TH50291B - อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิว - Google Patents

Abstract

DC60 (15/06/54) อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวซึ่งมีอุปกรณ์ส่องสว่างลักษณะวงแหวน 3 ซึ่งมีส่วนฉายแสงลักษณะ วงกลม 3A กับแผ่นกั้นแสง 3B ซึ่งมีส่วนช่องเปิดทางแสงซึ่งมีลักษณะวงกลมแกนร่วมกับส่วนฉายแสง 3A และมีเส้นผ่าศูนย์กลางที่เล็กกว่าเส้นผ่าศูนย์กลางภายในของส่วนฉายแสง 3A ที่ระหว่างส่วนฉาย แสงกับวัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าว และมีส่วนถ่ายภาพ 4 ซึ่งมีการจัดวางที่บนเส้นกึ่งกลาง C ของส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสง 3B และถ่ายภาพพื้นผิวของแผ่นเหล็กกล้า 2 โดยอาศัยส่วนช่องเปิด ดังกล่าว ที่บริเวณถ่ายภาพบน A บนพื้นผิวซึ่งส่วนถ่ายภาพ 4 ทำการถ่ายภาพ เพียงแสงที่ได้ส่องอ้อม ที่บริเวณขอบส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสง 3B ของแสงที่ถูกฉายแสงจากส่วนฉายแสง 3A เท่านั้นถูก ฉายแสง ระยะทาง H ระหว่างส่วนฉายแสง 3A กับพื้นผิวของแผ่นเหล็กกล้า 2 ถูกกำหนดให้มีระดับ ความสว่างเฉลี่ยในบริเวณถ่ายภาพ A เป็นระดับที่กำหนดขึ้นไปและความต่างของระดับความสว่างใน บริเวณถ่ายภาพ A ถูกกำหนดให้อยู่ในขอบเขตที่กำหนด จากนี้ จึงสามารถทำการตรวจจับตำหนิ ลักษณะจุดขนาดเล็กมากได้อย่างเที่ยงตรง อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวซึ่งมีอุปกรณ์ส่องสว่างลักษณะวงแหวน 3 ซึ่งมีส่วนฉายแสงลักษณะ วงกลม 3A กับแผ่นกั้นแสง 3B ซึ่งมีส่วนช่องเปิดทางแสงซึ่งมีลักษณะวงกลมแกนร่วมกับส่วนฉายแสง 3A และมีเส้นผ่าศูนย์กลางทที่เล็กกว่าเส้นผ่าศูนย์กลาง-ายในของส่วนฉายแสง 3A ที่ระหว่างส่วนฉาย แสงกับวัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าว และมีส่วนถ่ายภาพ 4 ซึ่งมีการจัดวางที่บนเส้นกึ่งกลาง C ของส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสง 3B และถ่ายภาพพื้นผิวของแผ่นเหล็กกล้า 2 โดยอาศัยส่วนช่องเปิด ดังกล่าว ที่บริเวณถ่ายภาพบน A บนพื้นผิวซึ่งส่วนถ่ายภาพ 4 ทำการถ่ายภาพ เพียงแสงที่ได้ส่องอ้อม ที่บริเวณขอบส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสง 3B ของแสงที่ถูกฉายแสงจากส่วนฉายแสง 3A เท่านั้นถูก ฉายแสง ระยะทาง H ระหว่างส่วนฉายแสง 3A กับพื้นผิวของแผ่นเหล็กกล้า 2 ถูกกำหนดให้มีระดับ ความสว่างเฉลี่ยในบริเวณถ่ายภาพ A เป็นระดับที่กำหนดขึ้นไปและความต่างของระดับความสว่างใน บริเวณถ่ายภาพ A ถูกกำหนดให้อยู่ในขอบเขตที่กำหนด จากนี้ จึงสามารถทำการตรวจจับตำหนิ ลักษณะจุดขนาดเล็กมากได้อย่างเที่ยงตรง

Claims (9)

1.อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวซึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือ มีอปุกรณ์ส่องสว่างลักษณะวงแหวนซึ่งมีส่วนฉายแสงลักษณะวงกลมกับแผ่นกันแสงซึ่งมีส่วน ช่องเปิดทางแสงซึ่งมีลักษณะวงกลมแกนร่วมกับส่วนฉายแสงดังกล่าวและมีเส้นผ่าศูนย์กลางที่เล็กกว่า เส้นผ่าศูนย์กลางภายในของส่วนฉายแสงดังกล่าวที่ระหว่างส่วนฉายแสงกับวัตถุเปาหมายการตรวจ สอบดังกล่าว และมีส่วนถ่ายภาพซึ่งมีการจัดวางที่บนเส้นกึ่งกลางของส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสงดังกล่าว และถ่ายภาพพื้นผิวของวัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวโดยอาศัยส่วนช่องเปิดดังกล่าว ที่บริเวณถ่ายภาพบนพื้นผิววัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวซึ่งส่วนถ่ายภาพดังกล่าวทำ การถ่ายภาพเพียงแสงที่ได้ส่องอ้อมที่บริเวณขอบส่วนช่องเปิดของแผ่นกั้นแสงดังกล่าวของแสงที่ถูก ฉายแสงจากส่วนดังกล่าวเท่านั้นถูกฉายแสงระยะทางระหว่างส่วนฉายแสงดังกล่าวกับพื้นผิว ของวัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวถูกกำหนดให้มีระดับความสว่างเฉลี่ยในบริเวณถ่ายภาพบน พื้นผิวของวัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวเป็นระดับที่กำหนดขึ้นไปและความต่างของระดับความ สว่างในบริเวณถ่ายภาพดังกล่าวถูกกำหนดให้อยู่ในขอบเขตที่กำหนด

2. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือ วัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวเป็นวัสดุลักษณะแถบยาวซึ่งมีการลำเลียงเรียบทิศทาง ความยาว ทำให้อุปกรณ์ส่องสว่างวงกลมดังกล่าวกับส่วนถ่ายภาพดังกล่าวที่เคลื่อนที่ไปกลับหนึ่งเที่ยว ตลอดทั่วด้านกว้างวสัดุลักษณะแถบยาวดังกล่าวเป็นอย่างน้อยระหว่างที่ช่วงซึ่งมีความยาวที่กำหนด ไม่เกินความยาวสั้นที่สุดของความยาวการเกิดอย่างต่อเนื่องของตำหนิต่อเนื่องซึ่งถูกกำหนดที่วัสดุ ลักษณะแถบยาวเจาะจงดังกล่าวพร้อมกับมีตัวเคลื่อนที่ตัดขวางซึ่งทำซ้ำการทำงานเดียวกันตามทุก ครั้งที่ช่วงซึ่งมีความยาวที่กำหนดมีการลำเลียง และตรวจสอบตำหนิต่อเนื่องซึ่งเกิดที่พื้นผิววัสดุลักษณะแถบยาวดังกล่าว

3. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งมีลักาณะจำเพาะ คือ มีส่วนตรวจจับระยะ ทางลำเลียงซึ่งตรวจจับระยะทางลำเลียงของวัสดุลักาณะแถบยาวดังกล่าว มีอุปกรณ์ควบคุมช่วงจังหวะถ่ายภาพซึ่งควบคุมการทำงานไปกลับของส่วนที่ตัดขวาง ดังกล่าวตามข้อมูลระยะทางลำเลียงที่ได้ตรวจจับโดยส่วนตรวจจับระยะทางลำเลียงดังกล่าวกับจังหวะ ถ่ายภาพให้ส่วนถ่ายภาพดังกล่าวถ่ายภาพตลอดทั่วด้านกว้างของวัสดุลักษณะแถบยาวดังกล่าวทาง คุณสมบัติที่แท้จริง

4. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 2 หรือ 3 ซึ่งมีลักษณะตำเพาะคือ ในกรณีที่ กำหนดบริเวณช่องที่มีขนาดเล็กและยาวจำนวนหนึ่งซึ่งอยู่ติดกันและขนานกันเรียบทิสทางความยาว ของวัสดุลักษณะแถบยาวดังกล่าว ส่วนถ่ายภาพดังกล่าวถ่ายภาพบริเวณบางส่วนที่อยู่ติดกันหรือ บริเวณบางส่วนดังกล่าวที่อยู่ห่างกันซึ่งอยู่ในแต่ละบริเวณแทร็กดังกล่าว

5. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 2 หรือ 3 ซึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือ มีส่วน ประมวลผลภาพซึ่งคัดเลือกระดับความเสียหายของตำหนิในแต่ละภาพที่ส่วนถ่ายภาพได้ถ่ายภาพเป็น ข้อมูลตัวเลข และมีส่วนคำนวณการกระจายตำหนิซึ่งคำนวณสภาพการเกิดตำหนิ 2 มิติของพื้นผิววัสดุ ลักษณะแถบยาวตามข้อมูลตัวเลขตำหนิของแต่ละภาพถ่ายดังกล่าวซึ่งถูกคัดเลือกประมวลผล ภพดังกล่าวกับตำแหน่งภาพนั้น

6. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือ มีส่วนแสดงผลแผน ที่ตำหนิซึ่งแสดงผลสภาพการกระจายตำหนิซึ่งได้มีการคำนวณที่ส่วนตำนวณการกระจายตำหนิที่บน รูปขยาย 2 มิติของพื้นผิววัสดุลักษณะแถบยาวดังกล่าวเพิ่มขึ้นอีก

7. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือส่วนแสดงผลแทนที่ ตำหนิดังกล่าวแยกพื้นผิววัสดุลักษณะแถบยาวดังกล่าวเป็นตาข่ายสี่เหลี่ยมและแสดงผลระดับความ เสัยหายของตำหนิของแต่ละข่ายโดยการเปลี่ยนสีแสดงผลหรือสัญลักษณ์แสดงผล

8. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งมีลักษณะจำเพาะคือ วัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวเป็นแฟ่นเหล็กกล้า และตรวจสอบตำหนิลักษณะจุดขนาดเล็กใน บริเวณถ่ายภาพบนแผ่นเหล็กกล้า

9. อุปกรณ์ตรวจสอบพื้นผิวของข้อถือสิทธิข้อ 2 ถึง 7 ข้อใดข้อหนึ่งึ่งมีลักษณะจำเพาะ คือ วัตถุเป้าหมายการตรวจสอบดังกล่าวเป็นแผ่นเหล็กกล้าล้างด้วยกรด และตำหนิต่อเนื่องดังกล่าวเป็น คราบตกค้าง