ในการประดิษฐ์นี้มีการเตรียมสารเข้าทำปฏิกิริยาที่กลายเป็นไอซึ่งมีประโยชน์ในการเคลือบด้วยไอสารเคมีลงบนผิววัสดุรองรับที่กำลังร้อนโดยเริ่มต้นด้วยการให้ความร้อนแก่สารต้นกำเนิดของสารเคลือบที่เป็นของเหลว, การฉีดสารต้นกำเนิดของสารเคลือบที่เป็นของเหลวเข้าไปในช่องทำให้สาร กลายเป็นไอ,การปล่อยก๊าซผสมเข้าสู่ช่องทำให้สารกลายเป็นไอพร้อมกัน, การให้ความร้อนแก่ของเหลว และก๊าซผสมจนทำให้ของเหลวกลายเป็นไอ ที่อุณหภูมิต่ำกว่าอุณหภูมิกลายเป็นไอมาตรฐานของสารนั้น และการผสมไอสารต้นกำเนิดของสารเคลือบและก๊าซผสมให้ทั่วถึง เพื่อผลิตกระแสสารเข้าทำปฏิกิริยาที่กลายเป็นไอสำหรับทำให้เกิดการสลายด้วยความร้อนที่ผิวของวัสดุรองรับที่กำลังร้อนเครื่องระเหยแบบแผ่นบางในแนวนอน เป็นช่องทำให้สารกลายเป็นไอชนิดที่เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับกระบวนการของการประดิษฐ์นี้ In this invention, a vaporized reagent, which is useful in chemical vapor coatings, is applied to the hot substrate, beginning by heating the source of the coating as Liquid, injecting the source of the liquid coating into the cavity Vaporization, simultaneous release of mixed gases into the channels causing the substance to vaporize, liquid heating And the gas is mixed until the liquid is vaporized. At a temperature below the standard vaporization temperature of that substance And mixing the source of the coating and gas mixture thoroughly To produce a stream of reactive vapor for thermal decomposition on the surface of the hot substrate, horizontal thin-plate evaporators. It is a vaporizer compartment specially suitable for this invention process.
Claims (1)
1. กระบวนการสำหรับเตรียมสารเข้าทำปฏิกิริยาในรูปไอ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ A) การจัดหาสารต้นกำเนิดของสารเคลือบที่อุณหภูมิสูงกว่าจุดหลอมเหลวของสารนั้นแต่ต่ำกว่าอุณหภูมิกลายเป็นไอมาตรฐานของสารนั้นอย่างแน่แท้ โดยวิธีนี้จะทำให้สารต้นกำเนิดของสารเคลือบอยู่ในรูปของเหลว B) การดำเนินขั้นตอนต่อไปนี้พร้อมกันไปและอย่างต่อเนื่อง &nbs1. The process for preparing a reaction in vapor form. The process of A) supplies the source of the coating at a temperature higher than the melting point of that substance, but significantly lower than the standard vaporization temperature of that substance. In this way, the source of the coating is liquided. B) Perform the following steps simultaneously and continuously & nbs.
TH9001001521A1990-10-16
A method for preparing a vapor reactor used in chemical vapor coatings.
TH8527B
(en)