TH2002A - วิธีการและอุปกรณ์สำหรับผลิตเซลล์โฟโต้โวลตาอิกอสัญฐานแบบชั้นซ้อนเรียง - Google Patents

Abstract

วิธีการและอุปกรณ์ห้องชุดสำหรับการผลิตเซลล์โฟโตโวลดาอิกอสัณฐานแบบชั้นซ้อนเรียงอย่างต่อเนื่องบนวัสดุฐาน โดยที่ อย่างน้อยชั้นสารกึ่งตัวนำ อสัณฐาน 6 ชั้น จะจับเกาะลง อย่างต่อเนื่องและเป็นลำดับลงบนวัสดุภายใต้สภาวะคงที่ วัสดุฐานถูกขับเคลื่อนจากแกนจ่ายผ่านชุดสามหน่วยของห้องการ จับเกาะอย่างน้อยสองชุดไปยังแกนรับ ชั้นอสัณฐานแต่ละชั้น ของเซลล์ชนิดดี-ไอ-เอ็น แต่ละเซลล์จะถูกผลิตขึ้นในห้อง หนึ่งของชุดสามหน่วยของห้องการจับเกาะ ในห้องแรงของชุดสาร หน่วยของห้องแต่ละชุด ส่วนผสมก๊าซที่มีการเจือปนจะถูกนำ เข้าเพื่อให้เกิดชั้นสารกึ่งตัวนำชั้นแรกจับเกาะบนฐาน ใน ห้องที่สองของชุดสามหน่วยของห้องแต่ละชุด ส่วนผสมก๊าซจะถูก นำเข้า เพื่อให้เกิดชั้นอินทรินลิกจับเกาะบนชั้นแรก และในห้องที่ สามของชุดสามหน่วยของห้องแต่ละชุดส่วนผสมก๊าซที่มีการเจือ ปนจะถูกนำเข้าเพื่อให้เกิดชั้นนำไฟฟ้าชั้นที่สองที่มีสภาพ นำตรงกันข้ามกับชั้นนำไฟฟ้าชั้นแรก จับเกาาะลงบนชั้น อินทรีนลิก อุปกรณ์ห้องชุดได้สร้างขึ้นเพื่อป้องกันอย่าง เกือบสมบูรณ์ที่ (1) เพื่อมิให้ก๊าซเจือปนในห้องแรกหรือ ห้องที่สามของชุดสามหน่วยแต่ละชุดเจือปนกับก๊าซอินทรินลิก ในห้องที่สองของชุดสามหน่วยของห้องการจับเกาะแต่ละชุดและ (2) ก๊าซเจือปนในห้องที่สามของชุดสามหน่วยของห้องการจับ เกาะชุดก่อนหน้าและก๊าซเจือปนในห้องแรกของชุดสามหน่วยของ ห้องการจับเกาะชุดถัดมามิให้ปะปนกันในรูปแบบที่ เหมาะกว่าวัสดุอินทรินลิกเป็นโลหะเจือของซิลิคอนอสัณฐาน ซึ่งถูกเจือปนโดยโบรอนเพื่อเกิดเป็นโลหะเจือชนิดที่และถูก เจือนปนโดยฟอสฟอร์สเพื่อเกิดเป็นโลหะเจือชนิดเอ็น รูปแบบ ที่เหมาะกว่ายังพิจารณาถึงการใช้กระบวนการการจับเกาะแบบการ จ่ายเรืองแสงโดยที่สภาวะความดันสูญญากาศ ระดับอุณหภูมิ ส่วนผสมก๊าซปฏิกิริยา อัตราการไหลของก๊าซปฏิกิริยา ระดับ การกำเนิดกำลังของแคโธด อัตราการเดินทางของภาพและแรงดึงของ ฐานจะถูกควบคุมอย่างถูกต้องแม่นยำ

Claims (3)

1. อุปกรณ์การจับเกาะแบบห้องชุดสำหรับการผลิตอย่างต่อเนื่องของเซลล์โฟโด้โวลตาอิกอสัณฐาน แบบชั้นซ้อนเรียง แต่ ละเซลล์มีความหนารวมของเซลล์อย่างน้อยที่สุดสองหน่วยที่มี สามชั้น ซึ่งแต่ละหน่วยมีชั้นแบบพีชั้นหนึ่งและชั้นแบบเอ็น ชั้นหนึ่งซึ่งวางในเชิงปฏิบัติการอยู่บนด้านตรงข้ามของ ชั้นอินทรินสิกระหว่างกลาง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบโดยผสม ผสานเข้าด้วยกัน วัสดุฐาน ห้องจ่ายรวมทั้งแกนจับของส่วนจ่าย ห้องทำความสะอาดฐาน แหล่งของแก๊สทำความสะอาด วิถีทางสำหรับนำแก๊สทำความสะอาดเข้าสู่ห้องทำความสะอาด สำหรับทำความสะอาดฐาน ชุดสามหน่วยสำหรับห้องการจับเกาะสำหรับแต่ละหน่วยสามชั้น ของเซลล์ซ้อนเรียงห้องการจับเกาะถูกจัดตามลำดับ สำหรับการ จับเกาะชั้นของชนิดพีและชนิดเอ็นที่ปลายของแต่ละชุดสาม หน่วยตามลำดับและสำหรับการจับเกาะของชั้นอินทรินสิกระหว่าง ชั้นชนิดพีและชนิดเอ็นของแต่ละชุดสามหน่วยตามลำดับ เมื่อ จัดให้มีชั้นการจับเกาะสามชั้นสำหรับแต่ละหน่วยเซลล์ ห้องรับรวมทั้งแกนจับของส่วนรับ แหล่งของแผ่นแยกกั้นสำหรับวางไว้ระหว่างชั้นของวัสดุฐานที่ อยู่ติดกันขณะที่วัสดุฐานถูกพันรอบแกนจับของส่วนรับ วิถีทางสำหรับให้สูญญากาศแก่อุปกรณ์ วิถีทางสำหรับให้ความร้อนแก่ห้องการจับเกาะและฐาน วิถีทางร้อยแผ่นต่อเนื่องอย่างอัตโนมัติซึ่งถูกปรับเพื่อ ให้ส่งขอบนำของวัสดุฐานจากแกนจับของส่วนรับ วิถีทางสำหรับเคลื่อนวัสดุฐานอย่างต่อเนื่องจากแกนจับของ ส่วนจ่ายผ่านห้องทำความสะอาดและชุดสามหน่วยแต่ละชุดของห้อง การจับเกาะไปยังแกนจับของส่วนรับ วิถีทางสำหรับการจับเกาะต่อเนื่องกันเป็นชั้น ๆ ของหน่วย ที่มีสามชั้นลงบนวัสดุฐานหรือชั้นที่ได้จับเกาะอยู่ก่อน แห่งของแก๊สปฏิกิริยาซึ่งมีแก๊สนำของสารกึ่งตัวนำและแก๊สนำ ของสารเจือปน วิถีทางซึ่งรวมในเชิงปฏิบัติการเข้ากับห้องแต่ละห้องของชุด สามหน่วยแต่ละชุดของห้องการจับเกาะสำหรับนำส่วนผสมของแก๊ส ปฏิกิริยาที่ได้เลือกไว้เข้าสู่ห้องการจับเกาะ ประตูแก๊สซึ่งวางในเชิงปฏิบัติการอยู่ระหว่างห้องการจับ เกาะแต่ละคู่ของชุดสามหน่วย แหล่งของแก๊สกวาดพาสำหรับประตูแก๊ส วิถีทางซึ่งถูกปรับให้นำแก๊สกวาดพาเข้าสู่ประตูแก๊สสำหรับ กันแยกส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาในห้องที่สองของชุดสามหน่วย แต่ละชุดของห้องได้อย่างมากจากส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาใน ห้องแรกและห้องที่สามของชุดสามหน่วยของห้องดังกล่าว ห้องแยกกั้นเดิมหน่วยซึ่งวางอยู่ระหว่างห้องที่สามของชุด สามหน่วยของห้องชุดหนึ่งและห้องแรกของชุดสามหน่วยของห้อง ชุดถัดมา แหล่งแก๊สแยกกั้น วิถีทางสำหรับนำส่วนผสมของแก๊สแยกกั้นเข้าสู่ห้องแยกกั้น ดังกล่าว วิถีทางที่รวมอยู่กับห้องแยกกั้นดังกล่าวสำหรับ จัดให้มีการไหลในทิศทางเดียวของแก๊สจากห้องแยกกั้นเข้าสู่ ห้องที่สามของชุดสามหน่วยชุดหนึ่งดังกล่าวและห้องแรกของชุด สามหน่วยชุดถัดมาดังกล่าว เพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้ามห้อง ของสวนผสมของแก๊สในแต่ละห้องอย่างมาก และ วิถีทางสำหรับรักษาอุณหภูมิของฐาน อัตราการเคลื่อนที่ของ ฐาน, ความตึงของฐานส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาในห้องการจับ เกาะแต่ละห้อง ส่วนผสมของแก๊สแยกกั้นในห้องแยกกั้นแก๊สกวาด พาในประตูแก๊ส, ผลต่างความดันระหว่างห้องข้างเตียงและความ ดันสูญญากาศที่ได้ตั้งไว้เอาไว้อย่างดี โดยที่ผลิตเซลล์โฟ โต้โวลดาอิกแบบชั้นซ้อนเรียงที่มีคุณภาพสูงได้อย่างต่อ เนื่องบนวัสดุฐาน 2. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งชุดสามหน่วยของ ห้องการจับเกาะแต่ละชุดถูกจัดวางเกือบอยู่ในแนวระดับ วัสดุ ฐานเป็นแผ่นยาวซึ่งถูกปรับให้ต่อยื่นผ่านชุดสามหน่วยของ ห้องการจับเกาะแต่ละชุด วิถีทางนำจ่ายสำหรับแผ่นวัสดุฐานถูกจัดไว้ใกล้กับปลายด้าน หนึ่งของแนวระดับ และ วิถีทางรับสำหรับแผ่นวัสดุฐานถูกจัดไว้ใกล้กับปลายอีกด้าน หนึ่งของแนวระดับ 3. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่ซึ่งหน่วยเซลล์แบบ สามขั้นสองหน่วยจับเกาะลงบนแผ่นวัสดุฐานโดยที่หน่วยสามชั้น หน่วยที่สองอยู่บนหน่วยสามชั้นหน่วยแรก และ ห้องการจับเกาะหกห้องซึ่งเรียงอยู่เป็นลำดับวางจากจุดใกล้ กับวิถีทางนำจ่ายไปยังจุดใกล้กับวิถีทางรับ และ ส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาที่มีส่วนผสมของแก๊สชนิดแรกสำหรับ ห้องการจับเกาะห้องแรกและห้องที่สี่, ส่วนผสมของแก๊สชนิด ที่สองสำหรับห้องการจับเกาะห้องที่สองและห้องที่ห้า และ ส่วนผสมของแก๊สชนิดที่สามสำหรับห้องการจับเกาะห้องที่สาม และห้องที่หก 4. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งโลหะเจือ ซิลิคอนอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดถูกนำเข้าสู่ห้องการจับ เกาะห้องที่สองและห้องที่ห้า อย่างน้อยที่สุดโลหะเจือ ซิลิคอนชนิดหนึ่งและสารเจือปนแบบพืชชนิดหนึ่งถูกนำเข้าสู่ ห้องการจับเกาะห้องแรกและห้องที่สี่ และอย่างน้อยที่สุด โลหะเจือซิลิคอนชนิดหนึ่งและสารเจือปนแบบเอ็นชนิดหนึ่งถูก นำเข้าสู่ห้องการจับเกาะห้องที่สามและหก 5. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งยังมีวิถีทาง สำหรับล้างห้องการจับเกาะและห้องแยกกั้นแต่ละห้องโดยการนำ แก๊สไนโตรเจนเข้าสู่ห้องเหล่านี้ 6. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งวิถีทางทำความ สะอาดมีวิถีทางสำหรับนำอาร์กอนและไฮโดรเจนเข้าสู่ห้องทำ ความสะอาดรวมอยู่ด้วย 7. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งห้องจ่ายยังมี ลูกกลิ้งหมุนตามแบบจ่ายสำหรับนำวัสดุฐานไปยังห้องการจับ เกาะห้องแรกรวมอยู่ด้วย และห้องรับยังมีลูกกลิ้งหมุนตามแบบ รับสำหรับนำวัสดุฐานไปยังแกนจับของส่วนรับรวมอยู่ด้วย 8. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 7 ที่ซึ่งมอเตอร์แต่ละ ตัวมีไว้สำหรับขับเคลื่อนแกนจับของส่วนจ่าย, ลูกกลิ้งหมุน ตามแบบจ่ายและลูกกลิ้งหมุนตามแบบรับ และวิถีทางสำหรับหมุน แกนจับของส่วนรับคือมอเตอร์ 9. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ที่ซึ่งมอเตอร์สามารถ ปรับเลือกได้สำหรับเคลื่อนวัสดุฐานผ่านห้องภายใต้ความตึง เพื่อกำจัดการการโก่งขึ้นหรือแอ่นลงของฐาน 1 0. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 9 ที่ซึ่งวัสดุฐาน เคลื่อนผ่านห้องการจับเกาะที่ความเร็วเกือบคงที่ที่ประมาณ 1 ฟุตต่อนาทีละภายใต้ความตึงขณะปฏิบัติการประมาณ 10 ปอนด์ ต่อตารางนิ้ว 1 1. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งแผ่นวัสดุฐาน วิ่งไปตามลูกกลิ้งปรับทิศทางลูกแรกซึ่งวางอยู่หน้าแนวระดับ ของห้องการจับเกาะสำหรับนำวัสดุฐานไปยังห้องการจับเกาะห้อง แรก และแผ่นวัสดุฐานวิ่งไปตามลูกกลิ้งปรับทิศทางลูกที่สอง ซึ่งวางอยู่หลังแนวระดับของห้องการจับเกาะสำหรับนำวัสดุฐาน ไปยังลูกกลิ้งหมุนตามแบบรับ ลูกกลิ้งปรับทิศทางลูกแรกที่ถูกครอบอยู่ภายในห้องนำจ่ายฐาน ซึ่งตั้งอยู่ระหว่างและเชื่อมต่อในเชิงปฏิบัติการกับห้อง การจับเกาะห้องแรกและห้องทำความสะอาด และ ลูกกลิ้งปรับทิศทางลูกที่สองที่ถูกครอบอยู่ภายในห้องนำฐาน หลังการจับเกาะเชื่อมต่อในเชิงปฏิบัติการกับห้องการจับเกาะ ห้องที่หก 1 2. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 11 ซึ่งยังมีห้องทำให้ เย็นลงเชื่อมต่อในเชิงปฏิบัติการและวางอยู่ระหว่างห้องนำ ฐานหลังการจับเกาะและห้องรับสำหรับทำให้วัสดุฐานเย็นลงก่อน ที่จะพันวัสดุฐานรอกแกนรับฐาน 1 3. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 11 ที่ซึ่งแผ่นวัสดุฐาน ที่ต่อยื่นระหว่างลูกกลิ้งปรับทิศทางลูกแรกกับลูกที่สอง หย่อนลงเล็กน้อย และ ระดับของห้องนำจ่ายฐาน, ห้องแยกกั้น, ห้องนำฐานหลังการจับ เกาะ, และห้องการจับเกาะถูกวางเหลื่อมกันเป็นลำดับเพื่อให้ เหมาะสมกับการที่แผ่นวัสดุฐานหย่อนลงเล็กน้อย 1 4. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่ซึ่งห้องทุกห้อง ถูกคงไว้ที่ความดันสูญญากาศประมาณ 0.5 ทอรร์ 1 5. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งประตูแก๊สมี ชิ้นส่วนให้ความร้อนจำนวนหนึ่งสำหรับรักษาอุณหภูมิที่สูง ของฐานขณะที่มันผ่านไประหว่างห้อง 1 6. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 15 ที่ซึ่งชิ้นส่วนให้ ความร้อนแต่ละชิ้นเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายกำลัง เธอร์โมคัปเปิล และเครื่องควบคุมที่ใช้เธอร์โมคัปเปิล โดย ที่อุณหภูมิของวัสดุฐานในห้องที่ได้รับความร้อนแต่ละห้อง สามารถตรวจรับและควบคุมได้ในแต่ละห้อง 1 7. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 15 ที่ซึ่งอุณหภูมิใน ห้องการจับเกาะถูกรักษาไว้ในช่วงประมาณ 200-300 องศา เซลเซียส 1 8. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่ซึ่งวิถีทางจับ เกาะประกอบด้วยวิถีทางการจับเกาะแบบเรืองแสงซึ่งมีแคโธด, เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุ และจูเนอร์ โดยที่ส่วนผสมของ แก๊สปฏิกิริยาถูกทำให้แตกตัวออกเป็นรูปแบบพื้นฐาน 1 9. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ที่ซึ่งห้องทำความ สะอาดมีแคโธด เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุและจูเนอร์อยู่ด้วย เช่นกัน 2 0. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ที่ซึ่งแคโธดในห้อง การจับเกาะห้องแรกยาวประมาณ 30 นิ้ว, แคโธดในห้องการจับ เกาะห้องที่สองยาวประมาณ 100 นิ้ว, แคโธดในห้องการจับเกาะ ห้องที่สามและสี่ยาวประมาณ 12 นิ้ว, แคโธดในห้องการจับเกาะ ห้องที่ห้ายาวประมาณ 30 นิ้ว, แคโธดในห้องที่หกยาวประมาณ 12 นิ้ว และแคโธดในห้องทำความสะอาดยาวประมาณ 25 นิ้ว 2

1. อุปกรณ์ดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 20 ที่ซึ่งแคโธดในห้อง การจับเกาะห้องที่สองประกอบด้วยแคโธดเดี่ยวสองแท่ง ซึ่ง แคโธดแต่ละแท่งเชื่อมต่อกับเครื่องกำเนิดความถี่วิทยุแต่ละ เครื่องและจูเนอร์แต่ละตัว 2

2. วิธีการผลิตเซลล์โฟโต้โวลตาอิกอสัณฐานแบบชั้นซ้อนเรียง บนแผ่นยาวของวัสดุฐานอย่างต่อเนื่องซึ่งวัสดุฐานถูกปรับ เพื่อเคลื่อนจากแกนจับของส่วนจ่ายผ่านห้องทำความสะอาดฐาน และชุดของชุดสามหน่วยของห้องการจับเกาะที่ถูกแยกกั้นอย่าง น้อยที่สุดสองชุดไปยังแกนจับของส่วนรับ แหล่งของแก๊ส ปฏิกิริยาที่มีวัสดุสารกึ่งตัวนำชนิดหนึ่ง วิถีทางสำหรับนำ ส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาเข้าสู่ห้องการจับเกาะแต่ละห้อง สำหรับการแตกตัวและการจับเกาะของชั้นสารกึ่งตัวนำที่ไม่ เป็นผลิกแบบซ้อนเริ่งติดต่อกันที่มีสภาพนำต่าง ๆ ลงบนแผ่น ของวัสดุฐานที่ผ่านห้องเหล่านั้น ซึ่งวิธีการประกอบด้วย ขั้นตอนของ การร้อยแผ่นวัสดุฐานโดยอัตโนมัติเพื่อส่งและยึดปลายนำของ แผ่นวัสดุฐานจากแกนจับของส่วนจ่ายไปยังแกนจับของส่วนรับ การติดปลายนำของแผ่นแยกกั้นการแทนที่จากแกนแยกกั้นการแทน ที่ เข้ากับวัสดุฐานก่อนที่จะม้วนวัสดุฐานรอบแกนจับของส่วน รับ โดยที่แผ่นแยกกั้นอยู่ระหว่างชั้นที่อยู่ติดกันของ วัสดุฐานขณะที่วัสดุฐานถูกพันรอบแกนจับของส่วนรับ การผนึกและทำให้ห้องที่วัสดุฐานผ่านเป็นสูญญากาศ การชะล้างห้อง การให้ความร้อนแก่ห้องการจับเกาะเพื่ออุ่นวัสดุฐานและส่วน ผสมของแก๊สปฏิกิริยาจนถึงอุณหภูมิของการจับเกาะ การจัดให้มีประตูแก๊สระหว่างห้องการจับเกาะที่อยู่ติดกัน แต่ละคู่ของชุดสามหน่วยแต่ละชุด การจัดให้มีแห่งแก๊สกวาดพา การนำแก๊สกวาดพาเข้าสู่ประตูแก๊สแต่ละแห่ง การจัดให้มีแหล่งแก๊สปฏิกิริยา การกำหนดส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาและการนำส่วนผสมของแก๊ส ปฏิกิริยาที่ได้กำหนดไว้เข้าสู่ห้องการจับเกาะ ซึ่งการไหล ของส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาและการไหลของแก๊สกวาดพาถูกปรับ เพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้ามห้องของส่วนผสมของแก๊สในกระบวน การในห้องการจับเกาะที่อยู่ติดกันได้อย่างมาก การจัดให้มีแหล่งแก๊สทำความสะอาด การกำหนดการไหลของแก๊สทำความสะอาดเข้าสู่ห้องทำความสะอาด ฐาน ขั้นตอนของการกำหนดและการนำส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาซึ่งยัง ประกอบด้วย : (1) การกำหนดการไหลของแก๊สนำสารกึ่งตัวนำและ สารเจือปนจากแหล่งเข้าสู่ห้องการจับเกาะห้องแรกของชุดสาม หน่วยแต่ละชุด, (2) การกำหนดการไหลของแก๊สนำสารกึ่งตัวนำ และแก๊สของสารเจือปนที่มีสภาพนำตรงกันข้ามจากแหล่งเข้าสู่ ห้องการจับเกาะห้องที่สามของชุดสามหน่วยแต่ละชุด และ (3) การกำหนดการไหลของแก๊สนำสารกึ่งตัวนำเข้าสู่ห้องการจับเกาะ ห้องที่สองของชุดสามหน่วยแต่ละชุด การจัดให้มีแหล่งแก๊สแยกกั้น การจัดให้มีห้องแยกกั้นเป็นช่วงระหว่างห้องการจับเกาะห้อง ที่สามของชุดสามหน่วยชุดแรกกับห้องการจับเกาะห้องแรกของชุด สามหน่วยชุดที่สอง, การกำหนดส่วนผสมของแก๊สแยกกั้นจากแหล่ง และการนำส่วนผสมของแก๊สแยกกั้นที่กำหนดไว้เข้าสู่ห้องการ จับเกาะเป็นช่วง, การนำส่วนผสมของแก๊สแยกกั้นให้ไหลในทิศ ทางเดียวจากห้องการแยกกั้นเป็นช่วงเข้าสู่ห้องที่สามของชุด สามหน่วยชุดแรกและห้องแรกของชุดสามหน่วยชุดที่สอง การให้พลังงานแก่วิถีทางสำหรับการแตกตัวและการจับเกาะส่วน ผสมของแก๊สปฏิกิริยาลงบนวัสดุฐาน การเริ่มต้นวิถีทางสำหรับเคลื่อนวัสดุฐานอย่างต่อเนื่อง ผ่านห้องการจับเกาะ และ การรักษาอุณหภูมิฐาน, อัตราเร็วการเคลื่อนที่ของฐาน, ความ ตึงของฐาน, ส่วนผสมของแก๋สแยกกั้นให้ห้องแยกกั้น, แก๊สกวาด พาในประตูแก๊ส, ผลต่างความดันระหว่างห้องข้างเคียง, และ ความดันสูญญากาศเอาไว้เป็นอย่างดี โดยที่อาจผลิตเซลล์โฟโต้ โวลตาอิกแบบชั้นซ้อนเรียงที่มีคุณภาพสูงได้อย่างต่อเนื่อง 2

3. วิธีการดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งรวมถึงสมรรถนะของ ขั้นตอนของการทำให้กระบวนการการจับเกาะเสร็จสมบูรณ์ดังต่อ ไปนี้ การหยุดวิถีทางสำหรับเคลื่อนวัสดุฐานผ่านห้องการจับเกาะ อย่าต่อเนื่อง การหยุดการไหลของส่วนผสมของแก๊สปฏิกิริยาเข้าสู่ห้อง การชะล้างห้องของเครื่องกลด้วยอาร์กอน, ซึ่งเริ่มต้นโดย พร้อมเพรียงกันในห้องการจับเกาะห้องที่สองของชุดสามหน่วย แต่ละชุด ขณะที่รักษาผลต่างความดันระหว่างห้องข้างเคียงไว้ เพื่อให้แน่ใจถึงการไหลของส่วนผสมของแก๊สจากห้องที่ได้ เลือกไว้ การหยุดการให้ความร้อนแก่ชิ้นส่วน และ การหยุดการปฏิบัติการของหน่วยเครื่องสูบ (ข้อถือสิทธิ 23 ข้อ, 7 หน้า, 11 รูป)