TH66427A - วิธีการสำหรับตกแต่งพื้นผิวของแม่พิมพ์ รวมทั้งแม่พิมพ์ - Google Patents
วิธีการสำหรับตกแต่งพื้นผิวของแม่พิมพ์ รวมทั้งแม่พิมพ์Info
- Publication number
- TH66427A TH66427A TH401001825A TH0401001825A TH66427A TH 66427 A TH66427 A TH 66427A TH 401001825 A TH401001825 A TH 401001825A TH 0401001825 A TH0401001825 A TH 0401001825A TH 66427 A TH66427 A TH 66427A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- mold
- shape
- pattern
- casting
- photomask
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (17/08/47) ลวดลายสามารถถ่ายสำเนาได้โดยง่ายโดยปราศจากรอยต่อของโฟโตมาสค์ ลงบนส่วนหนึ่ง หรือทั้งหมดของแม่พิมพ์ที่มีรูปร่างสาม มิติ ฟิล์มพอลิเอสเตอร์อเนกประสงค์ที่เคลือบด้วยวัสดุไวแสงใช้ เป็นโฟโตมาสต์ 2 และหลังจาก การก่อรูปลวดลายแล้ว จะติดโฟโต มาสค์ 2 โดยใช้การหล่อในแบบด้วยสุญญากาศ หรือการหล่อใน ทำนองนี้ เข้ากับแม่พิมพ์ 1' ที่หล่อให้มีรูปร่างเหมือน กับรูปร่างของแม่พิมพ์ที่จะเปิดรับแสงและทำให้ เกิดลวดลาย ลวดลายสามารถถ่ายสำเนาได้โดยง่ายโดยปราศจากรอยต่อของโฟโตมาสค์ ลงบนส่วนหนึ่ง หรือทั้งหมดของแม่พิมพ์ที่มีรูปร่างสาม มิติ ฟิล์มพอลิเอสเตอร์อเนกประสงค์ที่เคลือบด้วยวัสดุไวแสงใช้ เป็นโฟโตมาสต์ 2 และหลังจาก การก่อรูปลวดลายแล้ว จะติดโฟโต มาสค์ 2 โดยใช้การหล่อในแบบด้วยสุญญากาศ หรือการหล่อใน ทำนองนี้ เข้ากับพิมพ์ 1' ที่หล่อให้มีรูปร่างเหมือน กับรูปร่างของแม่พิมพ์ที่จะเปิดรับแสงและทำให้ เกิดลวดลาย
Claims (2)
1. วิธีการสำหรับตกแต่งพื้นผิวของแม่พิมพ์ ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ การเคลือบพื้นผิวของแม่พิมพ์ด้วยโฟโตรีซิสต์ การหล่อโฟโตมาสค์ที่เหมือนฟิล์มให้มีรูปร่างเหมือนกับรูป ร่างของแม่พิมพ์ดังกล่าว การติดโฟโตมาสต์ที่หล่อให้มีรูปร่างดังกล่าวเข้ากับแม่ พิมพ์ที่เคลือบด้วยโฟโตรีซิสต์ดังกล่าว เพื่อเปิดรับแสงและ ทำให้เกิดลวดลาย และ การกัดลวยลายที่ก่อรูปไว้บนโฟโตมาสต์ดังกล่าวเข้าไปในแม่ พิมพ์ที่เกิดลวดลายดังกล่าว
2. วิธีการสำหรับตกแต่งผิวของแม่พิมพ์ตามแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH66427A true TH66427A (th) | 2005-01-14 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI464020B (zh) | A method for making a mold having a three-dimensional microstructure and a mold having a three-dimensional microstructure | |
| TW200615282A (en) | Polymer, resist protective coating material, and patterning process | |
| JP2005345737A5 (th) | ||
| JP2005530338A5 (th) | ||
| EP1275508A3 (en) | Method for manufacturing microstructure, method for manufacturing liquid discharge head, and liquid discharge head | |
| WO2009078380A1 (ja) | ネガ型感光性樹脂積層体を用いたレジスト硬化物の製造方法、ネガ型感光性樹脂積層体、及びネガ型感光性樹脂積層体の使用方法 | |
| CN105452957B (zh) | 制作具有底切侧壁的抗蚀剂结构的方法 | |
| CN102934031A (zh) | 由液态光聚合物树脂生产凸纹图像的方法 | |
| EP0907105A3 (en) | Method for fabricating photomasks having a phase shift layer | |
| WO2005005121A3 (en) | A method of manufacturing a mould for producing an optical surface, a method of producing a contact lens and a device for use with these methods | |
| JP2004345286A (ja) | 金型表面装飾方法及び金型 | |
| TW200502600A (en) | A light guide plate and a method of manufacturing the same | |
| TH66427A (th) | วิธีการสำหรับตกแต่งพื้นผิวของแม่พิมพ์ รวมทั้งแม่พิมพ์ | |
| EP1152290A3 (en) | Method for fabricating a photolithographic mask | |
| JPH0872141A (ja) | エンボス版の製造方法 | |
| JP7124585B2 (ja) | レプリカモールドの製造方法 | |
| KR20210014991A (ko) | 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 및 제작 방법 | |
| EP1319985A3 (en) | Reticle | |
| JP5428401B2 (ja) | 凸状パターン形成体の製造方法 | |
| JP2004017477A5 (th) | ||
| TWI605298B (zh) | 曲面型光罩、具彩色光阻圖案之曲面裝置及其製作方法 | |
| US20070207392A1 (en) | Manufacturing method of photo mask and manufacturing method of semiconductor device | |
| JP2003183811A (ja) | メタルマスク、及び、その製造方法 | |
| TW200634906A (en) | Patterning process and contact structure | |
| ES2950633T3 (es) | Método para producir una imagen en relieve a partir de una resina fotopolimérica líquida |