TH21079A - เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรดความร้อนแบบโบโลมิเตอร์ที่ใช้ฟิล์มสารกึ่งตัวนำ - Google Patents

Abstract

เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนประกอบด้วย ไดอิเล็กทริกเพลลิเคิล (5) ที่แขวนไว้เหนือโพรงในซับสเตรต (6) เยื่อบางที่รองรับอุปกรณ์ตรวจจับ (1) ประกอบด้วย ชั้นสารกึ่งตัวนำไวต่อความร้อน (3) ระหว่างคู่หนึ่งของส่วนสัมผัสโลหะฟิล์มบาง (2,4) ซึ่งถูกสะสมไว้บนเยื่อบาง โพรงถูกสร้างขึ้นโดยการเอทซืและการเอาวัสดุซับสเตรตออกผ่านรูหรือร่อง (8) ในผิวหน้าของซับเสตรต

Claims (7)

1.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรดความร้อน หรือเครื่องตรวจจับชนิดแถวสองมิติแต่ละส่วนตรวจจับประกอบด้วยชั้นสารกึ่งตัวนำไวต่อความร้อนและส่วนสัมผัสโลหะฟิล์มบาง ส่วนประกอบเหล่านี้ถูกพอกสะสมบนไดอิเล็กทริกแพลลิเคิลของวัสดุที่มีการนำความร้อนต่ำ ที่แขวนเหนือโพรงในซับสเตรตรองรับ โพรงถูกสร้างขึ้นโดยการเอทซ์ และการเอาวัสดุซับสเตรตข้างใต้ออกผ่านรูหรือช่องที่สร้างขึ้นที่ผิวหน้าของซับสเตรต

2.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ1 ซึ่งซับสเตรตคือเวเฟอร์ซิลิคอนผลึกเดี่ยวและโพรงถูกสร้างขึ้นโดยการเอทซ์แอนไอโซโทรปิกโดยใช้ลาเอทซ์เคมีที่คัดเลือกไว้ชนิดใดชนิดหนึ่งต่อไปนี้ไฮดราซีนเอธิลีนไดเอมีนไพโรแคทีคอลหรือโพแทสเซียมไฮดรอกไซด์

3.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ1ซึ่งส่วนประกอบที่ไวต่อความร้อนคือชั้นของซิลิคอนกึ่งตัวนำซึ่งเตรียมโดยการจับเกาะแบบสปัตเตอร์หรือการจับเกาะไอเคมี

4.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ1 ซึ่งส่วนสัมผัสไฟฟ้าถูกสร้างบนชั้นสารกึ่งตัวนำเป็นชั้นบางๆชั้นหนึ่งหรือหลายชั้นของนิเกิล นิเกิล-โครเมียม พลาดินัม พลาดินัมซิลิไซด์หรือแทนทาลัมซิลิไซด์

5.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ1 ซึ่งการดูดซึมรังสีอินฟราเรตทำได้โดยวิถีทางของส่วนกรองการแทรกสอดที่มีส่วนประกอบประกอบด้วยชั้นของสารกึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ3และหนึ่งหรือมากกว่าของชั้นโลหะของข้อถือสิทธิ4

6.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตความร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิ1 ซึ่งเพลลิเคิลเป็นสารไดอิเล็กทริกอนินทรีย์ที่ประกอบด้วยชั้นหนึ่งของชั้นอะลูเนียมออกไซด์ซิลิคอนไนไตรด์หรือซิลิคอนออกซิไนไตร์หรือชั้นโพลีอิไมด์

7.เครื่องตรวจจับรังสีอินฟราเรตควาร้อนหรือแถวเครื่องตรวจจับสอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้างต้นซึ่งเครื่องขยายสัญญาณการไบแอสแรงดันไฟฟ้า การชักตัวอย่างคงไว้ และวงจรอิเล็กทรอนิกส์มันติเพล็กซ์ที่อยู่รวมกันถูกสร้างอยู่บนซับสเตรตซิลิคอนเดียวกัน