TW201128728A - Bernoulli nozzle, gripper device comprising bernoulli nozzle and production methods - Google Patents

Description

201128728 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種根據技術方案丨之序文的白 ^ 嘴，一種根據技術方案23之序文且包含一 力管 的夾取裝置’及一種用於製造—白努力管嘴之方法。嘴 【先前技術】 包含所謂之白努力管嘴的夾取系統被用於自動化製造處 於«風險中的工件，特定言之用於處理石夕晶圓。藉 -管嘴下表面處經—管嘴槽出現之一氣流，該白努力 在該管嘴槽周圍區域中的夾取面内產生負璧。藉由所= 之吸氣效應吸起晶圓。在此情況下，由於在晶圓與管嘴下 表面間形成之氣流，故在夾取面之區域令以無接觸方式發 生吸起。為均勾吸起晶圓，且特定言之為使晶圓溫和及平 穩地接近管嘴，需形成界定及均句的氣流。氣流之形成係 取決於間隙幾何形狀、管嘴槽之尺寸以及在空氣供給情況 中之設定壓力。為獲得充足固持力’需要取決於工件的相 關最小流動速度。管嘴槽之間隙越大，用於達到所需最小 速度之所需空氣量與其所需麼力就越大。間隙尺寸均勻性 越差’例如以取決於公差之方式，則形成均勾性越差之流 動。非均勾流動可具有首先在一側而非以平行方式吸起晶 圓，然後剩餘晶圓表面隨後撞擊周圍之失取面並破碎之效 果。 已知之白努力官嘴具有約2〇 pm之管嘴槽之間隙尺寸及 八有’力150 l/min之空氣消耗。大量之空氣構成不可忽視之 150938.doc 201128728 成本因素，且因在夾取1 你輝益之周圍區域中出現極大湍流而出 現問題。特定言之，設定管喈粬 ^ S %槽之均勻間隙尺寸就已知之 白努力管嘴而言為重大挑戰。在 Λ 任間隙尺寸在20 μπι之範圍 内之情況下，即使係在微米笳圚 不靶圍内之極小不規則（例如歸 因於製造公差）亦會導致形忐尤a 办成不均勻流動且因此導致不均 勻吸起，特定言之為非平行明如 m , 升十仃及起。因此，由於用於獲得關 於間隙尺寸的精度之高製诰蒈田 費用，故迄今仍無法經濟地實 現具有低於2 0 μηι的足夠均今卩弓虹、p 幻叼刀間隙尺寸之白努力管嘴。 為減少在無改良間隙尺寸品質或無較小間隙寬度下出現 破裂之風險，自先前技術已知—些措施。為改良吸起製 程，例如已知在夾取裝詈韵妃丁全^ 罝載板下表面上之管嘴外經橡膠塗 覆的支承面，藉此可減小普峨★、+ $ w

Js紫或夾取器上之晶圓的衝擊能 量並可因此降低破裂之風險。 此外，DE 20 2007 〇〇7 7?ι tthb _ 721 U1揭示一種在夹取器載板之 下表面處具有剛毛，以吸此拉τ &处 及收接近工件期間出現之部份衝擊 能量的阻尼裝置。如此，雜妙π Μ , 雖然可降低破裂之風險，但歸因 於仍較大的間隙尺寸，故空氣消耗仍較高。 【發明内容】 本發明係基於提供一種導+由坦 禋泽5中提及之白努力管嘴，一種 導5中及包含此白努六答峻+ + & 労力&嘴之夾取裝置及一種用於製造 導言中提及之此白努力管嘴之方法之目的，其可消除先前 技術中尤其關於間隙尺寸’間隙尺寸之設定精度及取決於 其之吸起品質及所需空氣消耗之問題。 此目的係錯由一種句冬J士你+ ^ 不里匕3技術方案1之特徵的白努力管 150938.doc 201128728 嘴，藉由-種包含技術方案23之特徵且包含上述 嘴的爽取裝置’及藉由包含技術方案24、28、 力管 徵之用於製造此白努力管嘴之方法而達成。本發明之:特 及較佳組態係其他技術方案之主題且更詳細論述利 術方案之字詞係以引用表述之方式併入說明書之内料技 “’以下並非徹底列舉之一些特徵及性質適用於 ::包3此白努力官嘴之失取裝置亦及用於製造此白努 官嘴的方法。在—些情況下’雖僅描述一次，但 何，其等可適用於該白努力管嘴，該爽取裝置亦及、;二 法。此外，所列特徵之順序並非受約束’而是可依最_ 努力管嘴、最佳夾取岁：窨月田私制也 方法變化。A取裝置及用於製造該白努力管嘴之最佳 提供一種用於處理二維工件， 管嘴，盆勺乜—r· 特定5之矽晶圓的白努力 件Μ:件：二缩空氣連接件、一外部零件及-内部零 ^卜心件與内部零件較佳係整塊具體體現， 體現之-内壁，”；二=罐形或漏斗形方式具體 最大内〆 八中相壁在料部零件之下表面處具有 最大内徑。具有内徑朝著下表面增加 -形或圓錐形實施例係有利的 ：件内壁之剩 轴佈置且在其間形成一趣氣室 1% ^ Φ m -亥内部零件在其下部 &域中具有圓周延伸的凸緣形或碟形邊緣區域。 域具有在-管訂表面處相應 # ' ，全咳 Γ 〇|令件之該内壁的一 該内部零件與該外部零件在該管嘴下表面處形 八有—固定間隙尺寸及一夹取面之一管嘴槽。為保 150938.doc 201128728 • « 持該管嘴沿垂直於吸起表面方向之較小处 _ 、、、°構高度，以碟形 方式具體體現之内部及/或外部零件為特 " . J有利0此外， 扁平管嘴就流動性質而言具有關於可蕤ώ 精田特定量之空 特定氣壓達成之流動速度之更加有利性皙 貝。為降低重量， 特定言之以環形方式具體體現之外部零 利。 令件及内部零件為有 根據本發明，至少該内部零件或該外部零件具有至小 間隔物元件作為在該管嘴槽之區域中具有定間 件局度之間隔物，或於該管嘴槽區域中 一从 又罝至少一間隔物 疋件。該間隔物元件因此可終止於該管嘴槽前之少許 m m處或剛好延伸入後者中。 在本發明之-發展中，該外部零件之該内壁係具體體現 為使其至少在下部區域中繞垂直軸部份旋轉對稱。較佳 地，整個内壁係具體體現為使其旋轉對稱。 在本發明之-較佳組態中，該内部零件之該凸緣形邊緣 區域係具體體現為使其繞其垂直軸旋轉對稱。 在根據本發明之白努力f嘴之—組態中，在靠近管嘴槽 之區域令以圓周延伸方式具體體現之該内部零件的該凸緣 形邊緣區域的上表面具有球體之表面輪廓且以中凸曲線方 式犬出至壓縮空氣室中。舉例而言，可設想該區域中之蛋 形或透鏡形表面輪廓。在此情況下，靠近該管嘴槽之區域 至少足夠大，lv # ++ 以使其包括可在内部零件與外部零件 ㈣以之所有可能接縣。 ° 在本發明之-進—步發展卜該邊緣區域之上表面具有 150938.doc 201128728 在接近該管嘴槽之區域中之球 瓦也表面輪廓’其中該表面輪 廊之相關球體中點位於該内部零件下方之其垂隸上。在 =隔物元件高度為零叫及該管嘴槽之間隙尺寸為零_之 it況下，介於該内部零件盥哕 °亥外部零件間的一接觸區係一 接觸線。該接觸線係因内部零侔 、 令仔糟该官嘴槽附近之管嘴槽 球形表面輪廓與相應所包含之外部零件的相互作用而出 現。該球面輪廓可補償㈣零件與外部零件之同軸佈置的 相對小偏差，而無不利♦彡變虹、σ 个〜'V警間隙尺寸均勻性之同軸性的公 差決定偏差。 在-較佳實施例中’該管嘴槽係具體體現為使其部份沿 圓周延^ ’較佳使其整體沿圓周延伸，且特定言之以圓形 方式。若在該管嘴下表面之内部零件與外部零件係具體體 現為使其等旋轉對稱’則該内部零件及該外部零件形成一 ^ S嘴槽車交佳以其整體沿圓周延伸。亦可設想其他管 乜成何开y狀，例如塊形或花形管嘴槽。然而，圓形對形 成均句流動特別有利，&因管嘴槽中之角落不允許形成均 句流動。較佳選擇管嘴槽之直徑使其相對於欲吸起之工件 儘可能地大。已證實對邊緣長度為160 mm之矽晶圓，平均 言'^槽直徑為80 mm係特別有利。 在本發明之一較佳組態中，將至少一間隔物元件佈置於 内邛零件之邊緣區域（以凸緣形方式具體體現）之上表面 上。在一特別有利的組態中，間隔物元件僅延伸超過該管 嘴槽之區域中之該邊緣區域的部份。 在本發明之一發展中，至少一間隔物元件係具體體現為 150938.doc 201128728 剛好在官嘴槽中。若該間隔物元件剛好延伸進人該管嘴下 表面之-平©中的夾取面，但不超過其，則此特別有利。 在本發明之一發展中，所有的間隔物元件具有相同的 隔物元件高度。 0 在本發明之一較佳組態中’藉由將内部零件與外部零件 於垂直於管嘴下表面之方向彼此位移可設定在該管嘴下表 面處之管嘴槽的間隙尺寸。舉例而言，藉由將内部零件虚 外部零件推在—起可減小管嘴槽的尺寸。將其等推離將相 應地導致間隙尺寸之增加。 在本發明之又一組態中，可將在夾取面之區域中在管嘴 下表面上介於至少一間隔物元件與相對内部零件或外部零 件間的管嘴槽之間隙尺寸設為零。介於兩個間隔物元件間 沿著管嘴槽之至少一1域中的間隙尺寸係_高物元件高 度。藉由間隔物元件，可相對外部零件以間隙尺寸相應於 間隔物元件高度之方式設置内部零件。若間隔物元件具有 所界定之間隔物元件高度，則因此可精確設定間隙尺寸。 在一較佳組態中，間隔物元件高度係小於2〇 μηι，較佳 小於10 μηι，特定言之小於5 μΓη。利用間隔物元件高度為$ μηι之間隔物元件，例如，可相應地將間隙尺寸設為$ μηι此相較於20 之間隙尺寸，例如以相同的可達成流 動速度，顯著地減少了空氣消耗。 在本發明之一發展中，至少一間隔物元件係具體體現為 與内部零件或外部零件分開的插入件，較佳係為薄膜，特 定言之係為薄膜條。使用足夠薄之量測膜為有利。 150938.doc -10- 201128728 在本發明之另-替代組態中，在限定區域中刻有紋理之 表面形成-間隔物元件，其中該間隔物元件高度對應於該 表面之表面粗糙度值，較佳對應於最大剖面高度Ry，特定 言之具有特別小的平均粗糙度值Ra。料發明t又一組態 中’該刻有紋理之表面係包含於管嘴槽附近之圓周延伸區 域中。該刻有紋理之表面較佳係具體體現為使其在内部零 件之凸緣㈣緣區域的最外部邊緣處u帶形方式圓周延 伸。 在本發明之一發展中’至少_間隔物元件係以拉長方式 或以棒狀方式具體體現且以徑向方向佈置。較佳地，該等 間隔物元件係具體體現為使其等沿圓周方向為狹窄，以便 可將管嘴槽之最大可能長度用作空氣出口。 在-較佳實施例中，至少一間隔物元件係具體體現為用 於界定流動影響。此處可設想間隔物元件之所有可能形 式。 10至20個間隔物元件係以沿 在本發明之一較佳組態中 圓周方向分佈之方式，較佳以均勻分佈之方式佈置。 在本發明之一發展中’藉由至少一設定構件，較佳藉由 在該區域中自外部零件之下表面延伸至内部零件之上表面 的-定位螺絲可設定管嘴槽之間隙尺寸。特別有利地，複 數個定位螺絲仙關延伸方式均勻分佈，以便能精確設 定遍佈整個圓周的間隙尺寸及視情況能補償製造決定之公 在本發明之一較佳組態中 该内部零件之凸緣形邊緣區 150938.doc 201128728 域係以回彈性方式及/或以彈性方式具體體現，其中較佳 地，該邊緣區域係具體體現為如若由於邊緣區域彎曲而將 壓力施於此區域，則該管嘴槽之間隙尺寸增加。以此方 式，藉由在空氣供應情況中之所選壓力，可於朝向頂部之 小區域中額外設定管嘴槽之間隙尺寸。 在本發明之一較佳組態中，較佳亦藉由前述之定位螺 絲，可設定作用於接觸區中之内部零件與外部零件間的其 嘴槽區域中的壓力。在接觸區中之内部零件與外部零件二 產生的此力用作該内部零件之邊緣區域（以回彈性方式具 體體現）上的預應力。可提供定位螺絲以便能精確設定遍 佈整個圓周的預應力，且若需要能補償製造決定之公差。 在本發明之一較佳組態中，内部零件與外部零件之下表 面位於夾取面之區域中的—平面中。内部零件之下表面與 外部零件之下表面佈置於一平面中係特別有利於形成均勻、 流動及取決於其之均勻吸起力。若管嘴下表面具有甚至極 小不平坦’則例如可出現流動分離並因此產生不均句的吸 起力。 在自動操縱系統之夾取裝置中所提及實施例中使用 力管嘴於處理二維工件，特定言之石夕晶圓，係特別有利。 根據本發明之夾取裝置具有一白努力管嘴，其中在管嘴样 區域中提供至少一間隔物元件作為具有界定間隔物元件： 度之間隔物。在夹取裝置之一有利組態中，將一夹取二 置於管嘴周圍，該灸取板較佳係以方形形式或根據欲處理 之工件幾何形狀具體體現。因此，方形失取板特別適用於 150938.doc 12 201128728 矽晶圓。較佳地，該夾取板額外具有經橡膠塗覆之支承 面，較佳係由發泡橡膠組成。藉由此等支承面，於處理期 間產生之橫向力被吸收，且甚至在相對於吸起方向之橫向 出現加逮的情況下亦可固 定工件。 藉由一程序製造根據本發明之白努力管嘴，其中藉由— 種移除製造方法製造具有界^間隔物元件高度之至少 隔物元件。 1 在—較佳實施例中，藉由蝕刻 • ， ·-句 OJ 电 知·具有界定間隔物元件高度之至少一間隔物。 二:：:施例中’藉由雷射移除製造具有界定間隔物 件呵度之至少—間隔物元件。 在又—替代實施例中，藉由火尤P4 物元件高卢… 化U製造具有界定間隔 千π度之至少一間隔物元件。 在又—替代實施例中，在一第一 定間隔物元件“法步驟中’將具有界 置在内㈣二一間隔物元件作為分離插入件佈 +門I令件或外部零件上，及在另— 藉由膠黏劑點著將其固定。較佳使 較佳 上。 亦可设想將複數個薄膜條佈置於彼此之 理在二 =:藉… 隔物元件高度之製造具有界定間 在—較佳實施例中，拉士 中在-方法步驟中Μ:程序製造-白努力管嘴，其 佈置管嘴之内部零件與外部零件 150938.doc -13· 201128728 並在管嘴下表面設定營峨播+ 一 X疋管背槽之所需間隙尺寸。較佳設定在 間隔物元件與相對佈置之外部零件或内部零件間之間隙尺 寸為零。因此，在介於兩個間隔物元件間之區域中產生準 確對應於間隔物元件高度之管嘴槽之間隙尺寸。在又一方 法步驟中，較佳藉由車削面而整平内部零件與外部零件之 下表面，及因此整平營喈夕丁本二 , 丁 b筲之下表面。由於在已設定間隙尺 寸之後在白努力管嘴之接合狀態中車削面的結果，在管嘴 下表面產生一用於均勻氣流之平坦夾取面。 在本發明之一發展中，古v ,, f纟又一方法步驟中，亦額外磨平 較佳在夾取面區域中之管嘴下表面。 亦可設想較佳藉由膠黏劑黏合，特定言之藉由螺絲連接 之，封或灌封，而使至少一定位螺絲之至少—位置固定不 受調整或變動之另_ ^ ^ A 方法步驟。例如，此確保間隙尺寸不 月因可能之振動而自動發生變 货王文化進一步地降低操作風 懷0 及|&圍，而且在說明#及㈣中出現此等 u特徵，丨中個別特徵可在各情況下單獨或以在本發 明之貫施财及其他領域中之子組合形式多元化實現，且 有料时可保護實_，此處主張㈣護。將本 =案細分為個別章節及子標題並不限制以下所做陳述之 叙效力。 【實施方式】 •於附圖中概要闡述本發明 個別圖中所示實施例具有在 之組態並於以下更詳細闡釋。 一些實例中之特徵，其並不在 150938.doc 201128728 全部展示實施例中加以闡釋或並非全部展示組態皆具有其 等。 八 圖1舉例圖示穿過根據本發明之夾取裝置5〇及白努力管 嘴11之一部份之沿截面平面B-B，（見圖2)之截面。描繪夾取 裝置50中，夾取板36及支承面35之一部份。在此情況下， 將夾取板36佈置於白努力管嘴u之周圍並自下方將支承面 35固定於夾取板36。雖然在此處所示之截面圖示中無法辨 明，但夾取板36較佳係以分別根據欲處理之工件幾何形狀 的方形形式具體體現。例如，支承面35較佳係、經橡膠塗覆 且由發泡橡膠組成。^ ’其等亦可由具有相似功能、有 利性質之不同材料組成。支承面35係以在支承面35與支承 在《亥支承面35上之工#間因吸起力而在相對於吸起方向之 仏向產生靜摩擦力之方式具體體現，該力係大於在處理期 間產生之橫向力，以使卫件甚至在相對於吸起方向之橫向 出現之加速下亦可固定於其位置。 此外，圖1圖示包含一壓縮空氣連接件 12與内部零件13之白努力管嘴u。罐形外部零件η具有 一内壁22 ’其繞垂直軸24旋轉對稱且以漏斗形方式朝著頂 部漸絲形。内壁22之内徑在外部零件Π之下表面18之平 面中為取大。此外，以舉例方式示於圖！之實施例且 内部零件13，甘曰一 1 、 八，、有在下部區域中之圓周延伸的凸緣形邊 緣區域2 5。内# f 1 Μ 卜壁23係經佈置以使其繞垂直軸 饰f疋# ^。内部零件12與外部零件13係相對彼此同轴 1縮空氣室32。内部零件13之凸緣形邊緣區 150938.doc 15 201128728 域25在其下表面19處具有對應於外部零件12之内壁22的一 途徑’以使内部零件13與外部零件丨2在管嘴下表面2〇處形 成具有固定間隙尺寸28之管嘴槽27。 此外，圖1概要顯示一流動系統16，經由其壓縮空氣連 接件14與管嘴槽27連通。經由流動系統16空氣流經壓縮空 氣連接件14進入壓縮空氣室32 ’其再次自其中通經管嘴槽 27。在此情況下，管嘴槽27之幾何形狀係經組態以使氣流 承載於外部零件之下表面18上。如此，在夾取面區域中之 管嘴下表面20處產生減壓並吸起晶圓。 在圖1圖示之例示性實施例中，可藉由一定位螺絲15設 定管嘴槽27之間隙尺寸28。在此情況下，定位螺絲15在自 外部零件12之下表面至内部零件13之上表面之區域中延 伸。間隙尺寸28係藉由將内部零件13與外部零件12分別沿 著垂直於管嘴下表面20之方向彼此推入或彼此推離而設 定。 在此例示性實施例中’藉由定位螺絲i 5，可經由改變分 別作用於内部零件13與外部零件12間或間隔物元件17與内 部零件1 3或外部零件1 2間之接觸區中之邊緣區域25的壓力 而另外設定以圓周延伸方式具體體現之凸緣形及回彈性邊 緣區域25抵抗内壁22之預應力。在一較佳實施例中，替代 一個普通定位螺絲1 5，使用兩個或多個分佈定位螺絲，以 可獨立於預應力設定間隙尺寸。 圖1所示之白努力管嘴11具有佈置於内部零件13之邊緣 區域25之上表面26上之間隔物元件17，該等間隔物元件經 150938.doc -16· 201128728 具體體現為剛好進入管嘴槽27中，但不突出於管嘴下表面 20夕卜》 圖2圖示自管嘴下表面20下方之視圖。在所示之例示性 實施例中，該管嘴槽27係具體體現為使其係圓形且整體圓 周延伸並位於管嘴下表面20處之夾取面中，該夾取面係藉 由外部零件12之下表面18與内部零件〗3之下表面19形成。 在間隔物元件17之直接作用區域29中，介於間隔物元件 17與外部零件間之間隙尺寸28係零。在每一情況下兩個 間隔物元件1 7間之區域3 〇中之間隙尺寸2 8係對應於間隔物 元件高度33。在本發明之一有利組態中，所有的間隔物元 件17具有相同間隔物元件高度33。間隔物元件高度33，及 因此管嘴槽27之間隙尺寸28小於2〇 μπι為有利；特別有利 地，間隔物元件具有1〇 μηι或僅5 μιη之高度。在此情況 下’針對在小於20 _範圍中之間隙尺寸，間隔物元件高 度33之公差應低於1 。 在所示之例示性實施例中，間隔物元件17係具體體現為 ，内部零件分開之插人件且係、作為狹窄薄膜條膠枯黏 著或者，薄膜條可膠粘黏著於内壁上。藉由如導言中所 提及之材料移除方法，亦在邊緣區域25中，可移除除間隔 物元件17外之内#零件i 3之上表面26。此方法步驟從技術 上，及就大量而言係較膠粘黏著分離零件更適合。 圖3圖示在截面平面Α·Α，下方分別具有間隔物元件17與 117及217之内部零件的平面圖。此描繪圖示將間隔物元件 17與117及217分別佈置於内部零件13之凸緣形邊緣區域乃 150938.doc 17 201128728 之上表面上。在此情況，間隔物元件17係圓周均勻分佈且 以徑向佈置並以拉長方式或以棒狀方式具體體現。舉例而 言’此描繪圖示具體體現用於目標流動影響之兩個間隔物 元件117與217。在此情況下，間隔物元件17、117及217不 會延伸於内部零件13之外壁23的整個途徑，而僅延伸於邊 緣區域2 5之上表·面26上之内壁23的一部份。 圖4舉例圖示沿著截面平面C-C’（見圖2)之戴面。罐形外 部零件12具有一内壁22，其繞垂直軸24旋轉對稱且朝著頂 部以漏斗形方式逐漸成錐形。内部零件13之外壁23係具體 體現為使其繞垂直轴12 4旋轉對稱。此描繪中所示之白努 力管嘴具有在邊緣區域25中其上表面26處之球形表面輪 廓，其中相關球體中點30位於内部零件13之遠外部，在由 外部零件12與内部零件13之各自下表面18與19形成之夾取 面下方的軸124上。然而，若如同此處所示之例示性實施 例，間隔物元件高度為零μηι，則設定管嘴槽27之間隙尺 寸28為0 μΐη，圓周延伸之圓形接觸線形成為接觸區❶即使 内部零件13與外部零件12各自相對彼此並非準確同軸佈 置，而是因製造公差出現同軸性之微小偏差，例如，會因 邊緣區域25之上表面26的球形表面輪廓僅形成接觸線而非 接觸區。 為更透徹瞭解， 圖5圖示自根據圖4具有在不施加壓力

所示之例示性實施例中， f元件鬲度為零μηι之設定間隙尺 之官嘴下表面20下方之視圖。在 管嘴槽27係具體體現為使其為圓 150938.doc 201128728 形且整體圓周延伸並位於管嘴下表面20處之夾取面内，該 夾取面係藉由外部零件12之下表面18與内部零件13之下表 面19而形成。在不施加壓力下，管嘴槽27實際上係以此狀 態閉合。雖然無法在此圖示中辨明，但介於内部零件13與 外部零件12間之接觸區係具體體現為接觸線。 圖6圖示根據圖5在施加壓力下之管嘴下表面2〇之視圖。 由於施加壓力，故以回彈性方式具體體現及僅在此敘述中 指出之邊緣區域25向下微小彎曲，例如數μm，且因此擴 大管嘴槽27或打開後者。此導致間隙尺寸28大於〇 ，例 士 5 μηι至20 μιη，有利地略小於1〇 。較佳地，邊緣區 域25具有均勻的回彈性或彈性性質，以使管嘴槽在施加 壓力下經形成具有圓周固定間隙尺寸28。 為製造圖1至6所示之白努力管嘴11，在第一方法步驟 中，將具有間隔物元件17之内部零件13與外部零件12相對 於彼此同軸佈置，且將在管嘴下表面2()處之管嘴槽27之間 隙尺寸2 8。又疋為所需寬度。在另一方法步驟中然後整平 外轉件12與内部零件13之兩個下表面_ 19。較佳在夹 取面區域中進行整平，例如藉由面車削及隨後之精研磨。 然後使内部零件13之下表面19與外部零件以下表面㈣ 於管嘴下表面20處之共同平面34中。 【圖式簡單說明】 圖1顯示沿著Β-Β，穿過具有一白努力管嘴之一夾取裝置 之一部份的戴面， 圖2顯示自根據圖1之白努力管嘴的管嘴下表面下方之視 150938.doc -19- 201128728 圖， 圖3顯示在截面平面Α·Α，下方之根據圖1之白努 ^ B 的 内部零件的平面圖， 圖4顯示沿著c_c，穿過具有白努力管嘴之夾取農置的— 部份之截面， 圖5顯示自具有在不施加壓力下之設定間隙尺寸為零之 根據圖4之白努力管嘴的管嘴下表面下方之視圖，及 圖6顯示自根據圖5在施加壓力下之管嘴下表面下方之視 圖。 【主要元件符號說明】 11 白努力管嘴 12 外部零件 13 内部零件 14 壓縮空氣連接件 15 定位螺絲 16 流動系統 17 間隔物元件 18 下表面 19 下表面 20 管嘴下表面 22 内壁 23 外壁 24 垂直軸 25 邊緣區域 150938.doc 201128728 26 上表面 27 管嘴槽 28 間隙尺寸 29 直接作用區域 30 區域 32 壓縮空氣室 33 間隔物元件高度 34 共同平面 35 支承面 36 夾取板 50 夾取裝置 117 間隔物元件 124 垂直轴 217 間隔物元件 150938.doc ·21 ·

Claims (1)

1. 201128728 七、申請專利範圍·· 1·種用於處理二維卫件之白努为I#⑼， 包括一壓縮空氣連接件（14)， 包括具有以一罐形或漏斗形方式具體體現之一内壁 (22)的一外部零件（12)，其中該内壁（22)在該外部零件 (12)之一下表面（18)處具有最大内徑，及 包括具有在一下部區域中圓周延伸之一凸緣形邊緣區 域（25)之一内部零件（13)， 其中6玄内部零件與該外部零件（13 , 12)係同軸佈置且 形成一壓縮空氣室（32)， 其_該内部零件（13)之邊緣區域（25)在-管嘴下表面 (20)處具有對應於該外部零件〇2)之該内壁（22)之—途 裣，以使该内部零件與該外部零件（13，丨2)在該管嘴下 表面（20)處形成其間具有—固定間隙尺寸之一管嘴 槽（27)，及 其中該内部料（13)之該τ表面（19)與該外部零件⑽ 之該下表面（18)形成一夾取面， 該白努力管嘴（1〗）特徵為 提供具有一界定間隔物元件高度（33)之至少—間隔物 元件07, U7,217)作為在該管嘴槽（27)區域中之間隔 物。 2.如請求们之白努力管嘴⑴），其特徵為該外部零件⑼ 之該内壁（22)係具體體現為使其至少在 夕在β亥下部區域中繞 一垂直軸（24)部份旋轉對稱。 150938.doc 201128728 3. 如請求項！之白努力管嘴⑴），其特徵為該内部零件（i3) 之該邊緣區域（25)係具體體現為使其繞其垂直軸（124)旋 轉對稱。 4. 如請求項1之白努力管嘴⑼，其特徵為在靠近該管嘴槽 (27)之-區域中的該内部零件（13)之該邊緣區域⑼之一 上表面（26)具有球體之表面輪廓且以中凸曲線方式突出 至該壓縮空氣室（32)中。 5. 如明求項4之白努力管嘴（u)，其特徵為該邊緣區域（25) 之《玄上表面（26)之§玄表面輪廓在靠近該管嘴槽（27)之區 域中係球形’其中該表面輪廓之—相關球體中點（3〇)位 於該内部零件（13)下方之其垂直軸（124)上。 6 士 °月求項1之白努力管嘴（11 )，其特徵為該管嘴槽（27)係 具體體現為使其以圓形方式部份圓周延伸。 7. 如請求項！之白努力管嘴（11)，其特徵為至少一間隔物元 件（1 7 117 ’ 217)係佈置於該内部零件（J 3)之該邊緣區域 (25)之一上表面（26)上。 8. 如請求項】之白努力管嘴（11)，其特徵為至少一間隔物元 件（17 117，217)係具體體現為剛好在該管嘴槽（27)中。 士喷求項1之白努力官嘴（丨丨），其特徵為所有該等間隔物 元件（17 117，2 17)具有相同的間隔物元件高度（3 3p 。月求項1之白努力官嘴（丨丨），其特徵為可藉由將該内部 零件與該外部零件（13，12)沿垂直於該管嘴下表面（2〇) 之方向彼此位移而設定在該管嘴下表面（2〇)處之該管嘴 槽（27)之該間隙尺寸（28)。 150938.doc 201128728 ιι·如請求項1之白努力管嘴（11)，其特徵為可將在該夾取面 區域中之s亥官嘴下表面（2〇)上介於至少一間隔物元件 (1 7 11 7，21 7)與一相對内部零件或外部零件（丨3，12)間 的》亥官嘴槽（27)之該間隙尺寸（28)設定為零，且沿著該 管嘴槽（27)在介於兩個間隔物元件（17，117，217)間之至 少一區域中的該間隙尺寸（28)係該間隔物元件高度 (33)。 12.如請求項丨之白努力管嘴（11),其特徵為該間隔物元件高 度（33)係小於20 μπι 〇 a如請求項1之白努力管嘴（11)，其特徵為一間隔物元件 (17 117，21 7)係具體體現為與該内部零件或外部零件 (13 ’ 12)分開之一插入件。 14.如吻求項1之白努力管嘴（u)，其特徵為在靠近該管嘴槽 (27)之一内部零件或外部零件（13，12)之限定區域中刻 有紋理之一表面形成一間隔物元件（17，117 , 217),且 該間隔物元件高度（33)對應於表面粗糙度值。 15·如請求項〖之白努力管嘴（11)，其特徵為至少一間隔物元 件（1 7，117，217)係以拉長方式或以棒狀方式具體體現 且係以徑向佈置。 16·如請求項1之白努力管嘴（11)，其特徵為至少一間隔物元 件（17，117，217)係具體體現為用於界定流動影響。 17. 如請求項丨之白努力管嘴（11)，其特徵為⑺至汕個間隔物 元件（17，11 7，2 1 7)係以沿圓周方向分佈之方式佈置。 18. 如請求項1之白努力管嘴（11)，其特徵為藉由至少一設定 150938.doc 201128728 構件，較佳藉由在自該外部零件（12)之下表面至該内部 零件（13)之上表面的該區域中延伸之一定位螺絲（15), 可設定該管嘴槽（27)之該間隙尺寸（28)。 I9·如請求項1之白努力管嘴⑴），其特徵為該内部零件叫 之凸緣形邊緣區域（25)係以回彈性方式及/或以彈性方式 具體體現，其中該邊緣區域(25)係具體體現為使在將壓 力施於此區域之情況下，該管嘴槽（27)之該間隙尺寸 (28)將增加。 20·如請求項匕白努力管嘴⑴），其特徵為可將作用於一接 觸區中介於内部零件與外部零件（丨3，丨2)間之該管嘴槽 (27)的區域中之壓力設為該回彈性邊緣區域（25)上之預 應力。 21·如請求項20之白努力管嘴⑴），其特徵為可藉由在自該 外部零件（12)之下表面至該内部零件（13)之上表面的該 品域中延伸之疋位螺絲（15)設定在該回彈性邊緣區域 (25)上作為預應力之壓力。 22·如請求項1之白努力管嘴（11)，其特徵為該内部零件及外 P令件（13，12)之下表面（19, 18)係位於該夾取面區域 中之一平面（34)中。 23. —種用於處理二維工件之夾取裝置，其特徵為該夾取裝 置具有如請求項1之白努力管嘴（11)。 24. —種用於製造如請求項丨之白努力管嘴（ιι)之方法，其特 徵為具有一界疋間隔物元件高度（33)之至少一間隔物元 件（17，117，217)係藉由一移除製造方法製得。 I50938.doc 201128728 25. 26. 27. 28. 29. 30. 如請求項24之方法，其特徵為具有一界定間隔物元件高 度（33)之至少H隔物元件（17, 117, 217)係藉由餘刻製 得。 如請求項24之方法，其特徵為具有一界定間隔物元件高 度（33)之至少-間隔物元件（17，117，217)係冑由雷射移 除製得。 如睛求項24之方法，其特徵為具有一界定間隔物元件高 度（33)之至少-間隔物元件（17，117 , 217)係藉由火花侵 蝕製得。 一種用於製造如凊求項13之白努力管嘴（11)之方法，其 特徵為在-第-方法步驟中’佈置至少一分離插入件作 為在-内部零件或外部零件（13，12)上之間隔物元件 (17’ 117, 217)，及在另一方法步驟中將其固定。 一種用於製造如請求項14之白努力管嘴（11)之方法，其 特徵為至少-間隔物元件（17, 117, 217)係藉由至少在 一表面區域中刻紋理而製造。 一種用於製造—白努力管嘴⑴）之方法，其特徵為 在-方法步驟中，將該管嘴之内部零件與外部零件 U3 ’ 12)相對於彼此同軸佈£ ’並將在該管嘴下表面 (20)處之該管嘴槽（27)之該間隙尺寸（28)設定為所需徑向 寬度，及 在另-方法步驟中’藉由面車削整平内部零件與外部 零件（13,丨2)之下表面（18, 19)，及因此整平該管嘴下 表面（20)。 150938.doc 201128728 3 1 ·如請求項30之方法，其特徵在於另一方法步驟中之該管 嘴下表面（20)。 150938.doc 6-