TH6284A3 - Metal oxide thin film gas detector coated with silicaite-1 membrane. Kind, dominant plane [010] - Google Patents
Metal oxide thin film gas detector coated with silicaite-1 membrane. Kind, dominant plane [010]Info
- Publication number
- TH6284A3 TH6284A3 TH803001527U TH0803001527U TH6284A3 TH 6284 A3 TH6284 A3 TH 6284A3 TH 803001527 U TH803001527 U TH 803001527U TH 0803001527 U TH0803001527 U TH 0803001527U TH 6284 A3 TH6284 A3 TH 6284A3
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- metal oxide
- thin film
- coated
- gas
- gas detector
- Prior art date
Links
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract 10
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims abstract 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N Na2O Inorganic materials [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 abstract 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 abstract 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะออกไซด์ ที่ประกอบด้วย ซับสเตอรท, ขั้วอิเล็กโตรดหนึ่งที่ถูกสร้างขึ้นบนซับสเตรทดังกล่าว, แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์สำหรับ ตรวจวัดแก๊ส เคลือบบนขั้วอิเล็กโตรดดังกล่าว และแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ [010] เคลือบ บนตัวตรวจวัดดังกล่าว เพื่อเพิ่มความสามารถในการคัดเลือก ลดระยะเวลาการตรวจวัดแก๊ส และ ระยะเวลาในการคืนสภาพกลับของสัญญาณตรวจวัด อีกทั้งยังลดการรบกวนการตรวจวัดแก๊ส ไฮโดรคาร์บอนเนื่องจากความชื้น การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับตัวตรวจวัดแก๊สชนิดฟิล์มบางโลหะอกไซด์ ที่ประกอบด้วยซับสเตอรท, ขั้วอิเล็กโตรดหนึ่งที่ถูกสร้างขึ้นบนซับสเตรทดังกล่าว แผ่นฟิล์มบางโลหะออกไซด์สำหรับตรวจวัดแก๊ส เคลือบบนขั้วอิเล็กโตรดดังกล่าว และแผ่นเยื่อซิลิกาไลต์ -1 ชนิดเด่นระนาบ [010] เคลือบบนตัวตรวจวัดดังกล่าว เพื่อเพิ่มความสามารถในการคัดเลือก ลดระยะเวลาการตรวจวัดแก๊ส และระยะเวลาในการคืนสภาพกลับของสัญญาณตรวจวัด อีกทั้งยังลดการรบกวนการตรวจวัดแก๊สไฮโดรคาร์บอนเนื่องจากความชื้น DC60 The invention involved a metal oxide thin film gas detector. It consists of a substrate, an electrode created on the substrate, a thin metal oxide film for measuring the coated gas on the electrode. And the predominant planar silicaite-1 membrane [010] was coated on the probe. To increase selection ability Shortens gas detection and signal recovery times It also reduces the interference of gas measurements. Hydrocarbons due to moisture The invention involved a metal oxide thin film gas detector. Consisting of a substrate, an electrode created on the substrate. Metal oxide thin film for gas detection Coated on the said electrode And the predominant planar silicaite-1 membrane [010] was coated on the probe. To increase selection ability Shorten gas detection time And the time to restore the signal. It also reduces disturbances in hydrocarbon gas measurements due to moisture.
Claims (4)
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH6284C3 TH6284C3 (en) | 2011-06-09 |
| TH6284A3 true TH6284A3 (en) | 2011-06-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105283756B (en) | Gas-detecting device and its method | |
| Shen et al. | Influence of effective surface area on gas sensing properties of WO3 sputtered thin films | |
| Capone et al. | Moisture influence and geometry effect of Au and Pt electrodes on CO sensing response of SnO2 microsensors based on sol–gel thin film | |
| Cantalini et al. | NO2 response of In2O3 thin film gas sensors prepared by sol–gel and vacuum thermal evaporation techniques | |
| EP3615926A1 (en) | Gas sensors including microhotplates with resistive heaters, and related methods | |
| Vasiliev et al. | Alumina MEMS platform for impulse semiconductor and IR optic gas sensors | |
| US10942141B2 (en) | Multi-parametric sensor with bridge structure | |
| JP2009109504A (en) | Sensor device and method for qualitative and quantitative analysis of gas phase substances | |
| EP2815425A1 (en) | Noise shielding techniques for ultra low current measurements in biochemical applications | |
| Sberveglieri et al. | Characterization of porous Al2O3 SiO2/Si sensor for low and medium humidity ranges | |
| Tamaki et al. | Ultrahigh-sensitive WO3 nanosensor with interdigitated Au nano-electrode for NO2 detection | |
| US9285334B2 (en) | Hybrid dielectric moisture sensors | |
| US20170363556A1 (en) | Gas sensor | |
| TH6284C3 (en) | Metal oxide thin film gas detector coated with silicaite-1 membrane. Kind, dominant plane [010] | |
| TH6284A3 (en) | Metal oxide thin film gas detector coated with silicaite-1 membrane. Kind, dominant plane [010] | |
| EP4166940B1 (en) | Gas sensor, method of making the sensor and method of using the sensor | |
| WO2016175681A1 (en) | Planar thermocatalytic sensor of combustible gases and vapours | |
| NO20074538L (en) | Sensor chip and sensor system | |
| KR101618337B1 (en) | a method for fabricating a sensor and a sensor fabricated thereby | |
| Dong et al. | Capacitive humidity-sensing properties of electron-beam-evaporated nanophased WO3 film on silicon nanoporous pillar array | |
| Mandayo et al. | Built-in active filter for an improved response to carbon monoxide combining thin-and thick-film technologies | |
| EP2504466B1 (en) | Controlled electrochemical activation of carbon-based electrodes | |
| Lauque et al. | Electrical properties and sensor characteristics for NH3 gas of sputtered CuBr films | |
| Oprea et al. | High sensitivity polyacrylic acid films for ammonia detection with field effect devices | |
| RU2291417C1 (en) | Gas concentration sensor |