TH76274B - ชุดเครื่องเคลือบสำหรับแผ่นพิมพ์แบบร่องลึก - Google Patents

Abstract

DC60 (10/10/57) ได้มีการบรรยายชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ซึ่ง ประกอบรวมด้วยห้องสุญญากาศ (3) ที่มีช่องว่างด้านใน (30) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อรับอย่างน้อยหนึ่ง แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูกเคลือบ,ระบบสุญญากาศ (4) ที่ถูกเชื่อมต่อกับ ห้องสุญญากาศ (3) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อสร้างสุญญากาศในช่องว่างด้านใน (30) ของห้อง สุญญากาศ (3) และระบบการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) (5) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อดำเนินการการ สะสมของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอภายใต้สุญญากาศไปบนผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของแผ่น สำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10),ซึ่งระบบการสะสมไอทางกายภาพ (5) รวมถึงอย่าง น้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52) ซึ่งประกอบรวมด้วยแหล่งของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึก หรอที่ถูกสะสมไปบนผิวหน้าที่ถูกเคลือบ (10a) ของแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10a) ห้องสุญญากาศ (3) ถูกจัดเรียงเพื่อให้แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูก เคลือบวางนั่งแนวตั้งอย่างแท้จริงในช่องว่างด้านใน(30) ของห้องสุญญากาศ (3) ด้วยผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของมันที่หันหน้าไปทางอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52) ชุดเครื่องเคลือบแผ่น สำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ประกอบรวมต่อไปด้วยตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ที่ถูกตั้งอยู่ภายในช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และถูกปรับให้เหมาะเพื่อรองรับ และเคลื่อนที่อย่างเป็นวงจรของแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ไปข้างหน้า และ ผ่านอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52) ได้มีการบรรยายชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนงัวดุแข็ง (1) ซึ่ง ประกอบรวมด้วยห้องสุญญากาศ (3) ที่มีช่องว่างด้านใน (30) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อรับอย่างน้อยหนึ่ง แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูกเคลือบ,ระบบสุญญญากาศ (4) ที่ถูกเชื่อมต่อกับ ห้องสุญญากาศ (3) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อสร้างสุญญากาศในช่องว่างด้านใน (30) ของก้อง สุญญากาศ (3) และระบบการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) (5) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อดำเนินการการ สะสมของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอภายใต้สุญญากาศไปบนผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของแผ่น สำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10),ซึ่งระบบการสะสมไอทางกายภาพ (5) รวมถึงอย่าง น้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52) ซึ่งประกอบรวมด้วยแหล่งของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึก หรอที่ถูกสะสมไปบนผิวหน้าที่ถูกเคลือบ (10a) ของแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10a) ของมันที่หันหน้าไปทางอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52) ชุดเครื่องเคลือบแผ่น สำหรับการพิมพ์แสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ประกอบรวมต่อไปด้วยตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ที่ถูกตั้งอยู่ภายในช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และถูกปรับให้เหมาะเพื่อรองรับ และเคลื่อนที่อย่างเป็นวงจรของแผ่นสำหรับการพิมพ์และสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ไปข้างหน้า และ ผ่านอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51,52)

Claims (15)

1.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ซึ่งประกอบรวมด้วย -ห้องสุญญากาศ (3) ที่มีช่องว่างด้านใน (30) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อรับอย่างน้อยหนึ่งแผ่น สำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูกเคลือบ - ระบบสุญญากาศ (4) ที่ถูกเชื่อมต่อกับห้องสุญญากาศ (3) และถูกปรับให้เหมาะเพื่อสร้าง สุญญากาศในช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และ -ระบบการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) (5) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อดำเนินการการสะสมของ วัสดุเคลือบที่ด้านทานการสึกหรอภายใต้สุญญากาศไปบนผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของแผ่นสำหรับ การพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10), ซึ่งระบบการสะสมไอทางกายภาพ (5) รวมถึงอย่างน้อยหนึ่ง เป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) ชงประกอบรวมด้วยแหล่งของวัสดุเคลือบที่ด้านทานการสึกหรอที่ถูก สะสมไปบนผิวหน้าที่ถูกเคลือบ (10a) ของแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ซึ่งห้องสุญญากาศ (3) ถูกจัดเรียงเพื่อให้แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูกเคลือบวางนั่งแนวตั้งอย่างแท้จริงในช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) ด้วยผิวหน้าที่ถูก สลัก (10a) ของมันที่หันหน้าไปทางอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) และที่ซึ่งชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ประกอบรวม ต่อไปด้วยตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ที่ถูกตั้งอยู่ภายในช่องว่างด้านใน (30) ของห้อง สุญญากาศ (3) และถูกปรับให้เหมาะเพื่อรองรับ และเคลื่อนที่อย่างเป็นวงจรของแผ่นสำหรับการพิมพ์ แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ไปข้างหน้า และผ่านอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52)

2.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อถือ สิทธิที่ 1 ที่ซึ่งระบบการสะสมไอทางกายภาพ (5) เป็นระบบการเคลือบละอองโลหะซึ่งประกอบรวม ด้วย -อย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายการเคลือบละอองโลหะในรูปแบบของแมกนีตรอนที่กระทำเป็น เป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) -การส่งจ่ายก๊าซในการเคลือบละอองโลหะ (55) ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อการส่งจ่ายก๊าซใน การเคลือบละอองโลหะไปยังช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และ -ระบบการแตกตัวประจุที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อการทำให้เกิดการเคลือบละอองโลหะของ วัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอของอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายการเคลือบละอองโลหะ และการสะสม ของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอที่ถูกเคลือบละอองโลหะไปบนผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของ แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10)

3. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ตังที่นิยามไว้ในข้อถือ สิทธิที่ 2 ที่ซึ่งระบบการเคลือบละอองโลหะประกอบรวมด้วยอย่างน้อยสองเป้าหมายการเคลือบ หน้า 2 ของจำนวน 4 หน้า ละอองโลหะ (51, 52)ซึ่งแต่ละเป้าหมายประกอบรวมด้วยแหล่งของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการ สึกหรอที่ถูกเคลือบละอองโลหะ, ซึ่งแหล่งของวัสดุเคลือบที่ต้านทานการสึกหรอที่ถูกเคลือบละออง โลหะนิยมเป็นโครเมียมบริสุทธิ์

4. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อใดข้อ หนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งห้องสุญญากาศ (3) และตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ถูก จัดเรียงเพื่อให้แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง(10)ที่ถูกเคลือบถูกลาดเอียงไปทางด้าน หลัง และที่ซึ่งมุมของการลาดเอียงระหว่างผิวหน้าที่ถูกสลัก (10a) ของแผ่นสำหรับการพิมพ์ แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) และระนาบแนวตั้งไม่เกินกว่า 20 องศา

5. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อใดข้อ หนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ถูกปรับให้เหมาะเพื่อเปลี่ยนผ่าน แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) กลับและไปข้างหน้าภายในช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3)และไปตามเส้นทางการเปลี่ยนผ่าน (T) ไปข้างหน้าและผ่านอย่างน้อยหนึ่ง เป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52)

6. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อถือ สิทธิที่ 5 ที่ซึ่งห้องสุญญากาศ (3) แสดงรูปร่างที่ยืดยาวที่มีส่วนปลายที่หนึ่ง และที่สอง (I, II) ที่ทั้งสอง ปลายของเส้นทางการเปลี่ยนผ่าน (T) ของตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) และที่ซึ่งประตูปิดผนึกที่ หนึ่ง (31) ถูกจัดไว้ที่ส่วนปลายที่หนึ่ง (I) ของห้องสุญญากาศ (3), ซึ่งประดูปิดผนึกที่หนึ่ง (31) จัดให้ มีการเข้าถึง (31a) ไปยังช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) เพื่อยอมให้มีการบรรจุเข้าของ แผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ที่ถูกเคลือบ หรือ การเอาออกของแผ่นสำหรับการ พิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็งที่ถูกเคลือบ (10)

7.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อถือ สิทธิที่ 6 ที่ซึ่งส่วนปลายที่หนึ่ง (I) ของห้องสุญญากาศ (3) ถูกเชื่อมต่อกับห้องสะอาด (100) ซึ่งการ บรรจุเข้าหรือการเอาออกของแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10)ไปยังหรือ จากห้อง สุญญากาศ (3) ถูกดำเนินการจากส่วนนั้น

8.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ไนข้อถือ สิทธิที่ 6 หรือ 7 ที่ซึ่งประตูปิดผนึกที่สอง (32) ถูกจัดไว้ที่ส่วนปลายที่สอง (II) ของห้องสุญญากาศ (3), ซึ่งประดูปิดผนึกที่สอง (32) จัดให้มีการเข้าถึง (32a) ต่อไปไปยังช่องว่างด้านใน (30) ของห้อง สุญญากาศ (3) สำหรับจุดประสงค์ของการบำรุงรักษา

9. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อใดข้อ หนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งแผงป้องกันที่สามารถเอาออกได้ (37) ถูกจัดไว้บนอย่างน้อยผนัง ด้านในด้านหลัง (37a) ของห้องสุญญากาศ (3) ข้างหลังตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) หน้า 3 ของจำนวน 4 หน้า

10.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อใด ข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งตัวนำพา (6) ถูกปรับให้เหมาะเพื่อรับส่วนรองรับแผ่นสำหรับ การพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (65) ซึ่งแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10) ถูกติดตั้ง ไปบนส่วนนั้น, ซึ่งส่วนรองรับแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (65) สามารถเอาออกได้ จากตัวนำพาที่สามารถเคลื่อนที่ได้ (6) ร่วมกันกับแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (10)

11.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ไนข้อใด ข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งห้องสุญญากาศ (3) ประกอบรวมด้วยช่องเปิดด้านหน้า (35a) ที่ ติดต่อกับช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และรองรับแผงปิดผนึกที่สามารถดึงกลับได้ (35) ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52)ถูกตั้งอยู่บนส่วนนั้น, ซึ่งแผงปิดผนึกที่สามารถดึง กลับได้ (35) สามารถถูกเคลื่อนที่ระหว่างตำแหน่งที่ถูกดึงกลับ (รูปที่ 1 ถึง 4, 8) ในระหว่างการ ตำเนินการบำรุงรักษา, ด้วยวิธีนี้ทำให้เกิดการจัดให้มีการเข้าถึงช่องว่างด้านใน (30) ของห้อง สุญญากาศ (3) ผ่านช่องเปิดด้านหน้า (35a) และตำแหน่งการทำงาน (รูปที่ 5 ถึง 7A-C) ซึ่งช่องเปิด ด้านหน้า (35a) ถูกปิดในลักษณะที่ถูกปิดผนึกโดยแผงปิดผนึกที่สามารถดึงกลับได้(35), ด้วยวิธีนี้ทำ ให้เกิดการนำอย่างน้อยหนี้งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) ไปยังตำแหน่งการทำงานภายในช่องเปิด ด้านหน้า (35a)

12.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อถือ สิทธิที่ 11 ที่ซึ่งแผงปิดผนึกที่สามารถดึงกลับได้ (35) ถูกหมุนรอบแกนที่ปลายหนึ่งไปบนห้อง สุญญากาศ (3) และที่ซึ่ง, ในตำแหน่งที่ถูกดึงกลับ, แผงปิดผนึกที่สามารถดึงกลับได้ (35) วางตัวตาม แนวนอนอย่างแท้จริงกับผิวหน้าของอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) ที่ถูกกำหนดทิศทาง ไปทางด้านบน

13.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ไนข้อถือ สิทธิที่ 11 หรือ 12ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยกลไกที่ปิดเปิด (36)ที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อสร้างการ แยกออกอย่างเลือกได้ระหว่างช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) และอย่างน้อยหนึ่ง เป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) ที่ถูกตั้งอยู่บนแผงปิดผนึกที่สามารถดึงกลับได้ (35)

14.ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ไนข้อใด ข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิที่ 11 ถึง 13ที่ซึ่งระบบการสะสมไอทางกายภาพ(5)เป็นระบบการเคลือบ ละอองโลหะซึ่งประกอบรวมด้วยอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายการเคลือบละอองโลหะในรูปแบบของ แมกนีตรอนที่กระทำเป็นเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52) และที่ซึ่งชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์ แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ประกอบรวมต่อไปด้วยวิถีทางที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อทำรูปร่าง สนามแม่เหล็กของแมกนีตรอน และที่ซึ่งวิถีทางที่ถูกปรับให้เหมาะเพื่อทำรูปร่างสนามแม่เหล็กของ แมกนีตรอนนิยมรวมถึงขดลวดไฟฟ้า (53) ที่ล้อมรอบช่องเปิดด้านหน้า (35a) และถูกจัดวางในบริเวณ หน้า4 ของจำนวน4หน้า ใกล้เคียงของอย่างน้อยหนึ่งเป้าหมายวัสดุเคลือบ (51, 52), เมื่อนำไปยังตำแหน่งการทำงาน, ซึ่งขดลวด ไฟฟ้า (53) ถูกให้พลังงานในระหว่างการดำเนินการเคลือบละอองโลหะ

15. ชุดเครื่องเคลือบแผ่นสำหรับการพิมพ์แกะสลักลงบนวัสดุแข็ง (1) ดังที่นิยามไว้ในข้อใด ข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิก่อนหน้า ที่ซึ่งระบบสุญญากาศ (4) ประกอบรวมด้วยระบบปั๊มหลัก (41) และ อย่างน้อยหนึ่งปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกูลาร์ (45) และที่ซึ่งปมสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกูลาร์ (45) ถูกนิยมเชื่อมต่อกับช่องว่างด้านใน (30) ของห้องสุญญากาศ (3) ผ่านวาล์วเกตควบคุม (46)