TH14929EX

TH14929EX - Lithography process

Info

Publication number: TH14929EX
Application number: TH9301000193A
Authority: TH
Original assignee: ทาดาฮิโร โอห์มิ แคนนอน คาบูชิกิ ไกชา
Filing date: 1993-02-09
Publication date: 1994-11-25

Abstract

กรรมวิธีการพิมพ์หินสำหรับการเกิดแบบอย่างที่มีส่วนประกอบของแบบอย่างที่มีขนาดแตกต่างกัน หรือรูปร่างแตกต่างกันซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของการให้รีซิสท์เปิดรับแบบอย่างของแสงที่หาไว้ล่วงหน้าโดยความสว่างที่ดัดแปรแล้ว และการขจัดรีซิสท์หนึ่งบริเวณอย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอนของการเกิดแบบอย่างรีซิสท์ โดยการใช้การพิมพ์หิน-สารละลายสร้างภาพที่มีสารลดแรงตึงผิว สารลดแรงตึงผิวสามารถส่งเสริมการละลายของส่วนประกอบของแบบอย่างที่เล็กกว่า ที่จะขจัดออกจากรีซิสท์ แทนสารลดแรงตึงผิวโดยสูตรทั่วไปข้างล่าง HO(CH2CH2O)a(CH(CH3)CH2O)b(CH2CH2O)oH ซึ่งแต่ละ a,b และ c คือเลขจำนวนเต็ม สารลดแรงตึงผิวเป็นไปตามความสัมพันธ์ (A + C) / (A+B +C) <_ 0.3 ซึ่ง A แทนน้ำหนักโมเลกุลของ HO(CH2CH2O)a B แทนน้ำหนักโมเลกุลของ (CH(CH3)CH2O)b และ C แทนน้ำหนักโมเลกุลของ (CH2CH2O)cH A lithography method for generating a model with different size model components. Or heterogeneous shape, which consists of a process of resisting exposure to a predetermined light model by modified brightness. And eliminating at least one area of resist precedence. By using lithography - visualization solution containing surfactants. Surfactants can promote the solubility of smaller sample components. To be eliminated from the reset Instead of surfactant by the general formula below HO (CH2CH2O) a (CH (CH3) CH2O) b (CH2CH2O) oH, where each a, b, and c is an integer. The surfactant conforms to (A + C) / (A + B + C) <_ 0.3, where A represents the molecular weight of HO (CH2CH2O) a B represents the molecular weight of (CH (CH3) CH2O) b and C represent the molecular weight of (CH2CH2O) cH.

Claims

1.Lithography method for generating a model with a model composition of different sizes or different shapes, which consists of a process of using a resistor, exposure to a predetermined light model by illuminating the model. A detailed type consisting of model components arranged vertically and horizontally, subtly projecting a type subtly by introducing light that diffuses the specimen finely into the pupil. Of the optical system An effective light source was created so that the light quantity distribution, which the light intensity on the part was higher, except the mechanical center.