TH19484EX - Mass spectrometer that performs micro mechanical work. - Google Patents
Mass spectrometer that performs micro mechanical work.Info
- Publication number
- TH19484EX TH19484EX TH9401002342A TH9401002342A TH19484EX TH 19484E X TH19484E X TH 19484EX TH 9401002342 A TH9401002342 A TH 9401002342A TH 9401002342 A TH9401002342 A TH 9401002342A TH 19484E X TH19484E X TH 19484EX
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- electrode
- mass spectrometer
- ionizer
- separation region
- mechanical work
- Prior art date
Links
Abstract
สเปกโทรมิเตอร์มวลที่ทำงานกลจุลภาค (10) ที่รวมทั้งเครื่องทำให้เป็น ไอออน (30), บริเวณการแยก (32) และเครื่องตรวจหา (34) สร้างเครื่องทำให้เป้น ไอออน (30) จาก ขั้วไฟฟ้าด้านบน (36) , ขั้วไฟฟ้าตรงกลาง (38) ขั้วไฟฟ้าด้านล่าง (40) การทำให้เป็น ไอออน (30) ของแก๊สสารตัวอย่างที่เกิดรอบขอบ (48) ของขั้วไฟฟ้าตรงกลาง (38) ขั้ว ไฟฟ้าการเร่ง (54, 56) สกัดอนุภาคที่เป็น ไอออน จากเครื่องทำให้เป็น ไอออน (30) เร่ง อนุภาคที่เป็น ไอออน ผ่านบริเวณการแยก (32) ประยุกต์ สนามแม่เหล็ก ในทิศทางที่ตั้งฉากกับ ทางเดินของอนุภาคที่ เป็น ไอออน นั้น ผ่านบริเวณการแยก (32) ที่ทำให้แนววิถีของ อนุภาคที่เป็น ไอออน เลี้ยวเบน สร้างสเปกโทรมิเตอร์มวล (10) โดยใช้เทคนิคทำงานกลจุลภาค และยึดพา บนวัสดุรองรับเดี่ยว (24) The microstructural mass spectrometer (10) that includes the ionizer (30), the separation region (32) and detector (34) creates the ionizer (30) from the top electrode ( 36), center electrode (38), bottom electrode (40), ionization (30) of sample gas, formed around the edge (48) of center electrode (38), acceleration electrode (54, 56) The ionized particle is extracted from the ionizer (30), accelerated the ionized particle through the separation region (32), applied a magnetic field in the direction perpendicular to The ionic particle path passes through the separation region (32) that makes the trajectory of the The diffraction ionized particles created a mass spectrometer (10) using a microstructural technique and carried on a single support material (24).
Claims (1)
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH19484A TH19484A (en) | 1996-07-02 |
TH19484EX true TH19484EX (en) | 1996-07-02 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO1995012894A3 (en) | Micromachined mass spectrometer | |
JPH10512996A (en) | Small mass filter | |
GB2076588A (en) | Exb mass separator | |
JPS6110844A (en) | Mass analyzer and mass analyzing method | |
WO1997049111A1 (en) | Method and apparatus for ion and charged particle focusing | |
PT858096E (en) | IONIZER FOR USE ON A CYCLOIDAL MASS SPECTROMETER | |
US3457404A (en) | Quadrupole mass analyzer | |
TH19484A (en) | Mass spectrometer that performs micro mechanical work. | |
TH19484EX (en) | Mass spectrometer that performs micro mechanical work. | |
US4206383A (en) | Miniature cyclotron resonance ion source using small permanent magnet | |
AU8643791A (en) | Method for detection of alien matter contents in gases | |
US2987618A (en) | Mass spectrometer | |
JPS559107A (en) | Ion generation method and device for ionization detection | |
JP2000067807A (en) | Method and device for separating ion from ion beam | |
JP3280549B2 (en) | Ion source | |
JPS5974663U (en) | Ion source for mass spectrometer | |
JPH0731996B2 (en) | Ion implanter | |
JP2569517B2 (en) | Ion micro analyzer | |
JPH01272043A (en) | Ionization method of sputtering particles and apparatus therefor | |
JPS60177542A (en) | Mass spectrograph | |
JPH06132007A (en) | Exb type mas separator | |
JPH0513043A (en) | Ion source device | |
JPS6274441A (en) | Method for separating isotope in gas utilizing sheet plasma | |
JPS5966043A (en) | Ion microanalyzer | |
KR900007284A (en) | Electrostatic Discharge Device and Method |