Claims (39)
1. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางของจอและคู่ของส่วนรอบ นอกบนแต่ละด้านของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว เพื่อการดำเนินการการตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับ ส่วนกึ่งกลางดังกล่าว และคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวแต่ละส่วนประกอบรวมด้วย ส่วนรูปแบบที่หนึ่งสำหรับการก่อรูปรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งขึ้นมาเมื่อได้รับการส่อง สว่างสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; และ ส่วนรูปแบบที่สองที่ใช้ร่วมกันสำหรับคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวสำหรับการก่อรูป รูปแบบแสงการส่องสว่างที่สองและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามที่มีการแจกแจงของความเข้ม ของแสงที่แตกต่างไปจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวขึ้นมาขึ้นมาเมื่อได้รับการส่องสว่าง สำหรับการส่องสว่างคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวโดยแยกกัน1. The system for projecting light for illuminating the center of the screen and a pair of peripheral sections on each side of that center section, for performing focusing measurements for that center section and the pair of peripheral sections. Each section consists of: a first section for forming the first illumination pattern when illuminated for the center of the screen; and a second section, shared with the pair of peripheral sections, for forming the second and third illumination patterns with different intensity distributions from the first illumination pattern when illuminated for the pair of peripheral sections separately.
2. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว ได้รับการส่องสว่างด้วยแหล่งกำเนิดแสงแต่ละแหล่งที่แตกต่างกันตามลำดับ2. A system for light illumination as per claim 1, in which the first and second forms are illuminated by different light sources, respectively.
3. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว ส่วนรูปแบบหนึ่งโดยตนเองแล้วเป็นแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบ และส่วนรูปแบบอื่นได้รับการส่อง สว่างโดยแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบดังกล่าว3. A system for light illumination as per claim 1, in which the first and second forms, one form by itself is a form-based light source and the other form is illuminated by such form-based light source.
4. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการตรวจวัดในการ ปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลางดังกล่าวเป็นการตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสในทิศ ทางที่หนึ่งระหว่างภาพสองภาพ, การตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนรอบนอกดังกล่าวเป็นการ ตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสในทิศทางที่สองที่ตั้งฉากกับทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว ระหว่างภาพสองภาพ, การแจกแจงความเข้มของแสงของรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าว เป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปในทิศทางที่สองดังกล่าว และการแจกแจงความเข้มของรูปแบบแสง การ ส่องสว่างที่สองดังกล่าวและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามเป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปในทิศทางที่ หนึ่งดังกล่าว4. A system for light projection under any of the claims 1 through 3 where the focusing measurement for the center is one measurement for the phase difference in the first direction between two images; the focusing measurement for the periphery is one measurement for the phase difference in a second direction perpendicular to the first direction between two images; the intensity distribution of the first illumination pattern is a band extending in the second direction; and the intensity distribution of the second and third illumination patterns is a band extending in the first direction.
5. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ซึ่งคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวอยู่ทาง ด้านซ้ายมือและด้านขวามือของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว5. A system for light projection as per claim 4, where a pair of such outer sections are located to the left and right of such center section.
6. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งทิศทางที่หนึ่งดังกล่าวเป็นทิศทางตาม แนวระดับ และทิศทางที่สองดังกล่าว เป็นทิศทางตามแนวดิ่ง6. A system for light projection under claim 5 where the first direction is horizontal and the second direction is vertical.
7. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางของจอและคู่ของส่วนรอบ นอกบนแต่ละด้านดังกล่าวของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว เพื่อการดำเนินการตรวจวัดในการปรับโฟกัส สำหรับส่วนกึ่งกลางดังกล่าวและคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวแต่ละส่วน เครื่องสำเร็จดังกล่าว ประกอบรวมด้วย: รูปแบบที่หนึ่งสำหรับการก่อรูปรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งขั้นมาเมื่อได้รับการส่อง สว่างสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; เลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งสำหรับการฉายรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งจากรูป แบบที่หนึ่งดังกล่าวไปยังส่วนกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; รูปแบบที่สองที่ใช้ร่วมกันสำหรับคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวสำหรับการก่อรูปรูปแบบแสง การส่องสว่างที่สองและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามที่มีการแจกแจงของความเข้มของแสงที่แตก ต่างไปจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวขึ้นมาเมื่อได้รับการส่องสว่างสำหรับการส่อง สว่างคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวโดยแยกกัน; และ เลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สองสำหรับการฉายรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สองจากรูป แบบที่สองดังกล่าวไปยังคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าว7. A system for projecting light for illuminating the center of the screen and the pair of periphery on each side of the center, for performing focusing measurements for each of the center and pair of periphery. The complete instrument consists of: a first form for forming the first illumination pattern when illuminated for the center of the screen; a first projection lens for projecting the first illumination pattern from the first form onto the center of the screen; a second, shared form for the pair of periphery for forming the second and third illumination patterns with different light intensity distributions than the first illumination pattern when illuminated for the pair of periphery separately; and a second projection lens for projecting the second illumination pattern from the second form onto the pair of periphery.
8. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งความยาวโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉาย ด้วยแสงเลนส์ที่สองดังกล่าวจะสั้นกว่าความยาวโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่ง ดังกล่าว8. A system for light projection pursuant to claim paragraph 7 where the focal length of the second light projection lens is shorter than the focal length of the first light projection lens.
9. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งดังกล่าวได้รับการจัด เตรียมไว้ใกล้ตำแหน่งของจุดโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าว และ รูปแบบที่สองดังกล่าวได้รับการจัดเตรียมไว้ใกล้กับตำแหน่งของจุดโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วย แสงเลนส์ที่สองดังกล่าว9. A system for light projection pursuant to claim paragraph 7 where such first pattern is provided near the focal point of the first light projection lens and such second pattern is provided near the focal point of the second light projection lens.
10. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวได้ รับการส่องสว่างโดยแหล่งกำเนิดแสงแต่ละแหล่งที่แตกต่างกัน10. A system for light illumination pursuant to claim paragraph 7, where the first and second forms are illuminated by different individual light sources.
11. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่ หนึ่งดังกล่าวและเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สองดังกล่าวแต่ละเลนส์ได้รับการจัดวางไว้ใกล้กัน ในทิศทางที่ขนานกันกับจอ11. A system for light projection pursuant to claim paragraph 10 in which the first light projection lens and the second light projection lens are each positioned close together in a direction parallel to the screen.
12. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว รูปแบบหนึ่งโดยตนเองแล้วเป็นแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบ และรูปแบบอื่นได้รับการส่องสว่างโดย แหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบดังกล่าว12. A system for illumination under claim 7 where the first and second forms, one form by itself is a form-based light source and the other form is illuminated by such form-based light source.
13. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่ สองดังกล่าวมีช่องที่ซึ่งลำแสงของรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวจะเดินทางผ่านอยู่ใน บริเวณใกล้กับแกนเชิงแสงของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าว และที่ซึ่งเลนส์เพื่อการ ฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าวและเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สองดังกล่าวได้รับการจัดวาง ไว้อย่างเรียงเคียงกันในทิศทางที่ตั้งฉากกันกับจอ13. A system for light projection pursuant to claim paragraph 12 where the second light projection lens has an opening through which a beam of the first illumination pattern travels near the optical axis of the first light projection lens, and where the first light projection lens and the second light projection lens are arranged side-by-side in a direction perpendicular to the screen.
14. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ถึง 13 ข้อใดข้อหนึ่ง ประกอบรวมต่อไป อีกด้วยวิถีทางสำหรับการหักเหแสงจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเป็นบางส่วน14. A system for illumination under any one of the claims 7 through 13 shall be further incorporated with a means for partial refraction of light from the first illumination form.
15. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ถึง 13 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการตรวจวัดใน การปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลางดังกล่าวเป็นการตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสใน ทิศทางที่หนึ่งระหว่างภาพสองภาพ, การตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนรอบนอกดังกล่าวเป็น การตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสในทิศทางที่สองที่ตั้งฉากกับทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว ระหว่างภาพสองภาพ, การแจกแจงความเข้มของแสงของแสงการส่องสว่างแสงที่หนึ่งดังกล่าวเป็น รูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปในทิศทางที่สองดังกล่าว, และการแจกแจงความเข้นของแสงของรูปแบบแสง การส่องสว่างที่สองดังกล่าวและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามเป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปใน ทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว15. A system for light projection pursuant to claims 7 through 13 where the focusing measurement for the center is one measurement for the phase difference measurement in the first direction between two images; the focusing measurement for the periphery is one measurement for the phase difference measurement in a second direction perpendicular to the first direction between two images; the intensity distribution of the first illumination pattern is a band extending in the second direction; and the intensity distribution of the second and third illumination patterns is a band extending in the first direction.
16. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 15 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่ สองดังกล่าวมีเลนส์ที่มีกำลังการหักเหในทิศทางที่สองดังกล่าวมากกว่าในทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว16. A system for light projection pursuant to claim 15 where the second light projection lens has a refractive power in the second direction greater than in the first direction.
17. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 15 ที่ซึ่งคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวอยู่ทาง ด้านซ้ายมือและด้านขวามือของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว17. A system for light projection pursuant to claim Article 15 where a pair of such outer sections are located to the left and right of such central section.
18. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งทิศทางที่หนึ่งดังกล่าวเป็นทิศทาง ตามแนวระดับ และทิศทางที่สองดังกล่าวเป็นทิศทางตามแนวดิ่ง18. A system for light projection pursuant to claim Article 17 where the first direction is horizontal and the second direction is vertical.
19. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 15 ประกอบรวมต่อไปอีกด้วยวิถีทาง สำหรับการหักเหแสงจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเป็นบางส่วน19. The system for light projection under claim 15 is further incorporated with a means for partially refracting the light from the first illumination pattern.
20. เครื่องสำเร็จเชิงแสงสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางของจอและคู่ของส่วนรอบนอกบน แต่ละด้านของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว เพื่อการกระทำการตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลาง ดังกล่าวและคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวแต่ละส่วนโดยเครื่องสำเร็จดังกล่าวประกอบด้วย : ส่วนรูปแบบที่หนึ่งสำหรับการก่อรูปรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งขึ้นมาเมื่อได้รับการส่อง สว่างสำหรับการส่องสว่างกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; และ ส่วนรูปแบบที่สองที่ใช้ร่วมกันสำหรับคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวสำหรับการก่อรูปรูปแบบ แสงการส่องสว่างที่สองและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามที่มีการแจกแจงของความเข้มของแสงที่ แตกต่างไปจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวขึ้นมาเมื่อได้รับการส่องสว่างสำหรับการส่อง สว่างคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวโดยแยกกัน20. An optical instrument for illuminating the center of the screen and the pair of peripherals on each side of the center, for performing focusing measurements for each of the center and the pair of peripherals. This instrument consists of: a first pattern section for forming the first illumination pattern when illuminated for the center of the screen; and a second, shared pattern section for the pair of peripherals for forming the second and third illumination patterns with different light intensity distributions from the first illumination pattern when illuminated for the pair of peripherals separately.
21. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 20 ที่ซึ่งส่วนรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว ได้ รับการส่องสว่างด้วยแหล่งกำเนิดแสงแต่ละแหล่งที่แตกต่างกัน21. An optical assembly pursuant to claim 20, in which the first and second forms are illuminated by different individual light sources.
22. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 21 ที่ซึ่งส่วนรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว ส่วนรูปแบบหนึ่งโดยตนเองแล้วเป็นแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบ และส่วนรูปแบบอื่นได้รับการส่อง สว่างโดยแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบดังกล่าว22. An optical assembly pursuant to claim 21 in which the first and second forms of the assembly, one form by itself being a form-based light source and the other form being illuminated by such form-based light sources.
23. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 20 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการตรวจวัดในการ ปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลางดังกล่าวเป็นการตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสใน ทิศทางที่หนึ่งระหว่างภาพสองภาพ, การตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนรอบนอกดังกล่าวเป็น การตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสในทิศทางที่สองที่ตั้งฉากกับทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว ระหว่างภาพสองภาพ, การแจกแจงความเข้มของแสงของรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าว เป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปในทิศทางที่สองดังกล่าว, และการแจกแจงความเข้มของแสงของรูปแบบ แสงการส่องสว่างที่สองดังกล่าวและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามเป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปใน ทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว23. An optical instrument pursuant to claims 20 to 22 where the focusing measurement for the center is one measurement for the phase difference in the first direction between two images; the focusing measurement for the periphery is one measurement for the phase difference in a second direction perpendicular to the first direction between two images; the intensity distribution of the first illumination pattern is a band extending in the second direction; and the intensity distribution of the second and third illumination patterns is a band extending in the first direction.
24. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 23 ที่ซึ่งคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวอยู่ทางด้าน ซ้ายมือและด้านขวามือของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว24. An optical assembly pursuant to claim 23, in which a pair of such outer parts are located to the left and right of such center part.
25. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 24 ที่ซึ่งทิศทางที่หนึ่งดังกล่าวเป็นทิศทางตามแนว ระดับ และทิศทางที่สองดังกล่าวเป็นทิศทางตามแนวดิ่ง25. An optical instrument pursuant to claim 24 where the first direction is horizontal and the second direction is vertical.
26. เครื่องสำเร็จเชิงแสงสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางของจอและคู่ของส่วนรอบนอกบน แต่ละด้านของส่วนกึ่งกล่างดังกล่าว เพื่อกระทำการการตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลาง ดังกล่าว และคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวแต่ละส่วนโดยเครื่องสำเร็จดังกล่าวประกอบรวมด้วย รูปแบบที่หนึ่งสำหรับการก่อรูป รูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งขึ้นมาเมื่อได้รับการส่อง สว่างสำหรับการส่องสว่างส่วนกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; เลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งสำหรับการฉายรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งจาก รูปแบบที่หนึ่งดังกล่าวไปยังส่วนกึ่งกลางดังกล่าวของจอ; รูปแบบที่สองที่ใช้ร่วมกันสำหรับคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวสำหรับการก่อรูปรูปแบบแสง การส่องสว่างที่สองและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามที่มีการแจกแจงของความเข้มของแสงที่แตก ต่างไปจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวขึ้นมาเมื่อได้รับการส่องสว่าง สำหรับการส่อง สว่างคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวโดยแยกกัน; และ เลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สองสำหรับการฉายรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สองจาก รูปแบบที่สองดังกล่าวไปยังคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าว26. An optical assembly for illuminating the center of the screen and the pair of peripheral elements on each side of the center, to perform focusing measurements for the center and each pair of peripheral elements. This assembly consists of: a first form for forming the first illumination pattern when illuminated for the center of the screen; a first projection lens for projecting the first illumination pattern from the first form onto the center of the screen; a second form used in conjunction with the pair of peripheral elements to form the second and third illumination patterns with different intensity distributions than the first illumination pattern when illuminated for the pair of peripheral elements separately; and a second projection lens for projecting the second illumination pattern from the second form onto the pair of peripheral elements.
27. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ซึ่งความยาวโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วย แสงเลนส์ที่สองดังกล่าวจะสั้นกว่าความยาวโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าว27. An optical instrument pursuant to claim 26 in which the focal length of the second projection lens is shorter than the focal length of the first projection lens.
28. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งดังกล่าวได้รับการจัดเตรียม ไว้ใกล้กับตำแหน่งของจุดโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าว และรูปแบบที่ สองดังกล่าวได้รับการจัดเตรียมไว้ใกล้กับตำแแหน่งของจุดโฟกัสของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่ สองดังกล่าว28. An optical device pursuant to claim 26 where such first form is arranged near the focal point of the lens for projection by such first lens, and such second form is arranged near the focal point of the lens for projection by such second lens.
29. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวได้รับ การส่องสว่างโดยแหล่งกำเนิดแสงแต่ละแหล่งที่แตกต่างกัน29. An optical device pursuant to claim 26 in which the first and second forms are illuminated by different individual light sources.
30. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่ง ดังกล่าวและเลนส์เพื่อการฉายแสงเลนส์ที่สองดังกล่าวได้รับการจัดวางไว้ใกล้กันในทิศทางที่ขนาน กันกับจอ30. An optical instrument pursuant to claim 29 in which the first projection lens and the second projection lens are positioned close together in a direction parallel to the screen.
31. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ที่ซึ่งรูปแบบที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว รูปแบบ หนึ่งโดยตนเองแล้วเป็นแหล่งกำเนิดแสงที่มีรูปแบบ และรูปแบบอื่นได้รับการส่องสว่างโดยแหล่ง กำเนิดแสงที่มีรูปแบบดังกล่าว31. An optical instrument pursuant to claim 26 in which the first and second forms, one form by itself being a light source of the form and the other form being illuminated by such light source of the form.
32. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 31 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สอง ดังกล่าวมีช่องที่ซึ่งลำแสงจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าจะเดินทางผ่านอยู่ในบริเวณ ใกล้กับแกนเชิงแสงของเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าว และที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วย แสงเลนส์ที่หนึ่งดังกล่าวและเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สองดังกล่าวได้รับการจัดวางไว้อย่าง เรียงเคียงกันในทิศทางที่ตั้งฉากกันกับจอ32. An optical device pursuant to claim 31 in which the second projection lens has an opening through which the beam of light from the first illumination pattern travels near the optical axis of the first projection lens, and in which the first and second projection lenses are arranged side-by-side in a direction perpendicular to the screen.
33. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ถึง 32 ข้อใดข้อหนึ่ง ประกอบรวมต่อไปอีก ด้วยวิถีทางสำหรับการหักเหแสงจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเป็นบางส่วน33. Any of the optical instruments under claims 26 through 32 shall be further incorporated with a means for partially refracting the first illumination form.
34. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 26 ถึง 32 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งการตรวจวัดในการ ปรับโฟกัสสำหรับส่วนกึ่งกลางดังกล่าวเป็นการตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสใน ทิศทางที่หนึ่งระหว่างภาพสองภาพ, การตรวจวัดในการปรับโฟกัสสำหรับส่วนรอบนอกดังกล่าวเป็น การตรวจวัดหนึ่งสำหรับการตรวจวัดความต่างเฟสในทิศทางที่สองที่ตั้งฉากกับทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว ระหว่างภาพสองภาพ, การแจกแจงความเข้มของแสงของรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าว เป็นรูปแบบเป็นแถบที่ยื่นไปในทิศทางที่สองดังกล่าว, และการแจกแจงความเข้มของแสงของรูปแบบ แสงการส่องสว่างที่สองดังกล่าวและรูปแบบแสงการส่องสว่างที่สามดังกล่าวเป็นรูปแบบเป็นแถบที่ ยื่นไปในทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว34. An optical instrument pursuant to claims 26 to 32 where the focusing measurement for the center is one measurement for the phase difference in the first direction between two images; the focusing measurement for the periphery is one measurement for the phase difference in a second direction perpendicular to the first direction between two images; the intensity distribution of the first illumination pattern is a band extending in the second direction; and the intensity distribution of the second and third illumination patterns is a band extending in the first direction.
35. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ที่ซึ่งเลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงเลนส์ที่สอง ดังกล่าวมีเลนส์ที่มีกำลังการหักเหในทิศทางที่สองดังกล่าวมากกว่าในทิศทางที่หนึ่งดังกล่าว35. An optical instrument pursuant to claim 34 in which the second projecting lens has a refractive power in the second direction greater than in the first direction.
36. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ที่ซึ่งคู่ของส่วนรอบนอกดังกล่าวอยู่ทางด้าน ซ้ายมือและด้านขวามือของส่วนกึ่งกลางดังกล่าว36. An optical assembly pursuant to claim 34, in which a pair of such outer parts are located to the left and right of such center part.
37. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 36 ที่ซึ่งทิศทางที่หนึ่งดังกล่าวเป็นทิศทางตามแนว ระดับ และทิศทางที่สองดังกล่าวเป็นทิศทางตามแนวดิ่ง37. An optical instrument pursuant to claim 36 where the first direction is horizontal and the second direction is vertical.
38. เครื่องสำเร็จเชิงแสงตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ประกอบรวมต่อไปอีกด้วยอุปกรณ์สำหรับการ หักเหแสงจากรูปแบบแสงการส่องสว่างที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเป็นบางส่วน38. The optical instrument pursuant to claim 34 is further incorporated with a device for partially refracting the first illuminating pattern.
39. ระบบเพื่อการฉายด้วยแสงสำหรับการส่องสว่างจอสำหรับการตรวจวัดในการปรับโฟกัส โดยระบบดังกล่าวประกอบรวมด้วย ส่วนรูปแบบสำหรับการก่อรูปแสงการส่องสว่างสำหรับการส่องสว่างจอ เลนส์เพื่อการฉายด้วยแสงสำหรับการฉายส่วนรูปแบบด้วยแสงลงบนจอและ ชิ้นประกอบเพื่อการหักเหที่มีส่วนปริซึมสำหรับการแยกและหักเหส่วนหนึ่งของแสงการ ส่องสว่าง39. A light projection system for illuminating the screen for measurement purposes, comprising a light-forming component for screen illumination, a projection lens for projecting the light-forming component onto the screen, and a refraction component with a prism for separating and refracting a portion of the light.