TH117384A

TH117384A - วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันและอุปกรณ์ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชัน รวมทั้งวิธีการใช้งานอุปกรณ์ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชัน

Info

Publication number: TH117384A
Application number: TH601006337A
Authority: TH
Inventors: มินามิ นายคัทสึจิ; วาตานาเบะ นายทาคาโนริ; อิวามูระ นายฮิเดอาคิ
Original assignee: นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร; นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์; นางสาววรรษิกา ฟักมีทอง; แอร์ วอเตอร์ เอ็นวี อิงค์
Filing date: 2009-09-10
Publication date: 2012-11-15

Abstract

DC60 (08/12/52) วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้ศักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏฺิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้คักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มารของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้

Claims

: DC60 (08/12/52) วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้ศักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งสามารถรักษาคุณภาพของการทำกรรมวิธีได้อย่างมี เสถียรภาพ วิธีการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันซึ่งทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันโดยการให้ความร้อนชิ้นงานทำ กรรมวิธี และคงไว้ภายในบริเวณที่ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่มีบรรยากาศฟลูออริเนชันที่กำหนด โดย การทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวในสภาพที่มีโครงสร้างภายในบริเวณที่มีปฏฺิกิริยากับฟลูออรีนโผล่ ออกสู่ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าว และที่ผิวของโครงสร้างภายในบริเวณที่โผล่ออกสู่ ภายในบริเวณทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันที่กล่าวอยู่ในสภาพที่ได้ถูกสร้างชั้นของฟลูออริเนชันล่วงหน้า ทำ ให้ไม่มีการบริโภคก๊าซแหล่งที่มาของฟลูออริเนชันที่ถูกจ่ายเพื่อทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันของชิ้นงานทำ กรรมวิธี ในปริมาณมากสำหรับการทำฟลูออริเนชันของผิวของโครงสร้างภายในบริเวณระหว่างการทำ กรรมวิธีฟลูออริเนชัน นอกจากนี้แม้คักย์ของการเกิดฟลูออริเนชันของก๊าซแหล่งที่มารของฟลูออริเนชันที่ จ่ายจะมีไม่เพียงพอ ชั้นฟลูออริเนชันของผิวโครงสร้างภายในบริเวณที่กล่าวก็จะปล่อยก๊าซแหล่งที่มา ฟลูออริเนชันออกมา ซึ่งจะทำให้สามารถรักษาบรรยากาศการเกิดฟลูออริเนชันภายในบริเวณของการ ทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันระหว่างการทำกรรมวิธีฟลูออริเนชันให้อยู่ในสภาพที่เหมาะสมได้ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :

1. วิธีการอบเหล็กแบบทำปฏิกิริยาฟลูออริเนชั่น(fluorination treatment)ที่มีลักษณะ พิเศษ คือ เป็นการอบแบบทำปฏิกิริยาฟลูออริเนชั่นที่ทำการอบชิ้นงานแบบทำปฏิกิริยาฟลูออริเน ชั่น โดยการรักษาระดับความร้อนภายในพื้นที่สำหรับทำการอบแบบทำปฏิกิริยาฟลูออริเนชั่นใน บรรยากาศที่มีฟลูออไรด์ในระดับที่กำหนด และ ชิ้นงานที่ถูกอบถูกวางไว้ในพื้นที่อบซึ่งทำปฏิกิริยากับฟลูออไรด์ให้โผล่ออกมาในพื้นที่แท็ก :