TH34749A - ระบบผลิตสารกึ่งตัวนำที่มีอุปกรณ์ให้ความปลอดภัยเก็ตเตอร์ - Google Patents

Abstract

DC60 (25/12/41) ระบบผลิตสารกึ่งตัวนำที่รวมถึง เครื่องทำให้แก๊สบริสุทธิ์ตามพื้นฐานเก็ตเตอร์ที่ต่ออยู่ใน การไหลถึงกันกับเครือข่าย จ่ายแก๊สสำหรับเครื่องอำนวยความสะดวกในการทำสารกึ่งตัวนำ เครือข่ายจ่ายแก๊สดังกล่าวจ่ายแก๊สบริสุทธิ์ไปยังห้องทำ แผ่นเวเฟอร์อย่างน้อยหนึ่งห้องในเครื่อง อำนวยความสะดวกใน การทำสารกึ่งตัวนำ เครื่องทำให้แก๊สบริสุทธิ์ดังกล่าวรวมถึง แท่งเก็ต เตอร์ที่มีภาชนะกลวงทำด้วยโลหะ โดยมีช่องทางเข้า ช่องทางออก และผนังกั้นที่ยื่นอยู่ระหว่าง ช่องทางเข้าและ ช่องทางออก วัสดุเก็ตเตอร์ซึ่งทำให้แก๊สที่ไหลผ่านมัน บริสุทธิ์โดยการดูดซับสิ่ง สกปรกออกจากมัน ถูกจัดวางไว้ใน ภาชนะกลวง ตัวตรวจรู้อุณหภูมิที่หนึ่งถูกจัดวางไว้ ในส่วนบน ของวัสดุเก็ตเตอร์ ตัวตรวจรู้อุณหภูมิที่หนึ่งถูก ให้ตำแหน่งไว้ในบริเวณหลอมเหลว เพื่อตรวจรู้ การเริ่มต้นใน การทำปฏิกริยาสนองตอบทางเคมีอย่างฉับพลัน ซึ่งจะแจ้งสภาพ สิ่งสกปรกที่มาก เกินในแก๊สที่เข้ามาทำให้บริสุทธิ์ ตัวตรวจ รู้อุณหภูมิที่สองถูกจัดวางไว้ในส่วนล่างของวัสดุ เก็ตเตอร์ ตัวตรวจรู้อุณหภูมิที่สองถูกให้ตำแหน่งไว้ในบริเวณหลอมเหลว เพื่อตรวจรู้การเริ่มต้น ในการทำปฏิกริยาสนองตอบทางเคมี อย่างฉับพลัน ซึ่งจะแจ้งว่าสิ่งสกปรกที่มากเกินถูกป้อนกลับ เข้าไปในแท่งเก็ตเตอร์ กระบอกที่ไม่ใช่โลหะจุดหลอมเหลวสูง ที่หนึ่งและที่สองถูกจัดวางไว้ใน ภาชนะกลวงในลักษณะที่ว่า อย่างน้อยบางส่วนของส่วนบน และส่วนล่างตามลำดับของวัสดุ เก็ตเตอร์ถูกแยกออกจากผนังกั้น ของภาชนะกลวง นอกจากนั้น ยังได้บรรยายถึงเครื่องทำให้ แก๊ส บริสุทธิ์ตามพื้นฐานเก็ตเตอร์ วิธีการทำอุปกรณ์วงจรรวม และ วิธีการป้องกันแท่งเก็ตเตอร์ ระบบผลิตสารกึ่งตัวนำที่รวมถึง เครื่องทำให้แก๊สบริสุทธิ๋ตามพื้นฐานเก็ตเตอร์ที่ต่ออยู่ในการไหลถึงกันกับเครือข่าย จ่ายแก๊สสำหรับเครื่องอำนวยความสะดวกในการทำสารกึ่งตัวนำ เครือข่ายแก๊สดังกล่าวจ่ายแก๊สบริสุทธ์ไปยังห้องทำ แผ่นเวเฟอร์อย่างน้อยหนึ่งห้องในเครื่องอำนวนความสะดวกใน การทำสารกึ่งตัวนำ เครื่อทำให้แก๊สบริสุทธิ์ดังกล่าวรวมถึง แท่งเก็ตเตอร์ที่มีภาชนะกลวงทำด้วยโลหะ โดยมีช่องทางเข้า ช่องทางออก และผนังกั้นที่ยื่นอยู่ระหว่างช่องทางเข้าและ ช่องทางออก วัสดุเก็ตเตอร์ซึ่งทำให้แก๊สที่ไหลผ่านมัน บริสุทธิ์โดยการดูดซับสิ่งสกปรกออกจากมัน ถูกจัดวางไว้ใน ภาชนะกลวง ตัวตรวจรู้อุณหภูมิที่หนึ่งถูกจัดวางไว้ ในส่วนบนของวัสดุเก็ตเตอร์ ตัวตรวจรู้อุณหภูมิที่หนึ่งถูก ให้ตำแหน่งไว้ในบริเวณหลอมเหลว เพื่อตรวจรู้การเริ่มต้นใน การทำปฏิกิริยาสนองตอบทางเคมีอย่างฉับพลัน ซึ่งจะแจ้งสภาพ สิ่งสกปรกที่มากเกินในแก๊สที่เข้ามาทำให้บริสุทธิ๋ ตัวตรวจ รู้อุณหภูมิทีสองถูกจัดวางไว้ในส่วนล่างของวัสดุเก็ตเตอร์ ตัวตรวจรู้อุณหภูมิทีสองถูกให้ตำแหน่งไว้ในบริเวรหลอมเหลว เพื่อตรวจรู้การเริ่มต้นในการทำปฏิกิริยาสนองตอบทางเคมี อย่างฉับพลัน ซึ่งจะแจ้งว่าสิ่งสกปรกที่มากเกินถูกป้อนกลับ เข้าไปในแท่งเก็ตเตอร์ กระบอกที่ไม่ใช่โลหะจุดหลอมเหลวสูง ทีหนึ่งและที่สองถูกจัดวางไว้ในภาชนะกลวงในลักษณะที่ว่า อย่างน้อยบางส่วนของส่วนบน และส่วนล่างตามลำดับของวัสดุเก็ตเตอร์ถูกแยกออกจากผนังกั้น ของภาชนะกลวง นอกจากนั้น ยังได้บรรยายถึงเครื่องทำให้แก๊ส บริสุทธิ์ตามพื้นฐานเก็ตเตอร์ วิธีทำอุปกรณ์วงจรรวม และ วิธีการป้องกันแท่งเก็ตเตอร์

Claims (1)

1. ระบบผลิตสารกึ่งตัวนำที่ประกอบด้วยเครื่องทำให้แก๊สบริสุทธิ์ตามพื้นฐษนเก็ตเตอร์ทีต่อใน ลักษณะไหลถึงกับเครื่อข่ายจ่ายแก๊สสำหรับเครื่องอำนวยความ สะดวกในการทำสารกิ่งตัวนำ เครือข่ายจ่ายแก๊สดังกล่าวจ่าย แก๊สบริสุทธิ์ไปยังห้องทำแผ่นเวเฟอร์อย่างน้อยหนึ่งห้องใน เครื่อวอำนวยความสะดวกในการทำสารกึ่งตัวนำกลาง ที่ซึ่ง เครื่องทำให้แก๊สบริสุทธ์ดังกล่าวประกอบด้วย แท่งเก็ตเตอร์ที่มีภาชนะกลวงทำด้วยโลหะ โดยมีช่องทางเข้า ช่องทางออก และผนังกั้นที่ยื่นอยู่ระหว่างช่องทางเข้าดัง กล่าวและช่องทางออกดังกล่าว วัสดุเก็ตเตอแท็ก :