TH32621B - Useful components and slits for chemically mechanical metal polishing. - Google Patents

Useful components and slits for chemically mechanical metal polishing.

Info

Publication number
TH32621B
TH32621B TH9701004862A TH9701004862A TH32621B TH 32621 B TH32621 B TH 32621B TH 9701004862 A TH9701004862 A TH 9701004862A TH 9701004862 A TH9701004862 A TH 9701004862A TH 32621 B TH32621 B TH 32621B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
slits
useful components
metal polishing
chemically mechanical
mechanical
Prior art date
Application number
TH9701004862A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH32621A (en
TH16115B (en
Inventor
นายคริสโตเฟอร์ ซี. สเทรนซ์ นายเบรน แอล. มูลเลอร์ นายสทีเวน เค. กรัมไบน์
Original Assignee
คาบ๊อท ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by คาบ๊อท ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คอร์ปอเรชั่น filed Critical คาบ๊อท ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ คอร์ปอเรชั่น
Publication of TH32621A publication Critical patent/TH32621A/en
Publication of TH32621B publication Critical patent/TH32621B/en
Publication of TH16115B publication Critical patent/TH16115B/en

Links

Abstract

ส่วนประกอบตัวกลางเคมีสำหรับการขัดเชิงกลที่ประกอบด้วยสารเร่งปฏิกิริยาอย่างน้อยหนึ่งตัว ที่มีสถานะออกซิเดชันหลายสถานะ และสารเสริมเสถียรภาพอย่างน้อยหนึ่งตัว ส่วนประกอบนี้จะเป็น ประโยชน์เมื่อผสมกับสารออกซิไดซ์ซิ่งก่อนการใช้งานเพื่อกำจัดชั้นโลหะออกจากวัสดุ ยังได้เปิดเผยถึง ส่วนประกอบเคมีสำหรับการขัดเชิงกลที่ประกอบด้วยสารออกซิไดซ์ซิ่งอย่างน้อยหนึ่งตัวและสารเร่ง ปฏิกิริยาอย่างน้อยหนึ่งตัวที่มีสถานะออกซิเดชันหลายสถานะ ส่วนประกอบนี้จะเป็นประโยชน์เมื่อผสม กับสารขัดหรือแผ่นขัดเพื่อกำจัดชั้นโลหะออกจากวัสดุ A chemical intermediate for mechanical intervention containing at least one catalyst. With multiple oxidation states And at least one stabilizer This component will be Benefits when mixed with an oxidizing agent prior to application to remove metal layers from the material. Also disclosed Chemical component for mechanical polishing containing at least one oxidizing agent and accelerator. One or more reactions with multiple oxidation states This ingredient is useful when mixing. With an abrasive or abrasive pad to remove the metal layer from the material.

Claims (3)

1. ส่วนประกอบเคมีสำหรับการขัดเชิงกลที่ประกอบด้วยการผสมที่เสริมฤทธิ์กันของ สารออกซิไดซิ่งอย่างน้อยหนึ่งตัว และ สารเร่งปฏิกิริยาอย่างน้อยหนึ่งตัวที่มีสถานะออกซิเดชันหลายสถานะ1. a chemical component for mechanical polishing consisting of a synergistic mixture of One or more oxidizing agents and at least one catalyst with multiple oxidation states. 2. สเลอรี่เคมีสำหรับการขัดเชิงกลที่ประกอบด้วยส่วนประกอบเคมีสำหรับการขัด เชิงกลตามข้อถือสิทธิที่ 1 และสารขัดอย่างน้อยหนึ่งตัว2. Slurry chemical for mechanical polishing containing chemical components for polishing. Mechanical according to claim 1 and at least one abrasive. 3. ส่วนประกอบเคมีสำหรับการขัดเชิงกลตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่สารออกซิไดซิ่งมี ศักย์เคมีไฟฟ้ามากกว่าศักย์เคมีไฟฟ้าที่จำเป็นต้องใช้ในการออกซิไดซ์สารเร3. Chemical components for mechanical abrasion according to claim 1, provided that the oxidizing agent has The electrochemical potential is greater than the electrochemical potential required to oxidize the resin.
TH9701004862A 1997-11-26 Useful components and slits for chemically mechanical metal polishing. TH16115B (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH32621A TH32621A (en) 1999-03-15
TH32621B true TH32621B (en) 1999-03-15
TH16115B TH16115B (en) 2004-01-28

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69710993D1 (en) Composition and slurry for chemical mechanical polishing of metals
EP2048208A3 (en) Free radical-forming activator attached to solid and used to enhanced CMP formulations
DE59400939D1 (en) Process for the production of mixed oxide powders for denitrification catalysts
CA2148000A1 (en) Thixotropic Magnetorheological Materials
ATE254145T1 (en) COATING MATERIAL WITH A MIXTURE OF SILICIC ACIDS AND UREA AND/OR UREA DERIVATIVES
ATE387960T1 (en) CATALYST PROTECTION BY DEPOSITING A PROTECTIVE LAYER
KR880011266A (en) Reinforced Molding Resin Composition
DE69810135D1 (en) HYDROPHILIZED MATERIALS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
EP0224158A3 (en) Hardening product based on olefinically unsaturated compounds and active hydrogen-containing compounds, its preparation and two-component lackers containing them
EP0658763A3 (en) Method for the quantitative determination of reductible or oxidizable compounds, particularly of peroxiacetic acid in a mixture of other oxidizing compounds.
AU9446498A (en) Reducing agent with several constituents comprising at least a composition in powder form containing an agent for reducing hair sulphur bonds and method for permanent setting of keratin fibres
ATE74765T1 (en) AN ENZYME COMPOSITION AS DIGESTIVE ACCELERATOR AT VARIOUS LEVELS IN THE DIGESTIVE CHANNEL AND ITS MANUFACTURING PROCESS.
TH32621B (en) Useful components and slits for chemically mechanical metal polishing.
PL365747A1 (en) Catalysts which are based on organic-inorganic hybrid materials containing noble metals and titanium and which are used for selectively oxidizing hydrocarbons
ATE177793T1 (en) METHOD FOR PREVENTING CARBURIZATION OR NITRATION, AND STAINS FOR PREVENTING CARBURIZATION, NITRATION OR OXIDATION
US20100163353A1 (en) Friction couple
FR2454839A1 (en) SUPERACTIVE MULTIMETAL CATALYTIC COMPOSITE AND ITS APPLICATION TO THE CONVERSION OF HYDROCARBONS
KR970008387A (en) Slurry containing manganese oxide and method for manufacturing semiconductor device using the same
ATE458017T1 (en) IMPROVEMENT, POINTING AND COATING COMPOUNDS
TR23396A (en) MOLDED PARTS FOR THE SUPPLEMENT OF MATERIALS FOR THE REINFORCEMENT OF HYDRAULIC BINDING MATERIALS, THE USE OF THE MIX AND THE USE OF THE MIX.
ATE144440T1 (en) INTERFACE CHEMICALLY ACTIVE COMPOUNDS FROM RENEWABLE RAW MATERIALS
MY117318A (en) A composition and slurry useful for metal cmp
JPS57184442A (en) Catalyst comprising amorphous inorg. substance
JPS5697544A (en) Catalyst pellet for decomposing hypochlorite having resin binding agent and its use
DE69904858D1 (en) MATERIAL FROM METAL PARTICLES AND ULTRAFINE OXIDE PARTICLES