Claims (4)
1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบโดยการใช้งานแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้างกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งเคลื่อนที่ไปและห่างออกจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือสำหรับรองรับวัตถุเป้าหมายการชุบ อุปกรณ์ขับเคลื่อนสำหรับกำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวอย่างเลือกสรรในตำแหน่งกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือ และตำแหน่งถอยกลับซึ่งเลื่อนจากตำแหน่งกำบังดังกล่าว ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และ ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวให้กำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งกำบังดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งถอยกลับดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจกาที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ประกอบเพิ่มเติมด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และที่มีขดลวดโซลินอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าว โดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเพื่อเบี่ยงเบนวัสดุทีเป็นไอออนดังกล่าวเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว และอุปกรณ์แหล่งกำเนิดที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว 3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 2 ในที่ซึ่ง ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวในลักษณะที่อุปกรณ์แหล่งกำลังกล่าวขัดจังหวะการให้พลังงานของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับ ตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวภายหลังการผ่านพ้นไปของเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับที่ตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 5. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 6. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 7. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ1 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการ เปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 8. เครื่องมือชุบหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุบแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบโดยการใช้จำนวนหนึ่งของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้า สุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ชิ้นส่วนโล่กำบังซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับจำนวนมากของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวตามลำดับ อุปกรณ์ขับเคลื่อนซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าว ตามลำดับ ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควัน ตามลำดับ และ ส่วนควบคุม ในที่ซึ่ง แต่ละอันของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ไปและจากตำแหน่งระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันและตัวจับถือที่รองรับวัตถุเป้าหมายการชุบที่สอดคล้องกัน และแต่ละอันของอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวกำหนดที่อยู่ชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวอย่างเลือกสรรในตำแหน่งกำบังระหว่างแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าวและตัวจับถือ และตำแหน่งถอยกลับซึ่งถอยกลับจากตำแหน่งกำบังดังกล่าว และ ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมแต่ละอันของอุปกรณ์ขับเคลื่อนดังกล่าวให้กำหนดที่อยู่ทั้งหมด ของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งกำบังดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้กำหนดที่อยู่ทั้งหมดของชิ้นส่วนโล่กำบังดังกล่าวในตำแหน่งถอยกลับดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจากที่ตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 9. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ประกอบเพิ่มเติมด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดให้มีขึ้นสำหรับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และที่มีขดลวดโซลินอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าว โดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเพื่อเบี่ยงเบนวัสดุทีเป็นไอออนดังกล่าวเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว และอุปกรณ์แหล่งกำเนิดที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว 1 0. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 9 ในที่ซึ่ง ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำเนิดดังกล่าวในลักษณะที่แต่ละอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวขัดจังหวะการให้พลังงานของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวภายหลังการผ่านพ้นไปของเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรภาพหลังจากที่ทั้งหมดของตัวตรวจจับดังกล่าวได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 1 1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวทเป็นตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 1 4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศตามข้อถือสิทธิ 8 ในที่ซึ่ง อย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแต่ละอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำหน้าขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 1 5. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบซึ่งรองรับโดยตัวจับถือโดยการใช้งานแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ตัวกรองแม่เหล็กที่มีขดลวดโซลินนอยด์สำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็ก และที่ควบคุมการกระจัดกระจายของวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าวโดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศให้เคลื่อนที่วัสดุที่เป็นไอออนเข้าหาตัวจับถือดังกล่าว อุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังที่ให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าว ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว และ ส่วนควบคุมที่ควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำลังดังกล่าวให้หยุดหารใช้พลังงานของขดลอดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศและให้พลังงานขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรผ่านพ้นไปหลังจากที่ตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 1 6. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 7. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าซึ่งจ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 1 8. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน 1 9. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 15 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นในเบื้องต้นด้วยคาร์บอน เวลาจากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากการตรวจจับของการ เปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว 2 0. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับชุดแผ่นฟิล์มบนวัตถุเป้าหมาย การชุบซึ่งรองรับโดยตัวจับถือโดยการใช้งานจำนวนหนึ่งของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่เหนี่ยวนำการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศระหว่างขั้วลบและขั้วบวกโดยขั้วไฟฟ้าของตัวกระตุ้นซึ่งอยู่ตรงกันข้ามกับขั้วลบ ที่ประกอบด้วย ตัวกรองแม่เหล็กซึ่งจัดวางสำหรับจำนวนมากของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว ตามลำดับ อุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังสำหรับให้พลังงานตัวกรองแม่เหล็กดังกล่าว ตามลำดับ ตัวตรวจจับที่ตรวจจับ การเปิด/ปิดทำงาน ของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศของแหล่งกำเนิดหมอกควันดังกล่าว ตามลำดับ และ ส่วนควบคุม ในที่ซึ่ง แต่ละอันของตัวกรองแม่เหล็กดังกล่าวมีขดลวดโซลินอยด์ที่ถูกให้พลังงานโดยอุปกรณ์แหล่งกำเนิดกำลังดังกล่าวสำหรับจัดรูปแบบสนามแม่เหล็ก และขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวจัดรูปแบบสนามแม่เหล็กที่ควบคุมการกระจัดกระจายของวัสดุขั้วลบที่เป็นไอออนซึ่งผลิตขึ้นจากขั้วลบดังกล่าวโดยการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศให้เคลื่อนที่วัสดุที่เป็นไอออนเข้าหาตัวจับถือดังกล่าวและ ส่วนควบคุมดังกล่าวควบคุมอุปกรณ์แหล่งกำลังดังกล่าวให้หยุดการให้พลังงานของทั้งหมดของขดลวดโซลินอยด์ดังกล่าวเมื่ออย่างน้อยที่สุดหนึ่งอันของตัวตรวจจับดังกล่าวตรวจจับการปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ และให้พลังงานทั้งหมดของขดลวดโซลินอยด์เมื่อเวลาที่ต้องการสำหรับทำให้ทั้งหมดของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศดังกล่าวมีเสถียรหลังจากที่ ทั้งหมดของตัวตรวจจับได้ตรวจจับการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ 21. Airless electric spark haze tool for setting film on target object. Impregnation by means of an induced haze source, the distribution of a vacuum spark between the cathode and the anode by the actuator electrodes which are opposite to the cathode. Containing A piece of a shield that moves away from its position between the source of the smog and the holding holder to support the plating target. A propulsion device for addressing the said shield element selectively in the location of the shield between the smog source and the carrier. And the retracting position which is moved from the said cover Detectors that detect Enable / Disable Of the haze source's vacuum spark supply and the controls controlling the drive device, address the shield part in such a shielding location when the spark supply deactivation detectors. vacuum And address the shield element in the aforementioned retraction position when the required time for the stabilization of the vacuum spark supply has elapsed after the detector detects its opening. Operation of vacuum electric spark supply 2. Vacuum electric spark haze tool set according to claim 1, which includes additional Magnetic filter provided for the said smog source. And that have a solenoid coils for magnetically formulating the negative electrode material produced from that cathode. By applying a vacuum electric spark to divert the ionized material towards the gripper. 3. Vacuum Spark Haze Apparatus in accordance with claim 2, where the control unit that controls the aforementioned power source equipment in such a way that the power source device is Interrupts the energization of the solenoid coil when the detector Detects the deactivation of the vacuum spark supply. And energizes the solenoid coil after the elapse of the time required for stabilizing the vacuum spark supply after the detector detects the activation of the spark supply. Vacuum 4. Vacuum Spark Haze Apparatus According to claim 1, where the detector is a current detector that detects the discharge current on the basis of a vacuum spark discharge. The said control determines that the vacuum spark is deactivated when it detects it, the preset output current is not detected. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the detector detects the aforementioned preset output current. 1 where such a detector is a voltage detector that detects the voltage applied to the negative pole. This control determines that the vacuum spark is deactivated when the voltage detector does not detect the preset output current. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is turned on when the aforementioned voltage detector detects the aforementioned preset output voltage. Rights 1 where the negative pole was initially made with carbon 7. Vacuum Spark Haze Apparatus According to claim 1, where the negative pole was initially made with carbon. And the aforementioned controls set For the negative electrode haze source, which was initially made with carbon. The time from one to three seconds is the time required for the stabilization of the vacuum spark supply after detection of the The vacuum spark discharge is activated by the detector. 8. Vacuum electric spark haze apparatus for plating the film on the target object. Plating by using a certain amount of haze source that induces the distribution of electric spark. The vacuum between the cathode and the anode by the actuator electrode which is opposite to the cathode. Containing Shield Fragment, which was provided for a large number of such Haze Originals respectively. Propulsion devices provided for such shielding components, respectively, the detectors it detects. Enable / Disable Of the vacuum spark supply of the haze source, respectively, and the controls where each of the shield components can be moved to and from the position between the haze source and the carrier holding the target object. Corresponding plating And each of the aforementioned propulsion device selectively addresses the said shield part in the shielding position between the source of the smog and the carrier. And the retracting positions which retract from the said cover and the said control each of the said propulsion devices shall all be addressed. Of the shield element in such a shielding position when at least one of the detectors detects the deactivation of the vacuum spark supply. And all the address of the aforementioned shield parts in the aforementioned reverse position when the required time for stabilizing the vacuum spark supply has elapsed after the detector detects its activation. Vacuum spark supply 9. Vacuum electric spark haze tool set according to claim 8, which includes additional A magnetic filter that is provided for at least one of the said smog sources. And that have a solenoid coils for magnetically formulating the negative electrode material produced from that cathode. By applying a vacuum electric spark to divert the ionized material towards the gripper. 1 0. Vacuum Spark Haze Apparatus in accordance with claim 9, where such control controls the said source device in such a way that each equipment The power source interrupts the energization of the solenoid coil when at least one of the detectors detects the deactivation of the vacuum spark supply. After all, all of such detectors have detected the activation of the spark supply. Vacuum 1 1. Vacuum spark haze apparatus according to claim 8, where such a detector detects an electric current that detects a discharge current on the basis of a vacuum spark discharge. The said control determines that the vacuum spark is deactivated when it detects such a predetermined output current. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the aforementioned detectors detects the aforementioned preset output voltage. Holds 8 where such a detector is a voltage detector that detects the voltage that is applied to the negative pole. This control determines that the vacuum spark supply is deactivated when the aforementioned voltage detector does not detect a preset output voltage. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the aforementioned voltage detector detects the aforementioned preset output voltage. Holds rights 8 where at least one of the aforementioned cathode was initially made with carbon 1 4. vacuum spark haze apparatus according to claim 8 where at least one of the aforementioned cathode Was initially made with carbon And the aforementioned controls set For each of the negative haze sources, which are initially preceded by carbon From one to three seconds is the time required for the stabilization of the vacuum spark supply after detection of the activation of the vacuum spark supply by the aforementioned detector. For the film set on the target object Plating, supported by the holder by the use of an induced haze source, the distribution of a vacuum spark between the cathode and the anode by the actuator electrodes opposite to the cathode. Containing A magnetic filter with a solenoid coil for formulating a magnetic field. And that controls the dispersion of the ions produced by the cathode material by means of a vacuum electric spark to move the ionized material towards the holder. The power source device that powers the solenoid coil. Detectors that detect Enable / Disable When the detector detects the power of the haze source and the controls that control the power source device, the power consumption of the solenoid is stopped when the detector detects the shutdown. Of the vacuum spark discharge and energize the solenoid coil when the time required for stabilizing the vacuum spark supply is elapsed after the detector detects the activation of the spark supply. Vacuum Electric 1 6. Vacuum Spark Haze Apparatus for according to claim 15, where such a detector is a current detector that detects a discharge current on the basis of a vacuum spark discharge. The said control determines that the vacuum spark is deactivated when it detects it, the preset output current is not detected. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the aforementioned voltage detector detects the aforementioned preset discharge current. Claim 15 where such a detector is a voltage detector that detects the voltage applied to the negative pole. This control determines that the vacuum spark supply is deactivated when the aforementioned voltage detector does not detect a preset output voltage. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the aforementioned voltage detector detects the aforementioned preset output voltage. Claim 15 where the cathode was initially made with carbon 1 9. Vacuum spark haze apparatus for according to claim 15 where the negative pole was initially made with carbon. And the aforementioned controls set For the negative electrode haze source, which was initially made with carbon. The time from one to three seconds is the time required for the stabilization of the vacuum spark supply after detection of the The vacuum spark discharge is activated by the detector 2 0. Vacuum spark haze apparatus for the film set on the target object. Plating, which is supported by the holder by the use of a certain number of induced haze sources, the distribution of a vacuum spark between the cathode and the anode by the actuator electrode opposite to the cathode. Containing Magnetic filters, which are placed for a large number of such haze sources in order, power source devices to power such magnetic filters, respectively, the detectors detect Enable / Disable Of the vacuum spark supply of the aforementioned haze source, and the controls in which each of the aforementioned magnetic filter has a solenoid coil that is powered by the power source device for Forms the magnetic field And such solenoid coils form a magnetic field that controls the diffusion of the negative ions produced by the negative electrode by applying a vacuum electric spark to move the ionized material towards the holder as follows. Said and The controller controls the power source device to stop all energizing of the said solenoid coil when at least one of the detectors detects the deactivation of the spark supply. vacuum And provide the total power of the solenoid coil when required for the stabilization of all such vacuum spark supply after All of the detectors detected an activation of the vacuum spark discharge 2.
1. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับที่ตรวจจับดังกล่าวเป็นตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าที่ตรวจจับกระแสไฟฟ้าจ่ายออกบนพื้นฐานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศ ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับกระแสไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่ากระแสไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 21. Vacuum spark haze apparatus for claim 20, where the sensed detector is a current detector that detects the discharge current on the basis of vacuum spark discharge. The said control determines that the vacuum spark is deactivated when it detects such a predetermined output current. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is turned on when the aforementioned detector detects the aforementioned pre-set output current 2.
2. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ตัวตรวจจับอย่างน้อยหนึ่งตัวเป็นตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่ตรวจจับแรงดันไฟฟ้าที่จ่ายให้กับขั้วลบดังกล่าว ส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟ้ฟ้าสุญญากาศเป็นแบบปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวไม่ตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้า และส่วนควบคุมดังกล่าวกำหนดว่าการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศเป็นแบบเปิดทำงานเมื่อตัวตรวจจับแรงดันไฟฟ้าดังกล่าวตรวจจับค่าแรงดันไฟฟ้าจ่ายออกที่กำหนดล่วงหน้าดังกล่าว 22. Vacuum spark haze apparatus for claim 20 where at least one detector is a voltage detector that detects the voltage applied to the negative pole. This control determines that the vacuum spark supply is deactivated when the aforementioned voltage detector does not detect a preset output voltage. And the aforementioned control determines that the vacuum spark supply is activated when the aforementioned voltage detector detects the aforementioned preset output voltage 2.
3. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ขั้วลบถูกทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก 23. Vacuum electric spark haze set apparatus for claim 20 where the negative electrode is made mainly of carbon 2.
4. เครื่องมือชุดหมอกควันประกายไฟฟ้าสุญญากาศสำหรับตามข้อถือสิทธิ 20 ในที่ซึ่ง ขั้วลบดังกล่าวถูกทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก และส่วนควบคุมดังกล่าวตั้งค่า สำหรับแต่ละอันของแหล่งกำเนิดหมอกควันที่มีขั้วลบซึ่งทำขึ้นด้วยคาร์บอนเป็นหลัก จากหนึ่งถึงสามวินาทีเป็นเวลาต้องสำหรับทำให้การจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศมีเสถียรหลังจากตรวจจับของการเปิดทำงานของการจ่ายประกายไฟฟ้าสุญญากาศโดยตัวตรวจจับดังกล่าว4. Vacuum electric spark haze apparatus for claim 20 where the negative electrode is made mainly of carbon. And the aforementioned controls set For each carbon-based negative haze source From one to three seconds is the required time for the stabilization of the vacuum spark supply after detecting the activation of the vacuum spark supply by the detector.