TH15414A - เครื่องสำเร็จสำหรับเคลือบผิว, วิธีของการเคลือบ?ผิวแก้ว, สารประกอบและสารผสมสำหรับ เคลือบผิวแก้ว?และซับสเตรทแก้วที่เคลือบผิวแล้ว - Google Patents

Abstract

เครื่องสำเร็จสำหรับการเคลือบผิวริบบิ้นแก้วมีช่องดูดออกหมด อยู่บนด้านแต่ละด้านของหน่วยเคลือบผิวที่ระยะทางแตกต่างจากหน่วยนี้ โดยการจัด รูปแบบนี้ทำให้ส่วนของริบบิ้นต้นทางและปลายทางของหน่วยเคลือบผิวนี้เปิดเผยต่อ ไอของผิวเคลือบจากหน่วยเคลือบผิวเป็นระยะเวลาที่แตกต่างกัน สารผสมของผิว เคลือบรวมทั้งพรีเคอร์เซอร์ที่มีดีบุกอยู่ด้วยและพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วย พรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยนี้มีสูตรโครงสร้างดังนี้ (สูตรเคมี) ซึ่ง R1 เป็นหมู่ซึ่งไม่มีออกซิเจนที่ใช้ได้สำหรับประกอบเป็นเปอร์ออกไซด์, R2 เป็นหมู่ฟังก์ชันที่ให้พรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยนี้มีความสามารถถูกเปลี่ยนไป เป็นผิวเคลือบชนิดซิลิคอนออกไซด์ได้ง่าย, R3 เป็นหมู่เชื่อมต่อเพื่อให้ไว้สำหรับ ซิลิคอนหลายอะตอม และ R4 ทำให้การเกิดพันธะบนอะตอมซิลิคอนพื้นฐานได้สมบูรณ์ สารเร่งตัวอย่างเช่น พรีเคอร์เซอร์ที่มีฟอสฟอรัสอยู่ด้วยอาจจะนำมาใช้ร่วมกับ พรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วยเพื่อเพิ่มอัตราเร็วของการตกสะสมของผิวเคลือบนี้ ผิวเคลือบที่ตกสะสมบนแก้วนี้มีบริเวณต่างๆที่มีเปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักของซิลิคอน ออกไซด์และดีบุกออกไซด์แปรผันไปอย่างต่อเนื่องเมื่อระยะทางจากระหว่างหน้า ของแก้ว-ผิวเคลือบเพิ่มขึ้นโดยที่มีพื้นผิวของผิวเคลือบที่อยู่ไกลสุดจากระหว่างหน้า ของแก้ว-ผิวเคลือบนี้เป็นดีบุกออกไซด์โดยส่วนใหญ่ บริเวณต่างๆภายในผิวเคลือบ นี้ให้ผิวเคลือบที่มีดรรชนีของการหักเหแตกต่างกันเพื่อกำจัดอิริเดสเซนซ์ที่เป็นผล จากความหนาของดีบุกออกไซด์ที่เพิ่มขึ้นที่พื้นผิวของผิวเคลือบด้านนอกและให้สิ่ง ของที่เป็นแก้วซึ่งเคลือบผิวแล้วมีสีเป็นกลาง เมื่อใช้ฟอสฟอรัสเป็นสารเร่งทำให้ เปอร์เซ็นต์ของสภาพการเป็นผลึกลดลงและเข้าใกล้ 0 ซึ่งโดยวิธีนี้เป็นการลดหรือ กำจัดความมัวทึบของผิวเคลือบนี้

Claims (89)

1. วิธีเคลือบผิวซับสเตรทเคลื่อนที่เพื่อให้ได้ผิวเคลือบซึ่งมีสารผสมเคมีแปรผันไปอย่าง ต่อเนื่องขณะที่มีระยะทางจากซับสเตรทนี้เพิ่มขึ้น, ซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นต่าง ๆ ดังนี้ การนำไอสารผสมของผิวเคลือบสัมผัสไปบนพื้นผิวของซับสเตรทนี้ที่ตำแหน่งที่หนึ่ง หลังจากนี้ทำให้ไอสารผสมของผิวเคลือบส่วนที่หนึ่งเคลื่อนที่ไปตามบริเวณที่หนึ่งของพื้นผิวของ ซับสเตรทนี้ในทิศทางที่หนึ่งและทำให้ไอสารผสมของผิวเคลือบส่วนที่สองเคลื่อนที่ไปตามบริเวณ ที่สองของพื้นผิวของซับสเตรทในทิศทางที่สองซึ่งตรงข้ามกับทิศทางที่หนึ่ง และ รักษาส่วนที่หนึ่งของสารผสมของผิวเคลือบบนบริเวณที่หนึ่งของพื้นผิวของซับสเตรทนี้ไว้เป็น ระยะเวลานานกว่าส่วนที่สองของไอสารผสมของผิวเคลือบบนบริเวณที่สองของพื้นผิวของ ซับสเตรทนี้เพื่อเคลือบผิวซับสเตรทนี้ด้วยผิวเคลือบซึ่งมีสารผสมเคมีแปรผันไปอย่างต่อเนื่องขณะ ที่มีระยะทางจากซับสเตรทนี้เพิ่มขึ้น

2. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งไอสารผสมของผิวเคลือบนี้มีพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วย อย่างน้อย 2 ชนิด

3. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งซับสเตรทคือซับสเตรทแก้วและทิศทางที่หนึ่งที่กล่าวแล้ว คือทิศทางที่ขนานกับทิศทางซึ่งซับสเตรทนี้กำลังเคลื่อนที่ไปเป็นส่วนใหญ่

4. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 3 ซึ่งหนึ่งในพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วย มีโลหะหนึ่งที่เลือก จากกลุ่มที่ประกอบด้วย ดีบุก, ไทเทเนียม, ทังสเตน และพลวง

5. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งประกอบไปด้วยการทำขั้นตอนการนำสัมผัสที่กล่าวแล้วที่ ตำแหน่งที่สองห่างจากและอยู่บนด้านหนึ่งของตำแหน่งที่หนึ่งนี้และตำแหน่งที่สามที่ห่างจากตำแหน่ง ที่หนึ่งและที่สองนี้ในลักษณะที่ตำแหน่งที่สองนี้อยู่ระหว่างตำแหน่งที่หนึ่งและที่สามรวมเข้าไว้ด้วย ต่อไปอีก

6. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งเคลือบผิวซับสเตรทนี้ในห้องซึ่งมีบรรยากาศที่ไม่ออกซิไดส์ และมีการให้ม่านของแก๊สเฉื่อยรวมไว้ด้วยต่อไปอีกเพื่อป้องกันบรรยากาศที่ไม่ออกซิไดส์นี้ไม่ให้ เคลื่อนที่ไปสู่ตำแหน่งนั้น ๆ โดยที่ม่านของแก๊สเฉื่อยและตำแหน่งที่อยู่ระหว่างกันนี้กำหนดขอบเขต ของบริเวณการเคลือบผิว

7. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งห้องที่กล่าวแล้วมีอ่างของโลหะหลอมเหลวที่ออกซิไดซ์ได้ อยู่ด้วยและซับสเตรทนี้คือริบบิ้นแก้วที่รองรับโลหะหลอมเหลวและเลื่อนผ่านไปทางห้องตาม ตำแหน่งของการเคลือบผิว

8. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งปฏิบัติขั้นการรักษาที่กล่าวแล้วให้สำเร็จโดยให้เครื่องมือ ดูดออกหมดบนด้านแต่ละด้านของตำแหน่งที่หนึ่งที่กล่าวแล้ว ซึ่งเครื่องมือดูดออกหมด 1 ครื่อง อยู่ห่างจากตำแหน่งที่หนึ่ง เป็นระยะทาง "X" และเครื่องมือดูดออกหมดอีกเครื่องหนึ่งอยู่ห่าง จากตำแหน่งที่หนึ่งที่กล่าวแล้วเป็นระยะทาง "y" และนอกจากนี้อัตราส่วนของ x/y มากกว่า 1

9. วิธีตามที่บรรยายไว้ในข้อถือสิทธิข้อ1 ซึ่งซับสเตรทเป็นซับสเตรทแก้วและสารผสม ของผิวเคลือบนี้มีพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยอย่างน้อย 1 ชนิด ซึ่งมีพันธะของซิลิคอนกับ ออกซิเจนอยู่ด้วยอย่างน้อย 1 พันธะ

10. วิธีตามที่บรรยายไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งขั้นการนำสัมผัสที่กล่าวแล้วประกอบด้วย การผสมพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยนี้ให้เข้ากับสารเร่งเพื่อเพิ่มอัตราของการตกสะสมของ ผิวเคลือบของซิลิคอนออกไซด์ในซับสเตรทแก้ว

11. วิธีที่บรรยายไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งไอสารผสมของผิวเคลือบนี้มีพรีเคอร์เซอร์ ที่มีโลหะอยู่ด้วยอย่างน้อย 1 ชนิดและพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยอย่างน้อย 1 ชนิด

12. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 4 ซึ่งพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วย 1 ชนิดนี้มีดีบุกอยู่ด้วย

13. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยการปฏิบัติขั้นการนำสัมผัสที่กล่าว แล้วที่ตำแหน่งที่สองซึ่งห่างจากตำแหน่งที่หนึ่ง

14. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยขั้นของการระบายไอออกไปหมด จากทั้งสองด้านของตำแหน่งที่หนึ่งและที่สาม

15. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 8 ซึ่งมีอัตราส่วนของ x/y เป็นอัตราส่วนมากกว่าประมาณ 1.2

16. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 15 ซึ่งมีอัตราส่วนของ x/y เป็นอัตราส่วนจากประมาณ 1.2 ถึงประมาณ 50

17. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ16 ซึ่งมีอัตราส่วนของ x/y เป็นอัตราส่วนจากประมาณ 1.5 ถึง 30

18. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 5 นี้ ซึ่งซับสเตรทเป็นริบบิ้นแก้วซึ่งถูกเคลือบผิวในห้อง ซึ่งมีบรรยากาศที่รีดิวซ์และถูกรองรับไว้บนบ่อโลหะหลอมเหลวที่ออกซิไดส์ได้

19. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 5 ซึ่งซับสเตรทนี้เป็นริบบิ้นแก้ว และประกอบรวมต่อไปด้วย ขั้นของการตกสะสมชั้นโลหะออกไซด์เดี่ยวบนผิวเคลือบซึ่งมีสารผสมเคมีที่แปรผันไปอย่างต่อ เนื่อง

20. วิธีของข้อถือสิทธิข้อ 19 ซึ่งชั้นโลหะออกไซด์เดี่ยวในนี้คือดีบุก ออกไซด์ และ ผิวเคลือบนี้มีสารผสมเคมีที่แปรผันไปอย่างต่อเนื่องนี้ประกอบรวมด้วยดีบุกออกไซด์และซิลิคอน ออกไซด์

21. ซับสเตรทโปร่งใส ซึ่งมีผิวเคลือบชนิดอสัณฐานอยู่บนซับสเตรทนี้ซึ่งประกอบด้วย โลหะออกไซด์ผสม 1 ชนิดหรือมากกว่านี้และมีธาตุอยู่ด้วยจนถึง 15 เปอร์เซ็นต์อะตอมที่ กระจายตัวอยู่โดยตลอด ซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยฟอสฟอรัส, อะลูมิเนียม และโบรอน ซึ่งตัวโลหะออกไซด์ผสมในนี้ไม่มีฟอสฟอรัส, อะลูมิเนียม และโบรอน รวมอยู่ด้วย

22. ซับสเตรทโปร่งใสซึ่งมีผิวเคลือบชนิดอสัณฐานอยู่บนซับสเตรทนี้ ซึ่งประกอบด้วย โลหะออกไซด์ผสมพร้อมกับมีบริเวณต่าง ๆ ในผิวเคลือบที่มีโลหะออกไซด์อยู่ในอัตราส่วนที่แปรผัน ไปอย่างต่อเนื่องโดยที่ไม่มีชั้นของโลหะออกไซด์ที่มีอัตราส่วนตายตัวโดยส่วนใหญ่อยู่ด้วยและมี ธาตุจนถึง 15 เปอร์เซ็นต์อะตอมกระจายตัวอยู่โดยตลอด ซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย ฟอสฟอรัส, อะลูมิเนียม และโบรอน

23. ซับสเตรทของข้อถือสิทธิที่ 22 ซึ่งซับสเตรทคือแก้วโลหะออกไซด์ผสมคือซิลิคอน ออกไซด์ และดีบุกออกไซด์ โดยมีซิลิคอนออกไซด์ 70-100% โดยน้ำหนักที่ส่วนเชื่อมต่อของแก้ว กับผิวเคลือบและมีดีบุกออกไซด์นี้ 70-100% โดยน้ำหนักที่พื้นผิวของผิวเคลือบตรงข้ามและธาตุ ที่อยู่โดยตลอดคือฟอสฟอรัส

24. สิ่งของตามข้อถือสิทธิข้อ 23 ซึ่งมีฟอสฟอรัส 1 ถึง 12 เปอร์เซ็นต์อะตอมกระจาย ตัวอยู่ในผิวเคลือบนี้

25. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 21 ซึ่งเลือกโลหะออกไซด์ที่กล่าวแล้วจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยออกไซด์ของซิลิคอน, ดีบุก, ไทเทเนียม, ทังสเตน, พลวง และสารผสมของ ออกไซด์เหล่านี้

26. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ซึ่งธาตุที่กระจายตัวอยู่โดยตลอดผิวเคลือบ นี้คือฟอสฟอรัส

27. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ซึ่งธาตุนี้คือ อะลูมิเนียม

28. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ซึ่งธาตุนี้คือ โบรอน

29. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ซึ่งเลือกโลหะออกไซด์นี้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วยออกไซด์ของซิลิคอน, ดีบุก และสารผสมของออกไซด์เหล่านี้

30. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งธาตุที่กระจายตัวตลอดผิวเคลือบในนี้ คือ ฟอสฟอรัส

31. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งธาตุในนี้คือ อะลูมิเนียม

32. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งธาตุในนี้คือ โบรอน

33. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 22 ซึ่งเลือกโลหะออกไซด์ผสมในนี้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยออกไซด์ของซิลิคอน, ดีบุก, ไทเทเนียม, ทังสเตนและพลวง

34. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 33 ซึ่งโลหะออกไซด์ผสมในนี้คือออกไซด์ของ ซิลิคอน และดีบุก

35. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ซึ่งธาตุที่กระจายตัวอยู่ตลอดผิวเคลือบนี้ คือฟอสฟอรัส

36. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ซึ่งธาตุในนี้คือ อะลูมิเนียม

37. ซับสเตรทโปร่งใสตามข้อถือสิทธิข้อ 34 ซึ่งธาตุในนี้คือ โบรอน

38. เครื่องมือเคลือบผิว ซึ่งประกอบรวมด้วยเครื่องมือสำหรับการนำไอสัมผัสที่พื้น ผิวแก้ว; เครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งซึ่งอยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอสัมผัสที่กล่าวแล้วบนด้านหนึ่ง ของเครื่องมือนี้, เครื่องมือดูดออกหมดที่สองซึ่งอยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอสัมผัสที่กล่าวแล้ว บนอีกด้านหนึ่งของเครื่องมือนี้และอยู่ในแนวทางเดียวกันกับเครื่องมือนำไอสัมผัสที่กล่าวแล้ว และเครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งที่กล่าวแล้วและเครื่องมือสำหรับวางตำแหน่งเครื่องมือดูดออก หมดเครื่องที่หนึ่งและที่สองและเครื่องมือการนำสัมผัสที่กล่าวแล้วซึ่งสัมพัทธ์ซึ่งกันในลักษณะที่ นิยามระยะทางระหว่างเครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งที่กล่าวแล้วและเครื่องมือนำไอตรงไปที่ กล่าวแล้วเป็น "x" และนิยามระยะทางระหว่างเครื่องมือดูดออกหมดที่สองและเครื่องมือนำ ไอตรงไปที่กล่าวแล้วเป็น "y" ซึ่งค่าของ "x" และ "Y" ในนี้เป็นค่าที่แตกต่างกัน

39. เครื่องมือเคลือบผิวของข้อถือสิทธิข้อ 38 ซึ่งอัตราส่วนของ x/y ในนี้อยู่ในช่วง ประมาณ 1.2 ถึงประมาณ 50

40. เครื่องมือเคลือบผิวซึ่งประกอบรวมด้วย เครื่องมือซึ่งรวมทั้งหัวฉีดสำหรับการนำไอ ตรงไปที่ซับสเตรทซึ่งหัวฉีดในนี้มีช่องเปิด 1 ช่อง เครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งซึ่งมีช่องเปิด 1 ช่อง ที่อยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วบนอีกด้านหนึ่งของเครื่องมือนี้ เครื่องมือ ดูดออกหมดที่สองซึ่งมีช่องเปิด 1 ช่องที่อยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วบนอีก ด้านหนึ่งของเครื่องมือนี้ และอยู่ในแนวทางเดียวกันกับเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วและ เครื่องมือสำหรับวางตำแหน่งเครื่องมือดูดออกหมดเครื่องที่หนึ่งและที่สองที่กล่าวมาแล้ว และ เครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วสัมพัทธ์กับพื้นผิวของซับสเตรทในลักษณะที่พิ้นผิวของช่องเปิด ที่กล่าวแล้วของเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วและช่องเปิดที่กล่าวแล้วของเครื่องมือดูดออก หมดที่หนึ่งที่กล่าวแล้วอยู่ที่ระยะทางห่างกัน แตกต่างจากระยะทางห่างกันระหว่างช่องเปิดของ เครื่องมือดูดออกหมดที่สองที่กล่าวแล้วและซับสเตรทนี้

41. เครื่องมือเคลือบผิวซึ่งประกอบรวมด้วยเครื่องมือสำหรับการนำไอตรงไปที่ซับสเตรท เครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งซึ่งอยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วบนด้านหนึ่งของ เครื่องมือนี้, เครื่องมือดูดออกหมดที่สองซึ่งอยู่ห่างจากเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วบน อีกด้านหนึ่งของเครื่องมือนี้และอยู่ในแนวทางเดียวกันกับเครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วและ เครื่องมือดูดออกหมดที่หนึ่งที่กล่าวแล้ว และเครื่องมือสำหรับควบคุมความจุปริมาตรการไหลของ เครื่องมือนำไอตรงไปที่กล่าวแล้วและเครื่องมือการดูดออกหมดเครื่องที่หนึ่งและที่สองใน ลักษณะที่ให้ความจุปริมาตรการไหลของเครื่องมือนำไอตรงที่กล่าวแล้วแตกต่างจากความจุ ปริมาตรการไหลของเครื่องมือดูดออกหมดที่กล่าวแล้วอย่างน้อย 1 เครื่อง

42. สารผสมของผิวเคลือบสำหรับการตกสะสมไอผิวเคลือบบนซับสเตรท ซึ่งผิวเคลือบ นี้รวมทั้งชั้นของออกไซด์ผสมของซิลิคอนและโลหะซึ่งมีอัตราส่วนต่อกันและกันที่กำหนดไว้ล่วงหน้า สารผสมของผิวเคลือบที่ประกอบรวมด้วยพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วย ซึ่งสามารถถูกเปลี่ยน ไปเป็นซิลิคอนออกไซด์ และพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วย ซึ่งสามารถถูกเปลี่ยนไปเป็นโลหะ ออกไซด์ ซึ่งมีอัตราส่วนโมลของพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วยต่อพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วย อยู่ภายในช่อง 0.001 ถึง 50,000 และนิยามพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยนี้โดยสูตรโครง สร้างดังนี้ (สูตรเคมี) ซึ่ง R1 เป็นหมู่ซึ่งไม่มีออกซิเจนที่ใช้ประกอบพันธะ เปอร์ออกไซด์, R2 เป็นหมู่ฟังก์ชันซึ่งให้ พรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยนี้มีความสามารถถูกเปลี่ยนไปเป็นผิวเคลื่อบชนิดซิลิคอนออกไซด์ ได้ง่าย, R3 เป็นหมู่เชื่อมประสานเพื่อทำให้เป็นโมเลกุลที่มี ซิลิคอนหลายอะตอม และ R4 เป็นหมู่ที่ทำให้โครงสร้างมีพันธะครบสมบูรณ์ ซึ่ง R1 ในนี้เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยแอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 10 อะตอม แอลคีนิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม, แอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม และแอริลหรือ แอแรลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอลแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 6 ถึง 11 อะตอม, R2 ประกอบด้วย ไฮโดรเจน, เฮโลเจน, แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมี คาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม, (สูตร) - เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล และอนุพันธ์ชนิดซับสทิทิวเทด ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม และแอลไคนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม ซึ่ง R3 ประกอบด้วย -S-; (สูตรเคมี) ซึ่ง R5 ในนี้เป็นแอลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม (สูตรเคมี) ซึ่ง R5 ในนี้เป็นไปตามที่นิยามข้างบนนี้ (สูตรเคมี) ซึ่ง n เป็น 1 ถึง 10 และ R4 เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยแอลคิล, หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน จาก 1 ถึง 10 อะตอม แอลคีนิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม, แอลไคนิลหรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 2 ถึง 10 อะตอม และแอริล หรือ แอแรลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอริล หรือแอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน จาก 6 ถึง 11 อะตอม

43. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งในส่วนที่เป็น R1 นี้ แอลคิลหรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัลนี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม แอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัลนี้มีคาร์บอนจาก 2 ถึง 4 อะตอม, แอลไคนล์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัลนี้มีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม และแอริล หรือแอแรลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัลนี้มีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

44. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 43 ซึ่งในส่วนที่เป็น R1 นี้ แอลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH3, -CH2CH2CH3, -CH2CH2-OH, -CCL3, -CH2CHCLCH3 หรือ -CH2CCL2CCL3 ; แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้ ประกอบรวมด้วย -CH=CHCH3 หรือ -CH=CH แอลไคนล์ หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C=C-CH3 หรือ -C=CH; และ แอริล หรือแอแรลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C6H5 หรือ -C6H4CH3

45.สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R2 นี้ เฮโลเจน นี้เป็น คลอรีน; แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม, (สูตร)-เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือเปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล และอนุพันธ์ชนิดซับ- สทิทิวเทด นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม และแอลไคนิลหรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

46. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 45 ซึ่งในส่วนที่เป็น R2 นี้ แอลคีนิลหรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH=CHCH3 หรือ -CH-CH3 ; (สูตร) - เฮโล จิเนเทด แอลคิล หรือ เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล และอนุพันธ์ชนิดซับสทิทิวเทด นี้ ประกอบรวมด้วย CCL3, -CH2CHCLCH3 หรือ -CH2CCL2CCL3 และแอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย C-C-C3 หรือ -CCC=CH2

47. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 นี้ ซึ่ง R5 ในนี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม, n เป็น 1 ถึง 4 คาร์บอนอะตอม

48. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 47 นี้ ซึ่งเลือก R5 ในนี้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วย -CH2CH3 หรือ -CH2CH2CH3 และหมู่ผสมที่เข้ากันได้ชนิดไม่ทำปฏิกิริยากันของหมู่เหล่านี้

49. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคิลหรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม; แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอนจาก 2 ถึง 4 อะตอม; แอลไคนล์ หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม และแอริล หรือแอแรลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

50. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 49 ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH3, -CH2CH2CH3, -CH2-CH2-CH, -CCL3, -CH2CHCLCH3 และ -CH2CCL2CCL3 ; แอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH=CHCH3 และ -CH=CH3 แอลไคนล์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C=C-CH3 และ -C=CH และ แอริล หรือ แอแรลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C6H5 และ -C6H4CH3

51. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งเลือก R4 ในนี้จากกลุ่มที่ประกอบ ด้วยไฮโดรเจน, เฮโลเจน, (สูตร)-เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล และอนุพันธ์ชนิดซับสทิทิวเทด ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 10 อะตอม

52. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 51 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้มีเฮโลเจนเป็นคลอรีน, แอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม, (สูตร)-เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือเปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล หรืออนุพันธ์ชนิด ซับสทิทิวเทด นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม และแอลไคนิลหรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

53. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 52 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH=CHCH3 หรือ -CHCH3, (สูตร) - เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือเปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล หรืออนุพันธ์ชนิดซับสทิทิวเทด นี้ประกอบรวมด้วย -CCL3, -CH2CHCLCH3 และ -CH2CCL2CCL3 และแอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย C-C-CH3 และ -CCC=CH2

54. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 นี้ ซึ่ง R4 ในนี้ เลือกต่อไปอีกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วย แอลคอกไซด์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม , -CN, -OCN และฟอสฟีน, แอลคิลฟอสฟีนและไดแอลคิลฟอสฟีน ซึ่ง แอลคิล แรดิคัล ในนี้มีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม

55. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 54 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคอกไซด์ หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล นี้มีคาร์บอนจาก 1 ถึง 4 อะตอม และแอลคิล แรดิคัล นี้มี คาร์บอน1 ถึง 4 อะตอม

56. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 55 นี้ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคอกไซด์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -OCH2CH3, แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH2CH3 และฟอสฟีน, แอลคิลฟอสฟีน และไดแอลคิลฟอสฟีน นี้ประกอบรวมด้วย -PH2, CH3PH, -PHCH3 และ -P(CH2CH3)2

57. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 นี้ ซึ่งสารประกอบต่างๆ นี้เลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยเททระเมธิลไซโคลเททระไซลอกเซน, เททระเมธิลไดไซลอกเซน และ ไทรเอธอกซิไซเลน

58. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งรวมทั้งต่อไปด้วยสารเร่งเพื่อเพิ่ม อัตราการตกสะสมของซิลิคอนออกไซด์ ,สารเร่งนี้เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยสารประกอบ ของไนโตรเจน, ฟอสฟอรัส, โบรอน และกำมะถันและสารผสมของสารประกอบนี้ที่ใช้งานร่วมกัน ได้ชนิดไม่ว่องไวปฏิกิริยาซึ่งมีสูตรโครงสร้างดังนี้ (a) (สูตรเคมี) (b) (สูตรเคมี) (c) R10=S=R11, (d) (สูตรเคมี), และ (e) (สูตรเคมี) ซึ่ง Y ในนี้เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยไนโตรเจน, โบรอน, และฟอสฟอรัส และซึ่ง R10, R11, R12, R13 และ R14 ในนี้เลือกจากหมู่ฟังก์ชันดังต่อไปนี้ : ไฮโดรเจน, เฮโลเจน, แอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม, เปอร์ เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม, เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม, แอซิลอกซิ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม, แอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม, แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม , แอริล หรือซับสทิทิวเทด แอริล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 6 ถึง 10 อะตอม และแอลคอกไซด์ หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม

59. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งรวมทั้งต่อไปด้วยสารเร่ง ซึ่งสารเร่งนี้คือกรด ลิวอิส

60. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งรวมทั้งต่อไปด้วยสารเร่ง ซึ่งสารเร่งนี้คือเบส ลิวอิส

61. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งรวมทั้งต่อไปด้วยสารเร่ง ซึ่งสารเร่งนี้คือ ไทรเอธิลฟอสไฟท์

62. สารผสมของข้อถือสิทธิข้อ 42 นี้ ซึ่งรวมทั้งต่อไปด้วยพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วย ชนิดที่สอง

63. ไอสารผสมของผิวเคลือบซึ่งประกอบรวมด้วยพรีเคอร์เซอร์ที่มีซิลิคอนอยู่ด้วยชนิดที่ สามารถถูกเปลี่ยนไปเป็นซิลิคอน ออกไซด์ ที่สมนัยกันที่อุณหภูมิประมาณ 750 ํ ฟ ถึงประมาณ 1500 ํ ฟ (400 ํ ซ ถึง 815 ํ ซ) และมีพันธะ (สูตรเคมี) ในสูตรโครงสร้างของพรีเคอร์ เซอร์นี้ และพรีเคอร์เซอร์ที่มีโลหะอยู่ด้วยชนิดที่สามารถถูกเปลี่ยนไปเป็นโลหะออกไซด์ที่สมนัย กันและสารเร่ง, ซึ่งมีพันธะ (สูตรเคมี) นี้เป็น (สูตรเคมี) ซึ่งเลือก R1 จากกลุ่มที่ประกอบด้วย แอลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมี คาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม; เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม, ที่ควรใช้คาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม เช่น -CCl3, -CH2CHClCH3 และ -CH2CCl2CCl3 ; แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม แอลไคนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม และแอริล หรือแอแรลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน จาก 6 ถึง 11 อะตอม และซึ่ง พันธะ (สูตรเคมี) นี้คือ (สูตรเคมี) ซึ่ง R2 นี้เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน, เฮโลเจน, แอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม ; (สูตร)- เฮโลจิเนเทด แอลคิล, เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล และอนุพันธ์ชนิดซับสทิทิวเทด ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 10 อะตอม และแอลไคนิล หรือซับสทิทิวเทด แอไคนิล แรดิคัล ซึ่งมี คาร์บอน 2 ถึง 10 อะตอม

64. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ซึ่งเลือกสารประกอบของโลหะที่ กล่าวแล้วจากกลุ่มที่ประกอบด้วยสารประกอบดีบุก, ไทเทเนียม, ทังสเตน, และพลวง และสารผสมของสารประกอบเหล่านี้

65. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 ซึ่งสารประกอบของโลหะที่กล่าว แล้วคือสารประกอบของดีบุก

66. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 ซึ่งในส่วนที่เป็น R1 นี้ แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม; เปอร์เฮโลจิเนเทด หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม แอลไคนล์ หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม และแอริลหรือแอแรลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

67. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 66 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R1นี้แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ประกอบรวมด้วย -CH3; -CH2CH2CH3 และ -CH2CH2OH; เปอร์เฮโลจิเนเทด หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CCL3, -CH2CHCLCH3 และ -CH=CH3 ; แอลไคนล์ หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C=C-CH3 และ -C=CH และ แอริล หรือ แอแรลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -C6H5 และ -C6H4CH3

68. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R2 นี้ แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม ; เฮโลจิเนเทด, เปอร์เฮโลจิเนเทด หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม และ แอลไคนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม

69. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 68 ซึ่งในส่วนที่เป็น R2 นี้ เฮโลเจน คือ คลอรีน, แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH=CHCH3 และ -CH=CH3 เฮโลจิเนเทด, เปอร์เฮโลจิเนเทด หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CCl3, -CH2CHClCH3 และ -CH2CCl2CCl3 และแอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย C-C-CH3 และ -C=CH2

70. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 ซึ่ง (สูตรเคมี) นี้คือ (สูตรเคมี) ซึ่งเลือก R3 นี้จากกลุ่มที่ประกอบด้วย : -S-; -(สูตรเคมี) ซึ่ง R5 ในนี้เป็นแอลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม (สูตรเคมี); (สูตรเคมี) (สูตรเคมี) ซึ่ง n เป็น 1 ถึง 10

71. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 70 ซึ่ง (สูตรเคมี) นี้คือ (สูตรเคมี) ซึ่ง R4 นี้เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย แอลคอกไซด์ หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิรัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน จาก 1 ถึง 10 อะตอม - CN; - ONC, และ ฟอสฟีน, แอลคิล ฟอสฟีน และไดแอลฟอสฟีน, ซึ่งแอลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม

72. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 70 นี้ซึ่ง R5 นี้มีคาร์บอนจาก 1 ถึง 4 อะตอม และ n เป็น 1 ถึง 4

73. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 72 นี้ ซึ่ง R5 นี้ประกอบรวมด้วย -CH2CH3 และ -CH2CH2CH3 แรดิคัล

74. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 71 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคอกไซด์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม ; แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 5 อะตอม และแอลคิล แรดิคัล นี้มีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม

75. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 74 นี้ ซึ่งในส่วนที่เป็น R4 นี้ แอลคอกไซด์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -O-CH2CH3, แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -CH2CH3 และแอลคิล แรดิคัล นี้ประกอบรวมด้วย -PH2, CH3PH, -PHCH3 และ -P(CH2CH3)2

76. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งสารเร่งนี้คือกรดลิวอิส

77. สารผสมของสารเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ซึ่งสารเร่งนี้คือเบส ลิวอิส

78. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งสารเร่งนี้คือน้ำ

79. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งสารเร่งนี้คือไทรเอธิลฟอสไฟท์

80. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งสารเร่งนี้คือโอโซน

81. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งเลือกสารเร่งนี้จากสารประกอบ ของอะลูมิเนียม

82. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งเลือกสารเร่งนี้จากสารประกอบ ของอะลูมิเนียม ซึ่งมีสูตรโครงสร้างต่อไปนี้ (สูตรเคมี) ซึ่งอย่างน้อย 1 หมู่ของ R15 , R16 และ R17 นี้เหมือนกันหรือแตกต่างกัน และเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยไฮโดรเจน, เฮโลเจน, 0-R17 ซึ่ง R17 เป็นแอลคิล แรดิคัล ชนิด ไม่มีกิ่งแยก, ชนิดมีกิ่งแยกหรือชนิดซับสทิทิวเทด ซึ่งมีคาร์บอกจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; -S-R16 ซึ่งนิยาม R16 ไว้ข้างบนสำหรับ -OR17 -NH2 และ NR19R20 ซึ่ง R19 และ R20 เป็นหมู่แอลคิลชนิดไม่มีกิ่งแยก, ชนิดมีกิ่งแยก หรือชนิดซับสทิทิวเทด ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม โดยเลือกหมู่แทนที่จาก R15, R16 หรือ R17

83. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 82 นี้ ซึ่งหมู่ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ที่เป็น R15 , R16 และ R17 นี้ ประกอบรวมด้วยแอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; เฮโลเจนหรือ เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม ; แอลไคนล์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม; แอริล หรือ แอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 6 ถึง 11 อะตอม ; CN;-OCN; ฟอสฟีน, แอลคิลฟอสฟีน และไดแอลคิล ฟอสฟีน แรดิคัล ซึ่งหมู่แอลคิลนี้มีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม และ -OH

84. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 83 นี้ ซึ่ง R17 นี้รวมทั้ง แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม; แอลคิลแรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม; เฮโลเจน หรือ เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม; แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม; แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม และแอริล หรือแอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม และหมู่แอลคิล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม

85. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 84 ซึ่ง R17 นี้รวมทั้ง แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมี -OCH2CH2CH2CH3 ; แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมี -CH2CH2CH3 ; เฮโลเจน หรือ เฮโลจิเนเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมี CL หรือ CCL3 ; แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมี -CH=CH2 ; แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมี -C=CH ; แอริล หรือแอแรลคิล แรดิคัล ซึ่งมี C6H5 และหมู่แอลคิลนี้ ประกอบรวมด้วย -PH2, -PHCH3, -P(CH2CH3)2

86. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งเลือกสารเร่งนี้จากสารประกอบ ของไนโตรเจน, ฟอสฟอรัส, โบรอนและกำมะถัน ซึ่งมีสูตรโครงสร้างดังนี้ (a) (สูตรเคมี) (b) (สูตรเคมี) (c) (สูตรเคมี) (d) (สูตรเคมี), และ (e) (สูตรเคมี) ซึ่งเลือก Y นี้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยไนโตรเจน, โบรอน และฟอสฟอรัส และเลือก R10, R11, R12, R13 และ R14 นี้จากหมู่ฟังก์ชันดังต่อไปนี้ ไฮโดรเจน, เฮโลเจน, แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม ; เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม ; แอซิลอกซิ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม แอลไคนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 10 อะตอม; แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน จาก 1 ถึง 10 ; แอริล หรือซับสทิทิวเทด แอริล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 6 ถึง 10 อะตอม และแอลคอกไซด์ หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 10 อะตอม

87. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 86 ซึ่งหมู่ฟังก์ชันนี้รวมทั้งแอลคีนิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคีนิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 2 ถึง 4 อะตอม ; เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอนจาก 1 ถึง 4 อะตอม ; เฮโลจิเนเทด แอลคิล ซึ่งซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม ; แอซิลอกซิ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม ; แอลไคนล์ หรือ ซับสทิทิวเทด แอลไคนล์ แรดิคัล ซึ่งมี คาร์บอน 2 ถึง 4 อะตอม ; แอลคิล หรือ ซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม ; แอริล หรือ ซับสทิทิวเทด แอริล แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 6 ถึง 9 อะตอม และ แอลคอกไซด์ หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล ซึ่งมีคาร์บอน 1 ถึง 4 อะตอม

88. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 87 ซึ่งเฮโลเจนของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบ ด้วยคลอรีน, แอลคีนิล หรือซับสทิทิวเทด แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวมด้วย -C=CH2 ; เปอร์เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวม ด้วย -CCLH2 ; เฮโลจิเนเทด แอลคิล หรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ ประกอบรวมด้วย -CCH2CH3 ; แอซิลอกซิ แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวมด้วย -OCOCH3 ; แอลไคนล์หรือซับสทิทิวเทด แอลไคนิล แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวมด้วย -C=CH แอลคิลหรือซับสทิทิวเทด แอลคิล แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวมด้วย -CH3, -CH2CH2CH3; แอริล หรือซับสทิทิวเทด แอริล แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบรวมด้วย -C6H4CH3 และ แอลคอกไซด์หรือซับสทิทิวเทด แอลคอกไซด์ แรดิคัล ของหมู่ฟังก์ชันนี้ประกอบ รวมด้วย -OCH2CH2CH3

89. สารผสมของผิวเคลือบของข้อถือสิทธิข้อ 63 นี้ ซึ่งเลือกสารเร่งนี้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยไทรเอธิลฟอสไฟท์, ไทรเมธิลฟอสไฟท์, ไทรเมธิลบอเรท, PF5, PCl3, PBr3, PCl5, BCl3, BF3, (CH3)2BBr, SF4 และ HO3SF