Claims (1)
: DC60 (11/07/54) การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว (16) ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12) ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก (14) ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17) ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก (W) และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก (18) ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น (17) ดังกล่าว การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าวข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :: DC60 (11/07/54) This invention provides a complete set of wafer separators which can improve the capacity. In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles Extremely small, coming from the underside of the aforementioned cartridge holder (13) to a large number of wafers (W) and a very small air bubble generator (18) generating very small air bubbles to be exposed. release This invention provides a set of wafer separators that can improve the capacity In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. The same part as the cartridge (12), the fluid bath (16), which holds the liquid inside. The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles A very small size comes from the underside of the cassette holder (13) onto the wafer number. Very small (W) and very small air bubbles (18) that generate very small bubbles to be released. Out of the nozzle (17). Such a claim (Item one) which will appear on the advertisement page:
1. ชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งประกอบด้วย ตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้บรรจุเวฟเฟอร์ชิ้นเดี่ยวซึ่งมีจำนวนมากเข้าไปโดยอยู่ ในทิศตามแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างแนบชิดโดยที่ตลับบรรจุจะถูกเปิดออกอย่างน้อยในทิศตาม แนวตั้ง อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้รองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับบแท็ก :1. A set of wafer separators consisting of A cartridge, which is configured to hold a large number of single wafers. In the vertical direction, in a condition of close contact with the cartridges being opened at least in the vertical direction, the cassette carrier, which is configured to support the cartridges in such a way that Removable, with the device supporting the tab cartridge: