基金屬化 ’有機金屬化合物可直接使用或適當地藉由多種技 23 95102 201134792 術如蒸餾、昇華及再結晶予以純化。本發明之方法係提供 實質上不含金屬雜質如鋁、鎵、銦、鎘、汞及辞之有機: 屬化合物。該等有機金屬化合物亦實質上不含經氧化之雜 質如謎化溶劑（ethereal s〇lvent)，且較佳係不含此等經 氧化之雜質。“實質上不含，，係意指該化合物含有低於 0. 5ppm之此等雜質。本發明之有機金屬化合物係具有至少 99.99重量％之純度，或者99.9999重量％之純度。具體而 言，以重量計，本發明之有機金屬化合物所包含之雜質之 水準係低於lOOppm至低於ippm。 可使用微通道裝置進一步純化用於電子材料應用之 超高純度之有機金屬化合物。該微通道裝置可用以純化該 等反應物、中間體、或最終產物或其組合，以達成用於電 子應用之超高純度化合物。該有機金屬化合物可於如上揭 者之微通道反應器中製備，或於傳統反應器（包括批式授摔 槽、半批式連續流攪拌槽、連續流管式反應器、反應性蒸 餾反應器）中製備、及以其他已知之方法製備。由於傳統方 法之低濃度驅動力，用於電子應用的超高純度材料往往難 以透過傳統熱分離方法如蒸餾及昇華、或質量傳遞分離方 法如萃取、吸收及吸附而達成。 含有具相近沸點之雜質（相對揮發性，0. 8<a<l. 5，其 中’ a=該雜質之蒸氣壓/所欲之純化合物的蒸氣壓）的有機 金屬化合物尤其難以透過具有傳統填充（packing)之分段 (staged)蒸餾製程予以純化。該柱可需要大量階數如>5〇、 >100、有時>200，或高回流比如>1〇、>20、有時>50，或兩 24 95102 201134792 者，這增加製程之投資及操作成本以及複雜性。該微通道 裝置提供此等問題之經改良的解決方法。小的通道維度生 成更高之傳送梯度以加強熱及質量傳遞，以及增加之柱表 面而於固定之幾何形狀中提供更局之有效交換面積。兩個 因素貢獻更有效之分離（較小的理論板相當高度，HETP)純 化，尤其有益於獲得高純度。 也可藉由吸附性或化學純化技術（如加成物純化）於 微通道裝置生產超高純度有機金屬化合物。可於微通道表 面支樓選擇性吸附劑或加成物形成路易斯驗 (adduct-formingLewisbase)如胺、膦或醚，提供非常高 之父換面積以接觸含有雜質之流。可提供供熱傳遞流體流 動用之供其他微通道，從而精確地調控該裝置之溫度，以 有效地進行吸附步驟與解吸附步驟間的調節及循環。 基於微通道技術之分離製程，如蒸餾、汽提、萃取及 吸附，提供達成超純產物（ppm，ppb)所需之提升的熱及質 s傳遞。此等分離製程額外提供解決將具有相似沸點（相對 揮發!·生〇· 8<a<l. 5)之液體混合物分離成高純度水準之問 題所需之傳遞階的強化。有利的操作條件係包括溫度及壓 力，其中，該液體成分之一種或多種係處於該液相中，且 月^進行轉變成氣相狀態或至經吸附於吸收劑上之狀態的相 變化這可包括25°C至25(TC之溫度及〇. ipa至i〇MPa之 壓力。進料雜質水準可自該流體混合物之lppm高至1〇wt〇/〇 或甚至5〇wt%。 本發明之有機金屬化合物特別適用於在全部氣相沉 95102 25 201134792 積方法（如 LPE、MBE、CBE、ALD、CVD、M0CVD 及 M0VPE)中 作為前體使用。本發明之化合物係適用於沉積含有一種或 多種第IV族、第VI族或第IV族與第VI族金屬的膜。此 等膜係有用於製造電子裝置例如，但不限於，積體電路、 光電裝置及發光二極體。 第IV族及/或第VI族金屬之膜典型係藉由下述者予 以沉積：首先將所欲之烧基金屬化合物，亦即，來源化合 物或前體化合物，置於具有與沉積腔相連接之出口的運輸 裝置（如圓筒柱）中。取決於所使用之特定之沉積設備，可 使用多種圓筒柱。當該前體化合物為固體時，可使用於美 國專利第6,444,038號（Rangarajan等人）及美國專利第 6, 607, 785號（Timmons等人）中揭露之圓筒柱以及其他設 計。對於液體前體化合物’可使用美國專利第4,506,815 號（Melas等人）及美國專利第5, 755, 885號（Mikoshiba等 人）中揭露之圓筒柱以及其他液體前體圓筒柱。該來源化合 物係呈液體或固體保持於該等圓筒柱中。固體來源化合物 典型係於傳輸至該沉積腔之前予以蒸發或昇華。 該等來源化合物典型係藉由使載氣穿過該圓筒柱而 傳輸至該沉積腔中。適當之載氣係包括氮氣、氫氣及其混 合物。通常，該載氣係引入該來源化合物之表面下，且上 行通過該來源化合物至其上之頂部空間，將該來源化合物 之蒸氣裹挾或運載至該載氣中。隨後’經裹挾或運載之蒸 氣進入該沉積腔中。 該沉積腔典型係其内部配置有至少一種（且可能多種） 26 95102 201134792 基材之經加熱之容器。該沉積腔係具有出口，其典型連接 至真空泵，以將副產物自該腔中抽出且提供適宜之減壓。 可於大氣壓或減壓下施行M0CVD。該沉積腔係維持於足夠 高之溫度，以誘發該來源化合物之分解。該沉積腔溫度係 200 C至1200 C，最適化所選擇之確切溫度以提供有效沉 積。視需要，若該基材係維持於升高之溫度，或如果有RF 來源產生其他成量如射頻（radi〇freqUenCy，Rp)能量，該 沉積腔内整體之溫度可降低。 於電子裝置製造之例中，用於沉積之適當之基材可為 矽、砷化鎵、磷化銦等。此等基材可含有一層或多層額外 之材料層例如，但不限於，介電層及傳電層如金屬。此等 基材特別適用於製造積體電路、光電裝置及發光二極體。 將沉積持續所欲之時間，以生產具有所欲性質的膜。 典型地，當沉積停止時，該膜之厚度可自幾百埃至幾十奈 米至幾百微米或更厚。 下述實施例係預期以進一步例示性說明本發明之各 種態樣，但非欲以於任何方面限制本發明之範嘴。全部操 作係於惰性氣氛，典型於乾燥氮氣之氣氛下予以施行。 [實施例] 比較例#1 根據下述方程式合成四甲基鍺烧：

GeCU + 2(CH3)3Al.Pr3N.·» (CH3)4Ge + 2CHjA 丨 Cl2.Pr3N 於氮氣中，將三曱基鋁（4〇公克（g)，〇·554莫耳）加 95102 27 201134792 入三頸圓底燒瓶内的150g高沸點直鏈烷基苯中。於室溫將 正丙胺（79· 5g，0.554莫耳）滴加至其中。該添加係持續3〇 分鐘’於此期間’該混合物變暖（約50〇C )。完成該添加且 該混合物冷卻至室溫之後，於室溫將純氣化鍺（4〇 g，〇. 186 莫耳）滴加至所形成之加成物中。該添加耗時1小時，於此 期間，該反應混合物再次變暖至約60°C。冷卻至室溫後， 將反應物加熱至160至170¾ (油浴溫度），於此期間，通 過U管將20 g粗產物四甲基鍺烷蒸餾進入經乾冰冷卻之接 收器中。藉由沱NMR (-CH3於〇 1 ppm共振）完成對該產物 之身分確認，顯示其含有一些三丙胺（<5%)。粗產物之產率 為81· 6%。反應釜遺留之殘質的沱NMR表明，存在更多尚 未分離之四甲基鍺烷。 實施例1 根據下述方程式合成四甲基鍺烧：

GeCl4+2(CH3>3AlPr3N (CH3)4Ge + 2 CH3AlCI2Pr3N 於氮氣中’於南彿點直鍵烧基苯溶劑中製作出三甲基 鋁與正丙胺之等莫耳溶液。於室溫將該三甲基鋁/正丙胺溶 液與純氯化鍺連續加入微通道裝置中。該微通道裝置係對 該等試劑提供分開之流動路徑，且該等流動路徑於混合物 區域中彼此連通，於該混合區域中，該等試劑彼此接觸。 將該等試劑流調控為維持三甲基鋁與氣化鍺之莫耳比為 3。該混合物進入該微通道裝置之反應區域，導致該等試劑 之間出現烷基化反應。該反應區域係具有垂直於流動方向 28 95102 201134792 之1至100微米範圍的寬度。該反應區域具有1微米至1 米範圍之長度（於該流動反向）’藉由該烷基化反應確定最 佳長度，以達成藉由調節流動速度而設定之足夠的反應時 間（1秒至10分鐘），以及提供至少80%之轉化。藉由熱傳 遞流體如Therminol於與該微通道裝置内之該反應通道為 分開之流動通道流動，將反應溫度調控為+/-1°C。反應產 物流自該微通道反應器流出，收集且於160至170。(：蒸餾 該反應產物流以獲得所欲之MeAe產物。藉由FT-NMR及 ICP-AES測量該Me〗Ge產物之純度，預計為99. 9999%純。 實施例2 使用微通道裝置根據下述方程式合成高純度之三曱 基鋁-三丙胺加成物： (CH3)3A1 + Pr3N (CH3)3ALPr3N 加成物 於經純化有機鋁-三級胺加成物之製備中，使用包含 多個平行通道的由316 SS構築之橫截面維度約為ιχ3毫米 (mm)且長度大於1米之微通道反應器。微通道裝置之每一 通道係與熱交換區域接觸。於室溫將含有31.6ppmSi (藉 由ICP技術測得）之三曱基鋁（TMA)進料流以2. 5千克（kg)/ 小時（hr)之速度進料連續流反應器中。於室溫經由分開之 注入口將二丙胺之進料流以5. 〇 kg/hr之速度共同進料入 該反應器中。於s亥專流動通道内，兩種進料互相混合。使 用於該反應器熱交換通道中循環之冷卻油調控反 應器溫度，以將製程出口溫度維持為約5 〇。匚之穩定溫度。 95102 29 201134792 將反應器流出物（7.5 kg/hr)進料入連續薄膜蒸發器，以 純化該加成物。該蒸發器表面經旋轉葉片連續擦拭，該蒸 發器係於2托（torr)操作，且外罩溫度為8〇乞^收集經純 化之TMA:加成物，產率大於98wt%，並取樣分析。IQ)分 析顯示，該產物具有較起始材料顯著降低之矽 示者，矽自31.6PPm降至〇.7ppme 雜質，如所 【圖式簡單說明】 無 【主要元件符號說明】 無 30 9Sl〇2

Claims (1)

1. 201134792 七、申請專利範圍： 1. 一種用於製備超高純度之金屬脒化合物的製稃，係包 含： 將金屬齒化物溶液與脒基鋰溶液於微通道裝置中 反應，以獲得金屬脒化合物，其中，所得化合物係具有 原子層沉積製程所需之最小純度。 2. 如申請專利範圍第1項所述之製程，其中，該化合物之 純度範圍係至少99. 99%純。 3. 如申凊專利範圍第1項所述之製程，其中，該金屬鹵化 物係包含 ZnCl2、GaCh、InBn、A1C13、HfCh、ZrCh、 GeCl4、SiCl4、TaCls、WC16、SbCh及 RuC13 〇 4·如申請專利範圍第i項所述之製程，其中，該反應復於 離子液體溶劑之存在下施行。 5. 如申請專利範圍第1項所述之製程，復包含純化該肺基 链溶液。 6. 如申請專利範圍第5項所述之製程，其中，該胨基鋰溶 液係使用微通道裝置予以進一步純化。 7. —種製備超高純度之金屬脒化合物的方法，係包含將包 含雜質之有機金屬化合物於微通道裝置中純化，以將具 有界於0. 8>a<l. 5之相對揮發性（a)之雜質之水準降低 至適用於電子材料應用之水準。 8. 如申請專利範圍第7項所述之方法，係包含將包含雜質 之金屬脒化合物於微通道裝置中純化，以將具有界於 0. 8>a<l. 5之相對揮發性（a)之雜質之水準降低至低於 95102 1 201134792 lppm ° 9.如申請專利範圍第7項所述之方法，其中，該微通道裝 置復包含低於5cm之理論板相當高度（HETP)。 2 95102 201134792 四、指定代表圖：本案無圖式 (一) 本案指定代表圖為.第（）圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 五、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： 本案無代表化學式 2 95102