TH114911B - Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers. - Google Patents

Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers.

Info

Publication number
TH114911B
TH114911B TH1101001092A TH1101001092A TH114911B TH 114911 B TH114911 B TH 114911B TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 114911 B TH114911 B TH 114911B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
wafer separation
cartridge
wafer
unit
small
Prior art date
Application number
TH1101001092A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH114911A (en
Inventor
นายเกียวยูเฮอิ ทสึนาชิม่า นายอิชิกิ คูซุฮาระ
Original Assignee
คาบูชิกิ ไกชา วาตานาเบ โชโค
Filing date
Publication date
Application filed by คาบูชิกิ ไกชา วาตานาเบ โชโค filed Critical คาบูชิกิ ไกชา วาตานาเบ โชโค
Publication of TH114911A publication Critical patent/TH114911A/en
Publication of TH114911B publication Critical patent/TH114911B/en

Links

Abstract

การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าว The invention provides a complete set of wafer separators that can improve their performance. In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the inner area of the liquid bath (16). To release bubbles A very small size comes from the underside of the cassette holder (13) onto the wafer number. Very small (W) and very small air bubbles (18) that generate very small air bubbles to be released. Coming out of the said nozzle (17)

Claims (1)

1. ชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งประกอบด้วย ตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้บรรจุเวฟเฟอร์ชิ้นเดี่ยวซึ่งมีจำนวนมากเข้าไปโดยอยู่ ในทิศตามแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างแนบชิดโดยที่ตลับบรรจุจะถูกเปิดออกอย่างน้อยในทิศตาม แนวตั้ง อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้รองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับบ1. A set of wafer separators consisting of A cartridge, which is configured to hold a large number of single wafers. In the vertical direction, in a condition of close contact with the cartridges being opened at least in the vertical direction, the cassette carrier, which is configured to support the cartridges in such a way that Removable with the cartridge holder
TH1101001092A 2010-01-12 Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers. TH114911B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH114911A TH114911A (en) 2012-07-18
TH114911B true TH114911B (en) 2012-07-18

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NZ593758A (en) Apparatus and method for transferring solar cell wafers into a liquid bath, wherein the wafers are separated in the liquid bath with micro bubbles
WO2011100204A3 (en) Thin wafer carrier
TW200731345A (en) Apparatus and method for reducing contamination in immersion lithography
JP2013517809A5 (en) Hanging drop array plate
EP2228202A3 (en) Apparatus for formation of an ophthalmic lens precursor
WO2013100203A3 (en) Apparatus for loading a flexible substrate and a lithography apparatus
US20150279716A1 (en) Apparatus and method for detaching chip
AR087530A1 (en) METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING SOLID IMPURITIES FROM A FLUID
EP2548646A3 (en) Cartridge and system for manipulating samples in liquid droplets
WO2010129441A3 (en) Method for separating stem cells from their more differentiated progeny using microfluidic devices
WO2011100647A3 (en) Double-sided reusable template for fabrication of semiconductor substrates for photovoltaic cell and microelectronics device manufacturing
EP2528088A3 (en) Broken wafer recovery system
RU2013148924A (en) PLASMA SOURCE DEPOSITION REACTOR
WO2011038385A3 (en) Thiol-containing compounds for the removal of elements from contaminated milieu and methods of use
WO2010040473A3 (en) Culture/exposure device, in particular for cell and/or bacteria cultures
WO2012103109A3 (en) Neural cell purification for transplantation
EP2779211A3 (en) Metal Liftoff Tools and Methods
JP2012069635A5 (en)
WO2010012966A3 (en) Method and device for encapsulating microstructures
RU2016121633A (en) CUP HOLDER ASSEMBLY FOR VEHICLE (OPTIONS), VEHICLE CONSOLE (OPTIONS) AND VEHICLE (OPTIONS)
WO2008108160A1 (en) Semiconductor wafer container
MX366168B (en) Method and system for mixing gas and liquid for gravitational, physical and chemical collection of compounds.
TH114911B (en) Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers.
WO2010058009A3 (en) Method for rotating a sawed wafer block and device therefor
TH114911A (en) Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells.