TH9538A - กระบวนการและอุปกรณ์สำหรับเคลือบกระจก - Google Patents

Abstract

กรรมวิธีและอุปกรณ์สำหรับการเคลือบแถบกระจกร้อนที่เคลื่อนที่อยู่ด้วยไอของสารเคมีประกอบด้วยการทำให้เกิดกระแสแรกของ แก๊ส ปฏิกิริยตัวแรกไปตามผิวของกระจกร้อนในทิศทางที่ขนานกับทิศ ทาง การเคลื่อนที่ของกระจก และการทำให้เกิดกระแสที่สองของแก๊ส ปฏิกิริยาตัวที่สองในลักษณะเป็นการไหลที่ปั่นป่วนซึ่งมุม กับผิว ของกระจก และก็มีการส่งกระแสที่สองดังกล่าวเข้าสู่กระแสแรก ตาม มุมดังกล่าวในขณะที่หลีกเลี่ยงกระแสต้นทางของแก๊สปฏิกิริยา ตัว ที่สองดังกล่าวในกระแสแรกดังกล่าว โดยส่งกระแสแก๊สร่วมไป ตามผิว ของกระจกร้อนในลักษณะเป็นการไหลที่ปั่นป่วน และต่อจากนั้น ก็นำ แก๊สที่ใช้งานแล้วออกไปจากกระจกร้อน อุปกรณ์ประกอบด้วยห้อง เคลือบที่เปิดหน้าอยู่บนกระจก โดยมีการทำเป็นชั้นไว้ใน เพดานของ ห้องเคลือบซึ่งกระแสที่สองของแก๊สได้ถูกส่งเข้าสู่กระแสแรก ของ แก๊สปฏิกิริยา กรรมวิธีและอุปกรณ์สามารถทำการเคลือบได้อย่างสม่ำ เสมอเป็นความหนาเกินกว่า 200 nm. ในบริเวณการเคลือบที่สั้น และก็มีประโยชน์ต่อการเคลือบด้วยโลหะออกไซด์ อย่างเช่น ดีบุก ออกไซด์ที่ผสมด้วยฟลูออไรด์ลงบนกระจกร้อน

Claims (1)

: กรรมวิธีและอุปกรณ์สำหรับการเคลือบแถบกระจกร้อนที่เคลื่อนที่อยู่ด้วยไอของสารเคมีประกอบด้วยการทำให้เกิดกระแสแรกของ แก๊ส ปฏิกิริยตัวแรกไปตามผิวของกระจกร้อนในทิศทางที่ขนานกับทิศ ทาง การเคลื่อนที่ของกระจก และการทำให้เกิดกระแสที่สองของแก๊ส ปฏิกิริยาตัวที่สองในลักษณะเป็นการไหลที่ปั่นป่วนซึ่งมุม กับผิว ของกระจก และก็มีการส่งกระแสที่สองดังกล่าวเข้าสู่กระแสแรก ตาม มุมดังกล่าวในขณะที่หลีกเลี่ยงกระแสต้นทางของแก๊สปฏิกิริยา ตัว ที่สองดังกล่าวในกระแสแรกดังกล่าว โดยส่งกระแสแก๊สร่วมไป ตามผิว ของกระจกร้อนในลักษณะเป็นการไหลที่ปั่นป่วน และต่อจากนั้น ก็นำ แก๊สที่ใช้งานแล้วออกไปจากกระจกร้อน อุปกรณ์ประกอบด้วยห้อง เคลือบที่เปิดหน้าอยู่บนกระจก โดยมีการทำเป็นชั้นไว้ใน เพดานของ ห้องเคลือบซึ่งกระแสที่สองของแก๊สได้ถูกส่งเข้าสู่กระแสแรก ของ แก๊สปฏิกิริยา กรรมวิธีและอุปกรณ์สามารถทำการเคลือบได้อย่างสม่ำ เสมอเป็นความหนาเกินกว่า 200 n

1. กรรมวิธีสำหรับเคลือบลงบนแถบที่เคลื่อนที่อยู่ของกระจกร้อนซึ่งการเคลือบเกิดจากปฏิกิริยาของแก๊สปฏิกิริยาอย่างน้อยสองชนิดซึ่ทำปฏิกิริยาร่วมกัน มีลักษณะพิเศษดังนี้ ก)การทำให้เกอดกระแสแรกของแก๊สปฏิกิริรยาตัวแรกไปตามผิวกระจกร้อนในทิศทางแรกที่ขนานกับทิศทางการเคลื่อนที่ของกระจก ข)การทำให้เกิดกระแสที่สองของแก๊สปฏิกิริยาตัวที่สองในลักษณะเป็นการไหลปั่นป่วนในทิศทางที่สองที่ทำมุมกับทิศทางแรกและกับผิวของกระจก ค)การส่งกระแสที่สองดังกล่าวเข้าสู่กระแสแรกดังกล่าวด้วยมุมที่ระบุไว้ในขณะที่หลีกเลี่ยงกระแสด้านทาแท็ก :