TH160725B - เป้าหมายในการพ่นที่มีความเข้ากันได้ของพลังงานเพิ่มขึ้น - Google Patents
เป้าหมายในการพ่นที่มีความเข้ากันได้ของพลังงานเพิ่มขึ้นInfo
- Publication number
- TH160725B TH160725B TH1501006184A TH1501006184A TH160725B TH 160725 B TH160725 B TH 160725B TH 1501006184 A TH1501006184 A TH 1501006184A TH 1501006184 A TH1501006184 A TH 1501006184A TH 160725 B TH160725 B TH 160725B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- target
- plate
- sheet
- spraying
- holder
- Prior art date
Links
- 238000005507 spraying Methods 0.000 title 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 230000005591 charge neutralization Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 claims 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 abstract 1
Abstract
การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับระบบการทำให้แผ่นอยู่ตรงกลางที่มีแผ่นพร้อมด้วยที่ยึด, ในที่ซึ่งแผ่นถูกทำให้ อยู่ตรงกลางทั้งที่อุณหภูมิห้องและที่อุณหภูมิสูงขึ้น, อย่างอิสระจากการขยายตัวทางความร้อนของแผ่นและที่ยึด และแผ่นสามารถขยายตัวอย่างอิสระในที่ยึดที่อุณหภูมิสูงขึ้น การประดิษฐเกี่ยวข้องโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับ เป้าหมายที่มีสิ่งที่ใช้ติดตั้งเป้าหมายที่มีรูปร่างเป็นกรอบ ซึ่งเหมาะอย่างดีมากสำหรับการใช้ในแหล่งเคลือบ สำหรับการพ่นแบบแมกนีตรอนที่มีพัลส์กำลังสูงของเป้าหมาย
Claims (1)
1. แหล่งเคลือบที่เป็นสิ่งจัดหาวัสดุให้สำหรับการเคลือบ PVD, ที่รวมถึง (a) แผ่นที่ถูกรองรับในที่ยึด, ที่มีส่วนหน้าของแผ่น,ส่วนหลังของแผ่น,และเครื่องมือทำให้อยู่ตรงกลาง ส่วนหน้าของแผ่นถูกจัดให้มีสำหรับการเปลี่ยนวัสดุเคลือบจากพื้นผิวไปเป็นแก๊สระหว่างกระบวนการ PVD และเครื่องมือทำให้อยู่ตรงกลางถูกรวมเข้าด้วยกันเพื่อว่าการทำให้อยู่ตรงกลางเป็นที่เชื่อมันที่อุณหภูมิ แผ่นที่แตกต่างกัน (b) อุปกรณ์ทำความเย็นที่ถูกจัดให้มีบนส่วนหลังของแผ่นและถูกติดตั้งกับแผ่นทำความเย็นที่ปิ
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH1501006184B TH1501006184B (th) | 2017-03-09 |
| TH160725A TH160725A (th) | 2017-03-09 |
| TH160725B true TH160725B (th) | 2017-03-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2018000112A (es) | Sistema para reducir la temperatura del aire de entrada de un dispositivo. | |
| ES2528005T3 (es) | Horno dental de cocción o de prensado | |
| WO2015197852A3 (en) | Apparatus for heating or cooling a material contained therein | |
| WO2015108547A3 (en) | Generating three-dimensional objects | |
| WO2015136299A3 (en) | A method of forming parts from sheet metal alloy | |
| CA3019927A1 (en) | Microwave tempering of glass substrates | |
| MY193979A (en) | Deposition apparatus and physical vapor deposition chamber | |
| EP3561412A4 (en) | DISTRIBUTOR, HEAT EXCHANGER AND REFRIGERATION CYCLE DEVICE | |
| EP3611444A4 (en) | DISTRIBUTOR, HEAT EXCHANGER AND COOLING CYCLE DEVICE | |
| WO2017012988A3 (de) | Pumpensystem | |
| MX350171B (es) | Blanco de pulverizacion catodica que resiste mejor la potencia. | |
| IL264150A (en) | Metal-ceramic coating for heat exchanger tubes of a central solar receiver and methods of preparing the same | |
| EP3467405A4 (en) | HEAT EXCHANGE UNIT AND REFRIGERANT CYCLE DEVICE | |
| TWD188699S (zh) | 垂直式加熱模組 | |
| EP3549489C0 (de) | Raumzelle zum kühlen oder wärmen von waren | |
| EP3517855A4 (en) | HEAT EXCHANGER AND COOLING CYCLE DEVICE | |
| WO2015129234A3 (en) | Insert for heat exchanger and heat exchanger having the same | |
| TH160725B (th) | เป้าหมายในการพ่นที่มีความเข้ากันได้ของพลังงานเพิ่มขึ้น | |
| TH160725A (th) | เป้าหมายในการพ่นที่มีความเข้ากันได้ของพลังงานเพิ่มขึ้น | |
| EP3578913A4 (en) | HEAT EXCHANGER AND REFRIGERATION CYCLE APPARATUS | |
| SI3290822T1 (sl) | Ploščni toplotni izmenjevalnik za solarno ogrevanje | |
| EP3809085A4 (en) | HEAT EXCHANGER, HEAT EXCHANGER UNIT AND REFRIGERATION CIRCUIT DEVICE | |
| EP3822570A4 (en) | HEAT EXCHANGER, HEAT EXCHANGER UNIT AND REFRIGERATION CIRCUIT DEVICE | |
| EP3809086A4 (en) | HEAT EXCHANGER, HEAT EXCHANGER UNIT AND REFRIGERATION CYCLE DEVICE | |
| EP3423764A4 (en) | HEATING AND COOLING SYSTEM AND HEAT EXCHANGER FOR THIS |