TH6612A3 - ไมโครคานติลิเวอร์ที่มีโครงสร้างอิสระแบบปลายเปิดของแบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนต - Google Patents
ไมโครคานติลิเวอร์ที่มีโครงสร้างอิสระแบบปลายเปิดของแบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนตInfo
- Publication number
- TH6612A3 TH6612A3 TH1003001295U TH1003001295U TH6612A3 TH 6612 A3 TH6612 A3 TH 6612A3 TH 1003001295 U TH1003001295 U TH 1003001295U TH 1003001295 U TH1003001295 U TH 1003001295U TH 6612 A3 TH6612 A3 TH 6612A3
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- zirconate titanate
- layer
- substrate
- microcantiliver
- barium
- Prior art date
Links
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract 11
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 title claims abstract 7
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับไมโครคานติลิเวอร์ทีทำจากวัสดุไพอิโซเซรามิกไร้สารตะกั่วชนิดแบเรียม เซอร์โคเนตไททาเนต ซึ่งเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม และมีโครงสร้างแบบอิสระ(free-standing) ทำให้ชั้น แบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนตไม่ยึดติดกับชั้นอื่นๆ เมื่อป้อนสนามไฟฟ้าคานติลิเวอร์จะแสดงสมบัติไพอิโซอิ เล็กทริกได้ดี การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับไมโครคานติลิเวอร์ทีทำจากวัสดุไพอิโซเซรามิกไร้สารตะกั่วชนิดแบเรียม เซอร์โคเนตไททาเนต ซึ่งเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม และมีโครงสร้างแบบอิสระ (free-standing) ทำให้ชั้น แบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนตไม่ยึดติดกับชั้นอื่นๆ เมื่อป้อนสนามไฟฟ้าคานติลิเวอร์จะแสดงสมบัติไพอิโซอิ เล็กทริกได้ดี
Claims (6)
1. ไมโครคานติลิเวอร์ แบบที่มีปลายยื่นในอากาศด้านเดียว ประกอบด้วย - ชั้นซับสเตรท (1) - ชั้นขั้วไฟฟ้าที่หนึ่ง (3) ที่มีปลายด้านหนึ่งเคลือบบนชั้นซับสเตรท (1) และปลายอีกด้านหนึ่งยื่นยาวออกมาขนานกับระนาบของซับสเตรท (1) โดยที่พื้นผิวด้านล่างไม่ สัมผัวกับชั้นซับสเตรท (1) ดังกล่าว ทำให้เกิดช่องว่าง (6) ระหว่างชั้นขั้วไฟฟ้าที่หนึ่ง (3) กับชั้น ซับสเตรท (1) - ชั้นวัสดุไพอิโซอิเล็กทริก (4) เคลือบทับชั้นขั้วไฟฟ้าที่หนึ่ง (3) ดังกล่าว - ชั้นขั้วไฟฟ้าที่สอง (5) เคลือบบนชั้นวัสดุไพโซอิเล็กทริก (4) ดังกล่าว โดยไม่มีส่วนใดสัมผัสกับ ปลายทั้งสองของขั้วไฟฟ้าที่หนึ่ง (1) ที่มีลักษณะเฉพาะคือ ชั้นวัสดุไพอิโซอิเล็กทริก (4) ดังกล่าว คือ แบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนต (Barium Zirconate Titanate, BZT)
2. ไมโครคานติลิเวอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งแบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนตดังกล่าว มีอัตราส่วนโดยโมลของ เซอร์โคเนต ต่อ ไทเทเนต อยู่ในช่อง 0.05 ต่อ 0.95 ถึง 0.20 ต่อ 0.80
3. ไมโครคานติลิเวอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งแบเรียมเซอร์โคเนตไทเทเนตดังกล่าว ที่พึงประสงค์ มีอัตรส่วน โดยโมลของ เซอร์โคเนต ต่อ ไทเทเนต อยู่ในช่วง 0.05 ต่อ 0.95
4. ไมโครคานติลิเวอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งช่องว่าง (6) ดังกล่าว มีระยะห่างระหว่างชั้นขั้วไฟฟ้าที่หนึ่ง (3) กับชั้นซับสเตรต (1) อยู่ในช่วง 30-40 ไมครอน
5. ไมโครคานติลิเวอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งซับสเตรท (1) ดังกล่าว เลือกได้จาก อะลูมินา ซิลิกอน คาร์บอน แก้ว หรือ โลหะ
6. ไมโครคานติลิเวอร์ ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งชั้นขั้วไฟฟ้าดังกล่าว เลือกได้จาก โลหะทอง เงิน หรือ โลหะ ผสม(metalalloy)
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH6612A3 true TH6612A3 (th) | 2011-09-22 |
| TH6612C3 TH6612C3 (th) | 2011-09-22 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011254569A5 (th) | ||
| EA201290854A1 (ru) | Стеклянный лист с электрическим соединительным элементом | |
| RU2016110829A (ru) | Электроподогреваемый каталитический конвертер | |
| JP2009076877A5 (th) | ||
| JP2015207754A5 (th) | ||
| RU2010141746A (ru) | Элемент, покрытый твердым материалом | |
| JP2013168419A5 (th) | ||
| EP2495778A3 (en) | Terminal electrode forming method and manufacturing method of piezoelectric/electrostrictive element by use thereof | |
| JP2009124791A5 (th) | ||
| ATE554486T1 (de) | Keramik-chip-anordnung | |
| US20160028348A1 (en) | Crystal device | |
| JP2015088521A5 (th) | ||
| JP2012238610A5 (th) | ||
| EP1835550A3 (en) | Package structure for solid-state lighting devices and method of fabricating the same | |
| MY164268A (en) | Pane with an electrical connection element | |
| JP2014078558A5 (th) | ||
| JP2010287592A5 (ja) | 半導体装置 | |
| WO2012050876A3 (en) | Nanowires for electrophysiological applications | |
| JP2016076798A5 (th) | ||
| TW200707484A (en) | Laminated ceramic capacitor and manufacturing method therefor | |
| EP2533280A3 (en) | Semiconductor device | |
| EP2073284A3 (en) | Piezoelectric/electrostrictive membrane element | |
| CN101427393B (zh) | 压电/电致伸缩膜型元件 | |
| EP2631959A3 (en) | Piezoelectric element and method for manufacturing the same | |
| BRPI0907493B8 (pt) | Processo de fabricação de um elemento aquecedor por depósito de camadas finas sobre um substrato isolante e o elemento obtido |