TH31373A - วิธีและระบบของการแยกและการทำให้บริสุทธิ์ของสารประกอบเพอร์ฟลูออโร - Google Patents

Abstract

DC60 (05/03/44) จะมีการจัดเตรียม วิธีและระบบแบบใหม่สำหรับการแยกและการทำให้ บริสุทธิ์ของสารประกอบเพอร์ฟลูออโร (พีเอฟซี) วิธีประกอบด้วยขั้นตอนของ : (a) การนำกระแส ของแก๊สที่บรรจุด้วยสารประกอบเพอร์ฟลูออโรให้เข้าสู่คอลัมน์การ กลั่นที่หนึ่ง (b) การนำผลิตภัณฑ์เบา ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง และการนำผลิตภัณฑ์หนัก ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง (c) การนำผลิต ภัณฑ์เบาของคอลัมน์ที่หนึ่ง เข้าสู่คอลัมน์การกลั่นที่สอง (d) การนำผลิตภัณฑ์เบา ออกจากคอลัมน์ที่สอง และการนำผลิตภัณฑ์ หนัก ออกจากคอลัมน์ที่สอง (e) การนำผลิตภัณฑ์เบา ของ คอลัมน์ที่สอง เข้าสู่คอลัมน์การกลั่นที่สาม และ (f) การนำ ผลิตภัณฑ์เบา ออกจากคอลัมน์ ที่สาม และการนำผลิตภัณฑ์ หนัก ออกจากคอลัมน์ที่สาม วิธีและระบบจะสามารถได้รับ การ นำมาใช้อย่างเป็นข้อได้เปรียบในการบำบัด แก๊สที่ปล่อย ออกมาจากเครื่องมือในการผลิต สารกึ่งตัวนำ และจะเป็นผล ในพีเอฟซีที่ได้รับการทำให้บริสุทธิ์อย่างสูงซึ่งสามารถได้รับ การ รีไซเคิลได้ นั่นคือเป็นการหลีกเลี่ยงการปล่อยพีเอฟซี เข้าสู่บรรยากาศ จะมีการจัดเตรียมไว้ด้วยระเบียบวิธีและระบบที่แปลกใหม่สำหรับการแยกและการทำให้บริสุทธิ์ของสารประกอบเพอร์ฟลูออโร (พีเอฟซี) ระเบียบวิธีประกอบด้วยขั้นตอนของ: (a) การนำกระแส ของแก๊สที่บรรจุด้วยสารประกอบเพอร์ฟลูออโรให้เข้าสู่คอลัมน์การ กลั่นที่หนึ่ง (b) การนำผลิตภัณฑ์เบาให้ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง และการนำผลิตภัณฑ์หนักให้ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง (c) การนำผลิต ภัณฑ์เบาของคอลัมน์ที่หนึ่งให้เข้าสู่คอลัมน์การกลั่นที่สอง (d)การนำผลิตภัณฑ์เบาให้ออกจากคอลัมน์ที่สอง และการนำผลิตภัณฑ์ หนัก ออกจากคอลัมน์ที่สอง (e) การนำผลิตภัณฑ์เบาของ คอลัมน์ที่สอง เข้าสู่คอลัมน์การกลั่นที่สาม และ(f)การนำ ผลิตภัณฑ์เบา ออกจากคอลัมน์ที่สาม และการนำผลิตภัณฑ์ หนัก ออกจากคอลัมน์ที่สาม วิธีและระบบสามารถได้รับ การนำมาใช้อย่างเป็นข้อได้เปรียบในการบำบัด แก๊สที่ปล่อย ออกมาจากเครื่องมือในการผลิตสารกึ่งตัวนำ และจะเป็นผล ในพีเอฟซีที่ได้รับการทำให้บริสุทธิ์อย่างสูงซึ่งสามารถได้รับ การรีไซเคิลได้ นั่นคือเป็นการหลีกเลี่ยงการปล่อยพีเอฟซี เข้าสู่บรรยากาศ

Claims (37)

1. วิธีสำหรับการทำให้บริสุทธิ์ของสารประกอบเพอร์ฟลูออโร ที่ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ : (a) การนำกระแสของแก๊สที่มีสารประกอบเพอร์ฟลูออโร ให้เข้าสู่คอลัมน์การกลั่นที่หนึ่ง (b) การนำผลิตภัณฑ์เบาออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง และการนำ ผลิตภัณฑ์หนักออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง (c) การนำผลิตภัณฑ์เบาของคอลัมน์ที่หนึ่งให้เข้าสู่คอลัมน์ การกลั่นที่สอง (d) การนำผลิตภัณฑ์เบาออกจากคอลัมน์ที่สอง และการนำ ผลิตภัณฑ์หนักออกจากคอลัมน์ที่สอง (e) การนำผลิตภัณฑ์เบาของคอลัมน์ที่สองเข้าสู่คอลัมน์การ กลั่นที่สาม และ (f) การนำผลิตภัณฑ์เบาออกจากคอลัมน์ที่สาม และการนำ ผลิตภัณฑ์หนักออกจากคอลัมน์ที่สาม ดังนั้นเพื่อที่จะได้สารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่บริสุทธิ์

2. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่ กระแสของแก๊สที่มีสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรประกอบด้วย C2F6 และ CF4

3. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่ C2F6 ได้รับการนำออก ไปโดยเป็นผลิตภัณฑ์หนักที่ออกจากคอลัมน์ที่สองและ CF4 ได้ รับการนำออกไปโดยเป็นผลิตภัณฑ์หนักที่ออกจากคอลัมน์ที่สาม

4. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 3 โดยที่ผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ ที่สองบรรจุด้วย C2F6 ที่มีสารเจือปนน้อยกว่าประมาณ 10 พีพีเอ็ม

5. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 3 โดยที่ผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ ที่สามบรรจุด้วย CF4 ที่มีสารเจือปนน้อยกว่าประมาณ 10 พีพีเอ็ม

6. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 3 โดยที่ผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ ที่สองบรรจุด้วย C2F6 ที่มีสารเจือปนน้อยกว่าประมาณ 10 พีพีเอ็ม และผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ที่สามบรรจุด้วย CF4 ที่มี สารเจือปนน้อยกว่าประมาณ 10 พีพีเอ็ม

7. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 2 โดยที่กระแสของแก๊สมีสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรประกอบต่อไปด้วย N2 และ SF6

8. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 7 โดยที่ N2 ได้รับการนำออกไปโดย เป็นผลิตภัณฑ์เบาที่ออกจากคอลัมน์ที่สามและ SF6 ได้รับการนำ ออกไปโดยเป็นผลิตภัณฑ์หนักที่ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง

9. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่คอลัมน์ที่สองและที่สามได้ รับการเชื่อมต่อเข้าด้วยกันทางความร้อน

10. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 9 โดยที่คอลัมน์ที่สองและคอลัมน์ ที่สามได้รับการวางซ้อนกันเป็นชั้นอยู่ด้านบนซึ่งกันและกัน

11. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 10 โดยที่คอลัมน์ที่สามได้รับการ วางซ้อนไว้บนคอลัมน์ที่สอง

12. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 9 โดยที่คอลัมน์ที่สองและคอลัมน์ ที่สามได้รับการบรรจุอยู่ในเปลือกหุ้มชั้นเดียว

13. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 9 โดยที่ของเหลวในส่วนด้านล่าง ของคอลัมน์ที่สามทำการควบแน่นไอที่มาจากส่วนบนของคอลัมน์ ที่สอง

14. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่คอลัมน์ที่หนึ่ง,ที่สอง และที่สามได้รับการเชื่อมต่อเข้าด้วยกันทางความร้อน

15. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่คอลัมน์ที่หนึ่งทำงาน ที่ความดันในย่านจากค่าโดยประมาณ 5 ถึง 15 บาร์และ ที่อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ 0ํ ถึง -99ํC

16. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่คอลัมน์ที่สองทำงานที่ ความดันในย่านจากค่าโดยประมาณ 5 ถึง 12 บาร์ และที่ อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ 0ํ ถึง -120ํC และ คอลัมน์ที่สามทำงานที่ความดันในย่านจากค่าโดยประมาณ 1 ถึง 10 บาร์ และที่อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ -50ํ ถึง -200ํC

17. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่คอลัมน์ที่สองทำงาน ที่อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ -25ํ ถึง -100ํC

18. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่คอลัมน์ที่สามทำงาน ที่อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ -90ํ ถึง -180ํC

19. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งประกอบต่อไปอีกด้วย การนำผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ที่สองเข้าสู่คอลัมน์การกลั่น ที่สี่

20. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่กระแสของแก๊สที่มี สารประกอบเพอร์ฟลูออโรได้รับการป้อนไปยังหน่วยดูดซับ ความเย็น ก่อนที่จะได้รับการนำเข้าสู่คอลัมน์ที่หนึ่ง

21. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 20 โดยที่กระแสของแก๊สที่มี สารประกอบเพอร์ฟลูออโรได้รับการทำให้เย็นลงจนถึง อุณหภูมิในย่านจากค่าประมาณ -120ํ ถึง -30ํC ที่หรือ ก่อนที่จะได้รับการป้อนไปยังหน่วยดูดซับที่เย็นนั้น

22. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งประกอบต่อไปอีกด้วย การ รีไซเคิลอย่างน้อยที่สุดส่วนของหนึ่งหรือหลายกระแสของผลิต ภัณฑ์ไปยังจุดที่อยู่ต้นทางของกระแสของผลิตภัณฑ์

23. วิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 22 ซึ่งประกอบต่อไปอีกด้วย การรีไซเคิลอย่างน้อยที่สุดส่วนของหนึ่งหรือหลายกระแสของ ผลิตภัณฑ์ให้เป็นกระแสของแก๊สที่มีสารประกอบเพอร์ฟลูออโร

24. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยที่คอลัมน์ที่หนึ่งทำงาน ในย่านจากค่าโดยประมาณ 0ํ ถึง -120ํC และคอลัมน์ที่สาม ทำงานที่อุณหภูมิในย่านจากค่าโดยประมาณ -50ํ ถึง -200ํC

25. วิธีสำหรับการทำให้บริสุทธิ์ของสารประกอบเพอร์ฟลู ออโรที่ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ : (a) การนำกระแสของแก๊สที่มีสารประกอบเพอร์ฟลูออโร ที่ประกอบด้วย C2F6,CF4,N2 และ SF6 ให้เข้าสู่คอลัมน์ การกลั่นที่หนึ่ง (b) การนำผลิตภัณฑ์เบาที่ประมาณด้วย C2F6,CF4 และ N2 ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่งและการนำผลิตภัณฑ์หนักที่ประกอบด้วย SF6 ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง (c) การนำผลิตภัณฑ์เบาของคอลัมน์ที่หนึ่งให้เข้าสู่คอลัมน์ การกลั่นที่สอง (d) การนำผลิตภัณฑ์เบาที่ประกอบด้วย CF4 และ N2 ออกจากคอลัมน์ที่สอง และการนำผลิตภัณฑ์หนักที่ประกอบ ด้วย C2F6 ออกจากคอลัมน์ที่สอง (c) การนำผลิตภัณฑ์เบาของคอลัมน์การกลั่นที่สาม และ (f) การนำผลิตภัณฑ์เบาที่ประกอบด้วย N2 ออกจาก คอลัมน์ที่สาม และการนำผลิตภัณฑ์หนักที่ประกอบด้วย CF4 ออกจากคอลัมน์ที่สาม

26. ระบบสำหรับการทำให้บริสุทธิ์ของสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร ที่ประกอบรวมด้วย: (a) ท่อที่ได้รับการเชื่อมต่อกับแหล่งต้นทางที่ประกอบ ร่วมด้วยสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่ได้รับการเชื่อมต่อกับ คอลัมน์ที่หนึ่งสำหรับการนำกระแสที่บรรจุด้วยสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร และท่อสำหรับการนำผลิตภัณฑ์หนักออกจาก คอลัมน์ที่หนึ่ง (b) คอลัมน์การกลั่นที่สองและท่อที่เชื่อมต่อคอลัมน์ที่หนึ่ง กับคอลัมน์ที่หนึ่งกับคอลัมน์ที่สองสำหรับการลำเลียงผลิตภัณฑ์ เบาให้ออกจากคอลัมน์ที่หนึ่งไปยังคอลัมน์ที่สอง และทำสำหรับ การนำผลิตภัณฑ์หนักให้ออกจากคอลัมน์ที่สอง และ (c) คอลัมน์การกลั่นที่สามและท่อที่เชื่อมต่อคอลัมน์ที่สอง กับคอลัมน์ที่สามสำหรับการลำเลียงผลิตภัณฑ์เบาให้ออกจาก คอลัมน์ที่สองไปยังคอลัมน์ที่สาม ท่อสำหรับการนำผลิตภัณฑ์หนัก ออกจากคอลัมน์ที่สาม และท่อสำหรับการนำผลิตภัณฑ์เบาออก จากคอลัมน์ที่สาม

27. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 โดยที่ คอลัมน์ที่สองและ ที่สามได้รับการเชื่อมต่อเข้าด้วยกันทางความร้อน

28. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 27 โดยที่ คอลัมน์ที่สองและ คอลัมน์ที่สามได้รับการวางซ้อนกันเป็นชั้นอยู่ด้านบนซึ่งกัน และกัน

29. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 28 โดยที่คอลัมน์ที่สามได้รับ การวางซ้อนไว้บนคอลัมน์ที่สอง

30. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 28 โดยที่ของเหลวที่มาจาก ด้านล่างของคอลัมน์ที่สามจะจัดเตรียมไว้เพื่อทำหน้าที่การควบ แน่นในคอลัมน์ที่สอง และไอที่อยู่ในคอลัมน์ที่สองจะจัดเตรียม ไว้เพื่อทำหน้าที่การเดือดอีกครั้งในคอลัมน์ที่สาม

31. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 27 โดยที่คอลัมน์ที่สองและ คอลัมน์ที่สามได้รับการบรรจุอยู่ในเปลือกหุ้มชั้นเดียว

32. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 27 โดยที่คอลัมน์ที่หนึ่ง,ที่สอง และที่สามได้รับการเชื่อมต่อเข้าด้วยกันทางความร้อน

33. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ประกอบร่วมอีกด้วย ท่อ สำหรับการนำผลิตภัณฑ์หนักของคอลัมน์ที่สองให้เข้าสู่คอลัมน์ การกลั่นที่สี่

34. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ประกอบร่วมอีกด้วย หน่วย ดูดซับความเย็นที่อยู่ต้นทางและติดต่อกับคอลัมน์ที่หนึ่ง

35. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ที่ประกอบร่วมอีกด้วย อุปกรณ์ สำหรับการทำให้เย็นลงของสิ่งที่ป้อนให้กับหน่วยดูดซับความเย็น นั้นจนถึงอุณหภูมิในย่างจากค่าประมาณ -120ํ ถึง -30ํC

36. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ประกอบร่วมอีกด้วยท่อ สำหรับการรีไซเคิลหนึ่งหรือหลายกระแสของผลิตภัณฑ์ไปถึง จุดที่อยู่ต้นทางของกระแสของผลิตภัณฑ์

37. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 36 ที่ประกอบร่วมอีกด้วยท่อ สำหรับการรีไซเคิลหนึ่งหรือหลายกระแสของผลิตภัณฑ์ไปยัง เครื่องมือการผลิตสารกึ่งตัวนำ (ข้อถือสิทธิ 37 ข้อ,รูปเขียน - รูป)