TH84771A - ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุ - Google Patents
ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุInfo
- Publication number
- TH84771A TH84771A TH601003077A TH0601003077A TH84771A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A TH 601003077 A TH601003077 A TH 601003077A TH 0601003077 A TH0601003077 A TH 0601003077A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- sheet
- way
- supported
- wafer
- plate
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims 3
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims abstract 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract 5
Abstract
DC60 ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลังได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลัง ได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียง ไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะ ได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับ ในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน
Claims (2)
1. ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุซึ่งประกอบด้วย หน่วยป้อนแผ่นวัสดุออกซึ่งมีเพลตสำหรับลอกสำหรับลอกแผ่นวัสดุออกจากแผ่นปิดทับ ชั้นกาวและลูกกลิ้งสำหรับกดสำหรับกดแผ่นวัสดุลงบนวัตถุที่มีลักษณะคล้ายเพลตที่ถูกรองรับไว้โดย แท่นเพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไป โดยที่เพลตสำหรับลอกดังกล่าวจะถูกรองรับ ไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอย หลังได้
2. ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่เพลตสำหรับลอกจะเคลื่อนที่เข้า หาแท่นดังกล่าวเมื่อลูกกลิ้งสำหรับกดดังกล่าวขยับจแท็ก :
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH84771B TH84771B (th) | 2007-05-30 |
| TH84771A true TH84771A (th) | 2007-05-30 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1748468A3 (en) | Film separation method and film separation apparatus | |
| IN2012DN00668A (th) | ||
| JP2010535685A5 (th) | ||
| MY140310A (en) | Sticking apparatus | |
| TWI268572B (en) | Film peeling method and film peeling device | |
| WO2009078195A1 (ja) | 粘着シート及び表示装置 | |
| MXPA04006485A (es) | Proceso y aparato para impresion por contacto mediante el suministro de un agente de liberacion a traves de una superficie de impresion porosa. | |
| EP1791163A3 (en) | Method and apparatus for attaching a peeling tape | |
| SG137801A1 (en) | Surface protection film peeling method and surface protection film peeling device | |
| MX2010000924A (es) | Sistema de formacion de imagenes por transferencia de calor selectiva y metodo de uso del mismo. | |
| JP2012028760A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2007019240A5 (th) | ||
| ITTO20050705A1 (it) | Pressa piegatrice per pezzi di lamiera con manipolatore integrato in un dispositivo di posizionamento posteriore | |
| WO2007047619A3 (en) | System and method for mounting a plate to an adhesive member | |
| TW201129470A (en) | Surface protective sheet | |
| WO2008146438A1 (ja) | 貼り合わせ装置、接着剤の溶解を防ぐ方法、及び貼り合わせ方法 | |
| EP2065021A3 (en) | Adhesive skin patch sheet | |
| WO2008011128A3 (en) | Method and apparatus for exchanging print technologies | |
| EP1582294A3 (en) | Method of sucking water and water sucking device | |
| MX2017015711A (es) | Sistema y metodo de laminacion de grandes superficies. | |
| TH84771A (th) | ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุ | |
| TH84771B (th) | ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุ | |
| WO2011133509A3 (en) | Reusable stencil apparatus and methods for making and using same | |
| EP2037324A3 (en) | Lithographic apparatus and method | |
| EP2474585A3 (en) | Surface protective sheet for self-cleaning surface |