TW200941013A - Automatic verification device of an inspection machine - Google Patents

Description

200941013 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種裝設於檢測機的裝置，特別是指 一種檢測機之自動驗證裝置。 【先前技術】 參閱圖1，一種習知的檢測機1一般包含一探針u，及 一可相對該探針11移動的檢測檯丨2。 〇

該檢測擾12具有一供一晶圓放置的檯面i2l。 該檢測檯12可沿—第一方向X與一第二方向γ往復地 移動，該探針11即可對該晶圓的晶片進行檢測。 該檢測機1使用一段時間後，有時會發生内部故障， 而影響所量測到數據的可靠度，而須將該檢測機」停機並 進行維修或置換新探針U。 w 但由於作業者無法即時地得知該檢測機1故障的時P 點，往往得知時已❹該檢測機1進行多次晶圓的H 作’進而使產品的良率下降與成本的提高。 兄發定期維修該檢測機1的方式，雖可降低前述法 2 亦有可能在該檢_ 1仍可正常量測時， 就被不必要停機與維修，同樣耗費工時與成本。 【發明内容】 即在提供一 i 檢測晶圓 匕3第-探針，及—可相對該第 檢測機檢測狀況的檢測機之自動驗證裝置。 於是，本發明檢测機之自 裝 探針 200941013 的檢測檯，該_檯具有_供晶圓放置的楼面。 該自動驗證裝置句冬 ,-σ ^ a 加 衣罝包3 —樣品座及一標準樣品。該樣品 座設置於該檢測檯。該標準樣品裝設於該樣品座上，具一

Lt!性值。於檢測晶圓前’該檢測機的第-探針與該標 準樣品電連接以進行驗證。 本發明之功效在於利用設置於該檢測機上的標準樣品 ❹ Ο 第;'探針於進行每片晶圓測試之前，先行驗證該標 >扣的電f生值’使作業者能提前得知該檢 運作或已需維修，進而提高產品良率。 常 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 从下配合參考圖式之四個較佳實施例的詳細說 清楚的呈現。 j ，本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說 谷中，類似的元件是以相同的編號來表示。 fcf 疋 =閱圖2與圖3，本發明的—種檢測機之自動驗證裝置 袭设於—檢測機2。 針21 該檢測機2用於檢測晶圓，Wn探 二探針22—探針22，及—可相對該第—探針21與該第 以針22移動的檢測檯23。 該^探針21與該第二探針22其中之一為 丫另一為負極。 該檢測檯23具有一供晶圓 23 置的松面231。該檢測檯 方向X與一第二方向γ往復地移動，該探針 200941013 即可對該晶圓的晶片進行驗證與檢測。 該自動驗證裝置包含—樣品座3，及一標準樣品4。 該樣品座3是安裝設置於該檢測檯23的周緣，便於該 第一探針21與該第二探針22進行檢測。 該標準樣品4裝設於該樣品座3上，具—標準電性值 〇

該標準樣品4可使用真空吸附、貼黏、夾固、鎖固等 方式裝設於該樣品座3上。 β亥標準電性值是選自電阻值、順向電壓、崩潰電壓 逆向漏電流，及此等之一組合。 該檢測機2使用一段時間後，往往有可能發生内部故 障’而影響所量測到數據的可靠度，所以在該第-探針21 =、广第一彳未針22於進行每片晶圓測試之前或之後，先行驗 證該標準樣品4的電性值，使作業者能提前得知該檢測機2 的電性檢測系統是否已需維修，進而提高產品良率。 在本較佳實施例中，進行該標準樣品4的驗證時，該 第一探針21與該第二探針22電連接該標準樣品4，以量測 該標準樣品4的標準電性值，且該第—探針21為正極，該 第一探針22為負極，並且此時該樣品座3不供電。 、 >閱圖4與圖5，本發明的一種檢測機之自動驗證裝置 第y較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大 致相同，不同之處在於該第二較佳實施例不包含該第二探 針22，僅利用該第一探針21進行驗證工作。 在進行該標準樣品4的標準電性值驗證時，該第一探 200941013 -針21與該樣品座3上的標準樣品4電連接，且該樣品座3 • 同樣與該標準樣品4電連接，與該第-探針21形成電通路 。該樣品座3與該第一探針21其中之一為正極，其中另一 為負極。 參閱圖6,本發明的一種檢測機之自動驗證裝置的第三 較佳實施例與該第—較佳實施例構件與組裝方式大致相同 ，不同之處在於該第三較佳實施例中，該樣品座3與該檢 測檯23 —體成型。 ❹ ▲ » 該標準樣品4即置放於該檢測檯23上。在本較佳實施 例中，該第-探針21與該第二探針22是進行該標準樣品4 的驗證工作之後’才將該第一探針21與該第二探針Μ移 至欲檢測驗證的晶圓上。 此種配置方式可以省去另行製造與安裝該樣品座3，將 該檢測檯23的檯面231直接作為該標準樣品4使用。 參閱圖7’值得-提的是，本較佳實施例中，該檢測楼 Ο 23也可不包含該第二探針22，而是由該檯面231與該第一 探針21的其中之一為正極，其中另一作為負極。 ㈣@ 8’本發明的_種檢測機之自動驗證裝置的第四 較佳實施例與該第一較佳實施例構件與組裝方式大致相同 ，不同之處在於該第四較佳實施例中，該標準樣品4是可 拆卸地裝設於該樣品座3上，且具一標準光性值，該檢測 機2更包含一用於量測發光元件的光學檢測系統24。 利用該第-探針21與該第二探針22電連接該標準樣 品4，使該標準樣品4射出—標準光性值，在本較佳實施例 200941013 - 中，該標準光性值是選自色座標、光強度、主波長、峰波 • 長、中心波長、光功率，及此等之一組合。 該光學檢測系統24用於接收並量測該標準樣品4的標 準光性值，同樣也用於接收並量測形成於該晶圓上的發光 元件的光性值。 利用该標準樣品4所提供的標準光性值，可以即時地 得知該光學檢測系統24是否故障而需維修，.進而同樣地提 高產品良率。 〇 ^ 綜上所述，利用設置於該檢測機2上的標準樣品4，與 該標準樣品4所提供的標準電性值與標準光性值，使作業 者能提前得知該檢測機2的電性檢測系統及該光學檢測系 統24是否已需維修，進而提高良率，故確實能達成本發明 之目的。 惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利 〇 範圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1是一立體圖，說明習知的一種檢測機； 圖2是一立體圖，說明本發明檢測機之自動驗證裝置 的一第一較佳實施例； 圖3是一沿圖2中的線羾_瓜的剖面側視圖，說明該第 一較佳實施例的驗證狀態； 圖4疋一立體圖，說明本發明檢測機之自動驗證裝置 9 200941013 的一第二較佳實施例； - 圖5是一沿圖4中的線V - v的為 v的剖面側視圖，說明該第 二較佳實施例的驗證狀態； 圖6是一立體圖，說明本發明檢測機之自動驗證裝置 的一第三較佳實施例； 圖7是一立體圖’說明該第三較佳實施例的一變化實 施方式；及 圖8是一立體圖’說明本發明檢測機之自動驗證裝置 〇 的一第四較佳實施例。

10 200941013 【主要元件符號說明】 2 ·.··· .....檢測機 231… •…檯面 21 …·. ••…第一探針 24••… •…光學檢測系統 22··.· ••…第二探針 3…… 樣οσ座 23•… .....檢測檯 4…… …·標準樣品 〇 〇 11

Claims (1)

1. 200941013 十、申請專利範圍： 1.種檢測機之自動驗證裝置，該檢測機用於檢測晶圓， 包含-第-探針’及—可相對該第—探針移動的檢測楼 s檢別檯具有一供晶圓放置的檯面，該自動1驗證裝置 包含： 一樣品座’設置於該檢測檯；及 ‘準樣品，裝設於該樣品座上，具一標準電性值 Ο 〇 於檢測曰曰圓刖，該檢測機的第一探針與該標準樣品電 連接以進行驗證。 2. 依據中請專利範圍第1項所述的檢測機之自動驗證裝置 ，其中=該標準樣品的標準電性值是選自電阻值、順向 電壓、崩潰電壓、逆向漏電流，及此等之—組合。 3. 依據申請專利範圍第i項所述的檢測機之自動驗證裝置 ，其中，該第一探針與該標準樣品電連接時， 與該第:探針其中之一為正極，其中另一為負極樣 4. 依據中請專利範圍第1項所述的檢測機之自動驗證裝置 ，其中，該第一探針與該標準樣品電連接時，該樣品座 不供電，該檢測機更包含一第二探針，該第一探針與該 第二探針其中之—為正極，其中另一為負極。 5. 依據申請專利範圍第1項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該樣品座設置於該檢測檯的檯面周緣。 6. 依據中請專利範圍第1項所述的檢測機之自動驗證裝置 ，其中，該樣品座與該檢測檯一體成型，該標準樣品為 該檯面。 … 12 200941013 ' 7.依據申請專利範圍第1項所述的檢測機之自動驗證裝置 • ’其中’該標準樣品更具-標準光性值，該檢㈣更包 含一用於量測發光元件的光學檢測系統。 8. 依據申請專利範圍第5項所述的檢測機之自動 ’其中，該標準樣品是利用真空吸附方式裝設於該樣品 座上。 9. 依據中請專利範圍第5項所述的檢測機之自動驗證裝置 〇 ’其中，該標準樣品是利用貼點方式裝設於該樣品座上 W依據申請專利範圍第5項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用夾固方式裝設於該樣品座上 〇 η·依據申請專利範圍第5項所述的檢剛機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用鎖时式裝設於該樣品座上 〇 〇 12.::檢：機之自動驗證震置，該檢測機用於檢測晶圓， 二：：針、一用於量測發光元件的光學檢測系統 H姑番“ Μ動的檢測檯，該檢測檯具有 供曰曰圓放置的檯面，該自動驗證裝置包含： 一樣品座，設置於該檢測檯；及 …一標準樣品，可拆卸地裝設於該樣品座上，且— 軚準先性值’於檢測晶圓前，該檢測機 ： 標準樣品電連接以進行驗冑。 、*針與該 A㈣申請㈣範圍第12項所述的檢測機之自動驗證裝置 13 200941013 ，其中，該標準光性值是選自色座標、光強度、主波長 、峰波長、中心波長、光功率，及此等之—組合。 14.依據申請專利範圍第12項所述的檢測機之自動驗證裝置 ，其中，該第一探針與該標準樣品電連接時，該樣品座 與該第一探針其中之一為正極，其中另一為負極。 15 ·依據申吻專利粑圍第12項所述的檢測機之自動驗證襄置 ，其中，該第一探針與該標準樣品電連接時，該樣品座 不供電，該檢測機更包含一第二探針，該第一探針與該 第二探針其中之一為正極，其中另一為負極。 16·依據申請專利範圍第12項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該樣品座設置於該檢測檯的檯面周緣。 17·依據申請專利範圍第12項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用真空吸附方式裝設於該樣品 座上。 1 8.依據申請專利範圍第1 2項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用貼黏方式裝設於該樣品座上 〇 19. 依據申請專利範圍第I?項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用夾固方式裝設於該樣品座上 〇 20. 依據申請專利範圍第12項所述的檢測機之自動驗證裝置 ’其中’該標準樣品是利用鎖固方式裝設於該樣品座上 14