TH166348A - เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาและชุดประกอบและวิธีการสำหรับดำเนินงาน กระบวนการพลาสมา - Google Patents
เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาและชุดประกอบและวิธีการสำหรับดำเนินงาน กระบวนการพลาสมาInfo
- Publication number
- TH166348A TH166348A TH1601001705A TH1601001705A TH166348A TH 166348 A TH166348 A TH 166348A TH 1601001705 A TH1601001705 A TH 1601001705A TH 1601001705 A TH1601001705 A TH 1601001705A TH 166348 A TH166348 A TH 166348A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- carrier
- vacuum chamber
- assembled
- Prior art date
Links
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 title claims abstract 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 36
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 4
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims abstract 2
Abstract
แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 17/06/2559 เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมา (100) ที่ประกอบรวมด้วย โถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) ในโถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่สอง (8) ในโถงสุญญากาศ (30) ซึ่งอยู่ ตรงข้ามกับอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) และถูกเว้นห่างจากอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2); แหล่งพลังงาน (33) ซึ่ง ถูกเชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับหนึ่งในอิเล็กโทรดที่หนึ่งหรือสอง; พาหะของซับสเตรต (substratecarrier) (13) ที่ประกอบรวมด้วยวัสดุนำไฟฟ้า, พาหะของซับสเตรต (13) ที่ถูกวางโครงแบบให้อยู่ในการ เชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับอิเล็กโทรดที่สอง (8) และเพื่อจับซับสเตรต (11) ในลักษณะที่ว่า อย่างน้อย ที่สุดแล้วส่วนใหญ่ของพื้นผิวด้านบนและด้านล่างของซับสเตรตไม่แตะต้องกับส่วนใดก็ตามของ เครื่องปฏิกรณ์พลาสมา และสามารถถูกเผยสัมผัสต่อพลาสมาได้; โดยที่เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์ (100) ยังประกอบรวมอีกด้วย อิเล็กโทรดที่สาม (16) ซึ่งถูกประกอบรวมอยู่ระหว่างพาหะของซับส เตรต (13) และอิเล็กโทรดที่สอง (8)โดยที่อิเล็กโทรดที่สาม (16) ถูกทำให้เป็นฉนวนไฟฟ้าจาก อิเล็กโทรดที่สอง (8) ดังกล่าว; และโดยที่อิเล็กโทรดที่สาม (16) และพาหะของซับสเตรต(13) ถูก จัดเรียงในลักษณะที่ว่า เมื่อพาหะของซับสเตรต (13) จับซับสเตรต (11) แล้วช่องว่างของระยะห่าง ที่หนึ่ง (12) จะถูกประกอบรวมอยู่ระหว่าง ซับสเตรต (11) และอิเล็กโทรดที่สาม (16) สิ่งที่ยังถูกจัด ให้มีอีกคือ ชุดประกอบและวิธีการที่สอดคล้อง สำหรับการดำเนินงานกระบวนการพลาสมา (รูปที่ 3) --------------------------------------------------------------------------- เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมา (100) ที่ประกอบรวมด้วย โถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) ในโถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่สอง (8) ในโถงสุญญากาศ (30) ซึ่ง อยู่ตรงข้ามกับอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) และถูกเว้นห่างจากอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2); แหล่งพลังงาน (33) ซึ่งถูกเชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับหนึ่งในอิเล็กโทรดที่หนึ่งหรือสอง; พาหะของซับสเตรต (substrate carrier) (13) ที่ประกอบรวมด้วยวัสดุนำไฟฟ้า, พาหะของซับสเตรต (13) ที่ถูกวางโครงแบบให้อยู่ ในการเชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับอิเล็กโทรดที่สอง (8) และเพื่อจับซับสเตรต (11) ในลักษณะที่ว่า อย่าง น้อยที่สุดแล้วส่วนใหญ่ของพื้นผิวด้านบนและด้านล่างของซับสเตรตไม่แตะต้องกับส่วนใดก็ตาม ของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมา และสามารถถูกเผยสัมผัสต่อพลาสมาได้; โดยที่เวสเซลของ เครื่องปฏิกรณ์ (100) ยังประกอบรวมอีกด้วย อิเล็กโทรดที่สาม (16) ซึ่งถูกประกอบรวมอยู่ระหว่าง พาหะของซับสเตรต (13) และอิเล็กโทรดที่สอง (8)โดยที่อิเล็กโทรดที่สาม (16) ถูกทำให้ เป็นฉนวนไฟฟ้าจากอิเล็กโทรดที่สอง (8) ดังกล่าว; และโดยที่อิเล็กโทรดที่สาม (16) และพาหะ ของซับสเตรต(13) ถูกจัดเรียงในลักษณะที่ว่า เมื่อพาหะของซับสเตรต (13) จับซับสเตรต (11) แล้ว ช่องว่างของระยะห่างที่หนึ่ง (12) จะถูกประกอบรวมอยู่ระหว่าง ซับสเตรต (11) และอิเล็กโทรด ที่สาม (16) สิ่งที่ยังถูกจัดให้มีอีกคือ ชุดประกอบและวิธีการที่สอดคล้อง สำหรับการดำเนินงาน กระบวนการพลาสมา (รูปที่ 3)
Claims (1)
1. เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมา (100) ที่ประกอบรวมด้วย โถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) ในโถงสุญญากาศ (30); อิเล็กโทรดที่สอง (8) ในโถงสุญญากาศ (30) ซึ่งอยู่ตรงข้ามกับอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2) และถูกเว้นห่างจางอิเล็กโทรดที่หนึ่ง (2); วิถีทาง (99) สำหรับการจัดให้มีแก๊สจากกระบวนการที่ไวต่อปฏิกิริยา (reactive processgases) ในโถงสแท็ก :
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH1601001705B TH1601001705B (th) | 2017-08-24 |
TH166348B TH166348B (th) | 2017-08-24 |
TH166348A true TH166348A (th) | 2017-08-24 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AR092432A1 (es) | Panel con un elemento de conexion electrica | |
AR092433A1 (es) | Panel con un elemento de conexion electrica | |
EA201391660A1 (ru) | Стеклянный лист с элементом для электрического соединения | |
EA201200147A1 (ru) | Электрически обогреваемый на большой площади поверхности прозрачный объект, способ его изготовления и применение | |
MX2016013706A (es) | Cristal con una superficie de conmutacion iluminada y una funcion de calentamiento. | |
EA201692178A1 (ru) | Электрический соединительный элемент для контактирования электропроводной структуры на подложке | |
EP2953431A1 (en) | Plasma generator | |
EA201390361A1 (ru) | Прозрачное стекло с нагреваемым покрытием | |
TR201901068T4 (tr) | Bir dielektrik bariyer plazma deşarjı oluşması için elektrot düzenlemesi. | |
EP2897286A3 (en) | Solar cell module having an integral inverter | |
EA201791338A1 (ru) | Стекло, имеющее электрический подключающий элемент и гибкий подключающий кабель | |
EA201791330A1 (ru) | Прозрачное стекло с электронагревательным слоем и способ его получения | |
ATE497628T1 (de) | VERSCHLIEßEN VON BEHÄLTERN MITTELS MEHRFACHROHRBEARBEITUNGSSPULE | |
RU2015140801A (ru) | Простой светодиодный модуль, пригодный для емкостного возбуждения | |
EA201991571A1 (ru) | Внутрискважинная связь | |
TR201906395T4 (tr) | Elektrikli yapı ünitesi, en az bir elektrikli yapı ünitesine sahip bağlantı ünitesi, buna sahip motorlu araç ve bir elektrikli yapı ünitesinin üretilmesine yönelik yöntem. | |
GB201110054D0 (en) | Solid electrolytic capacitor assembly with multiple cathode terminations | |
EA201991572A1 (ru) | Внутрискважинный сбор энергии | |
WO2016059171A3 (de) | Optoelektronische baugruppe und verfahren zum herstellen einer optoelektronischen baugruppe | |
TH166348A (th) | เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาและชุดประกอบและวิธีการสำหรับดำเนินงาน กระบวนการพลาสมา | |
TWM476988U (en) | Touch panel | |
TH166348B (th) | เวสเซลของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาและชุดประกอบและวิธีการสำหรับดำเนินงาน กระบวนการพลาสมา | |
MY178798A (en) | Plasma reactor vessel and assembly, and a method of performing plasma processing | |
MX2015009456A (es) | Celda de enfriamiento de gas. | |
WO2013000580A3 (de) | Vorrichtung und verfahren zur herstellung von wasserstoff mit hohem wirkungsgrad und dessen verwendungen |