TH84771A - Equipment for attaching material sheets - Google Patents
Equipment for attaching material sheetsInfo
- Publication number
- TH84771A TH84771A TH601003077A TH0601003077A TH84771A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A TH 601003077 A TH601003077 A TH 601003077A TH 0601003077 A TH0601003077 A TH 0601003077A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- sheet
- way
- supported
- wafer
- plate
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims 3
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims abstract 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract 5
Abstract
DC60 ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลังได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลัง ได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียง ไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะ ได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับ ในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน DC60 The pad mounting kit consists of a 12 sheet feed unit with a peel plate 22 for removing S from the PS adhesive cover and a pressing roller 14 for pressing the S adhesive onto the wafer W. It is supported by platform 13 to attach the said sheet, the stripping plate 22 is supported in such a way that it moves forward and backward, with 50 cylinder stripping plates 22 being arranged. Set in such a way that the beginning of the end The front is tuned forward / reverse in a manner consistent with wafer size W or pedestal size 13 that supports the same. The pad attachment kit consists of a 12-sheet eject unit with a stripping plate 22 for removing S from the PS adhesive cover and a pressing roller 14 for pressing the S adhesive onto the supported W wafer. The stripping plate 22 is held in such a way as to move forward and backward, with the cylinder 50 of the stripping plates 22 being arranged. Set in such a way that the starting position of the front end is adjusted forward / backward. In a manner consistent with wafer size W or platform size 13 that supports the same
Claims (2)
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH84771A true TH84771A (en) | 2007-05-30 |
TH84771B TH84771B (en) | 2007-05-30 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1748468A3 (en) | Film separation method and film separation apparatus | |
IN2012DN00668A (en) | ||
JP2010535685A5 (en) | ||
TW200644106A (en) | Support board separating apparatus, and support board separating method using the same | |
MY140310A (en) | Sticking apparatus | |
TWI268572B (en) | Film peeling method and film peeling device | |
EP1791163A3 (en) | Method and apparatus for attaching a peeling tape | |
EP2535200A3 (en) | Printing method, transfer material, and inkjet discharge device | |
SG137801A1 (en) | Surface protection film peeling method and surface protection film peeling device | |
EP2199238A3 (en) | Image forming apparatus and paper feeding device thereof | |
CA2472751A1 (en) | Process and apparatus for contact printing with supply of release agent through a porous printing surface | |
JP2012028760A5 (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
JP2007019240A5 (en) | ||
ITTO20050705A1 (en) | PRESS BRAKE FOR SHEET PIECES WITH MANIPULATOR INTEGRATED IN A REAR POSITIONING DEVICE | |
TW201129470A (en) | Surface protective sheet | |
WO2008146438A1 (en) | Sticking device, method for preventing adhesive from dissolving, and method for sticking | |
WO2008011128A3 (en) | Method and apparatus for exchanging print technologies | |
EP1582294A3 (en) | Method of sucking water and water sucking device | |
EP1712356A3 (en) | System and method for pad printing | |
MX2017015711A (en) | Large surface laminating system and method. | |
TH84771A (en) | Equipment for attaching material sheets | |
TH84771B (en) | Equipment for attaching material sheets | |
WO2011133509A3 (en) | Reusable stencil apparatus and methods for making and using same | |
EP2037324A3 (en) | Lithographic apparatus and method | |
EP2474585A3 (en) | Surface protective sheet for self-cleaning surface |