TH90404B - Fluorination process methods and fluorination equipment, including how to use fluorination equipment. - Google Patents
Fluorination process methods and fluorination equipment, including how to use fluorination equipment.Info
- Publication number
- TH90404B TH90404B TH601006337A TH0601006337A TH90404B TH 90404 B TH90404 B TH 90404B TH 601006337 A TH601006337 A TH 601006337A TH 0601006337 A TH0601006337 A TH 0601006337A TH 90404 B TH90404 B TH 90404B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- fluorination
- area
- source gas
- internal structure
- treatment
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (08/12/52) วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้ศักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏฺิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้คักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มารของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้DC60 (08/12/09) A fluorination method that can maintain the quality of the treatment stably. A fluorination method in which the fluorination is carried out by heating the treated workpiece and maintaining it within a fluorination treatment area with a specified fluorination atmosphere. The fluorination treatment is carried out in a state where the internal structure in the area that reacts with fluorine is exposed to the said fluorination treatment area, and the surface of the internal structure exposed to the said fluorination treatment area is in a state where a fluorination layer is formed in advance. Therefore, there is no consumption of the fluorination source gas supplied for the fluorination of the treated workpiece in large quantities for the fluorination of the surface of the internal structure during the fluorination treatment. In addition, even if the fluorination potential of the supplied fluorination source gas is insufficient, the fluorination layer of the surface structure in the said area will release the fluorination source gas. This will enable the fluorination atmosphere to be maintained within the fluorination treatment area during the fluorination process in an appropriate condition. The fluorination method that can maintain the quality of the process stably The fluorination method in which the fluorination process is carried out by heating the workpiece and maintaining it within the fluorination treatment area with a specified fluorination atmosphere. The fluorination process in question is carried out in a state where the internal structure in the area that reacts with fluorine protrudes into the fluorination treatment area and the surface of the internal structure in the area exposed into the fluorination treatment area is in a state where a fluorination layer is formed in advance. This eliminates the consumption of the fluorination source gas supplied for the fluorination of the workpiece in large quantities for the fluorination of the surface of the internal structure during the fluorination process. In addition, even though the fluorination potential of the supplied fluorination source gas is insufficient, The fluorination layer of the surface structure within the said area will release the fluorination source gas, which will enable the fluorination atmosphere within the fluorination process area to be maintained in an appropriate condition during the fluorination process.
Claims (1)
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH90404A TH90404A (en) | 2008-07-10 |
| TH117384A TH117384A (en) | 2012-11-15 |
| TH90404B true TH90404B (en) | 2022-12-07 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2010011611A (en) | Sherardizing method. | |
| DE502008002286D1 (en) | DEVICE AND METHOD FOR SEPARATING CRYSTALLINE LAYERS BY MEANS OF MOCVD OR HVPE | |
| Nalajala et al. | Sodium borohydride treatment: a simple and effective process for the removal of stabilizer and capping agents from shape-controlled palladium nanoparticles | |
| WO2014093469A3 (en) | Remediation by smoldering combustion of contaminated particulate materials | |
| ATE542803T1 (en) | METHOD FOR PRODUCING DIHYDROQUINAZOLINES | |
| TW200943398A (en) | Novel treatment and system for mask surface chemical reduction | |
| ATE525334T1 (en) | METHOD FOR PRODUCING HIGHLY EXPANDED VERMICULITE WITHOUT USING AN ORGANIC BINDER OR ADDITIVE TO FORM IT | |
| DE502007005582D1 (en) | COLD-FREE, SELF-NETWORKING PUR DISPERSIONS | |
| SG142223A1 (en) | Methods for characterizing defects on silicon surfaces, etching composition for silicon surfaces and process of treating silicon surfaces with the etching composition | |
| WO2008151772A3 (en) | Method for the pretreatment of polymer surfaces to be painted | |
| WO2006057464A3 (en) | Process for producing silicon nanofilamentous form | |
| WO2006057464A1 (en) | Process for producing silicon nanofilamentous form | |
| SG165221A1 (en) | Substrate treating apparatus and method | |
| FI20065227A0 (en) | Method and equipment for purifying air | |
| DE502006004463D1 (en) | DEVICE AND METHOD FOR CONTINUOUS GAS PHASE DEPOSITION UNDER ATMOSPHERIC PRESSURE AND ITS USE | |
| TH90404B (en) | Fluorination process methods and fluorination equipment, including how to use fluorination equipment. | |
| MX2009003102A (en) | Indolylalkylpyridin-2-amines for the inhibition of beta-secretase. | |
| DE112006002434A5 (en) | Process and device for the treatment of hydrocarbon-containing products | |
| TW200801853A (en) | Treating device and manufacturing method for substrate | |
| MY146880A (en) | Method for drying a substrate | |
| ATE423834T1 (en) | METHOD FOR PRODUCING A TEXTILE TREATMENT AID COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING A TEXTILE TREATMENT AND TEXTILE CLEANING AGENT | |
| JP2011161345A5 (en) | ||
| ATE432295T1 (en) | METHOD FOR PRODUCING AN AQUEOUS POLYMER DISPERSION | |
| WO2007101173A3 (en) | Methods for treatment of organic matter in liquid | |
| ITMI20111755A1 (en) | PROCEDURE FOR COATING A SUBSTRATE |