DC60 อาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์ที่ติดตั้งอุปกรณ์ตระกร้าแม่เหล็ก ( Magnetic Bucket ) เพื่อ ใช้ในการกักกันและควบคุมพลาสมาที่ได้จากการอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์นั้น อาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์ที่ติดตั้งอุปกรณ์ตระกร้าแม่เหล็ก ( Magnetic Bucket ) เพื่อ ใช้ในการกักกันและควบคุมพลาสมาที่ได้จากการอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์นั้นThe DC60 arc ion evaporator is equipped with a magnetic bucket to contain and control the plasma generated by the arc ion evaporator.
Claims (1)
1. อุปกรณ์ตะกร้าแม่เหล็กสำหรับกักกันพลาสมาจากครื่องระเหยไอสสารแบบอาร์ค ไอออน สำหรับการเครือบฟิล์มบางหรือสังเคราะห์สารโดยวิธีไอระเหยของสสาร ประกอบด้วย อุปกรณ์ที่เป็นแม่เหล็กถาวรหรือชุดสนามแม่เหล็กมาวางในลักษณะที่มีขั้ว ตรงข้ามกับขั้วของแม่เหล็กอ้างอิงที่ถูกสร้างขึ้นเพื่อนำไปใช้ติดตั้งกับเครื่องระเหยไอสสาร แบบอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์นั้น มีลักษณะพิเศษเฉพาะคือ อุปกรณ์ที่เป็นแม่เหล็ก ถาวรหรือชุดสนามแม่เหล็กอย่างน้อยหนึ่งชิ้นขึ้นไปจะถูกติดตั้งอยู่ที่ในระนาบเดียวกันกับ ด้านข้างหรือด้านหน้าหรือด้านหลังของคาโธด โดยที่แรงจากสนามแม่เหล็กจากตระกร้า แม่เหล็กยังมีผลต่อคาโธด1.Magnetic basket device for quarantine plasma from arc-ion vaporizers for thin film application or synthesis by means of substance vapors, consisting of a permanent magnet device or a magnetic field unit placed in Polarized characteristics As opposed to the polarity of the reference magnet, it was created to be fitted to a vaporizer. An arc ion Iwapeter that There is a unique feature. Magnetic device One or more permanent or magnetic fields are installed in the same plane as the Side or front or back of the cathode Where the force of the magnetic field from the basket The magnet also has an effect on the cathode.
TH101004656A2001-11-15
Magnetic basket device for quarantine plasma from arc ion evaporators.
TH25254B
(en)