TH107689A - อุปกรณ์และวิธีการพอกฉาบพลาสมาเพื่อการผลิตเซลล์สุริยะ - Google Patents

Abstract

DC60 (02/07/50) การประดิษฐ์นี้นำเสนออุปกรณ์พอกฉาบพลาสมาสำหรับผลิตเซลล์สุริยะที่ประกอบด้วยเครื่อง ลำเลียงซึ่งมีแกนตามยาวสำหรับรองรับชั้นฐานอย่างน้อยหนึ่งชั้น, โมดูลอย่างน้อยสองโมดูลโดยแต่ละโม ดูลดังกล่าวมีหัวพ่นพลาสมาอย่างน้อยหนึ่งหัวสำหรับพอกฉาบชั้นผลิตภัณฑ์จากปฏิกิริยาบนชั้นฐานอย่าง น้อยหนึ่งชั้นดังกล่าว โดยหัวพ่นพลาสมาอย่างน้อยหนึ่งหัวดังกล่าวอยู่ที่ระยะหนึ่งจากชั้นฐานอย่างน้อย หนึ่งชั้นดังกล่าว, ช่องสำหรับบรรจุเครื่องลำเลียงดังกล่าวและโมดูลอย่างน้อยสองโมดูลดังกล่าว และ ระบบระบายไอเสีย ในอีกรูปลักษณะหนึ่ง อุปกรณ์พอกฉาบพลาสมาสำหรับผลิตเซลล์สุริยะประกอบ ด้วยกลไกสำหรับรองรับชั้นฐาน, กลไกสำหรับจ่ายตัวทำปฏิกิริยา, กลไกหัวพ่นพลาสมาสำหรับพอกฉาบ ผลิตภัณฑ์บนชั้นฐาน, กลไกหัวพ่นพลาสมาที่อยู่ในระยะหนึ่งจากชั้นฐาน และกลไกสำหรับส่ายกลไกหัว พ่นพลาสมาตามชั้นฐาน

Claims (1)

1. : DC60 (02/07/50) การประดิษฐ์นี้นำเสนออุปกรณ์พอกฉาบพลาสมาสำหรับผลิตเซลล์สุริยะที่ประกอบด้วยเครื่อง ลำเลียงซึ่งมีแกนตามยาวสำหรับรองรับชั้นฐานอย่างน้อยหนึ่งชั้น, โมดูลอย่างน้อยสองโมดูลโดยแต่ละโม ดูลดังกล่าวมีหัวพ่นพลาสมาอย่างน้อยหนึ่งหัวสำหรับพอกฉาบชั้นผลิตภัณฑ์จากปฏิกิริยาบนชั้นฐานอย่าง น้อยหนึ่งชั้นดังกล่าว โดยหัวพ่นพลาสมาอย่างน้อยหนึ่งหัวดังกล่าวอยู่ที่ระยะหนึ่งจากชั้นฐานอย่างน้อย หนึ่งชั้นดังกล่าว, ช่องสำหรับบรรจุเครื่องลำเลียงดังกล่าวและโมดูลอย่างน้อยสองโมดูลดังกล่าว และ ระบบระบายไอเสีย ในอีกรูปลักษณะหนึ่ง อุปกรณ์พอกฉาบพลาสมาสำหรับผลิตเซลล์สุริยะประกอบ ด้วยกลไกสำหรับรองรับชั้นฐาน, กลไกสำหรับจ่ายตัวทำปฏิกิริยา, กลไกหัวพ่นพลาสมาสำหรับพอกฉาบ ผลิตภัณฑ์บนชั้นฐาน, กลไกหัวพ่นพลาสมาที่อยู่ในระยะหนึ่งจากชั้นฐาน และกลไกสำหรับส่ายกลไกหัว พ่นพลาสมาตามชั้นฐาน ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แท็ก :