TH114911A - Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells. - Google Patents

Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells.

Info

Publication number
TH114911A
TH114911A TH1101001092A TH1101001092A TH114911A TH 114911 A TH114911 A TH 114911A TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 1101001092 A TH1101001092 A TH 1101001092A TH 114911 A TH114911 A TH 114911A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
cartridge
small
wafer
aforementioned
cassette
Prior art date
Application number
TH1101001092A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH114911B (en
Inventor
คูซุฮาระ นายอิชิกิ
ทสึนาชิม่า นายเกียวยูเฮอิ
Original Assignee
นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
นางสาวสนธยา สังขพงศ์
นายณัฐพล อร่ามเมือง
Filing date
Publication date
Application filed by นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์, นางสาวสนธยา สังขพงศ์, นายณัฐพล อร่ามเมือง filed Critical นางดารานีย์ วัจนะวุฒิวงศ์
Publication of TH114911B publication Critical patent/TH114911B/en
Publication of TH114911A publication Critical patent/TH114911A/en

Links

Abstract

DC60 (11/07/54) การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว (16) ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12) ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก (14) ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17) ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก (W) และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก (18) ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น (17) ดังกล่าว การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าว DC60 (11/07/54) This invention provides a complete set of wafer separators which can improve the capacity In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles Extremely small, coming from the underside of the aforementioned cartridge holder (13) to a large number of wafers (W) and a very small air bubble generator (18) generating very small air bubbles to be exposed. release This invention provides a set of wafer separators that can improve the capacity In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles A very small size comes from the underside of the cassette holder (13) onto the wafer number. Very small (W) and very small air bubbles (18) that generate very small bubbles to be released. Coming out of the said nozzle (17)

Claims (1)

: DC60 (11/07/54) การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว (16) ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12) ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก (14) ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17) ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก (W) และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก (18) ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น (17) ดังกล่าว การประดิษฐ์นี้เป็นการจัดเตรียมชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งสามารถปรับปรุงขีดความสามารถ ในการแยกเวเฟอร์ซึ่งจะมีการแยกและถ่ายโอนให้ดีขึ้นและสามารถยับยั้งการแตกหักหรือสิ่งที่คล้ายกันนี้ ไม่ให้เกิดขึ้นกับเวเฟอร์ในการแยกและถ่ายโอนได้ในขณะที่ชุดเครื่องดังกล่าวจะเป็นชุดเครื่องขนาดเล็กที่มี ราคาไม่แพง ชุดเครื่องดังกล่าวประกอบด้วยตลับบรรจุ (12) ซึ่งบรรจุเวเฟอร์ชิ้นเดี่ยวจำนวนมาก (W) ไว้ ในแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างใกล้ชิดโดยที่ตลับบรรจุ (12) จะเปิดออกตามแนวตั้งเป็นอย่างน้อย, อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ซึ่งรองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับ บรรจุ(13) ดังกล่าวจะถูกเปิดอย่างน้อยในแนวตั้ง, ชุดอุปกรณ์ยก (14) ซึ่งยกอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13) ดังกล่าวขึ้นไปด้านบนและขยับลงไปด้านล่างในลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ (12), อ่าง ของเหลว(16)ซึ่งบรรจุของเหลวไว้ภายในโดยจะมีการแช่อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ(13)ดังกล่าวไว้ใน ลักษณะที่รวมเป็นส่วนเดียวกันกับตลับบรรจุ(12)ดังกล่าวเมื่อชุดอุปกรณ์ยก(14)ดังกล่าวเคลื่อนที่ลงไป ด้านล่าง, หัวพ่น (17)ที่จัดเตรียมไว้ในบริเวณด้านในของอ่างของเหลว (16) ดังกล่าวเพื่อปล่อยฟองอากาศ ขนาดเล็กมากออกมาจากด้านที่อยู่ข้างใต้ของอุปกรณ์รองรับตลับบรรจุ (13) ดังกล่าวไปยังเวเฟอร์จำนวน มาก(W)และเครื่องสร้างฟองอากาศขนาดเล็กมาก(18)ที่สร้างฟองอากาศขนาดเล็กมากที่จะถูกปล่อย ออกมาจากหัวพ่น(17)ดังกล่าวข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :: DC60 (11/07/54) This invention provides a complete set of wafer separators which can improve the capacity. In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. In the same section as the cartridge (12), the fluid bath (16), which contains the liquid, the cassette holder (13) is immersed in the The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles Extremely small, coming from the underside of the aforementioned cartridge holder (13) to a large number of wafers (W) and a very small air bubble generator (18) generating very small air bubbles to be exposed. release This invention provides a set of wafer separators that can improve the capacity In wafer separation, where it is better split and transferred, and this can inhibit fracture or the like. While the unit is a small, inexpensive unit, it consists of cartridges (12) containing a large number of single wafers (W. ) Is held vertically in close contact with the cartridge (12) opening at least vertically, the cassette holder (13), which holds the cartridge in a detachable manner, where The said cassette carrier (13) is opened at least vertically, the lifter (14), which raises the aforementioned cassette carrier (13) and moves downward in a combined manner. The same part as the cartridge (12), the fluid bath (16), which holds the liquid inside. The manner integrates with the said cartridge (12), when the aforementioned lift kit (14) moves downwards, the nozzles (17) provided in the interior of the aforementioned fluid bath (16). To release bubbles A very small size comes from the underside of the cassette holder (13) onto the wafer number. Very small (W) and very small air bubbles (18) that generate very small bubbles to be released. Out of the nozzle (17). Such a claim (Item one) which will appear on the advertisement page: 1. ชุดเครื่องสำหรับแยกเวเฟอร์ซึ่งประกอบด้วย ตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้บรรจุเวฟเฟอร์ชิ้นเดี่ยวซึ่งมีจำนวนมากเข้าไปโดยอยู่ ในทิศตามแนวตั้งในสภาพที่สัมผัสกันอย่างแนบชิดโดยที่ตลับบรรจุจะถูกเปิดออกอย่างน้อยในทิศตาม แนวตั้ง อุปกรณ์รองรับตลับบรรจุซึ่งถูกวางโครงแบบมาเพื่อให้รองรับตลับบรรจุไว้ในลักษณะที่ ถอดออกได้โดยที่อุปกรณ์รองรับตลับบแท็ก :1. A set of wafer separators consisting of A cartridge, which is configured to hold a large number of single wafers. In the vertical direction, in a condition of close contact with the cartridges being opened at least in the vertical direction, the cassette carrier, which is configured to support the cartridges in such a way that Removable, with the device supporting the tab cartridge:
TH1101001092A 2010-01-12 Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells. TH114911A (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH114911B TH114911B (en) 2012-07-18
TH114911A true TH114911A (en) 2012-07-18

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NZ593758A (en) Apparatus and method for transferring solar cell wafers into a liquid bath, wherein the wafers are separated in the liquid bath with micro bubbles
WO2011100204A3 (en) Thin wafer carrier
TW200731345A (en) Apparatus and method for reducing contamination in immersion lithography
US9539525B2 (en) Centrifugation device and methods for isolation of biomass from algae mixture and extraction of oil from kitchen residue
MY148324A (en) A floatable plant growth system and a floatation tray for use with the system
JP2014236753A5 (en)
MY161332A (en) Chucks for supporting solar cell in hot spot testing
EP2548646A3 (en) Cartridge and system for manipulating samples in liquid droplets
CR6973A (en) ADDITIVE FLUID DISPENSER DEVICE IN A TOILET
WO2009008047A1 (en) Device for charging dry air or nitrogen gas into semiconductor wafer storage container and wafer static charge removing apparatus utilizing the device
WO2010040473A3 (en) Culture/exposure device, in particular for cell and/or bacteria cultures
MY173115A (en) Sulfur degasser apparatus and method
JP2012069635A5 (en)
JP2008302971A (en) Fixing frame structure enabling complete use of liquid in vessel
BR112012032220A2 (en) cargo tank support system
RU2016121633A (en) CUP HOLDER ASSEMBLY FOR VEHICLE (OPTIONS), VEHICLE CONSOLE (OPTIONS) AND VEHICLE (OPTIONS)
TH114911A (en) Wafer Separator Unit, Wafer Separation and Transfer Unit, Method for Wafer Separation, Method for Wafer Separation and Transfer, and method for separating and transferring wafers of solar cells.
KR20170014489A (en) Appartus and method for graphene wet transfer
TH114911B (en) Wafer separation unit, wafer separation and transfer unit, method for Wafer separation, method for wafer separation and transfer, and method for separating and transferring photovoltaic wafers.
TWI265905B (en) Substrate installation/removal device, substrate installation/removal method, substrate carrier device, and substrate carrier method
KR101891783B1 (en) Apparatus for separating a wafer
CN207456902U (en) A set of cell climbing sheet batch dyeing apparatus
WO2016046642A3 (en) Systems and methods for large-scale nanotemplate and nanowire fabrication
WO2011018218A3 (en) Method and device for multiple feed cell cultivation
JP2015204463A (en) Method for drying wafer substrate and wafer holder