TH25386A

TH25386A - ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์สำหรับอุปกรณ์ฉาย?เลเซอร์

Info

Publication number: TH25386A
Application number: TH9501001875A
Authority: TH
Inventors: โรเบิร์ตจี โพรเวลล์ นาย; โรเบิร์ตเอช เคิร์ชชอฟฟ์ นาย; วิลเลียมเอ เจมส์ นาย; สตีเฟนเอ บรีทค็อพฟ์ นาย
Original assignee: นาย ดำเนินการเด่น; นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก; นาย วิรัชศรีเอนกราธา; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายวิรัช ศรีอเนกราธา
Filing date: 1995-08-01
Publication date: 1997-05-29

Abstract

ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ที่ได้ปรับปรุงขึ้นซึ่งประกอบด้วยภาชนะครอบปลายหัว ฉีด-ที่ยึดเลนส์ซึ่งติดตั้งภาย ในภาชนะครอบ และตัวกระจายแก๊สสำหรับการนำแก๊สเข้าสู่เลนส์ รวม แสงที่อยู่ติดกันซึ่งถูกยึดติดอยู่ภายในภาชนะครอบ เพื่อ ทำให้เลนส์เย็นและป้องกันเลนส์จากการปน เปื้อนหรือเสียหาย จากวัสดุที่ถูกตัดออกเป็นชิ้นจากชิ้นงาน ตัวกระจายแก๊ส ประกอบด้วยร่องการ กระจายจำนวนหนึ่งที่วางเอียงเป็นมุมซึ่ง สร้างการไหลของแก๊สแบบกระแสวนให้มีทิศทางออกจาก พื้นหน้าของ เลสส์และเข้าสู่ทางออกของปลายหัวฉีด

Claims

1. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ซึ่งประกอบรวมด้วย ภาชนะครอบ วิถีทางสำหรับการยึดเลนส์รวมแสงภายในภาชนะครอบดังกล่าวที่ ปลายที่หนึ่งของภาชนะ ครอบดังกล่าวเพื่อว่าพื้นผิวภายในของ เลนส์ดังกล่าว จะหันเข้าหาภายในของภาชนะครอบดังกล่าว ปลายหัวฉีดที่ถูกยึดกับภาชนะครอบดังกล่าวและมีทางออกของแ ก็สที่ปลายที่สองที่อยู่ตรง กันข้ามของภาชนะครอบดังกล่าวและ ตัวกระจายแก็สรูปวงแหวนที่ถูกจัดวางบนปลายที่หนึ่งดังกล่าว สำหรับการนำการไหลของ แก็สเข้าสู่ภาชนะครอบดังกล่าว, ตัว กระจายแก็สรูปวงแหวนดังกล่าวมีร่องจำนวนหนึ่งที่ชี้ไปที่ เลนส์ ดังกล่าวและทำมุมเมื่อเทียบกับแกนตามรัศมีตรงกลางของ ตัวกระจายแก็สดังกล่าวซึ่งยื่นผ่านแต่ละ ร่องเพื่อกำหนดทิศ ทางการไหลของกระแสวนแก็สเพื่อสัมผัสและไหลข้ามพื้นผิวภายใน ของเลนส์ดัง กล่าวที่ถูกกำหนดตำแหน่งในวิถีทางยึดดังกล่าว เพื่อจัดให้มีการทำความสะอาดเลนส์และเพื่อกำหนด ทิศทางการ ไหลของกระแสวนแก็สดังกล่าวเข้าหาปลายหัวฉีดเพื่อป้องกันการ กระเด็นกลับของ อนุภาค, ตัวกระจายแก็สดังกล่าวถูกจ่ายด้วยแ ก็สโดยทางเข้าของแก็สติดกับปลายที่สองดังกล่าว และ ทางผ่านของแก็สซึ่งเชื่อมต่อทางเข้าของแก็สดังกล่าวกับ ตัวกระจายแก็สดังกล่าวบนปลายที่หนึ่งดัง กล่าว

2. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ปลายหัวฉีดดังกล่าว ประกอบรวมด้วยส่วนลำตัวซึ่งมีทาง เข้าของแก็สตรงข้ามทางออกของแก็สดังกล่าวและห้องภายใน ลักษณะ เรียวจากช่องเปิดที่กว้างที่ทางเข้าดังกล่าวไปสู่ช่องเปิด ที่แคบที่ทางออกดังกล่าว

3. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่ปลายหัวฉีดดังกล่าวรวม ด้วยปลายสุดที่ถอดออกได้ที่ ปลายทางออกดังกล่าว

4. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ร่องเอียงเป็นมุมดังกล่าว มีผนังหนึ่งผนังที่เรียบ เสมอกับพื้นผิวภายในดังกล่าวของเลนส์

5. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ซึ่งประกอบรวมด้วย ภาชนะครอบทรงกระบอกซึ่งมีทางเข้าของแก็สและปลายเปิดที่อยู่ ตรงข้าม ปลายหัวฉีดทรงกระบอกยาวที่ถูกปรับเพื่อสวมพอดีภายในและถูก ยึดกับภาชนะครอบดัง กล่าว, ปลายหัวฉีดดังกล่าวมีห้องภายใน ลักษณะเรียวซึ่งจัดให้แก็สติดต่อระหว่างช่องเปิดที่เทียบ แล้ว กว้างกว่าที่ปลายทางเข้าและช่องเปิดที่เทียบแล้วแคบ กว่าที่ปลายทางออก ตัวกระจายแก็สสร้างปลายทางเข้าของปลายหัวฉีดดังกล่าว ทางผ่านของแก็สถูกสร้างระหว่างภาชนะครอบดังกล่าวและปลายหัว ฉีดดังกล่าวซึ่งจัดให้ แก็สติดต่อระหว่างทางเข้าของแก็สของ ภาชนะครอบดังกล่าวที่ปลายทางออกดังกล่าว, และตัวกระจาย แก็ส ดังกล่าวที่ปลายทางเข้าดังกล่าวและวิถีทางสำหรับการยึด แลนส์รวมแสงภายในภาชนะครอบดัง กล่าวให้เรียบเสมอตัวกระจาย ดังกล่าว, ตัวกระจายแก็สดังกล่าวประกอบรวมด้วยวิถีทาง สำหรับการ ก่อเกิดกระแสวนของแก็สซึ่งไหลสัมผัสกับและข้าม พื้นผิวภายในของเลนส์ที่ถูกกำหนดตำแหน่งใน วิถีทางยึดดัง กล่าวและไหลจากปลายทางเข้าดังกล่าวไปสู่ปลายทางออกดังกล่าว ของปลายหัวฉีดดัง กล่าว

6. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 5 โดยที่ตัวกระจายแก็สดังกล่าว ประกอบรวมด้วยตัวกระจายแก็สรูป วงแหวนซึ่งมีร่องจำนวนหนึ่งที่ทำมุมเมื่อเทียบกับแกนตาม รัศมี ตรงกลางของตัวกระจายแก็สดังกล่าวซึ่งยื่นผ่านแต่ละ ร่อง

7. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 6 โดยที่ตัวกระจายแก็สดังกล่าว คือส่วนที่เป็นชิ้นเดียวกัน ของปลายหัวฉีดดังกล่าวที่ปลายทางเข้าของปลายหัวฉีดดังกล่าว

8. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 6 โดยที่ร่องดังกล่าวจะชี้เข้าหา เลนส์ดังกล่าว

9. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 8 โดยที่ร่องเอียงเป็นมุมดังกล่าว มีผนังหนึ่งผนังที่เรียบ เสมอกับพื้นผิวภายในดังกล่าวของเลนส์

10. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 5 โดยที่วิถีทางดังกล่าวสำหรับ การยึดเลนส์ในภาชนะครอบดัง กล่าวประกอบรวมด้วยร่องของเลนส์ที่ถูกสร้างระหว่างวง แหวนล็อค และปลายทางเข้าดังกล่าวของปลายหัวฉีดดังกล่าว

11. ส่วนหัวของกระบวนการฉายเลเซอร์ของข้อถือสิทธิข้อที่ 5 โดยที่ปลายหัวฉีดดังกล่าวรวม ด้วยปลายสุดที่ถอดออกได้ที่ ปลายทางออกดังกล่าว

12. วิธีการของการฉายเลเซอร์กับชิ้นงานซึ่งประกอบรวมด้วย การจัดให้มีเลเซอร์สำหรับการรวมลำแสงเลเซอร์ไปยังชิ้นงาน การกำหนดทิศทางลำแสงเลเซอร์ผ่านเลนส์รวมแสงไปยังชิ้นงานดัง กล่าว การจ่ายแก็สไปยังตัวกระจายแก็สติดกับเลนส์รวมแสงดังกล่าว ผ่านทางเข้าของแก็ส, ด้านไกล จากเลนส์รวมแสงดังกล่าว, และ ทางผ่านของแก็สซึ่งเชื่อมต่อทางเข้าของแก็สดังกล่าวกับตัว กระจาย แก็สดังกล่าว การกำหนดทิศทางการไหลของแก็สแบบกระแสวนเพื่อสัมผัสและไหล ข้ามพื้นผิวของเลนส์ ดังกล่าวซึ่งหันเข้าหาชิ้นงาน; และ การกำหนดทิศทางการไหลของแก็สแบบกระแสวนดังกล่าวเข้าหาชิ้น งานดังกล่าว

13. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 โดยที่กระแสวนดังกล่าว ถูกกำหนดทิศทางออกจากเลนส์ ดังกล่าวเข้าสู่ชิ้นงาน

14. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 13 ซึ่งยังรวมด้วยขั้นตอน ของการจัดให้มีตัวกระจายแก็สรูปวง แหวนสำหรับการก่อเกิด กระแสวน

15. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ซึ่งยังรวมด้วยขั้นตอน ของการจัดให้มีตัวกระจายแก็สรูป วงแหวนดังกล่าว ซึ่งมีร่อง จำนวนหนึ่งที่ทำมุมเมื่อเทียบกับแกนตามรัศมี ตรงกลางของตัว กระจายแก็ส ดังกล่าวซึ่งยื่นผ่านแต่ละร่อง

16. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 13 ซึ่งยังรวมด้วยขั้นตอน ของการจัดให้มีภาชนะดังกล่าวซึ่งมี ห้องภายในลักษณะเรียว, และโดยที่การไหลของแก็สดังกล่าวถูกกำหนดทิศทางผ่านห้องภาย ใน ลักษณะเรียวดังกล่าว

17. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ซึ่งยังรวมด้วยขั้นตอน ของการจัดให้มีภาชนะดังกล่าวซึ่งมี ห้องภายในลักษณะเรียว