TH84771A - Equipment for attaching material sheets - Google Patents

Equipment for attaching material sheets

Info

Publication number
TH84771A
TH84771A TH601003077A TH0601003077A TH84771A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A TH 601003077 A TH601003077 A TH 601003077A TH 0601003077 A TH0601003077 A TH 0601003077A TH 84771 A TH84771 A TH 84771A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
sheet
way
supported
wafer
plate
Prior art date
Application number
TH601003077A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH84771B (en
Inventor
โนนากะ นายฮิเดอากิ
โกบายาชิ นายเคนจิ
Original Assignee
นายธเนศ เปเรร่า
นางสาววิภา ชื่นใจพาณิชย์
นางวรนุช เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายธเนศ เปเรร่า, นางสาววิภา ชื่นใจพาณิชย์, นางวรนุช เปเรร่า filed Critical นายธเนศ เปเรร่า
Publication of TH84771A publication Critical patent/TH84771A/en
Publication of TH84771B publication Critical patent/TH84771B/en

Links

Abstract

DC60 ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลังได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุประกอบด้วยหน่วยป้อนแผ่นวัสดุออก 12 ซึ่งมีเพลตสำหรับ ลอก 22 สำหรับลอกแผ่นกาว S ออกจากแผ่นปิดทับชั้นกาว PS และลูกกลิ้งสำหรับกด 14 สำหรับกด แผ่นกาว S ลงบนเวเฟอร์ W ที่ถูกรองรับไว้โดยแท่น 13 เพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไปโดยที่เพลต สำหรับลอก 22 ดังกล่าวจะถูกรองรับไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอยหลัง ได้โดยกระบอก สูบ 50 เพลตสำหรับลอก 22 ดังกล่าวถูกจัดเรียง ไว้ในลักษณะที่ตำแหน่งเริ่มต้นของส่วนปลาย ด้านหน้าจะ ได้รับการปรับแต่งให้ไปข้างหน้า/ย้อนกลับ ในลักษณะที่สอดคล้องกับขนาดของเวเฟอร์ W หรือขนาดของแท่น 13 ที่รองรับสิ่งเดียวกัน DC60 The pad mounting kit consists of a 12 sheet feed unit with a peel plate 22 for removing S from the PS adhesive cover and a pressing roller 14 for pressing the S adhesive onto the wafer W. It is supported by platform 13 to attach the said sheet, the stripping plate 22 is supported in such a way that it moves forward and backward, with 50 cylinder stripping plates 22 being arranged. Set in such a way that the beginning of the end The front is tuned forward / reverse in a manner consistent with wafer size W or pedestal size 13 that supports the same. The pad attachment kit consists of a 12-sheet eject unit with a stripping plate 22 for removing S from the PS adhesive cover and a pressing roller 14 for pressing the S adhesive onto the supported W wafer. The stripping plate 22 is held in such a way as to move forward and backward, with the cylinder 50 of the stripping plates 22 being arranged. Set in such a way that the starting position of the front end is adjusted forward / backward. In a manner consistent with wafer size W or platform size 13 that supports the same

Claims (2)

1. ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุซึ่งประกอบด้วย หน่วยป้อนแผ่นวัสดุออกซึ่งมีเพลตสำหรับลอกสำหรับลอกแผ่นวัสดุออกจากแผ่นปิดทับ ชั้นกาวและลูกกลิ้งสำหรับกดสำหรับกดแผ่นวัสดุลงบนวัตถุที่มีลักษณะคล้ายเพลตที่ถูกรองรับไว้โดย แท่นเพื่อติดแผ่นวัสดุดังกล่าวลงไป โดยที่เพลตสำหรับลอกดังกล่าวจะถูกรองรับ ไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปข้างหน้าและถอย หลังได้1. A set of devices for mounting the sheet which consists of A sheet eject unit with a release plate to remove the sheet from the cover plate. An adhesive layer and a pressing roller for pressing a sheet onto a plate-like object that is supported by Platform to attach a sheet of such material into Where such peeling plates will be supported In such a way that it can move forward and backward 2. ชุดอุปกรณ์สำหรับติดแผ่นวัสดุตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่เพลตสำหรับลอกจะเคลื่อนที่เข้า หาแท่นดังกล่าวเมื่อลูกกลิ้งสำหรับกดดังกล่าวขยับจแท็ก :2. A device for attaching the material sheet according to claim 1, where the peeling plate moves in Find the platen when the pressing roller moves the tag:
TH601003077A 2006-06-29 Equipment for attaching material sheets TH84771B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH84771A true TH84771A (en) 2007-05-30
TH84771B TH84771B (en) 2007-05-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1748468A3 (en) Film separation method and film separation apparatus
IN2012DN00668A (en)
JP2010535685A5 (en)
TW200644106A (en) Support board separating apparatus, and support board separating method using the same
MY140310A (en) Sticking apparatus
TWI268572B (en) Film peeling method and film peeling device
EP1791163A3 (en) Method and apparatus for attaching a peeling tape
EP2535200A3 (en) Printing method, transfer material, and inkjet discharge device
SG137801A1 (en) Surface protection film peeling method and surface protection film peeling device
EP2199238A3 (en) Image forming apparatus and paper feeding device thereof
CA2472751A1 (en) Process and apparatus for contact printing with supply of release agent through a porous printing surface
JP2012028760A5 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JP2007019240A5 (en)
ITTO20050705A1 (en) PRESS BRAKE FOR SHEET PIECES WITH MANIPULATOR INTEGRATED IN A REAR POSITIONING DEVICE
TW201129470A (en) Surface protective sheet
WO2008146438A1 (en) Sticking device, method for preventing adhesive from dissolving, and method for sticking
WO2008011128A3 (en) Method and apparatus for exchanging print technologies
EP1582294A3 (en) Method of sucking water and water sucking device
EP1712356A3 (en) System and method for pad printing
MX2017015711A (en) Large surface laminating system and method.
TH84771A (en) Equipment for attaching material sheets
TH84771B (en) Equipment for attaching material sheets
WO2011133509A3 (en) Reusable stencil apparatus and methods for making and using same
EP2037324A3 (en) Lithographic apparatus and method
EP2474585A3 (en) Surface protective sheet for self-cleaning surface