TH6284A3 - ตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ที่เคลือบด้วยแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์-1 ชนิดเด่นระนาบ [010] - Google Patents
ตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ที่เคลือบด้วยแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์-1 ชนิดเด่นระนาบ [010]Info
- Publication number
- TH6284A3 TH6284A3 TH803001527U TH0803001527U TH6284A3 TH 6284 A3 TH6284 A3 TH 6284A3 TH 803001527 U TH803001527 U TH 803001527U TH 0803001527 U TH0803001527 U TH 0803001527U TH 6284 A3 TH6284 A3 TH 6284A3
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- metal oxide
- thin film
- coated
- gas
- gas detector
- Prior art date
Links
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract 10
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N Na2O Inorganic materials [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 abstract 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 abstract 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ ที่ประกอบด้วย ซับสเตอรท, ขั้วอิเล็กโตรดหนึ่งที่ถูกสร้างขึ้นบนซับสเตรทดังกล่าว, แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์สำหรับ ตรวจวัดแก๊ส เคลือบบนขั้วอิเล็กโตรดดังกล่าว และแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ [010] เคลือบ บนตัวตรวจวัดดังกล่าว เพื่อเพิ่มความสามารถในการคัดเลือก ลดระยะเวลาการตรวจวัดแก๊ส และ ระยะเวลาในการคืนสภาพกลับของสัญญาณตรวจวัด อีกทั้งยังลดการรบกวนการตรวจวัดแก๊ส ไฮโดรคาร์บอนเนื่องจากความชื้น การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะอกไซด์ ที่ประกอบด้วยซับสเตอรท, ขั้วอิเล็กโตรดหนึ่งที่ถูกสร้างขึ้นบนซับสเตรทดังกล่าว แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์สำหรับตรวจวัดแก๊ส เคลือบบนขั้วอิเล็กโตรดดังกล่าว และแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ [010] เคลือบบนตัวตรวจวัดดังกล่าว เพื่อเพิ่มความสามารถในการคัดเลือก ลดระยะเวลาการตรวจวัดแก๊ส และระยะเวลาในการคืนสภาพกลับของสัญญาณตรวจวัด อีกทั้งยังลดการรบกวนการตรวจวัดแก๊สไฮโดรคาร์บอนเนื่องจากความชื้น
Claims (4)
1.ตัวตรวจวัดแก๊ส ที่ประกอบด้วย -ซับสเตรท (1) - ขั้วอิเล็กโตรดหนึ่งที่ถูกสร้างขึ้นบนซับสเตรทดักล่าว (2) และ - แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์ (3) สำหรับตรวจวัดแก๊สเคลือบบนขั้วอิเล็กโตรดดังกล่าว ที่มีลักษณะเฉพาะคือ ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยวิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ ([010] (4) เคลือบบนชิ้นฟิล์มบางโลหะออกไซด์ดังกล่าว
2. ตัวตรวจวัดแก๊ส ตามข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ชั้นแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ ([010] ที่เคลือบบนชั้นฟิล์มบางโลหะออกไซด์ดังกล่าว ได้จาก - การเตรียม เจลที่ประกอบด้วย 10 TEOS:2.5 TPABr:1.25 Na2O:2500H20 - การปั่นกวน (aging) เจลดังกล่าวที่อุณหภูมิห้องเป็นเวลา 8-24 ชั่วโมง - การจุ่มโครงสร้างตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ในเจลดังกล่าว - การทำการตกผลึกด้วยความร้อน (hdrothermal crystallization ) ที่อุณหภูมิ 170-80 ํ C เป็นเวลา 8-24 ชั่วโมง - การเผาตัวตรวจวัดที่มีซิลิกาโลต์ -1 เคลือบดังกล่าวเพื่อกำจัดสารกำหนดโครงสร้าง (templating agent)
3. ตัวตรวจวัดแก๊ส ตามข้อถือสิทธิ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง ซับสเตรทดังกล่าว เลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยกระจกแก้ว , แผ่นซิลิกอน , แผ่นผลึกอะลูมินา (sapphire) , หรือ แผ่นโลหะ
4. ตัวตรวจวัดแก๊ส ตามข้อถือสิทธิ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่ง แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์ดังกล่าวเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วย ดีบุกออกไซด์ (SnO2), ทังสเตนออกไซด์ (WO3) , หรือไทเทเนียมออกไซด์ (TiO2
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH6284C3 TH6284C3 (th) | 2011-06-09 |
| TH6284A3 true TH6284A3 (th) | 2011-06-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105283756B (zh) | 气体检测装置及其方法 | |
| Shen et al. | Influence of effective surface area on gas sensing properties of WO3 sputtered thin films | |
| Capone et al. | Moisture influence and geometry effect of Au and Pt electrodes on CO sensing response of SnO2 microsensors based on sol–gel thin film | |
| Cantalini et al. | NO2 response of In2O3 thin film gas sensors prepared by sol–gel and vacuum thermal evaporation techniques | |
| EP3615926A1 (en) | Gas sensors including microhotplates with resistive heaters, and related methods | |
| Vasiliev et al. | Alumina MEMS platform for impulse semiconductor and IR optic gas sensors | |
| US10942141B2 (en) | Multi-parametric sensor with bridge structure | |
| JP2009109504A (ja) | 気相物質の定性および定量分析のためのセンサ装置および方法 | |
| EP2815425A1 (en) | Noise shielding techniques for ultra low current measurements in biochemical applications | |
| Sberveglieri et al. | Characterization of porous Al2O3 SiO2/Si sensor for low and medium humidity ranges | |
| Tamaki et al. | Ultrahigh-sensitive WO3 nanosensor with interdigitated Au nano-electrode for NO2 detection | |
| US9285334B2 (en) | Hybrid dielectric moisture sensors | |
| US20170363556A1 (en) | Gas sensor | |
| TH6284C3 (th) | ตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ที่เคลือบด้วยแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์-1 ชนิดเด่นระนาบ [010] | |
| TH6284A3 (th) | ตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ที่เคลือบด้วยแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์-1 ชนิดเด่นระนาบ [010] | |
| EP4166940B1 (en) | Gas sensor, method of making the sensor and method of using the sensor | |
| WO2016175681A1 (ru) | Планарный термокаталитический сенсор горючих газов и паров | |
| NO20074538L (no) | Sensorbrikke og sensorsystem | |
| KR101618337B1 (ko) | 센서의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 센서 | |
| Dong et al. | Capacitive humidity-sensing properties of electron-beam-evaporated nanophased WO3 film on silicon nanoporous pillar array | |
| Mandayo et al. | Built-in active filter for an improved response to carbon monoxide combining thin-and thick-film technologies | |
| EP2504466B1 (en) | Controlled electrochemical activation of carbon-based electrodes | |
| Lauque et al. | Electrical properties and sensor characteristics for NH3 gas of sputtered CuBr films | |
| Oprea et al. | High sensitivity polyacrylic acid films for ammonia detection with field effect devices | |
| RU2291417C1 (ru) | Датчик определения концентрации газов |