TH118178A

TH118178A - อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนชั้นฐานที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกันนี้

Info

Publication number: TH118178A
Application number: TH1101003262A
Authority: TH
Inventors: แมน ทิง หว่อง นางสาวกลอเรีย; แมคคาร์ทที นายเควิน; คอคซิส นายไมเคิล; คาแมท นายอาร์วินด์
Original assignee: โควิโอ้; นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์; นางสาวสนธยา สังขพงศ์; นายณัฐพล อร่ามเมือง
Filing date: 2010-05-27
Publication date: 2012-11-30

Abstract

DC60 (23/11/54) อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนชั้นฐานโลหะที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกัน นี้ได้ถูกเปิดเผยไว้ อุปกรณ์กึ่งตัวนำจะมีส่วนที่เป็นชั้นฐานโลหะ, ชั้นกั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐาน โลหะ, ชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจายและชั้นกึ่งตัวนำบนชั้นฉนวน วิธีการจะรวมถึงการสร้างชั้น กั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานโลหะ, การสร้างชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจาย และการสร้างชั้นกึ่ง ตัวนำบนชั้นฉนวน ชั้นฐานที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายดังกล่าวจะป้องกันการแพร่กระจายของ อะตอมโลหะจากชั้นฐานโลหะเข้าไปยังอุปกรณ์กึ่งตัวนำที่สร้างขึ้นบนนั้น อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนชั้นฐานโลหะที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกัน นี้ได้ถูกเปิดเผยไว้ อุปกรณ์กึ่งตัวนำจะมีส่วนที่เป็นชั้นฐานโลหะ,ชั้นกั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานฃ โลหะ,ชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจายและชั้นกึ่งตัวนำบนชั้นฉนวน วิธีการจะรวมถึงการสร้างชั้น กั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานโลหะ,การสร้างชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจาย และการสร้างชั้นกึ่ง ตัวนำบนชั้นฉนวน ชั้นฐานที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายดังกล่าวจะป้องกันการแพร่กระจายของ อะตอมโลหะจากชั้นฐานโลหะเข้าไปยังอุปกรณ์กึ่งตัวนำที่สร้างขึ้นบนนั้น

Claims

1. : DC60 (23/11/54) อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนชั้นฐานโลหะที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกัน นี้ได้ถูกเปิดเผยไว้ อุปกรณ์กึ่งตัวนำจะมีส่วนที่เป็นชั้นฐานโลหะ, ชั้นกั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐาน โลหะ, ชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจายและชั้นกึ่งตัวนำบนชั้นฉนวน วิธีการจะรวมถึงการสร้างชั้น กั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานโลหะ, การสร้างชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจาย และการสร้างชั้นกึ่ง ตัวนำบนชั้นฉนวน ชั้นฐานที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายดังกล่าวจะป้องกันการแพร่กระจายของ อะตอมโลหะจากชั้นฐานโลหะเข้าไปยังอุปกรณ์กึ่งตัวนำที่สร้างขึ้นบนนั้น อุปกรณ์กึ่งตัวนำบนชั้นฐานโลหะที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายและวิธีการผลิตสิ่งเดียวกัน นี้ได้ถูกเปิดเผยไว้ อุปกรณ์กึ่งตัวนำจะมีส่วนที่เป็นชั้นฐานโลหะ,ชั้นกั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานฃ โลหะ,ชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจายและชั้นกึ่งตัวนำบนชั้นฉนวน วิธีการจะรวมถึงการสร้างชั้น กั้นการแพร่กระจายบนชั้นฐานโลหะ,การสร้างชั้นฉนวนบนชั้นกั้นการแพร่กระจาย และการสร้างชั้นกึ่ง ตัวนำบนชั้นฉนวน ชั้นฐานที่เคลือบด้วยตัวกั้นการแพร่กระจายดังกล่าวจะป้องกันการแพร่กระจายของ อะตอมโลหะจากชั้นฐานโลหะเข้าไปยังอุปกรณ์กึ่งตัวนำที่สร้างขึ้นบนนั้นข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1.อุปกรณ์ซึ่งประกอบด้วย a)ชั้นฐาน โลหะ b)ชั้นกั้นการแพร่กระจายหนึ่งชั้นหรือมากกว่านั้นบนชั้นฐานโลหะดังกล่าว c)ชั้นฉนวนหนึ่งชั้นหรือมากกว่านั้นบนชั้นกั้นการแพร่กระจายดังกล่าว และ d)ชั้นอุปกรณ์บนชั้นฉนวนดังกล่าวแท็ก :