TH114911B - ชุดเครื่องสำหรับแยกเวฟอร์,ชุดเครื่องสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์,วิธีการสำหรับ แยกเวเฟอร์,วิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์และวิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์ของโซลาร์เซลล์ - Google Patents
ชุดเครื่องสำหรับแยกเวฟอร์,ชุดเครื่องสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์,วิธีการสำหรับ แยกเวเฟอร์,วิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์และวิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์ของโซลาร์เซลล์Info
- Publication number
- TH114911B TH114911B TH1101001092A TH1101001092A TH114911B TH 114911 B TH114911 B TH 114911B TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 114911 B TH114911 B TH 114911B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- wafer separation
- cartridge
- wafer
- unit
- small
- Prior art date
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims abstract 11
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title abstract 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 1
Abstract
การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าว
Claims (1)
1. ชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งประกอบด้วย ตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้บรรจุเวฟเฟอร์ชิ้นเดี่ยวซึ่งมีจำนวนมากเข้าไปโดยอยู่ ในทิศตามแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างแนบชิดโดยที่ตลับบรรจุจะถูกเปิดออกอย่างน้อยในทิศตาม แนวตั้ง อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้รองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับบ
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH114911A TH114911A (th) | 2012-07-18 |
| TH114911B true TH114911B (th) | 2012-07-18 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NZ593758A (en) | Apparatus and method for transferring solar cell wafers into a liquid bath, wherein the wafers are separated in the liquid bath with micro bubbles | |
| TW200731345A (en) | Apparatus and method for reducing contamination in immersion lithography | |
| US20150279716A1 (en) | Apparatus and method for detaching chip | |
| EP2548646A3 (en) | Cartridge and system for manipulating samples in liquid droplets | |
| JP2015534810A5 (th) | ||
| JP2014236753A5 (th) | ||
| WO2009086257A3 (en) | Susceptor with support bosses | |
| WO2010132887A3 (en) | Contamination control for liquid handling | |
| EP2528088A3 (en) | Broken wafer recovery system | |
| SG169319A1 (en) | Stacked substrate separation loading apparatus and method of producing glass substrates | |
| WO2010040473A3 (de) | Kultur-/expositionsvorrichtung, insbesondere für zell- und/oder bakterienkulturen | |
| EP2779211A3 (en) | Metal Liftoff Tools and Methods | |
| JP2012069635A5 (th) | ||
| WO2010012966A3 (fr) | Procede et dispositif d'encapsulation de microstructures | |
| RU2016121633A (ru) | Узел чашкодержателя для транспортного средства (варианты), консоль транспортного средства (варианты) и транспортное средство (варианты) | |
| WO2008108160A1 (ja) | 半導体ウエハ収納容器 | |
| MX366168B (es) | Metodo y sistema para mezclar gas y liquido para recoleccion gravitacional, fisica y quimica de compuestos. | |
| US9177838B2 (en) | Liquid process apparatus and liquid process method | |
| TH114911B (th) | ชุดเครื่องสำหรับแยกเวฟอร์,ชุดเครื่องสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์,วิธีการสำหรับ แยกเวเฟอร์,วิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์และวิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์ของโซลาร์เซลล์ | |
| TH114911A (th) | ชุดเครื่องสำหรับแยกเวฟอร์, ชุดเครื่องสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์, วิธีการสำหรับแยกเวเฟอร์, วิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์และวิธีการสำหรับแยกและถ่ายโอนเวเฟอร์ของโซลาร์เซลล์ | |
| MY185844A (en) | Fluid contact tray particularly for the use in an offshore fractionation column | |
| CN104353510A (zh) | 一种可自动安装叠盒装吸头的移液装置 | |
| WO2016046642A3 (en) | Systems and methods for large-scale nanotemplate and nanowire fabrication | |
| KR101891783B1 (ko) | 웨이퍼 분리 장치 | |
| AR089668A1 (es) | Aireacion por pulsos para membranas sumergidas |