TH114911B - Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers. - Google Patents
Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers.Info
- Publication number
- TH114911B TH114911B TH1101001092A TH1101001092A TH114911B TH 114911 B TH114911 B TH 114911B TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 114911 B TH114911 B TH 114911B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- wafer separation
- cartridge
- wafer
- unit
- small
- Prior art date
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims abstract 11
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title abstract 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 1
Abstract
การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าว The invention provides a complete set of wafer separators that can improve their performance. In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the inner area of the liquid bath (16). To release bubbles A very small size comes from the underside of the cassette holder (13) onto the wafer number. Very small (W) and very small air bubbles (18) that generate very small air bubbles to be released. Coming out of the said nozzle (17)
Claims (1)
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH114911A TH114911A (en) | 2012-07-18 |
TH114911B true TH114911B (en) | 2012-07-18 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NZ593758A (en) | Apparatus and method for transferring solar cell wafers into a liquid bath, wherein the wafers are separated in the liquid bath with micro bubbles | |
WO2011100204A3 (en) | Thin wafer carrier | |
TW200731345A (en) | Apparatus and method for reducing contamination in immersion lithography | |
JP2013517809A5 (en) | Hanging drop array plate | |
EP2228202A3 (en) | Apparatus for formation of an ophthalmic lens precursor | |
WO2013100203A3 (en) | Apparatus for loading a flexible substrate and a lithography apparatus | |
US20150279716A1 (en) | Apparatus and method for detaching chip | |
AR087530A1 (en) | METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING SOLID IMPURITIES FROM A FLUID | |
EP2548646A3 (en) | Cartridge and system for manipulating samples in liquid droplets | |
WO2010129441A3 (en) | Method for separating stem cells from their more differentiated progeny using microfluidic devices | |
WO2011100647A3 (en) | Double-sided reusable template for fabrication of semiconductor substrates for photovoltaic cell and microelectronics device manufacturing | |
EP2528088A3 (en) | Broken wafer recovery system | |
RU2013148924A (en) | PLASMA SOURCE DEPOSITION REACTOR | |
WO2011038385A3 (en) | Thiol-containing compounds for the removal of elements from contaminated milieu and methods of use | |
WO2010040473A3 (en) | Culture/exposure device, in particular for cell and/or bacteria cultures | |
WO2012103109A3 (en) | Neural cell purification for transplantation | |
EP2779211A3 (en) | Metal Liftoff Tools and Methods | |
JP2012069635A5 (en) | ||
WO2010012966A3 (en) | Method and device for encapsulating microstructures | |
RU2016121633A (en) | CUP HOLDER ASSEMBLY FOR VEHICLE (OPTIONS), VEHICLE CONSOLE (OPTIONS) AND VEHICLE (OPTIONS) | |
WO2008108160A1 (en) | Semiconductor wafer container | |
MX366168B (en) | Method and system for mixing gas and liquid for gravitational, physical and chemical collection of compounds. | |
TH114911B (en) | Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers. | |
WO2010058009A3 (en) | Method for rotating a sawed wafer block and device therefor | |
TH114911A (en) | Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells. |