TH26185A

TH26185A - Methods and systems for the sensitive detection of molecules in vacuum using harmonic sensing spectroscopy.

Info

Publication number: TH26185A
Application number: TH9601003392A
Authority: TH
Inventors: โรนัลด์ เอส. อินแมน นาย; เจมส์แม็คแอนดรูว์ นาย
Original assignee: นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นาย วิรัชศรีอเนกราธา; นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก; นาย ดำเนินการเด่น
Filing date: 1996-10-08
Publication date: 1997-07-24

Abstract

สิ่งที่ได้รับการจัดเตรียมก็คือวิธีการและระบบแบบใหม่สำหรับการตรวจจับจำพวกโมเลกุลใน สูญญากาศอย่างไวโดยการ ใช้สเปคโตรสโคปการตรวจจับแบบฮาร์โมนิค วิธีการนี้จะประกอบ ด้วย การจัดเตรียมเซลล์ที่มีขอบเขตตัวอย่างที่ได้รับการล้อม รอบด้วยผนังอย่างน้อยหนึ่งด้าน เซลล์ดังกล่าว จะมีช่องทาง เข้า/ออกของแสงอย่างน้อยหนึ่งช่อง โดยที่ช่องทางเข้า/ออก ของแสงจะประกอบด้วย หน้าต่างส่งแสงที่มีผิวที่หันหน้าเข้า ขอบเขตตัวอย่างและจะได้รับการจัดวางเพื่อที่จะผนึกเซลล์ไว้ ใน ทิศทางของเส้นรอบวง กาซตัวอย่างจะไหลผ่านขอบเขตตัวอย่าง ในทิศทางขนานกับแกนกึ่งกลางของ เซลล์ และเซลล์นั้นก็จะทำงาน ที่ความดันอย่างน้อยความดันบรรยากาศ แหล่งกำเนิดแสงที่ ได้รับการ ผสมคลื่นทางความถี่และ/หรือแอมพลิจูดจะได้รับการ จัดเตรียมไว้สำหรับการนำทิศทางของ ลำแสงผ่านหน้าต่างส่งแสง อย่างน้อยหนึ่งหน่วยสู่เซลล์ แอมพลิจูดการผสมคลื่นของแหล่ง กำเนิดแสง จะได้รับการตั้งค่าไว้ที่ค่าซึ่งจะทำให้ค่าของ สัญญาณฮาร์โมนิคที่กึ่งกลางของจุดเด่นการดูดกลืนเนื่อง จาก จำพวกโมเลกุลเฟสกาซล้างในขอบเขตตัวอย่างมากที่สุดโดยประมาณ และความถี่ของแหล่งกำเนิด แสงจะได้รับการปรับค่าเพื่อที่ว่า มันจะได้รับการล็อคไว้ที่กึ่งกลางของจุดเด่นการดูดกลืนนั้น หรือได้ รับการสแกนโดยซ้ำไปบนพิสัยความถี่ซึ่งประกอบด้วยจุด เด่นนั้น ดังนั้นก็จะมีการทำให้เกิดสเปคตรัมขึ้น ซึ่งอาจ ได้รับการบันทึกไว้แยกจากกันหรือได้รับการ เฉลี่ย เครื่องตรวจจับจะได้รับการจัดเตรียมไว้ สำหรับการ วัดค่าลำแสงที่ออกจากเซลล์ทางหน้าต่างส่งแสงอย่างน้อยหนึ่ง หน่วยดังกล่าว แหล่งกำเนิด แสงและเครื่องตรวจจับจะได้รับการ บรรจุอยู่ภายในช่องซึ่งอยู่ภายนอกเซลล์และแยกต่างหากจาก ขอบ เขตตัวอย่าง ช่องและขอบเขตตัวอย่างจะได้รับการติดต่อเชิง แสงซึ่งกันและกันทางหน้าต่างส่ง แสงอย่างน้อยหนึ่งหน่วย ความดันภายใช่องดังกล่าวจะได้รับการควบคุมให้มีค่าซึ่งเป็น บวกสัมพัทธ์ กับความดันบรรยากาศ วิธีการนี้สามารถใช้ได้ เพื่อการตรวจจับจำพวกโมเลกุลเฟสกาซในตัวอย่าง การประยุกต์ ใช้โดยเฉพาะก็คือกรรมวิธีสารกึ่งตัวนำ What was prepared are new methods and systems for the detection of molecular types in Vacuum quickly by Using harmonic detection spectroscopy This method consists of providing cells with bounded sample boundaries. Round with at least one wall. Such cells have at least one light inlet / outlet. Where the entrance / exit channel Of light will consist of Optical transmission windows with an entrance-facing surface The sample region and will be positioned so that the cells are sealed in the circumferential direction. The sample gas will flow through the sample region. In a direction parallel to the center axis of the cell and that cell will work At least atmospheric pressure A light source that is mixed with a frequency and / or amplitude is Prepared for the direction of Light beam through the window At least one unit to the cell The blending amplitude of the light source is set to Harmonic signals are at the center of the absorption strength due to the gas phase molecules approximately in the maximum sample region And the frequency of the source The light will be adjusted so that It either gets locked to the center of the absorbing feature or is scanned over and over on the frequency range which contains the dominant, so a spectra will be generated which may be recorded. Separated or averaged, detectors are provided for the measurement of beam exiting the cell through one or more light transmission windows. In such a unit, the light source and detector are Contained inside the cavity outside the cell and separate from the sample boundary, the sample cavity and region are contacted Mutual light through the transmission window At least one unit of light The internal pressure is regulated to be positive relative to the atmospheric pressure. This method can be used. For the detection of molecules, phase gases, in a particular application example is the semiconductor process.

Claims

1.Method for sensitive detection of molecules in vacuum using spectroscopy. A harmonic detection oscilloscope, consisting of a cell arrangement with enclosed sample boundaries. With at least one wall Such cells have at least one light inlet / outlet. Where the entrance / exit channel Of light will consist of Optical transmission windows with an entrance-facing surface The sample region and will be positioned so that the cells are sealed in the circumferential direction. Which the sample gas will flow through the body region For example, in a direction parallel to the axis of the tag: