TH70271A - หัวฉีดความดันสูงที่มีโครงสร้างระดับจุลภาคซึ่งมีฟังก์ชันไส้กรองในตัว - Google Patents

Abstract

DC60 (20/09/47) หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคประกอบด้วยช่องจำนวนหนึ่งที่ผลิตขึ้นมาโดยการจัดโครงสร้าง จุลภาคของชิ้นประกอบที่มีรูป ร่างเป็นแผ่น ในหัวฉีดนั้น ช่องจะได้รับการจัดวางไว้ระหว่าง ส่วนยื่น ซึ่งได้รับการจัดการแบบเรียงกันไปในแถวและยื่นออก มาจากแผ่นฐาน แผ่นฐานที่มีโครงสร้าง จุลภาคนี้ได้รับการปิด คลุมด้วยแผ่นปิดคลุม ช่องได้รับการออกแบบให้แคบลงในด้าน ของรูปร่าง พื้นที่ภาคตัดขวางและความยาว หัวฉีดจะมีไส้กรอง เป็นโครงสร้างปฐมภูมิและมีโครงสร้างทุติยภูมิที่ ด้านปลาย ทางของไส้กรอง หัวฉีดได้รับการนำไปใช้ ตัวอย่างเช่น กับ เครื่องทำให้เป็นละอองซึ่งจะทำให้เกิดละอองขึ้นมา จากของไหล ที่มีเวชภัณฑ์ หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคประกอบด้วยช่องจำนวนหนึ่งที่ผลิตขึ้นมาโดยการจัดโครงสร้าง จุลภาคของชิ้นประกอบที่มีรูป ร่างเป็นแผ่น ในหัวฉีดนั้น ช่องจะได้รับการจัดวางไว้ระหว่าง ส่วนยื่น ซึ่งได้รับการจัดการแบบเรียงกันไปในแถวและยื่นออก มาจากแผ่นฐาน แผ่นฐานที่มีโครงสร้าง จุลภาคนี้ได้รับการปิด คลุมด้วยแผ่นปิดคลุม ช่องได้รับการออกแบบให้แคบลงในด้าน ของรูปร่าง พื้นที่ภาคตัดขวางและความยาว หัวฉีดจะมีไส้กรอง เป็นโครงสร้างปฐมภูมิและมีโครงสร้างทุติยภูมิที่ ด้านปลาย ทางของไส้กรอง หัวฉีดได้รับการนำไปใช้ ตัวอย่างเช่น กับ เครื่องทำให้เป็นละอองซึ่งจะทำให้เกิดละอองขึ้นมา จากของไหล ที่มีเวชภัณฑ์

Claims (36)

1. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคที่มีไส้กรอง ทางเข้าสำหรับการไหลที่ไม่ผ่านการกรองและ ทางออกสำหรับการไหลผ่านการกรอง หัวฉีดประกอบรวมด้วย แผ่นฐานที่แบนอย่างแท้จริง (1) และแผ่นปิดคลุมซึ่งได้รับ การยึดติดไว้ ไส้กรองหลักที่สร้างขึ้นมา โดยเป็นโครงสร้างปฐมภูมิ พร้อม ด้วยมีส่วนยื่น (7) จำนวนหนึ่งที่ จัดการเรียงกันเป็น แถว (3) แต่ละแถวประกอบรวมด้วยส่วนประกอบที่ประกอบรวมเป็น ชิ้นเดียวกัน ของแผ่นฐาน (1) และยื่นออกมาจากแผ่นฐาน ส่วน ยื่น (7) ได้รับการเว้นระยะจากกันโดยช่อง (8) ซึ่งก่อรูป เป็นเส้นทางผ่านสำหรับของไหลที่ไหลผ่านหัวฉีดจากทางเข้าไป สู่ทางออก ในขณะเดียวกัน แผ่นปิดคลุม ถ้าได้รับการยึดติด อยู่กับแผ่นฐาน จะปิดคลุมส่วนอื่น (7) และช่อง (8) และ ห้องรวมของไหลผ่านการกรอง (50a) ที่จัดการไว้ด้านหลังไส้ กรองหลักในทิศทางของ การไหล โดยมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง ในห้องรวมของไหลผ่านการกรอง (50a) ได้รับการจัดวางไว้ด้วยโครงสร้างทุติยภูมิ (50) ซึ่งประกอบด้วยชิ้นส่วนแบบประกอบใน ตัว (51) จำนวนหนึ่งซึ่งทำหน้าที่เป็นแผ่นฐาน (1) และ/หรือ แผ่นปิดคลุม

2. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 มี ลักษณะเฉพาะที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบประกอบ ในตัว (51) มีผนังตามแนว เส้นรอบวงรูปทรงกระบอก

3. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง ชิ้นส่วนแบบประกอบใน ตัว (51) จะอยู่ห่างกัน 0.005 มม. ถึง 0.02 มม.

4. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง ชิ้นส่วนแบบประกอบในตัว (51) มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางจาก 0.005 มม. ถึง 0.02 มม.ถ้าจะให้ ดีมากที่ สุดคือ 0.01 มม.

5. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 มี ลักษณะเฉพาะที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบประกอบ ในตัว (51) มีผนังตามแนว เส้นรอบวงที่เว้า

6. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 มี ลักษณะเฉพาะที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบประกอบ ในตัว (51) มีผนังตามแนว เส้นรอบวงที่นูน

7. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 มี ลักษณะเฉพาะที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบประกอบ ในตัวจะยื่นในลักษณะ ของเสาหลักออกมาจากแผ่นฐานไปสู่แผ่นปิดคลุมและเป็นส่วนที่ ประกอบรวม เป็นชิ้นเดียวกับแผ่นปิดคลุม

8. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง ส่วนยื่น (7) ของไส้กรอง หลักได้รับการก่อรูปขึ้นมาในสัณฐานแบบซิกแซกโดยเริ่มต้นจาก ระนาบ ตรงกลาง (52) พร้อมด้วยมีเดือยแหลม (53) ในทิศทางเข้าและ ทางออก

9. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 8 ข้อ ใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง ส่วนยื่น (7) ได้รับการจัด การเรียงไปโดยตลอดความกว้างทั้งหมดของไส้กรอง

10. หัวฉีดที่มีโครงงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 8 หรือ 9 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง โครงสร้างทุติยภูมิ (50) ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยเป็นส่วนที่ประกอบรวมเป็นชิ้น เดียวกับแผ่นฐาน บนด้านทางออกของสัณฐานแบบซิกแซกไปจนถึงแนว ตรงกลาง (52)

11. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 8 หรือ 9 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง โครงสร้างทุติยภูมิ (50) ได้รับการก่อรูปขึ้นมาบนด้านทางออกของสัณฐานแบบซิกแซก ให้เป็นส่วน ยื่นแหลมในทิศทางของทางเข้า

12. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 8 หรือ 9 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง โครงสร้างทุติยภูมิ (50) ได้รับการก่อรูปขึ้นมาด้านหน้าและด้านหลังองสัณฐานแบบ ซิกแซกใน ทิศทางของการไหล

13. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 12 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ระยะห่างระหว่างแผ่นฐานในบริเวณรอบๆ ส่วนยื่นและแผ่นปิด คลุมภายในแถว (3) ของ ส่วนยื่น (7) ซึ่งมีขนาดโดยประมาณเท่า กับความกว้างของช่อง (8) บนด้านของส่วนยื่น (7) ซึ่งของ ไหลจะ ไหลเข้าสู่แถวของช่อง (8)

14. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 13 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ส่วนยื่น (7) จำนวนหนึ่งที่จัดการแบบเรียงกันไปใน แถว (3) ซึ่งยื่นออกมาจากแผ่นฐาน (1) และเป็นส่วนที่ประกอบรวม เป็นชิ้นเดียวกับแผ่นฐาน ที่ซึ่ง - แถว (3) หลายแถวของส่วนยื่นได้รับการจัดใบแบบลดหลั่นการไป และ - ภาคตัดขวางของช่อง (8) จะลดลงจากแถวหนึ่งไปสู่แถวที่ตั้ง ฉากกับทิศทางของการไหล ของของไหล เมื่อมองในทิศทางของการไหล และ - ส่วนยื่น (3) ที่จัดการไว้ใกล้กับด้านช่องทางเข้าของไส้ กรองมากกว่าจะมีขนาดใหญ่กว่า หรือมีจำนวนมากกว่า ดังนั้น ระยะห่างระหว่างส่วนยื่นจึงน้อยกว่าส่วนยื่น (3) ที่จัดการ ไว้ใกล้กับด้าน ทางออกของไส้กรองมากกว่า และ - ระยะห่างระหว่างแผ่นฐานและแผ่นปิดคลุมบริเวณรอบๆ แถวของ ส่วนยื่น (7) แต่ละแถว ที่จัดการในแบบลดหลั่นกันไปจะมีขนาด โดยประมาณเท่ากับความกว้างของช่องบนด้านของส่วนยื่น (7) ซึ่งของไหลจะไหลเข้าสู่แถวของช่อง และ - ช่องแคบยาวทางเข้ารูปสี่เหลี่ยมผืนผ้า (5) สำหรับของไหลที่ ไม่ผ่านการกรองซึ่งยื่นออกมา เกือบตลอดความกว้างทั้งหมดของ ไส้กรองและมีขนาด โดยประมาณเท่ากับความสูงของส่วนยื่นที่ยื่น ออก มาจากแผ่นฐาน (7) บนด้านทางเข้าของไส้กรอง และ - ช่องแคบยาวทางเข้ารูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าสำหรับของไหลที่ ผ่านการกรองซึ่งยื่นออกมาเกือบ ตลอดความกว้างทั้งหมดของ ไส้กรองและมีขนาดโดยประมาณเท่ากับความสูงของส่วนยื่นที่ยื่นออก มาจากแผ่นฐาน (7) บนด้านทางออกของไส้กรอง

15. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 14 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - แผ่นฐานที่แบน (1) และแผ่นปิดคลุมที่แบน

16. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 15 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะที่ซึ่ง โครงสร้างทั้งหมด ของไส้กรองได้รับการก่อรูปขึ้นมาอย่างเฉพาะบนแผ่นฐาน (1)

17. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 16 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ระยะห่างระหว่างแผ่นฐานที่แบน (1) ในบริเวณรอบๆ ส่วน ยื่น (7) และแผ่นปิดคลุมที่แบน ภายในแถว (3) ของส่วน ยื่น (7) อยู่ระหว่างครึ่งหนึ่งหรือสองเท่าของความกว้างของ ช่องบนด้านของ ส่วนยื่นซึ่งของไหลจะไหลเข้าสู่แถวของช่อง (8)

18. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 17 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - แถวหลายแถวของส่วนที่ยื่นที่อยู่เรียงกันไป ซึ่งด้านผิว หน้าของส่วนยื่น (7) ที่อยู่ใกล้เคียง กันสองแถวกำหนดขอบเขต เป็นห้องยึดประสานที่ซึ่งของไหลจากช่องทั้งหมดจะไหลไป ระหว่าง ส่วนยื่นของแถวที่หนึ่งและไหลออกไป ซึ่งของไหลนั้น จะไหลเข้าสู่ช่องทั้งหมดระหว่างส่วนยื่นของ แถวถัดไปในทิศ ทางของการไหล

19. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 18 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ห้องรวม (50a) มีภาคตัดขวางรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าระหว่าง ช่องแคบยาวทางเข้า (5) และแถวที่ หนึ่งของส่วนยื่น (4) ที่ซึ่ง ของไหลที่ไม่ผ่านการกรองจะได้รับการทำให้ไหลผ่านไปและไหลออก ไป ที่ซึ่งของไหลนั้นจะไหลเข้าสู่ช่องทั้งหมดระหว่างส่วนยื่น ของแถวที่หนึ่ง และที่ซึ่ง - ห้องรวม (50a) มีภาคตัดขวางรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าระหว่าง แถวสุดท้ายของส่วนยื่นและช่อง แคบยาวทางออก ที่ซึ่งของไหล จากช่องทั้งหมดของแถวสุดท้ายจะไหลผ่าน และไหลออกไป ที่ซึ่ง ของไหลที่ผ่านการกรองจะได้รับการจ่ายออกไป

20. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 19 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ส่วนยื่นในรูปแบบของเสา (11,12,13,14,15) ซึ่งเป็นเส้นตรง หรือโค้ง เมื่อมองในทิศทาง ของการไหล หรือ - ส่วนยื่นในรูปแบบของคอลัมภ์ (16,17,18,19)

21. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 20 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ช่อง (8) โดยความยาวของช่องอย่างน้อยที่สุดจะเท่ากับสอง เท่าของความสูงของช่องนั้นที่ ด้านทางเข้าสำหรับของไหล ซึ่ง ภาคตัดขวางยังคงที่

22. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ช่อง (8) ที่ยื่นออกมาระหว่างเสาที่มีภาคตัดขวางเป็นรูปสี่ เหลี่ยมจัตุรัส โดยประมาณ ซึ่งคงที่ โดยตลอดความยาวของช่อง พร้อมด้วยมีความยาว 5 ไมโครเมตร ถึง 50 ไมโครเมตร พร้อมด้วย มี ความสูง 2.5 ไมโครเมตร ถึง 25 ไมโครเมตร และความกว้าง 2.5 ไมโครเมตร ถึง 25 ไมโครเมตร

23. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ช่องที่มีภาคตัดขวางรูปบาร์เรลหรือสี่เหลี่ยมคางหมู โดย ด้านที่ยาวกว่าของสี่เหลี่ยมคางหมู ควรได้รับการก่อรูปขึ้น มาโดยแผ่นปิดคลุม

24. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 23 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ช่อง (8) ที่มีภาคตัดขวางรูปสี่เหลี่ยมจัตุรัสโดยประมาณบน ด้านทางเข้าของของไหลและมี ภาคตัดขวางซึ่งกว้างกว่าเมื่อตรง ไปสู่ด้านทางออกของของไหล

25. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 24 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ระยะห่างระหว่างแถวของส่วนยื่นถ้าจะให้ดีแล้วควรเท่ากับ สองเท่าของขนาดความกว้าง ของช่องบนด้านทางเข้า

26. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 25 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ส่วนยื่นซึ่งได้รับการจัดการไว้ - ในแถว (31) ที่วางตัวขนานกัน หรือ - ในแถว (33) ในรูปแบบที่วกวน หรือ - ในแถว (34) ในรูปแบบซิกแซกซึ่งเอียงเข้าหากันที่มุม (อัลฟา) เท่ากับ 2 ํ ถึง 5 ํ

27. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 26 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ระยะห่างที่คงที่ระหว่างแผ่นฐานที่แบน (1) ในบริเวณรอบๆ ส่วนยื่น (7) และแผ่นปิดคลุมที่ แบนภายในแถว (3) ของส่วนยื่น

28. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 26 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย ระยะห่างระหว่างแผ่นฐาน (1) และแผ่นปิดคลุมที่เรียวเล็ก ลงในทิศทางของการไหล

29. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 28 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - ระยะห่างระหว่างแผ่นฐาน (1) ในบริเวณรอบๆ ส่วนยื่น (7) และ แผ่นปิดคลุมที่แบนภายใน แถวของส่วนยื่นที่จัดการไว้ในรูปแบบ ที่วกวน (33) หรือในรูปแบบซิกแซก (34) ที่เพิ่มขึ้นจากบริเวณ ส่วนปลายของแถวที่จัดวางอยู่ใกล้กับด้านทางเข้าของไส้กรอง โดยตรงไปสู่บริเวณส่วนปลายของแถว ที่จัดวางอยู่ใกล้กับด้าน ทางออกของไส้กรอง

30. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 29 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - แผ่นฐาน (1) ซึ่งได้รับการสร้างขึ้นมาโดยการกัดขึ้นรอยขณะ เปียกหรือขณะแห้งแบบ ไอโซทรอปิกหรือแอนไอโซทรอปิกหรือวิธี การเหล่านี้ร่วมกัน ถ้าจะให้ดีคือโดยการกัดขึ้นรอยขณะ แห้ง แบบแอนไอโซทรอปิก

31. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 30 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - แผ่นฐาน (1) ที่ทำจากซิลิกอนและแผ่นปิดคลุมที่ทำจากแก้ว ซึ่งได้รับการยึดติด โดยการยึด ประสานแบบแอโนด

32. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 31 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะทีซึ่ง ห้องรวมของไหลผ่านการก รอง (50a) จะเรียวเล็กลงอย่างเป็นรูปกรวยในทิศทางของการไหล และมี หัวฉีด (6) อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชิ้นเป็นทางออก

33. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะโดย - แผ่นฐาน (1) ที่ทำจากซิลิกอนและแผ่นปิดคลุมที่ทำจากซิลิ กอน ซึ่งได้รับการยึดติดโดยการ ยึดประสานโดยตรง

34. หัวฉีดที่มีโครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่งมีลักษณะเฉพาะทีซึ่ง ระยะห่างระหว่างชิ้นส่วน แบบประกอบในตัว ซึ่งแต่ละชิ้นก่อรูปเป็นช่องการไหลสำหรับการ ไหลผ่าน ของของไหล จะอยู่ในลักษณะที่ว่าพื้นที่ภาคตัดขวาง ที่ได้ซึ่งตั้งฉากกับทิศทางของการไหล ซึ่งยอมให้ ของเหลวผ่าน ได้อย่างมีประสิทธิภาพ จะมีขนาดใหญ่กว่าพื้นที่ผิวตามภาค ตัดขวางที่มีผลที่สมนัยกัน ของช่องการไหลผ่านที่ก่อรูปขึ้น มาโดยโครงสร้างของไส้กรองหลัก

35. เครื่องทำให้เป็นละอองสำหรับการรักษาโดยการสูดดมซึ่ง ประกอบรวมด้วยไส้กรองที่มี โครงสร้างจุลภาคตามข้อถือสิทธิ ที่ 1 ถึง 34 ข้อใดข้อหนึ่ง

36. กระบวนการสำหรับการผลิตหัวฉีดตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 34 ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งในขั้น ตอนหนึ่ง โครงสร้างจุลภาคใน รูปแบบของโครงงสร้างไส้กรอง โครงสร้างทุติยภูทิ ทางเข้าของ หัวฉีด และทางออกของหัวฉีด จะได้รับการกัดขึ้นรอยไว้ในด้าน หนึ่งของซิลิกอนเวเฟอร์สำหรับหัวฉีด จำนวนมาก ในขั้นตอนต่อ ไป แผ่นแก้วจะได้รับการยึดติดอย่างมั่นคงเข้ากับด้านนี้ของ ซิลิกอนเวเฟอร์ ในขั้นตอนอิสระ ซิลิกอนเวเฟอร์จะได้รับ การจัดวางบนฟิล์มสารยึดติด และในขั้นตอนสุดท้าย หัวฉีดอิสระ จะได้รับการผลิตขึ้นจากชุดประกอบที่ประกอบรวมด้วยซิลิ กอนเวเฟอร์และแผ่นแก้ว พร้อมด้วยมีฟิล์มสารยึดติดอยู่บนด้าน ใต้ของซิลิกอนเวเฟอร์ โดยเริ่มต้นจากด้านของแผ่น แก้ว โดยการ ใช้เลื่อยที่ทำจากเพชร