TH26380A -
ON-SITE MANUFACTURE OF ULTRA- HIGH-PURITY HYDROFLUORIC ACID FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
- Google Patents
ON-SITE MANUFACTURE OF ULTRA- HIGH-PURITY HYDROFLUORIC ACID FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
Info
Publication number
TH26380A
TH26380ATH9601001839ATH9601001839ATH26380ATH 26380 ATH26380 ATH 26380ATH 9601001839 ATH9601001839 ATH 9601001839ATH 9601001839 ATH9601001839 ATH 9601001839ATH 26380 ATH26380 ATH 26380A
ระบบสำหรับการทำให้บริสุทธิ์และการผลิตของกรดไฮโดรฟลูออริค ณ.ตำแหน่งที่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์สารกึ่ง ตัวนำ ขั้นตอนการระเหย (อาจจะเลือกให้มีการออกซิไดซ์สาร หนู) ตามด้วยคอลัมน์การกลั่นเพื่อขจัดสิ่งเจือปนอื่น ๆเกือบ ทั้งหมดคอลัมน์เครื่องทำให้บริสุทธิ์จากสารไอออนิคเพื่อขจัด สิ่งเจือปนที่ไม่ถูกออกโดยคอลัมน์ลำดับส่วน และสุดท้าย ตัวจ่าย HF (HFS) Systems for the purification and production of hydrofluoric acid. At the location of the semiconductor device manufacturing evaporation process (May choose to oxidize the rats) followed by a distillation column to remove most other impurities. Impurity not removed by sequence column, section, and finally, HF dispenser (HFS).
Claims (1)
1. ระบบย่อย ณ. ที่ใช้ ในโรงงานผลิตอุปรณ์สารกึ่งตัวนำ เพื่อการให้รีเอเจนต์ที่มีความบริสุทธิ์ระดับอัลตราที่ประกอบ ด้วย HF ต่อการดำเนินการการผลิตสารกึ่งตัวนำ ที่ประกอบ ด้วย: แหล่งการระเหยที่ต่ออยู่เพื่อรองรับแหล่งของ Hf และ เพื่อให้กระแสไอ HF จากที่นั้น; กระแสไอ HF ที่กล่าวแล้วต่ออยู่เพื่อผ่านไปยังหน่วยเครื่อง ทำความสะอาดต่อไอออนิคซึ่งให้ปริมาตรการหมุนเวียนกลับของ น้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง ที่มีความเข้มข้นสูงของ HF ที่สัมผัส กับกระแสไอ HF ที่กล่าวแล้ว ซึ่งเครื่องทำให้บริสุทธิ์ที่กล่าว แล้วแท็ก :1. The subsystem at the place of use in the semiconductor manufacturing plant To provide HF composite ultra-purity reagents to semiconductor production operations consisting of: attached evaporation source to support the Hf source and to provide HF vapor flows from there. ; The said HF vapor stream is connected to the unit. Cleaning to ionic, which provides the recirculation volume of High purity water With a high concentration of HF exposed to the said HF vapor streams, which the said purifier is said to:
TH9601001839A1996-06-05
ON-SITE MANUFACTURE OF ULTRA- HIGH-PURITY HYDROFLUORIC ACID FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
TH26380A
(en)