TH21765A - วิธีการเจริญเติบโตของสารกึ่งตัวนำที่มีการกำหนดทิศทางที่ควบคุมโดยผลึกชั้นล่าง - Google Patents

วิธีการเจริญเติบโตของสารกึ่งตัวนำที่มีการกำหนดทิศทางที่ควบคุมโดยผลึกชั้นล่าง

Info

Publication number
TH21765A
TH21765A TH9501002575A TH9501002575A TH21765A TH 21765 A TH21765 A TH 21765A TH 9501002575 A TH9501002575 A TH 9501002575A TH 9501002575 A TH9501002575 A TH 9501002575A TH 21765 A TH21765 A TH 21765A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
crystals
substratum
semiconductor
group
directed
Prior art date
Application number
TH9501002575A
Other languages
English (en)
Inventor
โตมิยะ นายชิเกทากะ
นาคาโนะ นายคาซูชิ
อิโตะ นายซาโตชิ
มินาโตยะ นายริคาโกะ
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีอเนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีอเนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH21765A publication Critical patent/TH21765A/th

Links

Abstract

วิธีการที่สารกึ่งตัวนำมีการเจริญเติบที่มีการควบคุมทิศทางโดยผลึกชั้นล่างสามารถหลีกเลี่ยงความไม่สม่ำเสมอในการผลิต ที่วางใจได้ เมื่อทำการผลิตสารประกอบกึ่งตัวนำ II-VI โดย การทำให้เจริญเติบโตที่มีการควบคุมทิศทางโดยผลึกชั้นล่าง เมื่อใช้วิธีการนี้กับวิธีการผลิตอุปกรณ์วัสดุกึ่งตัวนำ เปล่งแสง เป็นสิ่งเป็นไปได้ที่จะได้อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ เปล่งแสงที่มีอายุยืนยาว และมีลักษณะจำเพาะของการเปล่งแสง ที่ที่ดีเยี่ยม เมื่อทำให้สารกึ่งตัวนำ II/VI เจริญเติบ โตที่มีการควบคุมทิศทางโดยผลึกชั้นล่าง เลือกอัตราส่วนของ VI/II นั้นคือเลือกอัตราในการป้อนธาตุหมู่ VI และธาตุหมู่ II ที่ใช้ในการเจริญเติบโตที่มี่การควบคุมทิศทางโดยผลึก ชั้นล่างให้อยู่ในช่วงเท่ากั้บจาก 1.3 ถึง 2.5

Claims (2)

1. วิธีการในการทำให้สารกึ่งตัวนำมีการเจริญเติบโตที่มีการกำหนดทิศทางโดยผลึกชั้นล่างประกอบด้วยขั้นตอนของ การทำให้สารกึ่งตัวนำหมู่ II-VI เจริญเติบโตที่มีการกำหนด ทิศทางโดยผลึกชั้นล่าง และ เลือกอัตราส่วนของ VI/II ซี่งป้อนธาตุหมู่ II และธาตุหมู่ II-VI เมื่อสารกึ่งตัวนำหมู่ II-VI ดังกล่าวมีการเจริญเติบ โตที่มีการกำหนดทิศทางโดยผลึกชั้นล่างโดยที่อัตราส่วนของ VI/II ดังกล่าว ตกอยู่ในช่วงเท่ากับจาก 1,3 ถึง 2.5
2. วิธีการในการทำให้สารกึ่งตัวนำมีการเจริญเติบโตที่มีการ กำหนดทิศทางโดยผลึกชั้นล่าง ตามข้อถือสิทธแท็ก :
TH9501002575A 1995-10-16 วิธีการเจริญเติบโตของสารกึ่งตัวนำที่มีการกำหนดทิศทางที่ควบคุมโดยผลึกชั้นล่าง TH21765A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH21765A true TH21765A (th) 1996-11-13

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19523158C2 (de) Verfahren zur Herstellung von selbsttragenden Halbleiterschichten aus Al¶x¶Ga¶y¶In¶1¶¶-¶¶x¶¶-¶¶y¶N und Verwendung der Halbleiterschichten
US5010033A (en) Process for producing compound semiconductor using an amorphous nucleation site
WO2004074556A3 (ja) β‐Ga2O3系単結晶成長方法、薄膜単結晶の成長方法、Ga2O3系発光素子およびその製造方法
DE602004029486D1 (de) Grossfläches gan-substrat mit einheitlich geringer versetzungsdichte und herstellungsverfahren dafür
TW200711188A (en) Single-crystal nitride-based semiconductor substrate and method of manufacturing high-quality nitride-based light emitting device by using the same
CA2655579A1 (en) Method and device for fabricating semiconductor light emitting elements
US20110003420A1 (en) Fabrication method of gallium nitride-based compound semiconductor
JPS575325A (en) Semicondoctor p-n junction device and manufacture thereof
KR100885190B1 (ko) 발광소자와 그의 제조방법
DE69127952T2 (de) III-V Verbindungs-Halbleiter-Vorrichtung, Drucker- und Anzeigevorrichtung unter Verwendung derselben, und Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung
JPH06103757B2 (ja) ダイヤモンド電子装置
CN103498193A (zh) 一种提高材料晶体质量的外延生长方法
JP3140751B2 (ja) 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
TH21765A (th) วิธีการเจริญเติบโตของสารกึ่งตัวนำที่มีการกำหนดทิศทางที่ควบคุมโดยผลึกชั้นล่าง
JPH09172199A (ja) 窒化ガリウム系化合物半導体素子
EP0766297A3 (en) Method for growing a II-VI compound semiconductor layer containing cadmium and method for fabricating a semiconductor laser
JP3146874B2 (ja) 発光ダイオード
JPS5710223A (en) Semiconductor device
KR100693129B1 (ko) pn 접합 GaN 나노막대 LED 제조방법
US5118365A (en) Ii-iv group compound crystal article and process for producing same
KR20050014345A (ko) SiC Buffer layer를 이용한 질화물 계열 반도체 결정 성장
EP0284437A3 (en) Iii - v group compound crystal article and process for producing the same
KR20040061703A (ko) GaN 나노막대를 이용하는 단결정 GaN 기판 제조방법
KR100525723B1 (ko) HVPE법에 의한 GaN 나노막대 형성방법
JP2001302398A (ja) 単結晶基板上に第3族窒化物のエピタキシャル層を成長させる方法及びその装置