TH19110B - สารผสมของสารทำความสะอาดชนิดแอลคาไลน์ซึ่งมาสารลดแรงตึงผิวชนิดไอออน ที่ปรับแก้ค่าพีเอชได้ - Google Patents

Abstract

1.สารละลายของสารทำความสะอาดชนิดแอลคาไลน์ สำหรับซับสเทรทชนิดไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งประกอบด้วยเบสในน้ำชนิดไม่มีโลหะไอออนจากประมาณ 0.1% ถึงประมาณ 25% โดยน้ำหนัก สารลดแรงตึงผิวชนิดไอออนจากประมาณ 0.1% ถึงประมาณ 5% โดยน้ำหนัก และปริมาณที่ยังผลของสารบัฟเฟอร์เชิงเคมีที่ใช้ลดพีเอช เพื่อลดและควบคุมพีเอชของสารละลายของสารทำความสะอาดให้มีพีเอชอยู่ในช่วงจากประมาณ พีเอช 8 ถึงประมาณ พีเอช 10 ซึ่งสารประกอบบัฟเฟอร์เชิง